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文檔簡介

超音波工作原理介紹綁定制程介紹LaserShortingCutEdgeCleanerOLBPre-BondOLBMainBondDispenserPCBMainBondAutoPackingAOIPCBILoaderMark識別plasma超聲波不織布搬送至下游酒精EdgeCleaner流程展開超聲波清洗目的目的及作用：清潔玻璃上particle，避免對EC單元后的制程造成影響。TFTCFparticle超聲波上偏光板&上偏光板保護膜超聲波清洗系統(tǒng)工作流程控制操作箱轉(zhuǎn)換器馬達風機塵粒過濾器空氣過濾器清洗頭過濾器故障檢測器過濾器故障檢測器馬達風機空氣過濾器正壓清洗頭內(nèi)超聲波壓力腔超聲波particle負壓清洗頭內(nèi)真空腔塵埃過濾器工作示意圖：超聲波清洗頭原理：由噴嘴產(chǎn)生的超聲波清除塵粒，將被吸附在panel上的微粒分離出來最后吸至真空腔。UVV壓力腔真空腔真空腔基板移動方向超聲波發(fā)生器(VUV型)VUU真空腔壓力腔壓力腔基板移動方向超聲波發(fā)生器超聲波發(fā)生器(UVU型)入口出口超聲波發(fā)生器內(nèi)部結(jié)構(gòu)高速流動的空氣清洗頭內(nèi)的超聲波是通過潔凈空氣高速流動產(chǎn)生的：進入超聲波發(fā)生器氣體膨脹壓縮氣體出口出迅速膨脹形成超聲波特點：1.結(jié)構(gòu)簡單易于維護；2.超聲波性能幾乎永不衰減；3.非接觸式清洗，避免清洗工件劃傷或損壞；4.UVU型能去除99%的1.6um及以上的塵粒；

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