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固體激光工作物質(zhì)光電子技術(shù)(激光器件部分)September200412.固體工作物質(zhì)2.1概述2.2紅寶石2.3摻釹釔鋁石榴石2.4釹玻璃2.5其它摻釹工作物質(zhì)2.6其它固體激光工作物質(zhì)September200422.1概述對(duì)固體激光工作物質(zhì)的一般要求基質(zhì)與激活離子正分高濃度激光晶體多摻和敏化工作物質(zhì)的劣化與破壞工作物質(zhì)幾何尺寸和加工要求September20043對(duì)固體激光工作物質(zhì)的一般要求較高的熒光量子效率針對(duì)某一泵源有較強(qiáng)的光譜吸收A21,Δν連續(xù)和小型脈沖器件——A21↑,Δν↓大能量和大功率器件——A21↓,Δν↑光學(xué)質(zhì)量好:雜質(zhì),氣泡,條紋,內(nèi)應(yīng)力,光學(xué)不均勻少。良好的物理、化學(xué)性能:導(dǎo)熱率高,熱膨脹系數(shù)小,熔點(diǎn)高,機(jī)械強(qiáng)度高,可承受高功率密度,化學(xué)穩(wěn)定性好。制備簡(jiǎn)單,加工容易,成本低,足夠尺寸September20044基質(zhì)材料固體基質(zhì)材料分為晶體和玻璃兩類基質(zhì)與離子之間的相互作用,事實(shí)上限制了材料組合的數(shù)量。September20045晶體適合作為激光離子的基質(zhì)晶體的選擇原則:摻雜后晶體必須具有均勻的折射率晶體的機(jī)械、熱性能容許高功率工作(熱導(dǎo)率,硬度和抗裂強(qiáng)度)晶體的晶格能夠接收摻雜離子,局部晶體場(chǎng)感應(yīng)出期望光譜特性所需的強(qiáng)度。一般,截面接近10-20cm2。生長(zhǎng)出足夠尺寸的高質(zhì)量晶體。對(duì)于1300℃下可均勻熔化的晶體,容易采用合適的生長(zhǎng)技術(shù)。September20046晶體氧化物磷酸鹽,硅酸鹽鎢酸鹽,鉬酸鹽,釩酸鹽和鈹酸鹽氟化物September20047氧化物晶體藍(lán)寶石(Al2O3)質(zhì)硬,導(dǎo)熱率高Al容易被過(guò)渡金屬離子取代,Al相對(duì)稀土離子較小,不可能得到高摻雜濃度。以紅寶石(Cr:Al2O3),和鈦寶石(Ti:Al2O3)為代表。石榴石性能穩(wěn)定,質(zhì)硬,熱導(dǎo)率高光學(xué)各向同性有釔鋁石榴石Y3Al5O12(YAG),釓鎵石榴石Gd3Ga5O12(GGG)和釓鈧鋁石榴石Gd3Sc2Al3O12(GSGG)。Nd3+:YAG,閾值低,增益高,處于固體激光材料壟斷地位,YAG中也可摻鉺Er3+,銩Tm3+,鈥Ho3+和鐿Yb3+。同時(shí)摻Cr3+的Nd:GSGG,可顯著提高對(duì)閃光燈的輻射。September20048氧化物晶體3.鋁酸釔YAlO3(YAP)Y2O3和Al2O3,1:1混合物,負(fù)單軸晶體可線偏振光輸出生長(zhǎng)快速物理和機(jī)械性質(zhì)與YAG類似可選擇不同的結(jié)晶方向,得到不同的光譜特性,實(shí)現(xiàn)高增益,低閾值或者調(diào)Q所需的低增益,大儲(chǔ)能。Fe3+雜質(zhì)增加1.06um的吸收損耗,造成熒光猝滅??蓳诫sNd3+,Er3+,Tm3+,Ho3+。September20049晶體氧化物4.硫氧化物稀土硫氧化物,如硫氧化鑭,硫氧化镥,硫氧化釔,均有相同晶體結(jié)構(gòu),為單軸晶體。稀土激活離子在稀土硫化物基質(zhì)中可形成任意濃度的固體溶液硫氧化鑭,硫氧化镥,硫氧化釔,硫氧化釓可透過(guò)0.35um~7um波長(zhǎng)。Nd:LOS(La2O2S)的1.075um波長(zhǎng)處激光躍遷截面約為Nd:YAG的1/3。September200410磷酸鹽和硅酸鹽晶體摻Nd3+氟磷酸鈣Ga5(PO4)F3,閾值低,斜率效率高,硬度低,易形成色心,熱導(dǎo)率低,易造成熱畸變。硅酸氧磷灰石CaLaSOAP,質(zhì)硬,熱導(dǎo)率低,為YAG的1/9。儲(chǔ)能為YAG的5倍,晶體生長(zhǎng)速度3mm/h。光學(xué)質(zhì)量好。抗激光損傷閾值低。五磷酸釹鹽類,YNdP5O14,LaNdP5O14和ScNdP5O14,高增益。例如:ScNdP5O14在mW氬離子激光器泵浦下可實(shí)現(xiàn)閾值輸出。September200411鎢酸鹽,鉬酸鹽,釩酸鹽和鈹酸鹽摻Nd的CaWO4,YAG之前常用的基質(zhì)材料。加入Na+,補(bǔ)充電荷。質(zhì)脆。鈉稀土鎢酸鹽和鉬酸鹽NaLa(MoO4)2,NaGd(WO4)2,NaNd(WO4)2,摻雜Nd,曾觀測(cè)到激光作用。摻Nd的YVO4,閾值很低,晶體生長(zhǎng)困難。受激輻射截面大,對(duì)二極管泵浦波長(zhǎng)的吸收高。鈹酸鹽La2Be2O5(BEL),容易生長(zhǎng),截面和熱導(dǎo)率遠(yuǎn)小于YAG,因此沒(méi)有實(shí)際應(yīng)用,Nd:BEL為雙軸晶體,折射率系數(shù)有正有負(fù),可通過(guò)設(shè)計(jì)光路消除熱透鏡效應(yīng)。September200412氟化物晶體摻Nd,氟化釔鋰YLiF4(YLF)單軸晶體偏振輸出,消除熱致雙折射熒光壽命是YAG的兩倍,儲(chǔ)能高,熱機(jī)械性能不如YAGSeptember200413玻璃大體積??梢陨a(chǎn)長(zhǎng)1m,直徑10cm的棒;直徑90cm,厚幾厘米的疊片。優(yōu)越的光學(xué)質(zhì)量,接近衍射極限的光束角易于制造容易進(jìn)行光學(xué)拋光熒光線寬寬,閾值高熱導(dǎo)率低,熱致雙折射引起的光學(xué)畸變嚴(yán)重??梢該絅d3+,Yb3+,Er3+,Tm3+和Ho3+。September200414激活離子稀土離子釹(Nd3+)實(shí)現(xiàn)了100多種基質(zhì)中獲得受激發(fā)射以0.9um,1.06um,1.35um為中心,可實(shí)現(xiàn)若干頻率的受激發(fā)射鉺(Er3+)實(shí)現(xiàn)了YAG,YLF,YAP,LaF3,CaWO4,CaF2,玻璃基質(zhì)中的受激發(fā)射。1.53~1.66um內(nèi)實(shí)現(xiàn)激光發(fā)射,屬人眼安全波長(zhǎng)。常用的Er3+:YAG經(jīng)敏化,最易其振,輸出波長(zhǎng)為2.9um。鈥(Ho3+)摻Er:Tm:Ho的YAG和YLF,輸出波長(zhǎng)2um摻Cr代替Er敏化,Cr:Tm:YAG激光器可有效吸收閃光燈泵浦能量。輸出波長(zhǎng)2.1um。September200415激活離子稀土離子銩(Tm3+)與Cr或Ho一起實(shí)現(xiàn)YAG,YLF的高效閃光燈及二極管泵浦激光輸出。二極管泵浦Tm:YAG實(shí)現(xiàn)2.01um輸出二極管泵浦Tm:Ho:YAG實(shí)現(xiàn)2.09um輸出高效閃光燈泵浦Cr:Tm:YAG實(shí)現(xiàn)1.945um和1.965um的可調(diào)輸出鐠Pr3+,釓Gd3+,銪Eu3+,鐿Yb3+,鈰Ce3+二極管泵浦的Yb:YAG激光器二極管泵浦的摻Y(jié)b的光纖激光器釤Sm2+,鏑Dy2+,銩Tm2+液氮冷卻的作用下,CaF2中產(chǎn)生過(guò)激光作用。September200416激活離子2.錒系離子摻0.05%鈾(U)的CaF2成功用于激光器,輸出2.6um。3.過(guò)渡金屬 鉻(Cr3+)紅寶石(Cr3+:AL2O3),紫翠寶石(綠寶石,金綠寶石,翠綠寶石,Cr3+:BeAl2O4)鈦藍(lán)寶石(鈦寶石,Ti3+:AL2O3)Nd:YAG泵浦的Co2+:MgF2激光器。September200417正分高濃度激光晶體激活離子本身是晶體組成部分的激光工作物質(zhì)稱為正分高濃度晶體??梢詫?shí)現(xiàn)高摻雜而無(wú)明顯的濃度猝滅效應(yīng)高效率、低閾值過(guò)磷酸鹽,CeP5O14,PrP5O14,NdP5O14,偏磷酸鹽,LiNdP4O12,NaNdP4O12,KNdP4O12,正磷酸鹽,Na3Nd(PO4)2,K3Nd(PO4)2硼酸鹽,NdAl(BO3)4,NdCr(BO3)4,鎢酸鹽、鉬酸鹽,Na5Nd(WO4)4,R5Nd(MoO4)4September200418多摻與敏化敏化指在晶體中除了發(fā)光中心的激活離子外,再摻入一種或多種稱為敏化劑的施主離子。敏化劑主要作用是吸收激活離子不吸收的光譜能量,并將吸收到的能量轉(zhuǎn)移給激活離子。雙摻或多摻雜晶體生長(zhǎng)困難,工藝復(fù)雜。September200419工作物質(zhì)的劣化與破壞劣化效率降低50%以上色心吸收紅寶石,粉紅->橙紅->棕紅YAG,淡紫->棕紅釹玻璃,紫紅->棕紅雜質(zhì)離子變價(jià)破壞現(xiàn)象:端面,內(nèi)部原因:能量密度,表面污染,冷卻September200420工作物質(zhì)的劣化與破壞破壞閾值影響因素工作物質(zhì)本身:內(nèi)部,表面脈寬諧振腔是否有聚焦點(diǎn)September200421工作物質(zhì)幾何尺寸和加工要求形狀:圓柱棒,矩形柱,圓片圓柱棒長(zhǎng)徑能量大,體積大散熱,表面積大,散熱好閾值,棒細(xì)長(zhǎng),閾值低經(jīng)驗(yàn):10:1~20:1端面平行度,5‘’~10‘’垂直度,<1‘粗糙度PⅢ級(jí),平整度小于半個(gè)光圈側(cè)面磨毛September200422September2004232.2紅寶石September200424紅寶石晶體結(jié)構(gòu)Cr3+:Al2O3六方晶系,負(fù)單軸晶體粉紅色提拉法生長(zhǎng)可以獲得大尺寸晶體0°,60°,90°紅寶石紅寶石物理,化學(xué)特性September200425紅寶石的基本物理化學(xué)特性莫氏硬度9熔點(diǎn)2050(攝氏度)熱導(dǎo)率0.42W/cmK(300K)10W/cmK(77K)熱膨脹系數(shù)6.7E-6K-1(平行于c)5.0E-6K-1(垂直于c)化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,抗腐蝕September200426紅寶石激光性能——能級(jí)結(jié)構(gòu)September200427紅寶石激光性能——吸收光譜September200428紅寶石激光性能——吸收系數(shù)和吸收截面September200429紅寶石激光性能——主要參數(shù)摻雜濃度1.58E19(cm-3)受激輻射截面2.5E-20(cm2)波長(zhǎng)694.3nm熒光壽命3.0ms量子效率0.7譜線線寬11(cm-1)5.3(埃)September200430紅寶石激光性能——參數(shù)隨溫度的變化September200431紅寶石在激光器中應(yīng)用偏振輸出閃光燈泵浦脈沖運(yùn)轉(zhuǎn)液氮冷卻可以實(shí)現(xiàn)連續(xù)輸出相干性好,可用于全息高速攝影調(diào)Q輸出可用于醫(yī)學(xué)September2004322.3摻釹釔鋁石榴石物理化學(xué)特性Nd3+:Y3Al5O12,簡(jiǎn)寫為Nd:YAG淡紫色立方晶系,光學(xué)各向同性提拉法生長(zhǎng),速度較慢September200433Nd:YAG的物理化學(xué)特性克氏硬度1215熔點(diǎn)1970(攝氏度)熱導(dǎo)率0.11W/cmK熱膨脹系數(shù)[100][110][111]8.2E-6K-17.7E-6K-17.8E-6K-1化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定September200434Nd:YAG激光性能——能級(jí)結(jié)構(gòu)September200435Nd:YAG激光性能——吸收光譜September200436Nd:YAG激光性能——發(fā)射光譜September200437Nd:YAG激光性能——主要參數(shù)摻雜濃度1.38E20(cm-3)受激輻射截面88E-20(cm2)波長(zhǎng)1064nm熒光壽命230us量子效率1譜線線寬4.5(埃)September200438Nd:YAG在激光器中運(yùn)用連續(xù),脈沖,調(diào)Q,鎖??砷W光燈泵浦也可二極管泵浦功率可大可小廣泛應(yīng)用于各行業(yè)September2004392.4釹玻璃September200440Nd:Glass的物理化學(xué)特性硅酸鹽,磷酸鹽,氟酸鹽,硼酸鹽摻雜濃度高,1wt%~5wt%光學(xué)均勻性好各向同性可以獲得各種形狀和尺寸September200441硅酸鹽Nd:Glass的物理化學(xué)特性玻璃牌號(hào)ED-2LG-630LCG-11克氏硬度543.6365380應(yīng)變點(diǎn)435(攝氏度)465(攝氏度)613(攝氏度)熱導(dǎo)率0.0135W/cmK0.0099W/cmK0.0088W/cmK熱膨脹系數(shù)7.5E-6K-19.7E-6K-110.6E-6K-1化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定穩(wěn)定穩(wěn)定September200442Nd:Glass激光性能——能級(jí)結(jié)構(gòu)中心波長(zhǎng):0.92um,1.06um,1.37um吸收帶寬和熒光線寬均增加September200443Nd:Glass激光性能——吸收光譜September200444硅酸鹽Nd:Glass激光性能——主要參數(shù)摻雜濃度2.8~3.8E20(cm-3)受激輻射截面2.0~3.03E-20(cm2)熒光峰值波長(zhǎng)1062.3~1062.4nm熒光壽命300~640us量子效率0.3~0.7譜線線寬250cm-1September200445Nd:Glass在激光器中運(yùn)用脈沖運(yùn)轉(zhuǎn)調(diào)Q超短脈沖板條激光器實(shí)現(xiàn)高重復(fù)率高功率輸出September200446紅寶石,Nd:YAG和Nd:Glass比較紅寶石Nd:YAGNd:Glass摻雜濃度1.58E19(cm-3)1.38E20(cm-3)~3E20(cm-3)受激輻射截面2.5E-20(cm2)88E-20(cm2)~3.0E-20(cm2)熒光峰值波長(zhǎng)694.3nm1064nm1062.3~1062.4nm熒光壽命3.0ms230us0.6~0.9ms量子效率0.710.3~0.7譜線線寬11(cm-1)5.3(埃)4.5(埃)250cm-1280.9(埃)September2004472.5其它摻釹工作物質(zhì)一、Nd:YAP二、Nd:YLF三、Nd:GGG四、Nd:LMASeptember200448一、Nd:YAP摻釹鋁酸釔晶體Nd3+:YAlO3正交晶系,雙軸晶體線偏振光輸出物理機(jī)械性質(zhì)與YAG相似September200449Nd:YAP的物理與化學(xué)特性莫氏硬度8~8.5熔點(diǎn)1870±10(攝氏度)熱導(dǎo)率0.11W/cmK熱膨脹系數(shù)a4.2E-6K-1b11.7E-6K-1c5.1E-6K-1化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定September200450Nd:YAP的激光性能——吸收光譜September200451Nd:YAP的激光性能——晶軸取向1.064um的譜線增益最大1.0795um的譜線增益最大September200452Nd:YAP在激光器中應(yīng)用與Nd:YAG類似可以高功率輸出偏振輸出可以1.079um和1.37um雙色輸出破壞閾值低,熱效應(yīng)較Nd:YAG嚴(yán)重September200453二、Nd:YLF摻釹氟化釔鋰Nd:YLiF4四方晶系,單軸晶體偏振輸出機(jī)械和熱性能比YAG差損傷閾值高September200454Nd:YLF的物理化學(xué)特性莫氏硬度4~5熔點(diǎn)825(攝氏度)熱導(dǎo)率0.06W/cmK熱膨脹系數(shù)a13E-6K-1c8E-6K-1化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定September200455Nd:YLF的激光性能——能級(jí)結(jié)構(gòu)September200456Nd:YLF的激光性能——主要參數(shù)受激輻射截面18E-20(cm2)π12E-20(cm2)σ波長(zhǎng)1047nmπ1053nmσ熒光壽命480usSeptember200457Nd:YLF在激光器中應(yīng)用大儲(chǔ)能有利于二極管泵浦中等能量Q開關(guān)輸出Q開關(guān)振蕩器-放大器結(jié)構(gòu)September200458三、Nd:GGG石榴石晶體:Gd3Ga5O12(GGG)Gd3Sc2Al3O12(GSAG)Gd3ScGa3O12(GSGG)立方晶系生長(zhǎng)速度快,可以獲得大尺寸熱聚焦比YAG大5倍板條Nd:GGG可以獲得千瓦輸出September200459四、Nd:LMA摻釹鋁酸鎂鑭Nd3+:LaMgAl11O19六方晶系,單軸晶體摻雜濃度高:1.2E21cm-3提拉法生長(zhǎng),可以得到大尺寸晶體物化性能穩(wěn)定,熱導(dǎo)率高,可高功率輸出波長(zhǎng):1.054um和1.083umSeptember200460Nd:LMA的吸收光譜
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