ESD靜電防護(hù)管理規(guī)范及測量標(biāo)準(zhǔn)

XXX有限公司XX-XX-13-A/2ESD管理規(guī)范及測量標(biāo)準(zhǔn)文件履歷/XXX有限公司 發(fā)布XX-XX-13-A/2XX-XX-13-A/2目錄目的適用范圍規(guī)范性引用文件術(shù)語職責(zé)與權(quán)限ESD職責(zé)異常處理6ESDESDEPAEPA標(biāo)識環(huán)境要求接地要求人員管理要求防靜電物品要求ESDESDESD7．記錄與表格8．附錄[2]XXX股份有限公司ESD管理規(guī)范及測量標(biāo)準(zhǔn)XX-XX-13-A/0目的本標(biāo)準(zhǔn)旨在規(guī)定ESD節(jié)提供明確可靠的ESD率，提高客戶的滿意度。適用范圍（供應(yīng)商和合作方的供應(yīng)鏈體系內(nèi)部要求須不低于本文件標(biāo)準(zhǔn)，當(dāng)高于本標(biāo)準(zhǔn)時(shí)按高標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行）本標(biāo)準(zhǔn)適合于靜電敏感器件靜電敏感電壓大于100V的保護(hù)。規(guī)范性引用文件ANSI—美國國家標(biāo)準(zhǔn)學(xué)會ANSI/ESDS20.20-2007—靜電放電(ESD)協(xié)會標(biāo)準(zhǔn)IEC61340-5-1—國際電工委員會標(biāo)準(zhǔn)GB50169—電氣裝置安裝工程接地裝置施工及驗(yàn)收規(guī)范定義ESD (Electro-StaticDischarge)—靜電放電：當(dāng)帶電體周圍的場強(qiáng)超過周圍介質(zhì)的絕緣擊穿場強(qiáng)時(shí)，因介質(zhì)產(chǎn)生電離而使帶電體上的電荷部分或全部消失的現(xiàn)象。ESSD（ElectrostaticSensitivity靜電敏感器件：ESD器件。EPA（ESDProtected防靜電工作區(qū)：為保障靜電敏感器件(ESSD)免受靜電傷害而采用必要的防靜電材料和設(shè)備建立和裝備起來的HBM（Human-BodyModel）—人體放電模式：描述人體帶了靜電后接觸處于接地的器件，發(fā)生放電的情況。MM（MachineModel）—機(jī)器放電模式：描述設(shè)備、機(jī)器等金屬物體帶了靜電后接觸處于接地的器件，發(fā)生放電的情況。CDM（Charged-DeviceModel）—組件放電模式：描述器件帶靜電后接觸一個(gè)接地的導(dǎo)體發(fā)生放電的情況。ElectrificationByFriction—摩擦起電：[3]ESD管理組ESD管理組長ESD協(xié)調(diào)干事用摩擦的方法使兩物體分別帶有等值異號電荷的過程。Stripping Electrification—?jiǎng)冸x起電：剝離兩個(gè)緊密結(jié)合的物體時(shí)引起電荷分離而使兩物體分別帶電的過程。Attached Electrification—吸附起電：人體由于吸附場所中的帶電微粒而使之產(chǎn)生靜電的過程。Induced ElectrificationElectrostaticDissipation—靜電消散：帶電體上的電荷由于靜電中和,和靜電泄漏,靜電放電而使之部分或全部消失的現(xiàn)象。ElectrostaticNeutralization—靜電中和：帶電體上的電荷與其內(nèi)部和外部相反符號的電荷(電子或離子)的復(fù)合而使所帶靜電部分或全部消失的現(xiàn)象。BreakdownVoltage使電介質(zhì)擊穿的最低電壓。職責(zé)與權(quán)限ESDESDESD度，定期組織ESDESD工程部工程部ESD制造中心制造中心質(zhì)量管理部質(zhì)量管理部ESD采購物流部采購物流部技術(shù)中心技術(shù)中心總裁辦總裁辦ESD人力資源部人力資源部專員ESD專員專員（兼外協(xié)）ESD專員ESD專員專員ESD專員ESD測試員-ESD測試員-ESD測試員-ESD測試員-PQC測試工程師電子倉班長領(lǐng)料員兼5.2職責(zé)詳見下表：序號崗位職責(zé)負(fù)責(zé)全集團(tuán)靜電防護(hù)和管理體系的建立、運(yùn)行和維持，通過定期1）ESD管理組組長組織自查、內(nèi)部審核等方式，對體系存在的問題及時(shí)進(jìn)行糾正和預(yù)防，并組織開展體系內(nèi)的持續(xù)改進(jìn)工作。[4] ESD和工廠糾正、預(yù)防措施的效果驗(yàn)證以及開展持續(xù)改進(jìn)等工作。工程部制造中心技術(shù)中心總裁辦總裁辦人力資源部各部門ESD

落實(shí)、指導(dǎo)和宣貫,包括對各個(gè)部門和異地工廠關(guān)于EPAEPA作。1、應(yīng)按照本標(biāo)準(zhǔn)的要求，作好本部門EPA區(qū)域的劃分，并按照EPA的管理要求，在工程部的指導(dǎo)下組織制定、實(shí)施系統(tǒng)的靜電防護(hù)措施，指定專人按本標(biāo)準(zhǔn)定期檢測、檢查本區(qū)域各項(xiàng)靜電防護(hù)效果，確保符合本標(biāo)準(zhǔn)各項(xiàng)要求。針對存在的問題組織開展糾正和預(yù)防工作，配合管理小組做好持續(xù)改善的相關(guān)工作；2ESD提出申購，總部或各異地工廠采購部門統(tǒng)一采購；3、制造中心或各異地工廠的PQC負(fù)責(zé)以上項(xiàng)目的來料檢驗(yàn)，也包括著裝類ESD防護(hù)品，合格后才能領(lǐng)用；4ESD（倉庫、工程等）由制造中心或各異地工廠設(shè)備科電工負(fù)責(zé)；②管理部門（如樣機(jī)室、實(shí)驗(yàn)室等）由總裁辦電工負(fù)責(zé)。5驗(yàn)證、評估糾正和預(yù)防措施的落實(shí)效果。負(fù)責(zé)著裝類ESD防護(hù)品采購及更換著裝類ESD防護(hù)品。負(fù)責(zé)組織ESD培訓(xùn)；同時(shí)負(fù)責(zé)本部門ESDESD。負(fù)責(zé)各職能部門內(nèi)部ESD（一級、二級）培訓(xùn)。5.3異常處理ESDESD員處，由ESDESDESDESD組長，由ESD[5]工作內(nèi)容與要求ESD什么叫靜電，即相對靜止不動的電荷，通常指因不同物體之間相互摩擦而產(chǎn)生的在物體表面所帶的正負(fù)電荷。因?yàn)殡娮赢a(chǎn)品生產(chǎn)中靜電放電是靜電危害最主要的部分，所以ESD2000V，靜電不易感知的原因：電量小，放電時(shí)間短。靜電產(chǎn)生的原因生電子的得失，使物質(zhì)失去電平衡，產(chǎn)生靜電現(xiàn)象；靜電的危害失效的漏電流增加，擊穿電壓變化對器件的功能性破壞；害的產(chǎn)品返工、返修，增加生產(chǎn)費(fèi)用，影響企業(yè)的經(jīng)濟(jì)效益。ESD分別為突然性失效，潛在性失效；突然性失效是指元器件受到靜電放電損傷后，突然完全喪失其規(guī)定的功能，主要表現(xiàn)為開路、短路或參數(shù)嚴(yán)重漂移；潛在性失效是指靜電放電能量較低，僅在元器件內(nèi)部造成輕微損傷，放電后器件電參數(shù)仍然合格或略有變化，但器件的抗電過應(yīng)力能力已經(jīng)明顯削弱，或者使用壽命明顯縮短，再受到工作應(yīng)力或經(jīng)過一段時(shí)間后將進(jìn)一步退化，直至造成徹底失效。靜電消除靜電消除方法有：化學(xué)消除法如在物品表面上涂上一層抗靜電劑，物理消除法如接地、中和、濕度控制等進(jìn)行靜電消除。防靜電材料的時(shí)效性防靜電材料按防靜電有效性時(shí)間長短分為：暫時(shí)性防靜電材料、永久性防靜電材料。暫時(shí)性防靜電材料一般使用表面噴涂防靜電劑或材料混入防靜電劑制成，有效性從幾個(gè)月到二年不等；永久性防靜電材料一般使用填充添加炭粉、碳纖維、金屬及金屬氧化物等工藝制成。[6]ESD本司靜電電壓管控水平為＜100V。ESDAESDHBM（人體模型、MM（機(jī)器模型、CDM（帶電器件模型）三種模型最為常見，聯(lián)系最為密切。3B≥80003B≥8000MMHBMCDMclassVoltageRange(Volts)classVoltageRange(Volts)classVoltageRange(Volts)M1A<250A<125C1<125M1B25to<500B125to<250C2125to<250M1C50to<1001A250to<500C3250to<500M2100to<2001B500to<1000C4500to<1000M3200to<4001C1000to<2000C51000to<1500M4≥40022000to<4000C61500to<20003A4000to<8000C7≥2000三種模型放電帶來的危害差異極大，其中CDMHBMMMHBM40器件種類ESD器件種類ESD（HBMV）汽車電子產(chǎn)品是否采用硬盤磁頭10-100V未使用結(jié)型場效應(yīng)晶體管140-7000V使用聲波表面濾波器150-500V使用VMOS半導(dǎo)體器件30-1800V未使用MOS場效應(yīng)管器件100-200V使用砷化鎵場效應(yīng)管器件100-300V使用存儲器100V使用運(yùn)算放大器190-2500V使用C-MOS250-3000V使用肖特基二極管300-2500V使用薄膜電阻300-3000V使用[7]雙極型晶體管射極耦合邏輯電路380-7000500VV使用使用LED500-8000V使用可控硅器件600-1000V使用HBM100V防靜電要求，本公司整個(gè)過程將靜電管控在100VEPA則應(yīng)定義為防靜電區(qū)，否則可定義為非防靜電區(qū)。防靜電區(qū)域的邊界范圍由工程部與區(qū)域防靜電責(zé)任人共同確定。EPA等級劃分應(yīng)根據(jù)，該區(qū)域中操作物料的靜電敏感級別和生產(chǎn)時(shí)存在靜電放電的風(fēng)險(xiǎn)程度進(jìn)行EPA等級的劃分，公司EPA劃分為一級EPA和二級EPA兩個(gè)等級。EPAEPAClass0AClass0AEPA，SMTICEPA二級EPA如組裝、包裝等區(qū)域，須實(shí)施最基本的靜電放電控制措施。一級EPA和二級EPA區(qū)域基本的ESD控制措施要求按照下表實(shí)施：ESD控制措施一級EPA二級EPA靜電電壓控制標(biāo)準(zhǔn)＜100V＜100V區(qū)域封閉性要求不要求出入口單向控制可選不要求防靜電標(biāo)識要求要求防靜電地板或地墊要求要求防靜電桌墊要求要求防靜電腕帶要求要求防靜電手套、指套要求要求防靜電褲要求不要求防靜電衣要求不要求防靜電鞋要求要求[8]XX-XX-13-A/2防靜電工作椅要求要求腕帶測試儀和人體電阻測試儀要求要求ESD自動測試記錄儀要求不要求防靜電烙鐵要求要求防靜電吸錫器要求要求靜電產(chǎn)生材料禁止帶入EPA要求要求非防靜電包裝的拆包區(qū)域外操作區(qū)域外操作或獨(dú)立工位操作離子風(fēng)靜電消除器要求可選用于產(chǎn)品的常用裝配、調(diào)試及輔全部要求部分要求助工具防靜電防靜電周轉(zhuǎn)工具要求要求防靜電包裝材料要求要求防靜電文件夾要求可選防靜電液可選可選防靜電工作區(qū)（EPA）包括但不限于以下區(qū)域：IQCSMTIC燒錄房等（EPA助工具防靜電防靜電周轉(zhuǎn)工具要求要求防靜電包裝材料要求要求防靜電文件夾要求可選防靜電液可選可選EPA區(qū)域等級劃分表EPA區(qū)域IQC電子料倉庫

一級EPA●●

二級EPA物料分發(fā)區(qū)域 ●實(shí)驗(yàn)室 ●樣機(jī)室 ●SMT車間 裝配車間光電車間 ●IC燒錄房 包裝車間

●EPA[9]XX-XX-13-A/2EPA標(biāo)識EPA作用是警示任何靠近EPAESSDESSDEPA如“注意：靜電安全區(qū)”或其同意語EPA的接地標(biāo)識說明；（下圖：防靜電標(biāo)志，其標(biāo)志應(yīng)置于明顯且不易受到磨損的地方；防靜電標(biāo)志經(jīng)過防靜電液處理的物品和場所也應(yīng)有防靜電標(biāo)志（見下圖：防靜電液處理標(biāo)志：防靜電液處理標(biāo)志環(huán)境要求在進(jìn)行EPA環(huán)境設(shè)計(jì)時(shí)，為達(dá)到靜電防護(hù)的要求應(yīng)遵循以下原則：抑制靜電荷的積累和靜電壓的產(chǎn)生；安全、迅速、有效的消除已產(chǎn)生的靜電荷；確定靜電防護(hù)所應(yīng)達(dá)到的程度。如一級EPA100VEPA具有如下的基本環(huán)境要求：①明確的區(qū)域界限和防靜電警示標(biāo)志；[10]XX-XX-13-A/2②對區(qū)域內(nèi)的所有導(dǎo)體包括人員可靠接地；③消除一切不必要的靜電產(chǎn)生源；④ESSD器件必須遠(yuǎn)離靜電源至少30厘米以上。EPAEPA求（EPA的溫濕度控制要求：EPA的溫濕度控制要求工作場所溫度濕度記錄周期管理方案IQC檢驗(yàn)區(qū)域25±3℃40～60%RH1次/天溫濕度記錄表實(shí)驗(yàn)室25±3℃40～60%RH1次/天溫濕度記錄表樣機(jī)室25±3℃40～60%RH1次/天溫濕度記錄表SMT車間25±3℃40～60%RH全天候電腦自動記錄表IC燒錄房25±3℃40～60%RH1次/天溫濕度記錄表光電車間25±3℃40～60%RH全天候電腦自動記錄表電子料倉庫25±3℃40～60%RH全天候電腦自動記錄表裝配車間25±5℃30～70%RH1次/天溫濕度記錄表其他防靜電工作區(qū)25±5℃30～70%RH1次/天溫濕度記錄表接地要求接地是靜電釋放的關(guān)鍵措施，EPA內(nèi)必須有獨(dú)立可靠的防靜電接地系統(tǒng)，工作中產(chǎn)生的靜電才能安全有效地釋放，避免靜電的累積。（防靜電地線線共用。接地電阻：指接地體與大地之間的接觸電阻，靜電保護(hù)接地電阻應(yīng)小于4Ω。地線的埋設(shè)埋設(shè)地線的原則是埋設(shè)地點(diǎn)的土壤電阻系數(shù)越小越好接地體與土壤的接觸面積要大，接觸密度要高，接觸要緊。埋設(shè)地線的注意事項(xiàng)：①接地線與接地線頭必須焊接牢固，要有足夠的機(jī)械強(qiáng)度，引線不要過長；②要采用耐腐蝕的接地金屬體；③要保持接地體附件土質(zhì)的質(zhì)量，并不斷采取措施防止接地電阻變大；④防靜電地線必須是永久性的；⑤垂直接地體、水平接地體的埋設(shè)要求（見下圖：參考標(biāo)準(zhǔn)GB50169電氣裝置安裝工程接地裝置施工及驗(yàn)收規(guī)范）：[11]XX-XX-13-A/2參考標(biāo)準(zhǔn)GB50169電氣裝置安裝工程接地裝置施工及驗(yàn)收規(guī)范接地線共接地點(diǎn)接地導(dǎo)線采用黃綠色，導(dǎo)線直徑不得低于2.5mm2。等電位連接（見下圖：等電位連接。等電位連接[12]XX-XX-13-A/2XX-XX-13-A/2人員管理要求人體電壓EPA電衣、帽、手套、指套、鞋、手腕帶等方式加以控制，使得人體產(chǎn)生的靜電安全地釋放，達(dá)到ESD5mA，因此手腕帶、鞋、工作椅必須具有一定的接地電阻。防靜電手腕帶（松緊圈（導(dǎo)電織物或?qū)щ娤鹉z，手腕帶外表面應(yīng)該是絕緣或耗散材料。1MΩ的限流電阻并與腕ESD身傷害。該電阻的選擇原則是，應(yīng)保證操作者在觸及高電壓時(shí)流過人體的電流不大于0.5mA100V；②無繩防靜電手腕帶的性能對環(huán)境濕度依賴性太強(qiáng)，禁止使用無繩腕帶。為了可靠的監(jiān)控腕帶接地的情況，在一級EPA區(qū)域里或一些重點(diǎn)的防靜電控制工位應(yīng)該使用ESD接地保護(hù)檢測控制器，可自動檢測防靜電手腕帶的接地，當(dāng)防靜電手腕帶接地失敗時(shí)實(shí)時(shí)報(bào)警，提醒操作人員糾正，從而保證人體皮膚靜電能及時(shí)釋放掉；③防靜電手腕帶佩戴方法：將手腕帶扎于手腕處，不能松動，手腕感覺四周握緊。保證手腕帶內(nèi)表面與皮膚良好接觸，接地線與ESD接地點(diǎn)連接；④防靜電手腕帶接地應(yīng)采用香蕉插頭，插孔的連接方式，應(yīng)避免使用鱷魚夾的接地方式；⑤每班開工前，每位操作員都應(yīng)自檢防靜電手腕帶是否正常，只有測試合格，方可進(jìn)入靜電敏感區(qū)域工作；2.5過它的有效長度，不可折斷防靜電電線，不可沖洗防靜電手腕帶，拔插時(shí)不可通過拉防靜電線來完成，不可在防靜電手腕帶金屬片上加水等，要注意正確使用和妥善保護(hù)好防靜電手腕帶；⑦先佩戴好防靜電手腕帶，再拿靜電敏感器件ESSD防靜電手腕帶。在實(shí)際工作中要注意順序，養(yǎng)成良好習(xí)慣；⑧由于佩戴防靜電手腕帶是人體最基本的靜電控制措施，因此所有操作ESSD的人員都要佩[13]戴防靜電手腕帶，包括實(shí)驗(yàn)室、樣機(jī)室人員。防靜電衣及防靜電帽ESSD用防靜電織物作為面料而制成的防靜電衣、帽，常見樣式有連體式、分體式、大褂式等。防靜電服使用要求如下：①進(jìn)入EPA區(qū)域的人員必須按規(guī)定穿防靜電衣。防靜電衣須在更衣室更換，不允許在ESD區(qū)域穿或脫防靜電衣；②凡在工作中需接觸ESSD的人員，均需戴防靜電帽、穿防靜電衣，防靜電帽的材料選用和使用要求與防靜電衣相同；③禁止在防靜電衣上附加或佩戴與工作無關(guān)的金屬物品或裝飾品；④不允許把非防靜電衣的衣領(lǐng)翻出蓋住防靜電衣的衣領(lǐng)，防靜電衣必須將拉鏈拉好或?qū)⒖圩涌蹪M扣好，非防靜電衣的長度不能長過靜電衣，不準(zhǔn)將防靜電衣的袖子挽起，不準(zhǔn)將手表、首飾等與工作無關(guān)的裝飾品露出防靜電衣外；⑤防靜電衣應(yīng)保持清潔，工作服的洗滌應(yīng)盡量簡易方法進(jìn)行，采用中性洗滌劑，要避免受較強(qiáng)的機(jī)械和化學(xué)操作的洗滌；⑥質(zhì)量管理部過程質(zhì)量每月應(yīng)對防靜電衣特性進(jìn)行檢測，對于檢測不合格的防靜電衣應(yīng)停止使用，立即更換。防靜電手套或指套與工衣相同。防靜電手套指套是防止人體接觸ESSD時(shí)造成ESSD的損傷，并防止操作中產(chǎn)生靜電，凡在工作中需直接接觸ESSD的操作者，均需使用防靜電手套或指套。長使用期限不超過半個(gè)月，逾期一律以舊換新（在部門ESD。一些站立式并有較大移動性質(zhì)的操作，在不便使用防靜電手腕帶的崗位，如流動操作崗位，須使用防靜電手套。防靜電鞋①進(jìn)入EPA區(qū)域的人員必須穿防靜電鞋，須經(jīng)過人體靜電綜合測試儀，測試不合格時(shí)不允許進(jìn)入EPA區(qū)域，須將測試不合格物品進(jìn)行更換或清潔，測試合格后方可進(jìn)入；②防靜電鞋的使用要求：[14]XX-XX-13-A/2結(jié)構(gòu)；EPAEPA（體綜合電阻）應(yīng)該滿足墊，特別是絕緣性鞋墊。不得在鞋底黏貼絕緣膠片或其他涂料，保持鞋底的清潔；坐式操作的操作員應(yīng)保持靜電鞋接觸地面，不得把腳抬離地面放置。電鞋應(yīng)停止使用，立即更換。EPA①進(jìn)入EPA（儀及移動式人體綜合測試儀），EPA區(qū)，須將測試不合格物品進(jìn)行更換或清潔，測試合格后方可進(jìn)入；門禁式人體綜合測試儀 移動式人體綜合測試儀[15]XX-XX-13-A/2②一級EPASMTIC燒錄房著裝要求；潔凈車間著裝要求[16]XX-XX-13-A/2③二級EPA區(qū)域著裝要求：須穿戴防靜電衣、防靜電帽、防靜電手套、防靜電手腕帶、防靜電鞋.④外部人員進(jìn)入制造現(xiàn)場（見下圖：外部人員進(jìn)入制造現(xiàn)場著裝穿戴說明），一律按照一級EPA區(qū)域著裝要求進(jìn)行管理，進(jìn)入制造現(xiàn)場前須進(jìn)行人體綜合測試（見下圖：人體綜合測試），測試不合格時(shí)不允許進(jìn)入制造現(xiàn)場，須將測試不合格物品進(jìn)行更換或清潔，測試合格后方可進(jìn)入，進(jìn)入制造現(xiàn)場時(shí)還需進(jìn)行靜電釋放（見下圖：靜電釋放）。人體綜合測試臨時(shí)或外來人員的防靜電管理（外來（修理工、裝飾工等），進(jìn)入防靜電區(qū)域時(shí)，必須遵守防靜電區(qū)域和生產(chǎn)過程的各項(xiàng)防靜[17]XX-XX-13-A/2XX-XX-13-A/2電要求；②臨時(shí)（外來）人員在參觀或作業(yè)過程中，不得靠近，操作ESSD的工作人員，也不得靠近或徒手接觸含有ESSD的在制品或成品；（開關(guān)高壓電源等）應(yīng)事前采取防范措施，或安排在非生產(chǎn)時(shí)間內(nèi)施工作業(yè)；④防靜電區(qū)域內(nèi)需要進(jìn)行某種維護(hù)、修理作業(yè)時(shí)，維護(hù)人員應(yīng)攜帶并使用防靜電維修包，并遵守防靜電區(qū)域的有關(guān)規(guī)定。防靜電物品要求防靜電地板EPAEPA毯、塑料及普通地板革、拋光打蠟?zāi)镜匕?、普通乙烯樹脂的地板等。?dǎo)體雜質(zhì)等。防靜電地板。1MΩ的電阻接地。保證地板防靜電性能的持久性。防靜電工作臺帶電組件內(nèi)部短路。防靜電工作臺主要采用在工作臺上鋪設(shè)防靜電臺墊，防靜電臺墊必須滿足下面要求：①防靜電臺墊的尺寸應(yīng)不小于工作臺面的大??；②防靜電臺墊必須正面（即防靜電面，綠色和灰色）朝上、背面（即導(dǎo)電面，黑色）朝下鋪設(shè)；③防靜電臺墊連接到防靜電工作臺的公共接地點(diǎn)，再由工作臺的公共接地點(diǎn)直接連接到接[18]地母線上接地。每塊臺墊必須且只需接一根防靜電地線，各個(gè)防靜電工作臺的接地線不能相互串接，應(yīng)以并聯(lián)方式與接地母線連接；④壓接防靜電臺墊的靜電接地線聯(lián)接端子時(shí)應(yīng)從防靜電臺墊的正面壓下，使其穿過臺墊并緊固，以保證電接觸良好；靜電劑進(jìn)行清潔。工作椅EPA造革面、化纖面料或塑料面的椅子，不能用木制椅代替防靜電椅。否則接地效果非常不好。在清潔的導(dǎo)體地板上，效果會好一些。但是在通常的制造區(qū)域，接地鏈防靜電包裝袋ESD具有屏蔽作用的防靜電袋。防靜電容器ESSD防靜電周轉(zhuǎn)車ESSD或含有ESSD良好可在車底加裝金屬鏈，使用中應(yīng)避免導(dǎo)電車輪或金屬鏈脫離地面的情況出現(xiàn)。工具及輔助材料防靜電烙鐵、防靜電真空吸錫器等電動、氣動手工工具在使用前應(yīng)首先接地。工具上需要接觸ESSDIC拔器、鑷子、吸錫器等必須是靜電耗散材料的工具。ESSD腕帶。防靜電液[19]防靜電液（防靜電劑）屬于一種導(dǎo)電性噴劑，均勻噴涂于材料表面，以改善材料表面的導(dǎo)電性能，主要應(yīng)用于絕緣材料表面，使其滿足防靜電要求，屬于一種臨時(shí)、應(yīng)急、短期的防靜電處理措施①在EPA區(qū)域內(nèi)的個(gè)別夾具、工裝、工具等制作材料為非ESD材料，暫時(shí)無法替代也無法拿出EPA區(qū)域外，要求進(jìn)行噴防靜電液處理從而達(dá)到防靜電目的；②噴防靜電液前應(yīng)對非ESD材料表面進(jìn)行清理干凈，并在其表面均勻地噴涂一層防靜電液，30分鐘左右，防靜電液干爽后，通知ESD專員測試確定其摩擦后靜電壓應(yīng)小于100V；③對EPA區(qū)域內(nèi)的非ESD材料噴防靜電液的頻率為每月一次；④對采用表面處理（防靜電液）來提高起防靜電性能的效果要保證每月檢查；⑤防靜電液原則上只允許對夾具、工裝、工具等上的非加電部位進(jìn)行涂覆，不允許對產(chǎn)品和器件進(jìn)行防靜電劑涂覆；⑥防靜電液的使用必須進(jìn)行試驗(yàn)測試，不能影響工裝、裝備、產(chǎn)品的電性能，避免漏電現(xiàn)象的發(fā)生。ESD接地線測試要求：限流電阻阻值的選擇應(yīng)保證漏泄電流不超過5mA，下限阻值應(yīng)為1MΩ。防靜電工作區(qū)必須有安全可靠的防靜電接地裝置，接地電阻小于4Ω。確保接地線有效接地；對于生銹或接觸不好的接地線要及時(shí)更換；對于松動的接地線要重新連接；對于檢查不合格的接地線必須采取措施并立即解決；6.5.10防靜電地板測試要求：40%RH當(dāng)?shù)匕迳细街薪^緣性的油膜、樹脂、橡膠和臟污時(shí)，應(yīng)根據(jù)情況定期清除；清掃防靜電地板時(shí)不得使用絕緣性的地板蠟；嚴(yán)禁非ESDEPA導(dǎo)電和耗散材料并安裝導(dǎo)電絲或?qū)щ娿~箔與靜電主線連接；地板材料采用PVC1試；地板測試不合格時(shí)，須立即報(bào)告區(qū)域負(fù)責(zé)人，并立即進(jìn)行維護(hù)；6.5.10防靜電工作臺測試要求：[20]工作臺墊和地墊均應(yīng)采用防靜電材料。防靜電臺墊和地墊上任意一點(diǎn)到靜電地線上的接地電阻為＜1.0×109Ω，防靜電臺墊上靜電泄放至100V以下的時(shí)間小于1秒。防靜電工作臺在日常使用中，必須確保正常接地狀態(tài)；等應(yīng)放入靜電文件袋中；使用中性清洗劑或防靜電劑清潔防靜電臺墊和地墊；6.5.10防靜電工作椅測試要求：防靜電工作椅上任意一點(diǎn)到靜電地線上的接地電阻為＜1.0×109Ω，工作椅表面的摩擦電壓必須小于100V或高靜電電壓泄放到100V以下的時(shí)間小于26.5.10防靜電工具測試要求：帶有金屬外殼的便攜工具及儀器、設(shè)備提供的電源插頭座，應(yīng)選用安全型；<4Ω＜20mV；6.5.10防靜電手腕帶測試要求：接地線電阻1MΩ，可接受范圍1MΩ±20%，手腕帶內(nèi)側(cè)電阻＜1.0×105Ω，手腕帶外側(cè)電阻＜1.0×107Ω，靜電泄放至100V以下的時(shí)間小于0.1s，防靜電手腕帶測試要求見第6.5.10條。防靜電衣、帽測試要求：防靜電性能檢測條件：溫度25±3℃，相對濕度25±5%，2100V6.6.10防靜電手套、指套測試要求：防靜電手套和指套測試要求按6.5.7要求執(zhí)行。防靜電鞋測試要求：防靜電性能檢測條件：溫度25±3℃，相對濕度25±5%，2100VEPA（人體綜合電阻）6.6.10[21]6.5.10

ESD技術(shù)ESD控技術(shù)ESD控產(chǎn)品要求項(xiàng)目制項(xiàng)目檢測方法技術(shù)指標(biāo)接設(shè)備接ANSI/ESD1.0Ω交流地/地體S6.1阻抗連檢測儀器搖表接系統(tǒng)接系統(tǒng)輔助接地ANSI/ESDS6.1工作臺ANSI/ESDS4.1面ANSI/ESD

ANSI/ESDS6.1

技術(shù)指標(biāo)1.0Ω流阻抗到設(shè)備接地

測試/測試/鉗形表1次/半年/鉗形表1次/季度兆歐表＜100V壓表1次/周

器

檢查頻率 管理方案靜電測量記錄表STM4.2腕帶連 接線 S1.1ANSI/ESD

的阻值＜25 萬Ω 表＜1.0×109 兆Ω and/or 表＜100VV0.8×106Ω～ 兆歐1.2×106Ω 表內(nèi)側(cè)電阻＜ 兆

ANSI/ESDS6.1ESD WorksurfaceESD 或穿戴人體

Ω接地電阻＜1.0×109Ω

靜電測量記錄表記錄表腕帶環(huán)

S1.1ANSI/ESDS1.1ANSI/ESD

1.0×105Ω 表外側(cè)電阻＞ 兆1.0×107Ω 表兆歐

身上使用人體綜合測試儀測試

＜3.5×Ω

/ 儀

2次/天 靜電測記錄表鞋裝

＜1.0×109Ω

ESDTR53

兆歐表工衣EPA靜

靜電控制工衣ANSI/ESD

＜1.01011 兆歐Ω 表兆歐

FlooringSectionESDTR53

＜1.0×1011 Ω＜3.5×107

壓表兆歐表

1次/月1/來料

靜電測量記錄表靜電測量地板電放電 座保護(hù)區(qū) 貨架移動設(shè)備

S7.1ANSI/ESDSTM12.1ANSI/ESD

＜1.0×109Ω 表兆歐＜1.0×109Ω 表兆歐＜1.0×109Ω 表兆歐

FlooringSectionESD SeatingSectionESD WorksurfaceSection

Ω1.0×109Ω1.0×109Ω

＜100V＜100V＜100V

壓表兆歐表壓表兆歐表壓表兆歐表

1/半年1/周1/周

記錄表記錄表記錄表靜電測量臺面)

ANSI/ESD

＜1.0×109Ω

表 ESDTR53萬用 烙鐵插頭

1.0×109Ω

＜100V 壓表

1/

記錄表靜電測量接地電阻烙鐵

＜2Ω

線與烙鐵頭 表 尖端的阻值通電狀態(tài)下

/

1/

記錄表漏電測試

＜20mV

萬用 烙鐵頭地線 表 與烙鐵頭尖端的電壓

/ 萬用表 1次/

靜電測量記錄表工具 電批 / ESD接地線測試方法：

漏電電壓

＜100V 壓表

1/

靜電測量記錄表接地線接地阻抗測量須使用鉗形表（見下圖：鉗形表測試儀）進(jìn)行測量,測量方法如下：打開電池盒后蓋，裝入4節(jié)5號電池（注意電池的極性，不得反向；打開電源POWER，10OLΩ；[22]XX-XX-13-A/2OΩ測回路，讀取電阻值（見下圖。電源開關(guān) 調(diào)試 固定鉗口 手壓柄鉗形表測試儀

顯示屏

接地線測量方法防靜電地板測試方法：防靜電地板接地電阻測量須使用兆歐表（見下圖：兆歐表測試儀）進(jìn)行測量,測量方法如下：電極在使用前應(yīng)用軟麻布擦拭干凈，使用完畢后，也應(yīng)采取相同的步聚后存放；將測試棒分別插入EARTHLINE將功能選擇開關(guān)撥至MΩ擋位；將儀器的兩極放在防靜電地板上不超過1（法；5測試不合格時(shí)，須立即報(bào)告負(fù)責(zé)人，并立即進(jìn)行維護(hù)。擇開關(guān)關(guān)EARTHACV

顯示屏COM/GLINE兆歐表測試儀[23]XX-XX-13-A/2防靜電地板測量方法防靜電工作臺測試方法：接地電阻測量：防靜電工作臺接地電阻測量須使用兆歐表（兆歐表測試儀見6.6.2①電極在使用前應(yīng)用軟麻布擦拭干凈，使用完畢后，也應(yīng)采取相同的步聚后存放；②將測試棒分別插入EARTH及LINE兩端；③將功能選擇開關(guān)撥至MΩ擋位；LINEEARTH電阻測試（見下圖：防靜電工作臺測量方法）；防靜電工作臺測量方法⑤打開電源開關(guān)5秒后或等讀數(shù)穩(wěn)定后即可讀數(shù)；[24]XX-XX-13-A/2⑦測試不合格時(shí)，須立即報(bào)告負(fù)責(zé)人，并立即進(jìn)行維護(hù)。（靜電電壓表測試儀見下圖測量方法如下：（靜電工作臺測量方法見下圖）；②按歸零鍵使測量數(shù)值歸零；③如要鎖定測量數(shù)值，按鎖定鍵即可。二次測量時(shí)需按歸零鍵后重新測量；④要求靜電電壓＜100V；⑤測試不合格時(shí)，須立即報(bào)告負(fù)責(zé)人，并立即進(jìn)行維護(hù)。量程歸零鍵鍵板

鍵孔啟動鍵靜電電壓表測試儀

防靜電工作臺測量方法防靜電工作椅測試方法接地電阻測量：防靜電工作椅接地電阻測量須使用兆歐表（兆歐表測試儀見6.6.2①電極在使用前應(yīng)用軟麻布擦拭干凈，使用完畢后，也應(yīng)采取相同的步聚后存放；②將測試棒分別插入EARTH及LINE兩端；③將功能選擇開關(guān)撥至MΩ擋位；LINEEARTH阻測試（見下圖：防靜電工作椅測量方法）；秒后或等讀數(shù)穩(wěn)定后即可讀數(shù)；[25]XX-XX-13-A/2⑦測試不合格時(shí)，須立即報(bào)告負(fù)責(zé)人，并立即進(jìn)行維護(hù)。防靜電工作椅測量方法靜電電壓測量：防靜電工作椅測試須使用靜電電壓表（靜電電壓表測試儀見6.6.3（下圖：防靜電工作椅測量方法）；②按歸零鍵使測量數(shù)值歸零；③如要鎖定測量數(shù)值，按鎖定鍵即可。二次測量時(shí)需按歸零鍵后重新測量；④要求靜電電壓＜100V；⑤測試不合格時(shí)，須立即報(bào)告負(fù)責(zé)人，并立即進(jìn)行維護(hù)。防靜電工作椅測量方法[26]XX-XX-13-A/2防靜電工具測試方法①將電批電源插頭插入電源排插孔中并接通電源；②打開數(shù)字萬用表，調(diào)整到電壓檔（直流2V），觀察顯示讀數(shù)是否為零，否則更換萬用表；③將數(shù)字萬用表表筆的一端與電批頭完全接觸，另一端與電源的接地線完全接觸，此時(shí)數(shù)字萬用表上顯示的讀數(shù)即為電批漏電電壓值（見下圖：電批漏電電壓測量）；④要求漏電電壓≤0.3V；⑤測試不合格時(shí)，須立即報(bào)告負(fù)責(zé)人，并立即進(jìn)行維護(hù)。電批漏電電壓測量（6.6.3①按啟動鍵，兩個(gè)測試燈亮，只要將這兩個(gè)燈對準(zhǔn)電批頭表面，使兩個(gè)燈影重疊；②按歸零鍵使測量數(shù)值歸零；③如要鎖定測量數(shù)值，按鎖定鍵即可。二次測量時(shí)需按歸零鍵后重新測量；④要求靜電電壓＜100V；⑤測試不合格時(shí)，須立即報(bào)告負(fù)責(zé)人，并立即進(jìn)行維護(hù)。（測量方法如下：①將烙鐵電源線連接到烙鐵溫度測試儀，烙鐵地線與靜電線連接；②將烙鐵溫度測試儀地線與靜電線連接，接通烙鐵溫度測試儀電源，打開烙鐵溫度測試儀電源開關(guān)及烙鐵電源開關(guān)；③按功能選擇鍵選mV進(jìn)行漏電測量，要求＜20mV；④按歸零鍵對顯示屏數(shù)值進(jìn)行歸零；⑤電烙鐵溫度到達(dá)設(shè)置值以后，將烙鐵頭接觸烙鐵溫度測試儀金屬塊區(qū)域，并在烙鐵頭上加2～3cm左右的錫線；⑥觀查顯示屏等讀數(shù)穩(wěn)定后即可讀數(shù)；⑦測試不合格時(shí)，須立即報(bào)告負(fù)責(zé)人，并立即進(jìn)行維護(hù)。[27]XX-XX-13-A/2烙鐵溫度儀接地插孔

顯示屏 烙鐵溫度電源線接口

烙鐵電源線接口溫度最大峰值記錄鍵歸零鍵測量電阻指示燈電源開關(guān)測量溫度測量電壓功能選烙鐵頭接觸金指示燈指示燈擇鍵屬塊區(qū)域烙鐵溫度測試儀①將烙鐵電源線連接到烙鐵溫度測試儀，烙鐵地線與靜電線連接；②將烙鐵溫度測試儀地線與靜電線連接，接通烙鐵溫度測試儀電源，打開烙鐵溫度測試儀電源開關(guān)及烙鐵電源開關(guān)；OHMΩ；④按歸零鍵對顯示屏數(shù)值進(jìn)行歸零；⑤電烙鐵溫度到達(dá)設(shè)置值以后，將烙鐵頭接觸烙鐵溫度測試儀金屬塊區(qū)域，并在烙鐵頭上加2～3cm左右的錫線；⑥觀查顯示屏等讀數(shù)穩(wěn)定后即可讀數(shù)；⑦測試不合格時(shí)，須立即報(bào)告負(fù)責(zé)人，并立即進(jìn)行維護(hù)。防靜電手腕帶測試方法：公司對防靜電手腕帶有兩種不同類型的人體綜合測試儀測試：門禁式人體綜合測試儀測試（見下圖：門禁式人體綜合測試儀：①將手腕帶扎于手腕處，不能松動，手腕感覺四周握緊。保證手腕帶內(nèi)表面與皮膚良好接觸；②將手腕帶香蕉插頭插入手腕帶測試孔中連接；③用手指接觸人體綜合測試儀上的金屬區(qū)域進(jìn)行測試，測試合格時(shí)PASS指示燈亮，測試不合格時(shí)FAILHI指示燈亮。[28]XX-XX-13-A/2測試合格PASS指示燈亮

測試不合格FAILHI