GB 50646-2020 特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)標準

UDC

中華人民共和國國家標準

GB506462020

特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)標準

Technicalstandardforspecialtygassystemengineering

人人文庫專用

20202702發(fā)布20200110實施

統(tǒng)一書號：155182·0650

中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部

定價：29.00元聯(lián)合發(fā)布

國家市場監(jiān)督管理總局

中華人民共和國國家標準

特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)標準

Technicalstandardforspecialtygassystemengineering

GB50646-2020

主編部門中華人民共和國工業(yè)和信息化部

：

批準部門中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部

：

施行日期年月日

：2020101

人人文庫專用

中國計劃出版社

2020北京

中華人民共和國國家標準

特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)標準

GB50646-2020

☆

中國計劃出版社出版發(fā)行

網(wǎng)址

：

地址北京市西城區(qū)木樨地北里甲號國宏大廈座層

：11C3

郵政編碼電話發(fā)行部

：100038：（010）63906433（）

三河富華印刷包裝有限公司印刷

印張千字

850mm×1168mm1/324.75121

年月第版年月第次印刷

202061202061

☆

人人文庫專用統(tǒng)一書號

：155182·0650

定價元

：29.00

版權(quán)所有侵權(quán)必究

侵權(quán)舉報電話

：（010）63906404

如有印裝質(zhì)量問題請寄本社出版部調(diào)換

，

中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部公告

2020年第59號

住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部關(guān)于發(fā)布國家標準

特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)標準的公告

《》

現(xiàn)批準特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)標準為國家標準編號為

《》，

自年月日起實施其中第

GB50646-2020，2020101。，3.1.5（1、

2）、3.1.6、3.2.5、3.2.6、3.2.7、3.3.7、3.3.8、4.2.1（2、5、6）、

4.3.1、4.4.4、4.4.7、5.2.1（1、2、3、4、5）、5.2.3（1、2、3）、5.2.6、

5.4.5、6.1.3、6.1.4、6.2.6、7.2.1、7.2.9、9.1.3、9.2.5、9.2.6

條款為強制性

（1）、9.3.2、9.3.15、9.3.17、10.6.2（7）、10.7.2（）

條文必須嚴格執(zhí)行原國家標準特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范

，?！丁?/p>

同時廢止

GB50646-2011。

本標準在住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部門戶網(wǎng)站

（）

公開并由住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部標準定額研究所組織中國計劃出版

，

社出版發(fā)行

。人人文庫專用

中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部

2020年2月27日

前言

根據(jù)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部關(guān)于印發(fā)年工程建設(shè)標準制

《〈2017

訂修訂及相關(guān)工作計劃的通知建標號的要求由

、〉》（〔2016〕248），

信息產(chǎn)業(yè)電子第十一研究院科技工程股份有限公司和中國電子系

統(tǒng)工程第二建設(shè)有限公司會同有關(guān)單位共同編制完成

。

本標準在編制過程中編制組根據(jù)我國特種氣體系統(tǒng)各類站

，

房的設(shè)計建造和運行的實際情況進行了廣泛的調(diào)查研究同時

、，，

考慮我國特種氣體的技術(shù)來源情況對國外的有關(guān)標準進行了研

，

讀并在全國范圍內(nèi)廣泛向有關(guān)單位或個人征求意見的基礎(chǔ)上修

，，

改完善標準最后經(jīng)審查定稿

、，。

本標準的主要技術(shù)內(nèi)容是總則術(shù)語特種氣體站房特種氣

：、、、

體工藝系統(tǒng)生命安全系統(tǒng)特種氣體管道輸送系統(tǒng)建筑結(jié)構(gòu)電

、、、、

氣與防雷公用工程特種氣體系統(tǒng)工程施工特種氣體系統(tǒng)工程

、、、

驗收等

。

本標準修訂的主要技術(shù)內(nèi)容是

：

取消規(guī)范中的第章硅烷站的設(shè)置根據(jù)其專業(yè)內(nèi)容分

1.5“”，

別并入第章至第章的相關(guān)章節(jié)

39。

合并規(guī)范中的第章給水排水及消防和第章采暖

2.10“”11“

通風與空氣調(diào)人人文庫專用節(jié)合并后為新標準的第章公用工程

”，9“”。

根據(jù)我國工程建設(shè)的實際情況及國外相關(guān)規(guī)范的內(nèi)容修

3.，

改了第章特種氣體站房的部分內(nèi)容

3“”。

將第章特種氣體系統(tǒng)驗收的部分內(nèi)容納入該章節(jié)的

4.11“”

條文說明

。

本標準中以黑體字標志的條文為強制性條文必須嚴格執(zhí)行

，。

本標準由住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部負責管理和對強制性條文的解

·1·

釋由工業(yè)和信息化部負責日常管理由信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計

，，

研究院科技工程股份有限公司負責具體技術(shù)內(nèi)容的解釋在執(zhí)行

。

本標準的過程中請各單位結(jié)合工程實踐認真總結(jié)經(jīng)驗如發(fā)現(xiàn)需

，，，

要修改或補充之處請將意見和有關(guān)資料寄至信息產(chǎn)業(yè)電子第十一

，

設(shè)計研究院科技工程股份有限公司地址四川成都市雙林路

（：251

號郵編傳真以供

；：610021；E-mail：edri11@），

今后修訂時參考

。

本標準主編單位信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計研究院科技

：

工程股份有限公司

中國電子系統(tǒng)工程第二建設(shè)有限公司

本標準參編單位上海正帆科技股份有限公司

：

中國電子工程設(shè)計院有限公司

工業(yè)和信息化部電子工業(yè)標準化研究院

液化空氣中國投資有限公司

（）

咸陽彩虹光電科技有限公司

成都愛德工程有限公司

中國電子科技集團公司第五十八研究所

本標準主要起草人員李驥吳軍閆詩源薛長立

：

黃勇李東升江元升歐華星

夏雙兵陸崎張家紅王凌旭

宋燕錢春健朱梅君薛首文

毛冬凱胡天碧王鵬亮顧愛軍

本標準主要審查人員鄭秉孝侯文川崔永祥劉小嬌

人人文庫專用：

薛東升姜劍鋒周禮譽張志輝

孫效義

·2·

目次

總則…………………

1（1）

術(shù)語…………………

2（2）

特種氣體站房……………

3（7）

一般規(guī)定………………

3.1（7）

特種氣體站房布置………

3.2（8）

特種氣體設(shè)備布置………

3.3（9）

特種氣體工藝系統(tǒng)………

4（11）

一般規(guī)定………………

4.1（11）

特種氣體輸送系統(tǒng)………

4.2（11）

吹掃和排氣系統(tǒng)…………

4.3（14）

硅烷工藝系統(tǒng)……………

4.4（14）

生命安全系統(tǒng)……………

5（16）

特種氣體管理系統(tǒng)………

5.1（16）

特種氣體探測系統(tǒng)………

5.2（16）

其他安全設(shè)施……………

5.3（18）

特種氣體報警的聯(lián)動控制………………

5.4（19）

特種氣體管道輸送系統(tǒng)…………………

6（20）

一般規(guī)人人文庫專用定………………

6.1（20）

材料選型………………

6.2（20）

管道設(shè)計………………

6.3（21）

管道標識………………

6.4（22）

建筑結(jié)構(gòu)…………………

7（24）

一般規(guī)定………………

7.1（24）

建筑防火………………

7.2（24）

·1·

建筑構(gòu)造措施……………

7.3（27）

電氣與防雷………………

8（28）

配電與照明……………

8.1（28）

防雷與接地……………

8.2（28）

公用工程…………………

9（30）

給水排水………………

9.1（30）

消防……………………

9.2（30）

采暖通風與空氣調(diào)節(jié)……

9.3（31）

特種氣體系統(tǒng)工程施工…………………

10（34）

一般規(guī)定………………

10.1（34）

主要設(shè)備材料進場驗收………………

10.2、（34）

氣瓶柜與氣瓶架的安裝…………………

10.3（36）

閥門箱與閥門盤的安裝…………………

10.4（36）

尾氣處理裝置及純化器的安裝…………

10.5（37）

特種氣體管道安裝……

10.6（37）

特種氣體管道改擴建工程施工…………

10.7（41）

特種氣體系統(tǒng)工程驗收…………………

11（42）

一般規(guī)定………………

11.1（42）

設(shè)備驗收………………

11.2（42）

管路與系統(tǒng)驗收………

11.3（42）

氣體探測監(jiān)控系統(tǒng)驗收………………

11.4（）（43）

附錄特種氣體管道氦檢漏方法…………

A（44）

附錄電子工業(yè)用特種氣體的主要物化性質(zhì)

B人人文庫專用

單一氣體…………

（）（45）

本標準用詞說明………………

（50）

引用標準名錄…………………

（51）

附條文說明…………………

：（53）

·2·

Contents

………

1Generalprovisions（1）

……………………

2Terms（2）

……………

3Specialtygasesstationroom（7）

……

3.1Generalrequirements（7）

……………

3.2Specialtygasesstationroom（8）

…………

3.3Specialtygasesequipmentlayout（9）

………

4Processsystemofspecialtygases（11）

……

4.1Generalrequirements（11）

………

4.2Pipelinesystemofspecialtygases（11）

…………………

4.3Purgeandventsystem（14）

……

4.4Silaneprocesssystem（14）

………

5Lifesafetysystem（16）

……

5.1Managementsystemofspecialtygases（16）

………

5.2Detectionsystemofspecialtygases（16）

………

5.3Safetyprovisions（18）

……

5.4Intercontrolofspecialtygasesalarm（19）

………………

6Pipelineofspecialtygases（20）

人人文庫專用……

6.1Generalrequirements（20）

………

6.2Materialsselection（20）

…………

6.3Pipelinedesign（21）

…………

6.4Pipelinelabeling（22）

………………

7Architectureandstructure（24）

……

7.1Generalrequirements（24）

………………

7.2Architecturefireprotection（24）

·3·

………

7.3Architectureconstructionmeasure（27）

……

8Electricalandlightningprotection（28）

…………

8.1Powerdistributionandlighting（28）

………

8.2Lightningprotectionandgrounding（28）

………

9Utilityengineering（30）

………………

9.1Watersupplyanddrainage（30）

…………

9.2Fireprotection（30）

…

9.3Heatingventilationandairconditioning（31）

……

10Engineeringconstructionofspecialtygasessystem（34）

…………………

10.1Generalrequirements（34）

…………

10.2Siteacceptanceofmainequipmentandmaterials（34）

………………

10.3InstallationofGCandGR（36）

…………

10.4InstallationofVMBandVMP（36）

……

10.5Installationofexhaustgaseslocalscrubberandpurifier（37）

…

10.6Installationofspecialtygasespipeline（37）

10.7Engineeringconstructionofrevampandexpansionprojectof

…………………

specialtygasespipeline（41）

11Engineeringinspectionandacceptanceofspecialty

……………

gasessystem（42）

…………………

11.1Generalrequirements（42）

…

11.2Inspectionandacceptanceofequipment（42）

……………

11.3Inspectionandacceptanceofpipelinesystem（42）

11.4Inspe人人文庫專用ctionandacceptanceofgasesdetection/monitoring

…………………

system（43）

………

AppendixAHeliumtestleakageofspecialtygas（44）

……

AppendixBThecharacteristicsofspecialtygas（mono-gas）（45）

…

Explanationofwordinginthisstandard（50）

……

Listofquotedstandards（51）

………

Addition：Explanationofprovisions（53）

·4·

1總則

1.0.1為了在電子工業(yè)工廠特種氣體系統(tǒng)及配套裝置的工程設(shè)

計施工及驗收中貫徹國家現(xiàn)行法律法規(guī)滿足產(chǎn)品生產(chǎn)要求確

、、，，

保人身和財產(chǎn)安全做到安全適用技術(shù)先進保護環(huán)境節(jié)約能

、、、、

源經(jīng)濟合理制定本標準

、，。

1.0.2本標準適用于新建改建擴建的電子工業(yè)的特種氣體系

、、

統(tǒng)工程中的設(shè)計施工和驗收

、。

1.0.3本標準不適用于特種氣體的制取提純灌裝等生產(chǎn)及配

、、

套裝置的工程設(shè)計施工和驗收

、。

1.0.4特種氣體系統(tǒng)工程的設(shè)計施工及驗收除應(yīng)符合本標準的

、

規(guī)定外尚應(yīng)符合國家現(xiàn)行有關(guān)標準的規(guī)定

，。

人人文庫專用

·1·

2術(shù)語

2.0.1特種氣體

specialtygas

電子產(chǎn)品生產(chǎn)外延化學氣相沉積刻蝕摻雜等工藝中使用

、、、

的自燃性易燃性劇毒性毒性腐蝕性氧化性惰性等特殊

、、、、、、

氣體

。

2.0.2自燃性氣體

pyrophoricgas

也稱作發(fā)火氣體是指在空氣中等于或低于時可能自燃

，54℃

的易燃氣體

。

2.0.3易燃性氣體

flammablegas

一種在和標準壓力狀態(tài)時空氣混合有一定易

20℃101.3kPa

燃范圍的氣體

。

2.0.4劇毒性氣體

highlytoxicgas

半致死濃度空氣中吸入小于或等于3的氣體

（4h）100mL/m。

2.0.5毒性氣體

toxicgas

半致死濃度空氣中吸入大于3但不超過

（4h）100mL/m

3的氣體

2500mL/m。

2.0.6腐蝕性氣體

corrosivegas

對材料或人體組織通過接觸產(chǎn)生化學反應(yīng)引起可見破壞或不

可逆變化的氣人人文庫專用體

。

2.0.7氧化性氣體

oxidizinggas

一般通過提供氧氣比空氣更能導(dǎo)致和促使其他物質(zhì)燃燒的

，

任何氣體

。

2.0.8惰性氣體

inertgas

在一般情況下不會與其他物質(zhì)產(chǎn)生化學反應(yīng)的氣體

。

2.0.9低蒸汽壓力氣體

lowvaporpressuregas

·2·

在室溫下的飽和蒸氣壓小于的氣體

0.2MPa。

2.0.10特種氣體系統(tǒng)

specialtygassystem

特種氣體的儲存輸送與分配過程的設(shè)備管道和附件的

、、

總稱

。

2.0.11大宗硅烷系統(tǒng)

bulksilanesystem

是指包括標準集裝瓶組長管拖車鋼瓶集裝格型臥

ISO、、、Y

式鋼瓶或總的水容積超過的硅烷系統(tǒng)

，250L。

2.0.12大宗特種氣體系統(tǒng)

bulkspecialtygassystem

一般指單個氣體設(shè)備容積大于的特種氣體儲存和送氣

400L

系統(tǒng)

。

2.0.13液態(tài)特種氣體系統(tǒng)

liquidspecialtygassystem

是指以液態(tài)輸送分配在用戶終端進行汽化的特種氣體

、，

系統(tǒng)

。

2.0.14氣體探測系統(tǒng)

gasdetectorsystem（GDS）

設(shè)置在特種氣瓶柜氣瓶架閥門箱閥門盤及其他特種氣體

、、、

輸送設(shè)備與管道所覆蓋區(qū)域通過檢測本質(zhì)氣體或關(guān)聯(lián)氣體在空

，

氣中的濃度來判斷本質(zhì)氣體的泄漏從而發(fā)出聲光報警信號提供

，、

探測數(shù)據(jù)的系統(tǒng)

。

2.0.15氣體管理系統(tǒng)

gasmanagementsystem（GMS）

包含特種氣體探測系統(tǒng)應(yīng)急處理系統(tǒng)工作管理系統(tǒng)監(jiān)視

、、、

系統(tǒng)數(shù)據(jù)傳輸與處理系統(tǒng)的氣體管理與控制系統(tǒng)的統(tǒng)稱

、。

2.0.16生產(chǎn)區(qū)

fabricationarea

電子生產(chǎn)人人文庫專用廠房內(nèi)布置生產(chǎn)設(shè)備及相關(guān)的研發(fā)測試的區(qū)域有

、，

些生產(chǎn)過程將使用危險性生產(chǎn)材料該區(qū)域為生產(chǎn)廠房的核心

，

區(qū)域

。

2.0.17特種氣體間

specialtygasroom

電子生產(chǎn)廠房放置特種氣瓶柜氣瓶架臥式氣瓶氣瓶集裝

、、、

格尾氣處理裝置等氣體設(shè)備并通過管道向生產(chǎn)設(shè)備輸送特種氣

、，

體的房間

。

·3·

2.0.18特種氣體站

specialtygasstation

電子工廠放置臥式氣瓶氣瓶集裝格標準集裝瓶組長

、、ISO、

管拖車尾氣處理裝置等氣體設(shè)備并通過管道向用生產(chǎn)廠房氣設(shè)

、，

備輸送特種氣體的獨立建構(gòu)筑物

（）。

2.0.19特種氣體站房

specialtygasstationandroom

是指在電子工廠特種氣體間與特種氣體站的統(tǒng)稱

。

2.0.20硅烷站

silanestation

是指放置硅烷或硅烷混合氣體鋼瓶鋼瓶集裝格臥式鋼瓶

、、、

長管拖車或標準集裝瓶組硅烷氣化裝置尾氣處理裝置電

ISO、、、

氣裝置等并通過管道向生產(chǎn)廠房供應(yīng)硅烷氣體的獨立建構(gòu)筑

，（）

物或區(qū)域

。

2.0.21氣瓶集裝格

thebundleofgascylinders

用專用金屬框架固定采用集氣管將多只氣體鋼瓶接口并聯(lián)

，

組合的氣體鋼瓶組單元

。

2.0.22標準集裝瓶組

ISOISOmodule

采用集氣管將氣體鋼瓶長管鋼瓶或氣瓶集裝格相互連接并

、

安裝在專用金屬框架上的組合集裝模塊

。

2.0.23氣瓶柜

gascabinet（GC）

特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與氣體輸送設(shè)備

。

2.0.24氣瓶架

gasrack（GR）

特種氣體使用的開放式氣瓶放置與氣體輸送設(shè)備

。

2.0.25閥門箱

valvemanifoldbox（VMB）

特種氣體人人文庫專用在輸送過程中使用的封閉式管道分配箱體用于向

，

一個或多個工藝設(shè)備提供特種氣體

。

2.0.26閥門盤

valvemanifoldpanel（VMP）

特種氣體在輸送過程中使用的開放式管道分配裝置用于向

，

一個或多個工藝設(shè)備提供特種氣體

。

2.0.27尾氣處理裝置

localscrubber

自燃性易燃性劇毒性腐蝕性等氣體的排氣與吹掃氣體的現(xiàn)

、、、

·4·

場處理裝置處理后的尾氣達到規(guī)定排放濃度并排入用氣車間的

，，

排氣管道

。

2.0.28臥式氣瓶

horizontalcylinder

用于儲存較多特種氣體的氣瓶一般水容積為

。450L、950L。

2.0.29限流孔板

restrictfloworifice（RFO）

限定流體系統(tǒng)最大流量的一種裝置

。

2.0.30過流開關(guān)

excessflowswitch（EFS）

流體系統(tǒng)的流量超出設(shè)定值時給出開關(guān)信號

，。

2.0.31負壓氣源

sub-atmosphericgassource（SAGS）

型在標準溫度和壓力下鋼瓶內(nèi)和閥門出口均為負壓的

1：，

氣源

。

型在標準溫度和壓力下鋼瓶內(nèi)為正壓閥門出口為負壓

2：，，

的氣源

。

2.0.32不相容性

incompatible

不同氣體混合后即發(fā)生化學反應(yīng)釋放出能量并對環(huán)境產(chǎn)生

，

危害作用的特性

。

2.0.33吹掃

purge

用氮氣或惰性氣體對特種氣體系統(tǒng)內(nèi)的本質(zhì)氣體或工作氣體

進行置換的過程

。

2.0.34排氣

vent

特種氣體設(shè)備與系統(tǒng)中排出的本質(zhì)氣體或工作氣體

。

2.0.35氣體面板

gaspanel

集成切斷人人文庫專用閥門調(diào)壓閥過濾器壓力計等零部件的專用設(shè)施

、、、。

2.0.36半致死濃度

lethalconcentration50（LC50）

在空氣中使健康的成年大白鼠連續(xù)吸入能引起受試白鼠

1h，

在內(nèi)死亡一半的氣體的濃度

14d。

2.0.37爆炸濃度下限值

lowexplosionlimit（LEL）

易燃性氣體在空氣或氧化氣體中發(fā)生爆炸的濃度下限值

。

2.0.38最高允許濃度值

thresholdlimitvalue（TLV）

·5·

毒性氣體在空氣中的濃度小于該值時充分且持續(xù)暴露于該

，

環(huán)境中的作用人員的健康不會受到損害

。

2.0.39最高允許濃度值時間加權(quán)平均允許濃度

-threshold

limitvalue-timeweightedaverage（TLV-TWA）

作業(yè)人員按每天每周工作制工作健康不會受到損害

8h，5d，

的毒性氣體