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文檔簡介

桂電研究生材料制備課程演示文稿當(dāng)前1頁,總共25頁。一、非晶態(tài)合金1.結(jié)構(gòu)的主要特征:短程有序,長程無序性;非晶態(tài)是一種亞穩(wěn)態(tài);結(jié)構(gòu)均勻、各向同性,成分均勻性;非晶體(如玻璃)沒有確定的熔點,只有一定的軟化溫度。當(dāng)前2頁,總共25頁。XRDpatternTEMdiffractionpattern當(dāng)前3頁,總共25頁。2.非晶態(tài)材料包括:(1)非晶態(tài)金屬及合金(金屬玻璃)(2)非晶態(tài)半導(dǎo)體﹑非晶態(tài)超導(dǎo)體(3)非晶態(tài)電介質(zhì)(4)非晶態(tài)離子導(dǎo)體(5)非晶態(tài)高聚合物(6)傳統(tǒng)的氧化物玻璃等。當(dāng)前4頁,總共25頁。第一類為類金屬元素(或弱金屬元素)與非金屬元素的組合。類金屬元素主要是周期表中ⅢA、ⅣA、ⅤA元素,非金屬元素主要是ⅥA和ⅦA元素,它們能形成諸如氧化物、硫化物、硒化物、氟化物和氯化物等非晶態(tài)物質(zhì);第二類是準(zhǔn)金屬元素和金屬元素的組合。金屬元素則主要是過渡元素和貴金屬元素,例如形成Pd-Si、Co-P、Fe-C等非晶態(tài)材料。第三類是金屬元素和金屬元素的組合。前者是ⅡA、ⅡB、ⅢB、ⅣB金屬,后者是貴金屬和稀土金屬,它們形成諸如Gd-Co、Nb-Ni、Zr-Pd、Ti-Be等非晶態(tài)材料。當(dāng)前5頁,總共25頁。3.非晶態(tài)的形成過程過熱熔體(穩(wěn)定相)過冷熔體(亞穩(wěn)相)

非晶固體(亞穩(wěn)相)晶體(穩(wěn)定相)ABCDEE:結(jié)晶過程;C:非晶形成過程;D:非晶晶化過程當(dāng)前6頁,總共25頁。4.非晶態(tài)形成過程的特點:(1)從熔體中形成非晶態(tài)的過程是:ABC

即:過熱熔體過冷熔體非晶固相(2)非晶形成是亞穩(wěn)相之間相互轉(zhuǎn)變,即:穩(wěn)定過熱液相亞穩(wěn)過冷液相亞穩(wěn)固相(3)從現(xiàn)象上看,在非晶態(tài)的形成過程中,熔體由液態(tài)變?yōu)楣虘B(tài)時是連續(xù)的、粘滯系數(shù)加大的過程;(4)欲制備非晶材料,必須抑制過程E(結(jié)晶過程)、D(非晶晶化過程)的發(fā)生;(5)欲保證非晶材料穩(wěn)定性,要研究過程D(非晶晶化過程)發(fā)生的條件;(6)非晶態(tài)形成過程的本質(zhì)是亞穩(wěn)液相與亞穩(wěn)固相之間的轉(zhuǎn)變。當(dāng)前7頁,總共25頁。5.非晶態(tài)形成條件:冷卻速度:冷速足夠大(大于RC

:臨界冷卻速率)化學(xué)成分:組元間電負(fù)性與原子尺寸相差越大(10%-20%),越容易形成非晶態(tài)。因而過渡族金屬或貴金屬與類金屬(B、C、N、Si、P)、稀土金屬與過渡族金屬、后過渡族金屬與前過渡族金屬組成的合金易于形成非晶.熔點和玻璃化溫度之差T:T=Tm-Tg

,T越小,形成非晶傾向越大。因而,成分位于共晶點附近的合金易于形成非晶.當(dāng)前8頁,總共25頁。二、非晶態(tài)形成的判據(jù)1.戴維斯判據(jù)設(shè)合金的熔點為Tm,混合熔點為Tm',定義J=(Tm-Tm')/Tm為熔點的相對偏移,則戴維斯判據(jù)可敘述為:當(dāng)J>0.2時,合金可在105-107K/s下形成非晶態(tài)合金。混合熔點Tm'可表示為為過渡金屬的熔點;為類金屬的熔點;XTM為過渡金屬的摩爾分?jǐn)?shù);XM為類金屬的摩爾分?jǐn)?shù)。當(dāng)前9頁,總共25頁。2.尼爾森判據(jù)定義合金的升華焓為過渡金屬的升華焓;為類金屬的升華焓尼爾森判據(jù):當(dāng)0≤Xm≤0.40及Tg/Tm≥0.50時,可形成非晶態(tài)合金。當(dāng)前10頁,總共25頁。3.戴維斯判據(jù)改進(jìn)熔體淬火形成非晶態(tài)合金的判據(jù)為:當(dāng)J/W<0.032及(J-0.1)/W>0.0044時,易形成非晶態(tài)合金。W=(Tm-Tm')/cb,cb為溶質(zhì)的濃度。當(dāng)前11頁,總共25頁。1.非晶態(tài)合金的制備原理:三、非晶態(tài)合金薄膜的主要制備方法液態(tài)金屬結(jié)晶開始時間與過冷度的關(guān)系制備原理示意圖當(dāng)前12頁,總共25頁。2.非晶態(tài)合金的制備方法的分類:通過蒸發(fā)、電解、濺射等方法使金屬原子或離子凝聚或沉積而成;由熔融合金通過急冷快速固化而形成粉末、絲、條帶等;利用激光、離子注入、噴鍍、爆炸等方法使表面層結(jié)構(gòu)無序化。當(dāng)前13頁,總共25頁。3.非晶態(tài)合金薄膜的主要制備方法(1)真空蒸鍍法:

在高真空下,采用電阻、高頻感應(yīng)或電子束等方法加熱基體金屬,使得從表面蒸發(fā)的金屬原子附著在基板上而獲得薄膜。優(yōu)點:設(shè)備和工藝比較簡單、冷卻速率快、可以制備純金屬非晶態(tài)薄膜缺點:蒸鍍速率太慢,獲得的薄膜極薄(約幾個納米),膜大的致密度低。當(dāng)前14頁,總共25頁。真空蒸鍍法示意圖當(dāng)前15頁,總共25頁。(2)濺射法:利用在真空下,電離的離子撞擊陰極靶材得到具有較高動能的濺射原子,使其附著到陽極基板上而獲得薄膜。優(yōu)點:有較高的沉積速率,約1-10nm/s,可制備合金膜;缺點:基板溫度上升快。當(dāng)前16頁,總共25頁。濺射法示意圖當(dāng)前17頁,總共25頁。(3)化學(xué)氣相反應(yīng)法:利用含有析出元素的化合物蒸氣在基板上熱分解,與其他氣體在氣態(tài)下發(fā)生化學(xué)反應(yīng),并在基板上析出反應(yīng)生成物而得到薄膜。主要制備碳化硅、氮化硅、硼化硅等非晶態(tài)薄膜。(4)電鍍法:利用電極還原電解液中金屬離子,析出金屬原子來獲得非晶態(tài)材料。用于制備Ni-F-Co-P等少數(shù)體系非晶合金,可獲得大面積的非晶薄膜。當(dāng)前18頁,總共25頁。臥式CVD裝置立式CVD裝置當(dāng)前19頁,總共25頁。四、非晶態(tài)合金粉末的制備1.氣體霧化法:用超聲氣流將金屬液吹成小滴而霧化,氣流又起到淬火冷卻劑的作用。冷卻速度決定于金屬液滴的種類和霧化氣體的種類。典型例子:Cu60Zr40粉末2.液體霧化法:采用液體作為冷卻介質(zhì)。冷卻速度較高。顆粒形狀不規(guī)則。典型例子:Fe69Si17B14、Fe74Si15B11非晶粉末。當(dāng)前20頁,總共25頁。3.氣-液霧化法:氣體將小顆粒(10-15μm)淬火。高速噴射的液體為大顆粒提供較高的冷卻速度,平均淬火冷卻速率可達(dá)105-106K/s.可以有效控制顆粒形貌。典型例子:Fe75Si15B10、Fe81.5Si14.5B4非晶粉末。當(dāng)前21頁,總共25頁。當(dāng)前22頁,總共25頁。五、非晶態(tài)合金箔、帶的制備方法(液體急冷法)1.噴射槍法:在低壓惰性氣氛保護(hù)下熔融合金,獲得合金液體;用高壓氬氣將合金液體噴射到鋼板上,獲得非晶態(tài)合金箔片。冷卻速率:109K/s.當(dāng)前23頁,總共25頁。2.活塞-砧法熔融狀態(tài)合金液滴在活塞與砧的撞擊下形成圓形箔片非晶態(tài)合金。箔片厚度尺寸均勻,通常厚度小于50

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