空氣凈化及防靜電知識

空氣凈化及防靜電知識第1頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一■凈化知識■防靜電知識第2頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一Cleanroom(凈化間、無塵間、凈房）第3頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一Cleanroom第4頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一凈化間等級無塵等級數(shù)值越小，凈化等級越高。其數(shù)值代表塵埃濃度，亦稱為潔凈度，是用單位體積（每立方英尺或者每升）空氣中所含的粒徑大于等于0.5μm的塵埃數(shù)量來衡量。亦有0.35μm為粒經(jīng)的標(biāo)準(zhǔn)無塵室。第5頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一第6頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一凈化間等級通常無塵室對溫度要求在22±3℃（21±2℃），濕度要求在55±5RH%（60±10RH%）。同時(shí)潔凈室內(nèi)的空氣壓力要比相鄰非潔凈室高25Pa，潔凈度較高的室內(nèi)壓力比潔凈度低的室內(nèi)壓力約高10~15Pa。?100級以下的無塵室一般為底回風(fēng)，1000級以上為側(cè)回風(fēng)第7頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一一般凈化間

第8頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一百級凈化間第9頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一凈化間用品第10頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一臟污分類第11頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一典型臟污來源及舉例臟污類別臟污源舉例微粒類臟污人體、衣服、紙張、工裝工具、外界環(huán)境皮屑、頭發(fā)、毛線、毛絲等有機(jī)類臟污人體、外辦環(huán)境唾沫、煙塵、皮膚油等離子臟污人體、外辦環(huán)境SOX、NOX等第12頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一臟污介入和產(chǎn)生的渠道凈化間臟污裝配物料工具設(shè)備人體移動工藝過程殘留物第13頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一臟污控制的基本原則第14頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一第15頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一第16頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一第17頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一臟污預(yù)防的基本措施第18頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一第19頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一第20頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一第21頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一第22頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一第23頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一第24頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一第25頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一第26頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一第27頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一第28頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一■凈化知識■防靜電知識第29頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一防靜電知識 一、靜電，靜電的產(chǎn)生； 二、電子工業(yè)中的靜電問題；三、靜電防護(hù)操作要求 四、靜電防護(hù)器材； 五、靜電防護(hù)管理及常用標(biāo)識第30頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一一、靜電，靜電的產(chǎn)生什么是靜電（staticelectricity）？常見的靜電現(xiàn)象：脫衣服時(shí)聽到噼啪的聲音、碰到門把手時(shí)手指發(fā)麻、梳頭時(shí)頭發(fā)飄起來。靜電是一種處于靜止?fàn)顟B(tài)的電荷。第31頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一靜電物質(zhì)的組成：

物質(zhì)→分子→原子→原子核＋電子在自然狀態(tài)下，物質(zhì)處于電平衡的中性狀態(tài)，即不帶電。在靜電學(xué)中稱不帶電物體為電的中性體。在某種狀態(tài)下，當(dāng)物質(zhì)原子中的電平衡狀態(tài)被打破，丟失或獲得電子，物質(zhì)即由中性狀態(tài)改變?yōu)閹щ姞顟B(tài)。第32頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一物體呈現(xiàn)帶電的現(xiàn)象稱為帶電現(xiàn)象，它是一種自然現(xiàn)象。按照物體所帶電荷的存在與變化狀態(tài)可分為動電（流電）相象和靜電現(xiàn)象。靜電現(xiàn)象指相對于觀察者而言，所帶的電荷處于靜止或緩慢變化的相對穩(wěn)定狀態(tài)。動電現(xiàn)象則與此相反。在靜電情況下，由于電荷靜止不動或其運(yùn)動非常緩慢，故它所引起的磁場效應(yīng)較之電場效應(yīng)來說可以忽略不計(jì)。

第33頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一靜電的產(chǎn)生在日常生活中，任何兩個(gè)不同材質(zhì)的物體接觸后再分離，即可產(chǎn)生靜電。當(dāng)兩個(gè)不同的物體相互接觸時(shí)就會使得一個(gè)物體失去一些電荷如電子轉(zhuǎn)移到另一個(gè)物體使其帶正電，而另一個(gè)體得到一些剩余電子的物體而帶負(fù)電。

若在分離的過程中電荷難以中和，電荷就會積累使物體帶上靜電。所以物體與其它物體接觸后分離就會帶上靜電。第34頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一摩擦起電:在日常生活中，任何兩個(gè)不同材質(zhì)的物體接觸后再分離，即可產(chǎn)生靜電，而產(chǎn)生靜電的最普通方法，就是摩擦生電。材料的絕緣性越好，越容易是使用摩擦生電。另外，任何兩種不同物質(zhì)的物體接觸后再分離，也能產(chǎn)生靜電。第35頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一富蘭克林(Benjaminfranklin,1706-1790)。摩擦后的玻璃棒帶正電，而樹脂帶的電為負(fù)電。第36頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一為什么流動空氣會產(chǎn)生靜電呢？因?yàn)闅怏w也是由分子、原子組成，當(dāng)空氣流動時(shí)分子、原子也會發(fā)生“接觸分離”而起電。所以可以這么說，在人們生活的任何時(shí)間、任何地點(diǎn)都有可能產(chǎn)生靜電。要完全消除靜電幾乎不可能，但可以采取一些措施控制靜電使其不產(chǎn)生危害。第37頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一感應(yīng)起電：當(dāng)帶電物體接近不帶電物體時(shí)會在不帶電的導(dǎo)體的兩端分別感應(yīng)出負(fù)電和正電。針對導(dǎo)電材料而言，因電子能在它的表面自由流動，如將其置于一電場中，由于同性相斥，異性相吸，正負(fù)電子就會轉(zhuǎn)移。第38頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一

感應(yīng)靜電起電當(dāng)帶電物體A接近不帶電物體C時(shí)在導(dǎo)體C的a端和b端分別感應(yīng)出負(fù)電和正電A++++++Ca一一一+++b_____·◎B第39頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一靜電的產(chǎn)生摩擦起電感應(yīng)起電傳導(dǎo)起電：針對導(dǎo)電材料而言，因電子能在它的表面自由流動，如與帶電物體接觸，將發(fā)生電荷轉(zhuǎn)移。第40頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一防靜電知識 一、靜電，靜電的產(chǎn)生；

二、電子工業(yè)中的靜電問題；三、靜電防護(hù)操作要求 四、靜電防護(hù)器材； 五、靜電防護(hù)管理及常用標(biāo)識第41頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一二十世紀(jì)中后期靜電危害震驚世界美國從1960年到1975年由于靜電引起的火災(zāi)爆炸事故達(dá)116起1969年底在不到一個(gè)月的時(shí)間內(nèi)荷蘭、挪威、英國三艘20萬噸超級油輪洗艙時(shí)產(chǎn)生的靜電引起相繼發(fā)生爆炸以后引起了世界科學(xué)家對靜電防護(hù)的關(guān)注。我國在石油企業(yè)發(fā)生了30多起較大的靜電事故，其中損失達(dá)百萬元以上的有數(shù)起。第42頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一工業(yè)生產(chǎn)中靜電危害的形成工業(yè)發(fā)展的高速發(fā)展以及高分子材料的迅速推廣應(yīng)用，一些電阻率很高的高分子材料如塑料，橡膠等的制品的廣泛應(yīng)用以及現(xiàn)代生產(chǎn)過程的高速化，使得靜電能積蓄到很高的程度。另一方面，靜電敏感材料的生產(chǎn)和使用，如輕質(zhì)油品，火藥，固態(tài)電子器件等，工礦企業(yè)部門受到靜電的危害也越來越突出，靜電危害造成了相當(dāng)嚴(yán)重的后果和損失。第43頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一二、電子工業(yè)中的靜電問題集成電路元器件的線路縮小，耐壓降低，線路面積減小，使得器件耐靜電沖擊能力的減弱，靜電電場（StaticElectricField）和靜電電流（ESDcurrent）成為這些高密度元器件的致命殺手。同時(shí)大量的塑料制品等高絕緣材料的普遍應(yīng)用，導(dǎo)致產(chǎn)生靜電的機(jī)會大增。日常生活中如走動，空氣流動，搬運(yùn)等都能產(chǎn)生靜電。人們一般認(rèn)為只有CMOS類的晶片才對靜電敏感，實(shí)際上，集成度高的元器件電路都很敏感。第44頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一靜電對電子元件的影響

（1）靜電吸附灰塵，改變線路間的阻抗，影響產(chǎn)品的功能與壽命。（2）因電場或電流破壞元件的絕緣或?qū)w，使元件不能工作（完全破壞）。（3）因瞬間的電場或電流產(chǎn)生的熱，元件受傷，仍能工作，壽命受損。第45頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一靜電損傷的特點(diǎn)：1.隱蔽性人體不能直接感知靜電，除非發(fā)生靜電放電，但發(fā)生靜電放電，人體也不一定能有電擊的感覺。這是因?yàn)槿梭w感知的靜電放電電壓為2-3KV。2.潛伏性有些電子元器件受到靜電損傷后性能沒有明顯的下降，但多次累加放電會給器件造成內(nèi)傷而形成隱患，而且增加了器件對靜電的敏感性。已產(chǎn)生的問題并無任何方法可治愈。3.隨機(jī)性電子元件什么情況下會遭受到靜電破壞呢？可以這么說，從一個(gè)元件生產(chǎn)后一直到它損壞以前所有的過程都受到靜電的威脅，而這些靜電的產(chǎn)生也具有隨機(jī)性。由于靜電的產(chǎn)生和放電都是瞬間發(fā)生的，及難預(yù)測和防護(hù)。第46頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一4.復(fù)雜性靜電放電損傷分板工作，因電子產(chǎn)品的精細(xì)，微小的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)而費(fèi)時(shí)、費(fèi)事、費(fèi)錢，要求較復(fù)雜的技術(shù)往往需要使用掃描電鏡等精密儀器，即使如此有些靜電損傷現(xiàn)象也難以與其他原因造成的損傷加以區(qū)別，使人誤把靜電損傷失效當(dāng)作其它失效，這是對靜電放電損害未充分認(rèn)識之前，常常歸咎于早期失效或情況不明的失效，從而不自覺的掩蓋了失效的真正原因。5.嚴(yán)重性ESD問題表面上看來只影響了制成品的用家，但實(shí)際上亦影響了各層次的制造商，如：保用費(fèi)、維修及公司的聲譽(yù)等等。第47頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一

ESD是什么意思ESD是ElectroStaticDischarge“靜電放電”的縮寫。

ElectroStaticDamage“靜電破壞”在20世紀(jì)中期以后，隨著工業(yè)技術(shù)的迅速發(fā)展，ESD問題越來越受到人們的重視第48頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一不同濕度下各種操作時(shí)的人體電位相對濕度人體電位（KV）操作（10-20)﹪(65-90)﹪在地板/合成纖維地毯上走動351.5在聚乙稀地面上行走120.25從工作椅上站起181.5在工作臺上操作60.1從印刷電路上拉下膠帶121.5印刷電路板薄膜包裝163用橡皮清潔電路121第49頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一

器件所能承受的靜電電壓器件類型靜電破壞電壓（V）VMOS30~1800OP-AMP（operationalamplifier運(yùn)算放大器）190~2500第50頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一器件人體靜電電壓幾百到幾千伏幾千到幾萬伏第51頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一生產(chǎn)產(chǎn)所中的靜電危害源物體或工藝加工材料或活動人站起、行走、操作工作服椅子組裝、清洗、測試和維修區(qū)第52頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一電子工業(yè)哪些過程會產(chǎn)生靜電危害元件制造過程：切割、連線、檢驗(yàn)印刷電路版生產(chǎn)過程：儲存、裝配設(shè)備使用過程：安裝、試驗(yàn)設(shè)備維修過程：拆卸、檢驗(yàn)從元件的制造、使用到維修的任一環(huán)節(jié)，靜電已成為電子工業(yè)的隱形的致命殺手。第53頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一小結(jié)任何兩個(gè)不同材質(zhì)的物體接觸后再分離即可產(chǎn)生靜電。摩擦的實(shí)質(zhì)是一種接觸分離過程。當(dāng)帶電物體接近不帶電物體時(shí)會感應(yīng)靜電。大部分器件的靜電破壞電壓都在幾百伏至幾千伏，而在干燥的環(huán)境中人活動所產(chǎn)生的靜電電壓可達(dá)幾千伏到幾萬伏。靜電危害的特點(diǎn)：隱蔽性、潛在性、隨機(jī)性、復(fù)雜性。第54頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一防靜電知識 一、靜電，靜電的產(chǎn)生； 二、電子工業(yè)中的靜電問題；

三、靜電防護(hù)操作要求 四、靜電防護(hù)器材； 五、靜電防護(hù)管理及常用標(biāo)識第55頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一三、靜電防護(hù)操作要求

（一）ESD防護(hù)的意義

1、減少損失（美國一年的損失200多億美金，其中電子工業(yè)的損失超過100多億美金）

2、提高產(chǎn)品質(zhì)量和可靠性

3、提高生產(chǎn)效率

4、靜電防護(hù)回報(bào)達(dá)1：95以上第56頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一（二）靜電防護(hù)主要有下列幾點(diǎn)

1、盡量減少靜電荷的產(chǎn)生

2、對已產(chǎn)生的靜電荷盡快予以消除

3、最大限度地減少靜電危害

4、嚴(yán)格靜電防護(hù)管理，以保證各項(xiàng)措施的有效執(zhí)行第57頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一靜電防護(hù)的具體措施一、防止靜電的產(chǎn)生：1、控制靜電的生成環(huán)境：（1）、濕度控制。在不致導(dǎo)致器材或產(chǎn)品腐蝕生銹或其他危害前提下，盡量加大濕度（2）、溫度控制。在可能條件下盡量降低溫度，包括環(huán)境溫度和物體接觸溫度（3）、塵?？刂?。防止附著（吸附）帶電的重要措施（4）、地板、桌椅面料和工作臺墊應(yīng)由防靜電材料制成，并正確接地（5）、靜電敏感產(chǎn)品的運(yùn)送傳遞和存儲及包裝與拆包裝應(yīng)采取靜電防護(hù)措施第58頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一2、防止人體帶電（1）、配戴防靜電腕帶（2）、穿戴防靜電服裝、衣、帽（3）、穿戴防靜電鞋襪、腳鏈（4）、配戴防靜電手套、指套（5）、嚴(yán)格禁止與工作無關(guān)的人體和動（例如做操、打鬧、梳頭發(fā)、吃東西等）（6）、進(jìn)行離子風(fēng)浴第59頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一3、材料選用要求使用靜電導(dǎo)電材料和靜電耗散材料4、工藝控制措施（1）、制定并實(shí)施防靜電操作程序（2）、使用防靜電周轉(zhuǎn)、運(yùn)輸盤、盒、箱及其他容器、小車（3）、使用防靜電工具（烙鐵、吸錫器等）（4）、采用防靜電包裝第60頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一二、減少和消除靜電荷

1、接地

（1）、地板和工作桌、椅、臺面、臺墊正確接地（2）、人體接地（3）、工具（烙鐵、吸錫器、臺架、運(yùn)輸小車等）接地設(shè)備、儀器等接地第61頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一2、中和

針對場所和帶電物體的形狀、特點(diǎn)，選用適宜類形的靜電消除器具、器材、產(chǎn)品、場所、設(shè)備和人體上的靜電3、參雜1在非導(dǎo)體材料、器具的表面通過噴、涂、鍍、印、貼等方式附加上一層物質(zhì)以增加表面電導(dǎo)率，加速電荷的泄漏與釋放

第62頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一三、減少靜電危害

1、提高產(chǎn)品自身抗靜電能力（1）、對CMOS等靜電敏感集成電路采用輸入、輸出保護(hù)電路設(shè)計(jì)（2）、對敏感元器件進(jìn)行靜電防護(hù)設(shè)計(jì)（3）、對靜電敏感電子組件和電子設(shè)備，采用抗靜電防護(hù)設(shè)計(jì)第63頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一2、確保設(shè)備、設(shè)施和作業(yè)場所的靜電安全

（1）、保護(hù)作業(yè)場所各種接地設(shè)施和系統(tǒng)正確和有效接地（2）、嚴(yán)格靜電安全作業(yè)操作規(guī)程第64頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一四、嚴(yán)格防靜電管理

1、建立健全責(zé)任制和規(guī)章制度

（1）、建立健全各類人員（領(lǐng)導(dǎo)者、技術(shù)和管理人員、操作人員）的靜電安全防護(hù)管理職責(zé)，并有檢查制度（2）、編制具體詳細(xì)的防靜電操作規(guī)程（3）、對設(shè)備、裝置、器材、器具、工具等的防靜電性能要求建立定期檢查制度第65頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一2、培訓(xùn)教育

（1）、針對領(lǐng)導(dǎo)者、管理和技術(shù)人員、操作人員等不同層次和不同崗位的人員，實(shí)施有關(guān)防靜電意識、知識、技術(shù)和安全要求教育（2）、針對不同崗位操作人員進(jìn)行操作技能培訓(xùn)及考核第66頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一3、警示裝置、標(biāo)記、及符號的使用（1）、應(yīng)在靜電敏感產(chǎn)品上和外包裝件上做出警示標(biāo)記或符號（2）、應(yīng)對裝置、設(shè)備中的靜電敏感部件、部位，按照標(biāo)準(zhǔn)的要求做出標(biāo)記或警示符號（3）、應(yīng)對防靜電作業(yè)場所（工作區(qū)）做出規(guī)定的特別的標(biāo)記第67頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一4、按標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定進(jìn)行檢測試驗(yàn)

（1）、對有防靜電性能要求的工具、器具、服裝、鞋襪、地面、桌椅和工作臺墊等應(yīng)定期檢查，使之保持合格狀態(tài)（2）、對人體和設(shè)備、裝置、系統(tǒng)的接地狀況應(yīng)按規(guī)定檢測（3）、對產(chǎn)品的靜電敏感度（抗擾度）應(yīng)按標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定進(jìn)行試驗(yàn)，并建立質(zhì)量分析和反饋制度第68頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一（三）、靜電防護(hù)工作的主要特點(diǎn)1、安全（包刮環(huán)境、人身及設(shè)備）防護(hù)與產(chǎn)品防護(hù)有時(shí)是并存的，特別是電子產(chǎn)品。2、加工制造過程中對半成品的防護(hù)與使用、維護(hù)、包裝、檢測、拆包裝、裝配、調(diào)試過程中對產(chǎn)成品的防護(hù)并重。3、防止靜電的發(fā)生與消除已產(chǎn)生的靜電荷。4、靜電防護(hù)工作中，技術(shù)措施與管理措施均不可缺少，他們是相輔相成的。第69頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一（四）、靜電防護(hù)工作的主要目的1、靜電防護(hù)工作大體分為兩個(gè)方面，其主要目的有3個(gè)（1）兩個(gè)方面是：安全防護(hù)與產(chǎn)品防護(hù)。（2）3個(gè)目的是：保證人員和生產(chǎn)場所的安全，防止火災(zāi)與爆炸，提高工藝成品率，確保產(chǎn)成品的工作可靠性。第70頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一防靜電知識 一、靜電，靜電的產(chǎn)生； 二、電子工業(yè)中的靜電問題；三、靜電防護(hù)操作要求

四、靜電防護(hù)器材； 五、靜電防護(hù)管理及常用標(biāo)識第71頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一防靜電器具、器材術(shù)語1、防靜電服為了防止人體和衣物的靜電積聚，用防靜電織物為衣料而縫制的工作服2、防靜電腕帶由外絕緣金屬線或?qū)щ娝芰辖M成的軟扣帶。該腕帶一端戴在操作者手腕上，另一端接在防靜電地線上，以便泄放人體積聚的靜電荷3、防靜電鞋鞋底用電阻變化小的防靜電材料制作，不僅具有防止人體靜電積聚的性能，而且還能避免因偶然觸及工頻電（220V以下）而導(dǎo)致人體遭受電擊的鞋類第72頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一5、防靜電真空吸錫器

由小型真空泵和專用吸錫烙鐵組成的裝置。該裝置能快速拆卸元器件，而不損壞元器件和印制板組裝件6、靜電消除器一種能產(chǎn)生消除帶電體上的電荷所必要的正負(fù)離子的設(shè)備或裝置7、離子化靜電消除器凡利用空氣電離以產(chǎn)生為中和帶電體上的表面異性電荷所必須的正負(fù)離子的各種形式靜電消除裝置的統(tǒng)稱第73頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一8、防靜電工作臺墊

敷設(shè)在防靜電安全工作臺上的墊子。該墊子用于泄放人體或?qū)w上積聚的靜電電荷，提供一個(gè)無靜電電荷的工作面9、導(dǎo)靜電地板一種地板，它具有足夠低的電阻以便當(dāng)接地或連接到任何較低電位點(diǎn)時(shí)快速地泄放電荷。導(dǎo)靜電地板以電阻低于1X106歐姆來表征第74頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一靜電材料：指摩擦生電產(chǎn)生超過100V電壓，并且將產(chǎn)生的電壓保持10秒以上的材料。防靜電材料：包括靜電導(dǎo)電材料（表面電阻值小于105Ω）。靜電耗散材料：表面電阻值大于或等于105Ω但小于1012Ω）。絕緣材料：表面電阻值在1012Ω以上的材料。

第75頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一 防靜電材料電阻值（一）１．靜電地線與線體地線、防雷地線、工頻電源中線、地線要分開拉設(shè)，其接地電阻值≤4Ω。２．靜電保護(hù)區(qū)內(nèi)的線體、儀器、設(shè)備、工具應(yīng)接地，其接地電阻值≤4Ω。３．靜電手環(huán)、防靜電臺墊、防靜電地墊限流電阻值為1MΩ～10MΩ。4.鐵頭、電鎖桿的的漏電壓值≤0.2VAC５．靜電膠墊的表面電阻值為106Ω～109Ω。６．靜電元件盒和防靜電周轉(zhuǎn)箱的表面電阻值為105Ω～1011Ω。７．集成電路包裝管的表面電阻值為104Ω～1010Ω。

第76頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一 防靜電材料電阻值（二）８．防靜電海綿的表面電阻值為105Ω～1011Ω。９．防靜電鞋的表面電阻值為105Ω～108Ω。１０。防靜電手指套表面電阻105Ω～1011Ω；１１。防靜電手套表面電阻105Ω～1011Ω。１２。防靜電地板的表面電阻值為105Ω～1010Ω。１３。防靜電袋的表面電阻值為105Ω～1011Ω。１４。防靜電服的表面電阻值為105Ω～1010Ω。

第77頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一

ESD防護(hù)工作區(qū)

ESD防護(hù)工作區(qū)是由各種ESD設(shè)施、器材及有明確定義的區(qū)域界限形成的工作場地。能抑制靜電荷的積累和靜電壓的產(chǎn)生，并能安全、迅速、有效地消除已產(chǎn)生的靜電荷，原則上要求區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生的靜電壓小于100V。第78頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一4-1ESD控制原理---接地 靜電導(dǎo)體接地人員的接地（腕帶:（0.8~1.2)109Ω

、防靜電/導(dǎo)電膠底鞋對地電阻:0.5×105~1.0×109Ω

）設(shè)備和工具接地:＜4.0Ω(GB50174-93)環(huán)境：地面、貨架、活動設(shè)備對地電阻：

1×105~1×109Ω雷電保護(hù)接地：＜4.0Ω

（最好在1Ω以下）第79頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一4-2ESD控制原理靜電非導(dǎo)體離子消電器放射消電器第80頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一4-3人體ESD控制原理人體是最普遍存在的靜電危害源對于靜電來說，人體是導(dǎo)體。對人體采取接地的措施可以控制人體靜電。第81頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一4-4使靜電從腳導(dǎo)到大地使用靜電地面（防靜電地墊、地毯等）防靜電鞋防靜電襪防靜電膠墊地面對地電阻注意：鞋、地面、襪、鞋墊等必須全是防靜電的，才能保證靜電從腳導(dǎo)向大地。

105Ω＜鞋、地面對地電阻＜109Ω第82頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一4-5使靜電從手導(dǎo)致大地配戴防靜電手環(huán)并接地用手觸摸接地金屬體（如：球）能暫時(shí)釋放人體靜電，但手離開接地金屬后又會產(chǎn)生靜電靜電手環(huán)腕帶對地電阻：

7.5×105~1×108Ω無線腕帶不能起到防靜電作用第83頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一4-6防靜電鞋與腕帶使用中人體安全問題從防靜電的角度考慮時(shí)，人體總的對地電阻越小越好安全要求：鞋的最小值不應(yīng)小于1×105Ω人體必須具有一定的對地電阻，限制意外流過人體上的電流。第84頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一4-7防靜電鞋與腕帶的使用問題1、使用腕帶操作時(shí)不允許斷開，否則會失去接地作用2、在穿用防靜電鞋時(shí)應(yīng)有防靜電襪/鞋墊，鞋與地面必須都防靜電。否則靜電不能從人體導(dǎo)向大地。夾在衣服等不導(dǎo)電物體上的接地裝置，不能釋放人體靜電。第85頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一4-8防靜電包裝袋/容器材料由基材、金屬鍍膜層和熱封層多層復(fù) 合而成，通常是半透明防靜電和電磁屏蔽雙重功能的包裝袋， 通常是不透明。價(jià)格較高第86頁，共99頁，2023年，2月20日，星期一4-9服裝/手套/指套/帽