GB/T 8757-2006砷化鎵中載流子濃度等離子共振測量方法

ICS77.040.01H17中華人民共和國國家標準GB/T8757-2006代替GB/T8757—1988砷化家中載流子濃度等離子共振測量方法Determinationofcarrierconcentrationingalliumarsenidebytheplasmaresonanceminimum2006-07-18發(fā)布2006-11-01實施中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局愛布中國國家標準化管理委員會

GB/T8757-2006本標準是對GB/T8757—1988《種化鏢中載流子濃度等離子共振測量方法》的修訂本標準與GB/T8757—1988相比主要有以下變動：-原標準表述儀器要求使用了波數(shù)表示法.為了和其他條款的表述一致.改為波長表示法；-原標準規(guī)定,為測定儀器的波長精度和重復性，要測量聚苯乙烯膜的吸收帶10次。但未規(guī)定是按固定周期還是在每次測量前做這項工作，也沒有規(guī)定如果在這10次測量結(jié)果中出現(xiàn)一次或幾次不符合要求時應如何處理,不便于實際操作。修改后規(guī)定為每次打開儀器按儀器說明書的要求預熱一定時間后,在正式測量前進行一次測量聚苯乙烯膜的吸收帶的校準；原標準5.1式中的常數(shù)對于砷化鏢材料總是為零，故在表達式中取消。本標準自實施之日起代替GB/T8757—1988。本標準由中國有色金屬工業(yè)協(xié)會提出。本標準由全國有色金屬標準化技術(shù)委員會歸口。本標準起草單位：北京有色金屬研究總院。本標準主要起草人：王彤涵。本標準由全國有色金屬標準化技術(shù)委員會負責解釋本標準所代替標準的歷次版本發(fā)布情況為：GB/T8757-1988。

GB/T8757-2006砷化家中載流子濃度等離子共振測量方法T范圍本標準適用于摻雜砷化鏢單品中載流子濃度的測量。測量范圍：n-GaAs1.0×10"cm-3～1.0×10"°cm_p-GaAs2.0×10"cm_a～1.0×10″cm-2原理在紅外光譜區(qū)域，重摻雜半導體材料的反射率為波長的函數(shù)，材料的載流子濃度和反射光譜的等離子體共振極小值波長具有對應關(guān)系,測量此波長，根據(jù)公式可計算出載流子濃度儀器3.1雙光束紅外分光光度計或傅立葉紅外光譜儀,波長范圍為2.5m～50m,或波數(shù)范圍為4000cm_1～200cm-1。如果波長范圍較窄.則測量范圍相應減小。3.2儀器的波長和波長重復性誤差不大于0.05gm。在10m處光譜分瓣率為0.02m或更好。3.3儀器應配有反射附件,入射角不大于30°。儀器應配有黑體材料制成的多種孔徑的光闌。4樣品4.1作為樣品的單晶片.表面必須研磨后進行機械或化學拋光，使樣品表面在良好的光線下看上去平整光潔。4.2樣品的導電類型應是已知的、5測量5.1儀器校準5.1.1打開儀器,按說明書的要求進行預熱。測量厚度為300m～500m的聚苯乙烯膜的吸收光譜，核對3.303m吸收帶,其結(jié)果應滿足條款3.2的要求。5.1.2安裝反射附件后測量100%線，其峰谷值差應小于8%。5.2測量5.2.1選擇適當?shù)膾呙杷俣?以滿足條款3.2的要求。測量并記錄樣品的反射光譜。如果反射譜線的極小值與任一邊的最大值之差小于10%，則應提高儀器的放大倍數(shù)并重新記錄反射光譜，5.2.2在反射譜線的極小值兩側(cè)約0.5m～1m處分別作兩條與譜線相切