




版權(quán)說(shuō)明:本文檔由用戶(hù)提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡(jiǎn)介
人人文庫(kù)專(zhuān)用
中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
電子工程防靜電設(shè)計(jì)規(guī)范
Codefordesignofprotectionofelectrostatic
dischargeinelectronicengineering
GB50611-2010
主編部門(mén):中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部
批準(zhǔn)部門(mén):中華人民共和國(guó)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部
施行日期:2011年2月1日
人人文庫(kù)專(zhuān)用
中國(guó)計(jì)劃出版社
2010北京
書(shū)
中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
電子工程防靜電設(shè)計(jì)規(guī)范
GB50611-2010
☆
中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部主編
中國(guó)計(jì)劃出版社出版
(地址:北京市西城區(qū)木樨地北里甲11號(hào)國(guó)宏大廈C座4層)
(郵政編碼:100038電話:6390643363906381)
新華書(shū)店北京發(fā)行所發(fā)行
人人文庫(kù)專(zhuān)用世界知識(shí)印刷廠印刷
850×1168毫米1/322印張45千字
2010年12月第1版2010年12月第1次印刷
印數(shù)1—8000冊(cè)
☆
統(tǒng)一書(shū)號(hào):1580177·499
定價(jià):12.00元
中華人民共和國(guó)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部公告
第672號(hào)
關(guān)于發(fā)布國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
《電子工程防靜電設(shè)計(jì)規(guī)范》的公告
現(xiàn)批準(zhǔn)《電子工程防靜電設(shè)計(jì)規(guī)范》為國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),編號(hào)為
GB50611—2010,自2011年2月1日起實(shí)施。其中,第9.0.4
(2、4)條(款)為強(qiáng)制性條文,必須嚴(yán)格執(zhí)行。
本規(guī)范由我部標(biāo)準(zhǔn)定額研究所組織中國(guó)計(jì)劃出版社出版發(fā)
行。
中華人民共和國(guó)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部
二〇一〇年七月十五日
人人文庫(kù)專(zhuān)用
前言
本規(guī)范是根據(jù)原建設(shè)部《關(guān)于印發(fā)〈2005年工程建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)
范制訂、修訂計(jì)劃(第二批)〉的通知》(建標(biāo)函〔2005〕124號(hào))的要
求,由上海電子工程設(shè)計(jì)研究院有限公司會(huì)同中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)
院、信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計(jì)研究院有限公司等單位共同編制而
成。
本規(guī)范在編制過(guò)程中,編制組遵照國(guó)家有關(guān)基本建設(shè)的方針
政策和“以人為本”、“安全第一、預(yù)防為主”的指導(dǎo)方針,在總結(jié)多
年來(lái)國(guó)內(nèi)的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn),吸收近年來(lái)的科研成果,借鑒符合我國(guó)國(guó)情
的國(guó)際先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)的基礎(chǔ)上,廣泛征求國(guó)內(nèi)有關(guān)設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、研究等
單位的意見(jiàn),并反復(fù)修改,最后經(jīng)審查定稿。
本規(guī)范共分9章和1個(gè)附錄,主要內(nèi)容包括:總則,術(shù)語(yǔ),防靜
電材料及制品的基本要求和設(shè)計(jì)選擇,防靜電工作區(qū)室內(nèi)裝飾設(shè)
計(jì),防靜電工作區(qū)電氣設(shè)計(jì),防靜電工作區(qū)接地系統(tǒng)設(shè)計(jì),防靜電
工作區(qū)空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)和工業(yè)管道設(shè)計(jì),防靜電安全工作臺(tái)的設(shè)計(jì)
選擇,離子化靜電消除器的設(shè)計(jì)選擇等。
本規(guī)范中以黑體字標(biāo)志的條文為強(qiáng)制性條文,必須嚴(yán)格執(zhí)行。
本規(guī)范由住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部負(fù)責(zé)管理和對(duì)強(qiáng)制性條文的解
釋?zhuān)晒I(yè)和信息化部負(fù)責(zé)日常管理人人文庫(kù)專(zhuān)用,由上海電子工程設(shè)計(jì)研究院
有限公司負(fù)責(zé)具體技術(shù)內(nèi)容的解釋。本規(guī)范在執(zhí)行過(guò)程中,請(qǐng)各
單位結(jié)合工程實(shí)踐,認(rèn)真總結(jié)經(jīng)驗(yàn),如發(fā)現(xiàn)需要修改或補(bǔ)充之處,
請(qǐng)將意見(jiàn)和建議寄至上海電子工程設(shè)計(jì)研究院有限公司《電子工
程防靜電設(shè)計(jì)規(guī)范》管理組(地址:上海市麗園路478號(hào),郵政編
碼:200023,E-mail:seedri@),以供今后修訂時(shí)參
考。
·1·
本規(guī)范主編單位、參編單位、主要起草人和主要審查人:
主編單位:上海電子工程設(shè)計(jì)研究院有限公司
參編單位:中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院
信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計(jì)研究院有限公司
深圳市電子院設(shè)計(jì)有限公司
上海防靜電工業(yè)協(xié)會(huì)
信息產(chǎn)業(yè)部防靜電產(chǎn)品檢測(cè)中心
中國(guó)電子基礎(chǔ)產(chǎn)品裝備公司
浙江金華天開(kāi)電子材料有限公司
保定市萬(wàn)達(dá)環(huán)境技術(shù)工程公司
上海陽(yáng)森精細(xì)化工有限公司
上海惠華環(huán)境建筑裝潢工程有限公司
上海市電子產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)站
上海市建設(shè)工程安全質(zhì)量監(jiān)督站
中國(guó)人民解放軍總裝備部工程設(shè)計(jì)研究院
廈門(mén)永平堂靜電工程有限公司
主要起草人:楊維垣陳陣朱浩南韓方俊薛長(zhǎng)立
姬倡文鐘景華黃曉春吳昌偉姜俊平
范通川鄔菊逸孫延林王福良馬利洋
孫振國(guó)王克魯童子明于剛杜寶強(qiáng)
主要審查人:王元光黃群驥馬乃祥王壽泰趙建龍
人人文庫(kù)專(zhuān)用蔣守雷羅宏昌周啟彤
·2·
目次
1總則…………………(1)
2術(shù)語(yǔ)…………………(2)
3防靜電材料及制品的基本要求和設(shè)計(jì)選擇……………(6)
3.1防靜電材料及制品的基本要求……………(6)
3.2防靜電材料及制品的設(shè)計(jì)選擇……………(6)
4防靜電工作區(qū)室內(nèi)裝飾設(shè)計(jì)……………(8)
4.1地面設(shè)計(jì)………………(8)
4.2頂棚和墻面設(shè)計(jì)………(10)
4.3門(mén)窗和其他裝修設(shè)計(jì)……(11)
5防靜電工作區(qū)電氣設(shè)計(jì)…………………(13)
6防靜電工作區(qū)接地系統(tǒng)設(shè)計(jì)……………(14)
7防靜電工作區(qū)空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)和工業(yè)管道設(shè)計(jì)…………(16)
8防靜電安全工作臺(tái)的設(shè)計(jì)選擇…………(18)
9離子化靜電消除器的設(shè)計(jì)選擇…………(19)
附錄A防靜電工作區(qū)設(shè)計(jì)分級(jí)標(biāo)準(zhǔn)適用場(chǎng)所……………(21)
本規(guī)范用詞說(shuō)明………………(22)
引用標(biāo)準(zhǔn)名錄…………………(23)
附:條文說(shuō)明人人文庫(kù)專(zhuān)用…………………(25)
·1·
Contents
1Generalprovisions………(1)
2Terms……………………(2)
3Thebasicrequirementsanddesignselectionsof
antistaticmaterialsandproducts………(6)
3.1Thebasicrequirementsofantistaticmaterialsand
products………………(6)
3.2Thedesignselectionsofantistaticmaterialsandproducts……(6)
4Thedesignofindoordecorationinelectrostatic
dischargeprotectedarea…………………(8)
4.1Thedesignoffloor……(8)
4.2Thedesignofceilingandwallsurface……(10)
4.3Thedesignofdoor,windowandotherdecoration………(11)
5Electricdesigninelectrostaticdischargeprotected
area………(13)
6Groundingsystemdesigninelectrostaticdischarge
protectedarea……………(14)
7Heatingventilationandairconditioningandindustrial
pipelinedesi人人文庫(kù)專(zhuān)用gninelectrostaticdischargeprotected
area………(16)
8Thedesignselectionsofantistaticcontrol
worktable…………………(18)
9Thedesignselectionsofionizatingstatic
eliminator…………………(19)
AppendixAApplicablelocationfordesignclassification
·2·
standardofelectrostaticdischargeprotected
area……………(21)
Explanationofwordinginthiscode………(22)
Listofquotedstandards……(23)
Addition:Explanationofprovisions………(25)
人人文庫(kù)專(zhuān)用
·3·
1總則
1.0.1為適應(yīng)電子工程室內(nèi)防靜電設(shè)計(jì)的要求,規(guī)范電子工業(yè)建
設(shè)工程防靜電工作區(qū)的設(shè)計(jì)、治理的措施和實(shí)施方法,制定本規(guī)
范。
1.0.2本規(guī)范適用于電子工業(yè)領(lǐng)域的新建、擴(kuò)建和改建工程中室
內(nèi)防靜電設(shè)計(jì)。
1.0.3防靜電工作區(qū)設(shè)計(jì)應(yīng)遵循下列原則:
1應(yīng)根據(jù)工藝配置的技術(shù)要求,預(yù)估工作區(qū)靜電控制的期望
目標(biāo),確定靜電電位控制的目標(biāo)值。
2應(yīng)根據(jù)防靜電工作區(qū)構(gòu)成因素和不同的防靜電工作區(qū)使
用要求,選擇經(jīng)濟(jì)和有效的設(shè)計(jì)方案。
3應(yīng)根據(jù)防靜電工作區(qū)質(zhì)量控制要素,采取對(duì)應(yīng)的預(yù)防措
施,進(jìn)行系統(tǒng)綜合設(shè)計(jì)。
1.0.4防靜電工作區(qū)設(shè)計(jì)應(yīng)選用靜電耗散型或?qū)ъo電型材料,并
應(yīng)建立可靠的靜電接地系統(tǒng),同時(shí)應(yīng)控制環(huán)境溫濕度。
1.0.5防靜電工作區(qū)設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)分為三級(jí),一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)為室內(nèi)控
制靜電電位絕對(duì)值不大于100V;二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)為室內(nèi)控制靜電電位
絕對(duì)值不大于200V;三級(jí)標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)為室內(nèi)控制靜電電位絕對(duì)值不大
于1000V。人人文庫(kù)專(zhuān)用
防靜電工作區(qū)設(shè)計(jì)分級(jí)標(biāo)準(zhǔn)適用場(chǎng)所可按本規(guī)范附錄A確
定。
1.0.6電子工業(yè)領(lǐng)域的防靜電設(shè)計(jì)除應(yīng)符合本規(guī)范外,尚應(yīng)符合
國(guó)家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。
·1·
2術(shù)語(yǔ)
2.0.1靜電electrostatic
一種處于相對(duì)穩(wěn)定狀態(tài)但不是靜止不動(dòng)的電荷,由它所引起
的磁場(chǎng)效應(yīng)較之電場(chǎng)效應(yīng)可以忽略不計(jì)??捎晌镔|(zhì)的接觸與分
離、介質(zhì)極化和帶電微粒的附著等物理過(guò)程而產(chǎn)生。
2.0.2靜電放電(ESD)electrostaticdischarge
當(dāng)帶靜電物體表面的場(chǎng)強(qiáng)超過(guò)周?chē)橘|(zhì)的絕緣擊穿場(chǎng)強(qiáng)時(shí),
因介質(zhì)電離而使帶電體上的電荷部分或全部消失的現(xiàn)象。
2.0.3靜電危害electrostaticharm
因靜電放電產(chǎn)生的電磁輻射或靜電感應(yīng)而對(duì)電子元器件及儀
器產(chǎn)生的有害影響。
2.0.4電暈放電coronadischarge
發(fā)生電場(chǎng)不均勻的,場(chǎng)強(qiáng)較高的電離放電現(xiàn)象,并伴有藍(lán)紫色
熒光。
2.0.5室內(nèi)靜電電位innerelectrostaticpotential
在設(shè)定的區(qū)域環(huán)境內(nèi),任一物體對(duì)地的靜電電位差。
2.0.6靜電放電敏感(ESDS)electrostaticdischargesensi-
tive
產(chǎn)品性能受靜電放電影響或損壞的敏感性人人文庫(kù)專(zhuān)用,簡(jiǎn)稱(chēng)靜電敏感。
2.0.7靜電噪聲electrostaticnoise
由于靜電放電產(chǎn)生的電磁波輻射對(duì)電子裝置、通信設(shè)施等產(chǎn)
生的電磁干擾。
2.0.8防靜電工作區(qū)(EPA)electrostaticdischargeprotec-
tedarea
配備各種防靜電設(shè)備和器材、能限制靜電電位、具有確定邊
·2·
界、適于從事靜電防護(hù)操作的特定工作環(huán)境。
2.0.9防靜電工作區(qū)質(zhì)量控制要素qualitycontrolelements
inelectrostaticdischargeprotectedarea
決定室內(nèi)靜電電位控制效果的主要環(huán)境因素。包括材料和構(gòu)
造形式、氣候和環(huán)境條件、接地、器材和器具的靜電性能、工藝流
程、技術(shù)管理制度等。
2.0.10靜電感應(yīng)electrostaticinduction
在靜電場(chǎng)影響下引起物體上的電荷重新分布的現(xiàn)象。
2.0.11靜電泄漏electrostaticleakage
帶電體上的電荷通過(guò)其內(nèi)部或表面等途徑使之部分或全部消
失的現(xiàn)象。亦稱(chēng)靜電泄放。
2.0.12屏蔽shielding
把帶電體或非帶電體置于接地的封閉或近乎封閉的金屬外殼
或金屬柵網(wǎng)內(nèi),限制靜電場(chǎng)穿過(guò)的措施。
2.0.13表面電阻surfaceresistance
在與材料同一表面上相接觸的兩個(gè)規(guī)定形狀的電極間施加的
直流電壓與流過(guò)兩電極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。
2.0.14體積電阻volumeresistance
在材料相對(duì)兩表面上放置的兩個(gè)規(guī)定形狀的電極間施加的直
流電壓與流過(guò)兩電極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。
2.0.15表面電阻率surfaceresistivity
沿試樣表面電流方向的直流電場(chǎng)強(qiáng)度與單位長(zhǎng)度的表面?zhèn)鲗?dǎo)
電流線密度之比人人文庫(kù)專(zhuān)用。
2.0.16體積電阻率volumeresistivity
沿試樣體積電流方向的直流電場(chǎng)強(qiáng)度與該處的電流面密度之
比。
2.0.17對(duì)地電阻resistancetoearth
在被測(cè)物體表面一點(diǎn)對(duì)接地連接點(diǎn)或防靜電接地裝置之間的
電阻。
·3·
2.0.18靜電半衰期electrostatichalf-life
外界作用撤除后,帶電體上靜電電壓或靜電電荷下降到其初
始值的一半時(shí)所需的時(shí)間。
2.0.19靜電衰減期electrostaticdecaytime
外界作用撤除后,帶電體上靜電電壓或靜電電荷下降到其初
始值的10%時(shí)所需的時(shí)間。
2.0.20摩擦起電電壓triboelectricvoltage
用摩擦方法使物體帶電的表面對(duì)地電位差。
2.0.21接地grounding
電氣連接到能供給或接受大量電荷的大地、艦船或運(yùn)載工具
外殼等物體的措施。
2.0.22靜電接地electrostaticgrounding
將金屬導(dǎo)體通過(guò)接地極與大地進(jìn)行電氣上的連接,將靜電電
荷安全傳導(dǎo)到地的措施。
2.0.23間接接地indirectgrounding
為使非金屬物體進(jìn)行靜電接地,將其表面的全部或局部與接
地的金屬體緊密接觸的一種接地方式。
2.0.24軟接地softgrounding
通過(guò)足夠阻抗接地,把電流限制在5mA的人身安全電流以
下。
2.0.25靜電放電接地系統(tǒng)ESDgroundingsystem
使靜電泄放到大地而配置的接地線分支系統(tǒng)。亦稱(chēng)ESD接
地系統(tǒng)、防靜電接地系統(tǒng)人人文庫(kù)專(zhuān)用。
2.0.26接地連接點(diǎn)earthbondingpoint
接地對(duì)象上的一個(gè)專(zhuān)用點(diǎn),此點(diǎn)應(yīng)被一根接地引線引接到接
地線配置系統(tǒng)。
2.0.27防靜電接地電阻electrostaticgroundingresistance
從防靜電對(duì)象接地連接點(diǎn)至接地體,包括接地支線、接地干線
和接地體電阻的總和。
·4·
2.0.28防靜電安全工作臺(tái)antistaticcontrolworktable
供靜電敏感元器件、組件及設(shè)備操作的具有靜電泄放功能的
安全工作臺(tái)架。
2.0.29靜電中和electrostaticdissipation
帶電體上的電荷與其內(nèi)部或外部異性電荷的結(jié)合而使所帶靜
電電荷部分或全部消失的現(xiàn)象。
2.0.30離子化靜電消除器ionizingstaticeliminator
利用空氣電離產(chǎn)生為中和帶電體上的表面異性電荷所必需的
正負(fù)離子的靜電消除裝置的統(tǒng)稱(chēng)。
人人文庫(kù)專(zhuān)用
·5·
3防靜電材料及制品的基本要求和設(shè)計(jì)選擇
3.1防靜電材料及制品的基本要求
3.1.1防靜電工作區(qū)采用的防靜電工程材料應(yīng)符合下列規(guī)定:
1靜電屏蔽材料應(yīng)采用表面電阻或體積電阻小于1.0×
103Ω的材料。
2導(dǎo)靜電材料應(yīng)采用表面電阻或體積電阻為2.5×104Ω~
1.0×106Ω(不含1.0×106Ω)的材料。
3靜電耗散材料應(yīng)采用表面電阻或體積電阻為1.0×106Ω~
1.0×109Ω的材料。
4低起電材料應(yīng)采用其表面上滾動(dòng)摩擦后的帶電電壓絕對(duì)
值不大于2000V的材料。
5絕緣材料應(yīng)采用表面電阻或體積電阻大于1.0×1012Ω的
材料。絕緣材料在防靜電工程中不得作為飾面材料應(yīng)用。
3.1.2由幾部分材料組合的防靜電制品,其內(nèi)部構(gòu)造應(yīng)具有導(dǎo)靜
電泄放的功能。其防靜電性能應(yīng)由制品的表面電阻、對(duì)地電阻和
摩擦起電電位等參數(shù)確定。
3.1.3防靜電材料應(yīng)有長(zhǎng)效型和短效型的區(qū)別。長(zhǎng)效型防靜電
材料其防靜電性能應(yīng)與材料壽命同步,在使用期限內(nèi)防靜電性能
應(yīng)保持穩(wěn)定人人文庫(kù)專(zhuān)用。
3.1.4防靜電材料及制品的其他各項(xiàng)性能尚應(yīng)符合國(guó)家和行業(yè)
現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。
3.2防靜電材料及制品的設(shè)計(jì)選擇
3.2.1室內(nèi)防靜電工作區(qū)應(yīng)根據(jù)設(shè)計(jì)分級(jí),選用不同性能的防靜
電材料及制品,并應(yīng)符合下列規(guī)定:
·6·
1一級(jí)防靜電工作區(qū)的地面和墻面、柱面應(yīng)選用導(dǎo)靜電材
料。導(dǎo)靜電型地面、墻面、柱面應(yīng)滿(mǎn)足下列技術(shù)指標(biāo):
1)表面電阻、對(duì)地電阻應(yīng)為2.5×104Ω~1.0×106Ω;
2)摩擦起電電壓絕對(duì)值不應(yīng)大于100V;
3)靜電半衰期不應(yīng)大于0.1s。
2二級(jí)防靜電工作區(qū)的地面、墻面、柱面、頂棚和門(mén)表面、軟
簾應(yīng)選用靜電耗散材料。靜電耗散型地面、墻面、柱面、頂棚和門(mén)
表面應(yīng)滿(mǎn)足下列技術(shù)指標(biāo):
1)表面電阻、對(duì)地電阻應(yīng)為1.0×106Ω~1.0×109Ω;
2)摩擦起電電壓絕對(duì)值不應(yīng)大于200V;
3)靜電半衰期不應(yīng)大于1s,但軟簾的摩擦起電電壓絕對(duì)值
可不大于300V。
3三級(jí)防靜電工作區(qū)的地面、墻面、柱面視工藝技術(shù)要求可
選用靜電耗散材料或低起電材料。頂棚和門(mén)表面等可選用低起電
材料。選用靜電耗散材料的地面、墻面和柱面,應(yīng)滿(mǎn)足本條第2款
的技術(shù)指標(biāo);選用低起電材料的地面、墻面、柱面、頂棚和門(mén)表面
等,應(yīng)滿(mǎn)足摩擦起電電壓絕對(duì)值不大于1000V的要求。
3.2.2防靜電工作區(qū)室內(nèi)設(shè)計(jì)不得選用短效型防靜電材料及制
品。
人人文庫(kù)專(zhuān)用
·7·
4防靜電工作區(qū)室內(nèi)裝飾設(shè)計(jì)
4.1地面設(shè)計(jì)
4.1.1室內(nèi)防靜電地面設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定:
1應(yīng)根據(jù)不同的基礎(chǔ)條件及防靜電目標(biāo)合理選擇地面種類(lèi),
可選用貼面地面、活動(dòng)地板、涂覆自流平地面、水磨石地面及移動(dòng)
式地墊等。
2應(yīng)具有長(zhǎng)效和穩(wěn)定的導(dǎo)靜電性能。
3應(yīng)具有可靠的靜電泄放接地系統(tǒng)。地面導(dǎo)電層接地引出
點(diǎn)不應(yīng)少于2處,且相鄰間距不應(yīng)大于25m。
4.1.2貼面地面應(yīng)符合下列規(guī)定:
1應(yīng)合理選擇貼面地面的材質(zhì)和形式??蛇x用塑料貼面
(塊、磚、卷材)、陶瓷地磚、大理石板等。
2貼面地面的結(jié)構(gòu)宜由基礎(chǔ)地坪、底涂、導(dǎo)電層、面層組成。
3貼面地面的結(jié)構(gòu)應(yīng)符合下列規(guī)定:
1)基礎(chǔ)地坪應(yīng)滿(mǎn)足含水率不大于8%,混凝土強(qiáng)度等級(jí)不
小于C30,表面平整度不大于2mm的要求;
2)底涂宜滿(mǎn)足封底、粘結(jié)橋、絕緣隔離層的要求;
3)導(dǎo)電層應(yīng)鋪設(shè)接地金屬箔帶網(wǎng)格,并用導(dǎo)電粘膠與上鋪
面層粘結(jié)人人文庫(kù)專(zhuān)用,導(dǎo)電粘膠的電阻值應(yīng)小于面層材料的電阻值;
4)面層應(yīng)符合本規(guī)范第3.2.1條的規(guī)定。
4接地金屬箔帶網(wǎng)格宜選用寬10mm~20mm、厚0.03mm~
0.10mm的紫銅箔帶,網(wǎng)格大小可為600mm×600mm,當(dāng)貼面地
面為卷材時(shí),網(wǎng)格可為1200mm×1200mm;網(wǎng)格引出銅箔帶應(yīng)與
室內(nèi)接地干線焊接;網(wǎng)格交叉點(diǎn)應(yīng)錫焊或用導(dǎo)電粘結(jié)劑粘結(jié)。
4.1.3活動(dòng)地板應(yīng)符合下列規(guī)定:
·8·
1應(yīng)合理選擇活動(dòng)地板的材質(zhì)和支撐方式?;顒?dòng)地板按支
撐方式可分為四周支撐式活動(dòng)地板和四角支撐式活動(dòng)地板。四周
支撐式活動(dòng)地板可由地板、可調(diào)支撐、橫梁、緩沖墊等組成;四角支
撐式活動(dòng)地板可由地板、可調(diào)支撐和緩沖墊等組成。
2活動(dòng)地板的防靜電貼面板應(yīng)選用導(dǎo)靜電型、靜電耗散型材
料,其性能要求應(yīng)符合本規(guī)范第3.2.1條的規(guī)定。
3活動(dòng)地板及其配件的材質(zhì)和技術(shù)性能指標(biāo)應(yīng)符合現(xiàn)行行
業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《防靜電活動(dòng)地板通用規(guī)范》SJ/T10796的有關(guān)規(guī)定。
4活動(dòng)地板支撐的底部宜設(shè)絕緣襯墊。接地連接導(dǎo)線(接地
支線)應(yīng)采用截面積不小于1.5mm2的多股塑銅線。
5室內(nèi)接地干線在活動(dòng)地板下敷設(shè)時(shí),應(yīng)與地面絕緣。
4.1.4樹(shù)脂涂層自流平地面應(yīng)符合下列規(guī)定:
1樹(shù)脂涂層自流平地面結(jié)構(gòu)應(yīng)由基礎(chǔ)地坪、底涂層、找平層、
導(dǎo)電層和面層組成。樹(shù)脂涂層自流平地面厚度應(yīng)為底涂層、找平
層、導(dǎo)電層和面層厚度的總和,樹(shù)脂涂層自流平地面厚度不應(yīng)小于
2mm。
2樹(shù)脂涂層自流平地面結(jié)構(gòu)應(yīng)符合下列規(guī)定:
1)基礎(chǔ)地坪、底涂層、導(dǎo)電層應(yīng)符合本規(guī)范第4.1.2條第3
款的規(guī)定;
2)找平層應(yīng)符合補(bǔ)充底涂的封底、粘結(jié)橋、緩沖找平的要
求;
3)面層應(yīng)采用符合導(dǎo)靜電或靜電耗散性能的樹(shù)脂面層涂
料人人文庫(kù)專(zhuān)用,厚度不宜小于0.8mm。
3導(dǎo)電層接地金屬箔帶網(wǎng)格要求應(yīng)符合本規(guī)范第4.1.2條
第4款的規(guī)定。
4樹(shù)脂涂層自流平地面各層結(jié)構(gòu)的凝膠材料應(yīng)為同一性能
的樹(shù)脂涂料,涂料的耐磨性、附著強(qiáng)度和涂膜硬度尚應(yīng)符合現(xiàn)行行
業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《防靜電地坪涂料通用規(guī)范》SJ/T11294的有關(guān)規(guī)定。
4.1.5水磨石地面應(yīng)符合下列規(guī)定:
·9·
1水磨石地面應(yīng)由防靜電水磨石面層、導(dǎo)靜電泄放層和絕緣
隔離層組成。
2防靜電水磨石地面面層的厚度宜為12mm~18mm。面層
的石粒應(yīng)采用粒徑4mm~10mm的大理石、白云石或其他石料。
拌和時(shí)不得混入金屬雜質(zhì)。面層的水泥拌和料宜摻加一定比例的
導(dǎo)電料,水泥強(qiáng)度等級(jí)不應(yīng)小于32.5。水泥和石粒的體積比宜采
用1∶1.5~1∶2.5。
3水磨石地面的導(dǎo)靜電泄放層應(yīng)采用φ4~φ6的鋼筋網(wǎng),網(wǎng)
格的間距宜為2m×2m,并應(yīng)在網(wǎng)格交叉點(diǎn)陰角處焊接。網(wǎng)格的
分布應(yīng)與水磨石面層的分格條位置錯(cuò)開(kāi),并應(yīng)與防靜電接地系統(tǒng)
連接。
4水磨石地面的底涂絕緣隔離層宜采用環(huán)氧樹(shù)脂涂料底漆
滿(mǎn)涂?jī)杀?,厚度不宜小?.1mm。
5水磨石面層磨光后可采用防靜電液體地板蠟罩面。
4.1.6移動(dòng)式地墊應(yīng)符合下列規(guī)定:
1移動(dòng)式地墊可選用防靜電塑膠地墊和防靜電地毯。
2防靜電塑膠地墊可為三層結(jié)構(gòu),底層應(yīng)為導(dǎo)電橡膠材料,
中間是布,面層應(yīng)為靜電耗散型塑膠材料。防靜電塑膠地墊下應(yīng)
敷設(shè)接地金屬網(wǎng),并應(yīng)可靠接地。防靜電工作區(qū)內(nèi)防靜電塑膠地
墊面層應(yīng)選用長(zhǎng)效型防靜電材料。
3防靜電地毯宜為三層結(jié)構(gòu),底層應(yīng)為靜電耗散型基材,中
間應(yīng)為導(dǎo)電膠,上層應(yīng)為由導(dǎo)電纖維編織或植絨的靜電耗散型材
料。防靜電地毯下應(yīng)敷設(shè)接地金屬網(wǎng)人人文庫(kù)專(zhuān)用,并應(yīng)可靠接地。
4.2頂棚和墻面設(shè)計(jì)
4.2.1頂棚和墻、柱面裝飾有導(dǎo)電層要求時(shí),應(yīng)制訂合理的導(dǎo)電
層方案,并應(yīng)采用十字形構(gòu)造銅箔或設(shè)置多點(diǎn)間接接地的接點(diǎn);當(dāng)
頂棚和墻、柱面裝飾設(shè)置基層骨架時(shí)應(yīng)選用金屬材料,金屬骨架應(yīng)
接地。接地連接點(diǎn)的設(shè)置每個(gè)房間不應(yīng)少于4處,相鄰連接點(diǎn)之
·01·
間距離不應(yīng)大于18m。
4.2.2頂棚和墻、柱面裝飾的罩面板應(yīng)選用導(dǎo)靜電型、靜電耗散
型材料,其性能要求應(yīng)符合本規(guī)范第3.2.1條的規(guī)定。
4.2.3一級(jí)防靜電工作區(qū)的墻、柱面應(yīng)設(shè)置導(dǎo)電層;二級(jí)防靜電
工作區(qū)的墻、柱面不設(shè)置導(dǎo)電層時(shí),應(yīng)涂刷防靜電涂層或裝飾靜電
耗散層,其性能應(yīng)符合靜電耗散材料的指標(biāo)要求。
4.2.4空氣潔凈度5級(jí)以上潔凈環(huán)境或嚴(yán)格限制靜電吸附場(chǎng)所
的頂棚和墻、柱罩面層的靜電耗散指標(biāo),應(yīng)根據(jù)工藝要求和試驗(yàn)確
定。使用導(dǎo)靜電無(wú)機(jī)板材時(shí),表面不應(yīng)另覆涂層;表層使用金屬面
板時(shí),應(yīng)具有靜電耗散性能的防靜電面層。
4.2.5一般抹灰墻面或使用水性涂料、天然或人造石材作為表層
時(shí),應(yīng)涂刷具有靜電耗散性能的涂層或做其他防靜電處理;當(dāng)場(chǎng)所
的環(huán)境濕度能穩(wěn)定保持在45%~65%時(shí),可不做防靜電處理。
4.3門(mén)窗和其他裝修設(shè)計(jì)
4.3.1防靜電工作區(qū)的門(mén)窗設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定:
1一、二級(jí)防靜電工作區(qū)應(yīng)選用靜電耗散材料制作門(mén)或采用
靜電耗散材料貼面。三級(jí)防靜電工作區(qū)可選用低起電材料。
2金屬門(mén)窗表面應(yīng)涂刷具有靜電耗散性能的涂層,并應(yīng)接
地。選用靜電耗散材料貼面的門(mén)及窗的外框應(yīng)有導(dǎo)靜電泄放的接
地連接。
3二級(jí)防靜電工作區(qū)的建筑外層有采光窗時(shí),應(yīng)設(shè)計(jì)為雙
層,其內(nèi)層窗應(yīng)符合本條第人人文庫(kù)專(zhuān)用1、2款的規(guī)定。
4門(mén)窗與墻體周邊應(yīng)選用具有靜電耗散性能的彈性密封材
料填嵌。
5一、二級(jí)防靜電工作區(qū)室內(nèi)隔斷和觀察窗安裝大面積玻璃
時(shí),其內(nèi)表面應(yīng)粘貼具有靜電耗散性能的透明薄膜,或采用透明的
防靜電塑料板和具有防靜電性能的玻璃板。
4.3.2防靜電工作區(qū)的其他裝修設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定:
·11·
1各類(lèi)裝修材料應(yīng)具有表面靜電耗散性能。嚴(yán)禁使用未經(jīng)
表面改性處理的高分子絕緣材料。不宜使用強(qiáng)吸濕性材料。
2各類(lèi)裝修設(shè)計(jì)的飾面應(yīng)平整簡(jiǎn)潔,不宜過(guò)于復(fù)雜。
人人文庫(kù)專(zhuān)用
·21·
5防靜電工作區(qū)電氣設(shè)計(jì)
5.0.1防靜電工作區(qū)中供電電源質(zhì)量分級(jí)應(yīng)按工藝要求執(zhí)行。
5.0.2防靜電工作區(qū)中電子設(shè)備宜由變電所或低壓總配電間的
專(zhuān)用回路供電,各種專(zhuān)用電源設(shè)備應(yīng)靠近由其供電的電子設(shè)備。
5.0.3防靜電工作區(qū)供配電系統(tǒng)設(shè)計(jì)宜根據(jù)供電電網(wǎng)的電源質(zhì)
量,以及系統(tǒng)內(nèi)可能產(chǎn)生的瞬變干擾和脈沖干擾,采取相應(yīng)抑制諧
波干擾的措施。
5.0.4防靜電工作區(qū)電源進(jìn)線浪涌保護(hù)器的設(shè)置,應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)
家標(biāo)準(zhǔn)《建筑物電子信息系統(tǒng)防雷技術(shù)規(guī)范》GB50343的有關(guān)規(guī)
定。
5.0.5低壓配電系統(tǒng)中的單相負(fù)荷應(yīng)均勻分配在三相線路上,應(yīng)
使三相負(fù)荷不平衡度小于20%,并應(yīng)根據(jù)負(fù)荷實(shí)際運(yùn)行情況可能
產(chǎn)生的諧波電流值,選擇放大中性線的導(dǎo)線截面積。
5.0.6防靜電工作區(qū)中電子設(shè)備和設(shè)施的電源線、接地干線、信
號(hào)線和通訊線應(yīng)分別敷設(shè)。電源線宜遠(yuǎn)離信號(hào)線和通訊線,當(dāng)不
可避免時(shí),應(yīng)采取相應(yīng)的屏蔽措施。電子設(shè)備和設(shè)施的工作電源
插座和普通電器插座應(yīng)分別設(shè)置,并應(yīng)有明顯區(qū)別標(biāo)志。
5.0.7防靜電工作區(qū)中電氣設(shè)備外殼應(yīng)可靠接地,電氣設(shè)備對(duì)電
磁兼容性的要求尚應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)人人文庫(kù)專(zhuān)用《電磁兼容試驗(yàn)和測(cè)量
技術(shù)靜電放電抗擾度試驗(yàn)》GB/T17626.2的有關(guān)規(guī)定。
·31·
6防靜電工作區(qū)接地系統(tǒng)設(shè)計(jì)
6.0.1防靜電工作區(qū)應(yīng)設(shè)置防靜電接地系統(tǒng)。
6.0.2防靜電工作區(qū)接地系統(tǒng)應(yīng)由接地體、接地干線、接地支線、
接地端子板、接地網(wǎng)格或閉合銅排環(huán)組成。
6.0.3防靜電工作區(qū)中由TN交流配電系統(tǒng)供電時(shí)應(yīng)采用TN-S
或TN-C-S系統(tǒng)的接地方式。
6.0.4防靜電工作區(qū)中應(yīng)含有不同功能要求的接地系統(tǒng),各接地
系統(tǒng)的設(shè)計(jì)都應(yīng)符合等電位連接的要求,不同接地系統(tǒng)在接入等
電位端子前不應(yīng)混接。
6.0.5防靜電接地宜選擇聯(lián)合接地方式。當(dāng)選擇單獨(dú)接地方式
時(shí),接地電阻值不應(yīng)大于10Ω,并應(yīng)與防雷接地裝置保持20m以
上的間距。
6.0.6防靜電工作區(qū)中整個(gè)接地系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)以防雷接地系統(tǒng)
設(shè)計(jì)為基礎(chǔ)。防雷接地系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑物防
雷設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50057和《建筑物電子信息系統(tǒng)防雷技術(shù)規(guī)范》
GB50343的有關(guān)規(guī)定,特定行業(yè)、特定地面及設(shè)施的防雷接地尚
應(yīng)符合國(guó)家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。
6.0.7防靜電工作區(qū)頂棚、墻面、地面的防靜電接地、人體防靜電
接地、操作裝置和儀器的防靜電接地人人文庫(kù)專(zhuān)用,應(yīng)分別選擇適當(dāng)位置設(shè)置接
地連接裝置。接地連接裝置可使用易于裝拆的各種夾式連接器,
但應(yīng)保證電氣連接可靠。在防靜電工作區(qū)內(nèi)應(yīng)設(shè)置防靜電接地端
子板、接地網(wǎng)格,或截面積不小于100mm2的閉合接地銅排環(huán)。防
靜電接地引線應(yīng)從防靜電接地端子板、接地網(wǎng)格或閉合銅排環(huán)上
就近接地,接地引線應(yīng)使用多股銅線,導(dǎo)線截面積不應(yīng)小于
1.5mm2。
·41·
6.0.8防靜電接地系統(tǒng)在接入大地前應(yīng)設(shè)置總等電位接地端子
板、樓層等電位接地端子板、防靜電接地端子板。從總等電位接地
端子板或樓層等電位接地端子板上引出的接地主干線,其截面積
不應(yīng)小于95mm2,并應(yīng)使用絕緣屏蔽電纜或采用絕緣導(dǎo)線穿金屬
管敷設(shè)。接地主干線引到防靜電工作區(qū)時(shí)應(yīng)與設(shè)置在該區(qū)域內(nèi)的
防靜電接地端子板連接。防靜電接地系統(tǒng)各個(gè)連接部位之間電阻
值不應(yīng)大于0.1Ω。
6.0.9防靜電接地主干電纜應(yīng)避免與非屏蔽電源電纜長(zhǎng)距離平
行敷設(shè),并應(yīng)遠(yuǎn)離防雷引下線。防靜電接地主干電纜的屏蔽金屬
層應(yīng)兩端接地。
6.0.10防靜電接地連接應(yīng)采用焊接或用連接器具連接的方式,
連接器具應(yīng)能與接地對(duì)象可靠地連接。當(dāng)接地對(duì)象采取間接接地
時(shí),應(yīng)在接地對(duì)象上裝設(shè)緊密結(jié)合的可靠的金屬導(dǎo)體,并應(yīng)在金屬
導(dǎo)體上引出接地導(dǎo)線。金屬導(dǎo)體的緊密結(jié)合面積不應(yīng)小于
20cm2。
6.0.11防靜電工作區(qū)中不得有對(duì)地絕緣的孤立導(dǎo)體,所有金屬
結(jié)構(gòu)件都應(yīng)可靠接地。當(dāng)兩個(gè)以上的金屬結(jié)構(gòu)件相互絕緣時(shí),應(yīng)
將各自的金屬結(jié)構(gòu)件進(jìn)行接地,或在其相互之間連接跨接線,并應(yīng)
接地。
6.0.12易燃、易爆特定環(huán)境的接地尚應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《爆炸
和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50058的有關(guān)規(guī)定。
人人文庫(kù)專(zhuān)用
·51·
7防靜電工作區(qū)空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)和工業(yè)管道設(shè)計(jì)
7.0.1防靜電工作區(qū)宜設(shè)置空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)。
7.0.2當(dāng)防靜電工作區(qū)和其他房間空調(diào)參數(shù)不同時(shí),宜分別設(shè)置
空調(diào)系統(tǒng)。
7.0.3防靜電工作區(qū)的溫度及波動(dòng)范圍應(yīng)滿(mǎn)足工藝要求,宜為
18℃~28℃。
7.0.4防靜電工作區(qū)的相對(duì)濕度及波動(dòng)范圍應(yīng)滿(mǎn)足工藝要求,宜
為45%~65%。
7.0.5防靜電工作區(qū)的氣流組織形式應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))空氣潔
凈度等級(jí)和生產(chǎn)工藝特點(diǎn)的不同要求確定。
7.0.6防靜電工作區(qū)中空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的送、回風(fēng)口和風(fēng)管以及各
種工業(yè)管道的輸出、輸入口裝置,應(yīng)選用導(dǎo)電材料制作,或表面涂
刷防靜電涂層,也可按工藝要求進(jìn)行防靜電處理。送、回風(fēng)口和各
種輸出、輸入口裝置與配管系統(tǒng)之間應(yīng)有可靠的電氣連接,并應(yīng)接
地。
7.0.7防靜電工作區(qū)中空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的風(fēng)管和各種工業(yè)管道均
應(yīng)采取接地措施,接地連接點(diǎn)之間的距離不應(yīng)大于30m,接地連接
點(diǎn)的構(gòu)造應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求。采用普通的法蘭或螺栓連接,且中間
存在非導(dǎo)體隔離時(shí)人人文庫(kù)專(zhuān)用,應(yīng)采取跨接措施。
7.0.8防靜電工作區(qū)的配管系統(tǒng)中,使用部分絕緣性材質(zhì)的配管
時(shí),應(yīng)在配管表面安裝緊密結(jié)合的金屬網(wǎng),并應(yīng)將金屬網(wǎng)接地。使
用導(dǎo)電性非金屬軟管時(shí),應(yīng)在軟管上安裝與其緊密結(jié)合的接觸面
積不小于20cm2的金屬導(dǎo)體,并應(yīng)用接地引線與金屬導(dǎo)體可靠連
接接地。
7.0.9防靜電工作區(qū)空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)配置離子化靜電消除器時(shí),應(yīng)
·61·
符合本規(guī)范第9章的有關(guān)規(guī)定。
7.0.10防靜電工作區(qū)空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的設(shè)備對(duì)電磁兼容性的要求
尚應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電磁兼容試驗(yàn)和測(cè)量技術(shù)靜電放電
抗擾度試驗(yàn)》GB/T17626.2的有關(guān)規(guī)定。
7.0.11易燃、易爆環(huán)境以及各種流動(dòng)液體或氣體、粉體管道安裝
的防靜電措施尚應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)金屬管道設(shè)計(jì)規(guī)范》
GB50316的有關(guān)規(guī)定。
人人文庫(kù)專(zhuān)用
·71·
8防靜電安全工作臺(tái)的設(shè)計(jì)選擇
8.0.1防靜電安全工作臺(tái)可用于制造和應(yīng)用靜電敏感元器件的
場(chǎng)所。靜電敏感元器件、組件及設(shè)備的操作,應(yīng)在防靜電安全工作
臺(tái)上進(jìn)行。
一、二級(jí)防靜電工作區(qū)及有明確防靜電要求的臺(tái)式精密電子
設(shè)備的三級(jí)防靜電工作區(qū),應(yīng)根據(jù)工藝要求配置防靜電安全工作
臺(tái)。
防靜電分級(jí)為一級(jí)的微電子制造和測(cè)試場(chǎng)所,防靜電安全工
作臺(tái)應(yīng)使用硬質(zhì)臺(tái)墊及無(wú)表面涂覆的難氧化金屬臺(tái)架;除微電子
電路制造和測(cè)試以外的電子產(chǎn)品或整機(jī)產(chǎn)品的生產(chǎn)或調(diào)試場(chǎng)所的
防靜電安全工作臺(tái),其臺(tái)面可采用軟質(zhì)臺(tái)墊,臺(tái)架可采用木質(zhì)或金
屬。
8.0.2防靜電安全工作臺(tái)應(yīng)由工作臺(tái)、防靜電臺(tái)面或臺(tái)墊、腕帶
連接裝置、限流電阻和接地引線組成。
8.0.3防靜電安全工作臺(tái)按臺(tái)面基材可分為普通型和專(zhuān)用型。
專(zhuān)用型防靜電安全工作臺(tái)宜用于潔凈室工作站。防靜電安全工作
臺(tái)臺(tái)面的防靜電性能指標(biāo)應(yīng)符合本規(guī)范第3.2.1條的規(guī)定。
8.0.4硬質(zhì)和軟質(zhì)防靜電臺(tái)墊,其表面電阻和體積電阻范圍應(yīng)為
2.5×104Ω~人人文庫(kù)專(zhuān)用1.0×109Ω。
8.0.5防靜電安全工作臺(tái)應(yīng)設(shè)置腕帶連接裝置,防靜電腕帶應(yīng)便
于人體佩戴,并應(yīng)接地。腕帶連接裝置應(yīng)布置在工位的左、右兩
側(cè)。
8.0.6防靜電安全工作臺(tái)應(yīng)接地,腕帶連接裝置的下端應(yīng)采用截
面積不小于1.5mm2多股塑銅線與防靜電接地系統(tǒng)連接。多臺(tái)防
靜電安全工作臺(tái)的接地連線不得串聯(lián)連接。
·81·
9離子化靜電消除器的設(shè)計(jì)選擇
9.0.1一、二級(jí)防靜電工作區(qū)配置的設(shè)備機(jī)臺(tái)局部,以及防靜電
安全工作臺(tái)等對(duì)靜電敏感元器件有明確防護(hù)要求的場(chǎng)所,應(yīng)選用
離子化靜電消除器。
9.0.2離子化靜電消除器的設(shè)計(jì)選擇應(yīng)根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)條件和消除靜
電的控制目標(biāo),并結(jié)合靜電消除器的消電效能和綜合性能確定。
9.0.3離子化靜電消除器的離子平衡度、消電時(shí)間、臭氧發(fā)生量、
噪聲等技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合國(guó)家現(xiàn)行有關(guān)產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。
9.0.4離子化靜電消除器的設(shè)計(jì)選擇應(yīng)符合下列規(guī)定:
1氣流組織形式為單向流的潔凈空調(diào)系統(tǒng),宜選擇脈沖式高
壓靜電消除器。
2易燃、易爆環(huán)境應(yīng)選用自感應(yīng)式靜電消除器、高頻高壓型
靜電消除器,以及具有防爆通風(fēng)型結(jié)構(gòu)的離子化靜電消除器。
3空氣潔凈度等級(jí)5級(jí)以上的潔凈環(huán)境,不宜使用有風(fēng)扇的
離子化靜電消除器,其他潔凈環(huán)境的風(fēng)扇式離子化靜電消除器應(yīng)
具有自清掃功能。
4選用同位素靜電消除器時(shí),應(yīng)按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電離輻射
防護(hù)與輻射源安全基本標(biāo)準(zhǔn)》GB18871的有關(guān)規(guī)定進(jìn)行防護(hù)設(shè)
計(jì),并應(yīng)符合對(duì)射線屏蔽人人文庫(kù)專(zhuān)用、人體防護(hù)的要求。
5選用高頻高壓型靜電消除器時(shí),電氣間隙和基本絕緣試驗(yàn)
電壓等限值應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《測(cè)量、控制和實(shí)驗(yàn)室用電氣設(shè)備
的安全要求第一部分:通用要求》GB4793.1的有關(guān)規(guī)定,場(chǎng)感
應(yīng)電流和磁場(chǎng)強(qiáng)度限值應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)、科學(xué)和醫(yī)療
(ISM)射頻設(shè)備電磁騷擾特性限值和測(cè)量方法》GB4824的
有關(guān)規(guī)定。
·91·
6選用離子化靜電消除器時(shí),臭氧發(fā)生量的容許濃度值應(yīng)符
合國(guó)家現(xiàn)行有關(guān)工業(yè)場(chǎng)所有害因素職業(yè)接觸限值的規(guī)定。
9.0.5離子化靜電消除器外殼應(yīng)采用金屬材質(zhì),其外殼及金屬支
承體應(yīng)有可靠的保護(hù)接地。
人人文庫(kù)專(zhuān)用
·02·
附錄A防靜電工作區(qū)設(shè)計(jì)分級(jí)標(biāo)準(zhǔn)
適用場(chǎng)所
表A防靜電工作區(qū)設(shè)計(jì)分級(jí)標(biāo)準(zhǔn)適用場(chǎng)所舉例
防靜電級(jí)別適用場(chǎng)所
1.電子電路制造和測(cè)試的場(chǎng)所:
芯片制造:氧化、擴(kuò)散、清洗、刻蝕、薄膜、離子注入、CMP,光刻,外
延,在線檢測(cè),設(shè)備區(qū)等工序和場(chǎng)所;
芯片封裝:劃片、粘片、鍵合,封裝、測(cè)試等工序;
TFT液晶顯示屏制造:陣列板(薄膜、光刻、刻蝕、剝離),成盒(涂
復(fù)、摩擦、液晶注入、切割、磨邊)、模塊等工序;
一級(jí)彩色濾光片(C/F)制造;
LED芯片制造
2.電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中操作一級(jí)靜電敏感元器件的場(chǎng)所:
硬盤(pán)制造(HDD):制造區(qū);
等離子顯示屏(PDP):核心區(qū);
彩色顯像管:表面處理工序;
高密磁帶制造;
磁頭生產(chǎn):核心區(qū)
1.靜電敏感精密電子儀器的測(cè)試和維修場(chǎng)所
2.靜電敏感元器件制造和測(cè)試場(chǎng)所:
半導(dǎo)體材料制造:拉單晶、磨、拋等工序;
太陽(yáng)能硅片電池制造(擴(kuò)散、刻蝕、鍍膜、絲網(wǎng)印刷);
STN液晶顯示器制造;
硬盤(pán)制造除制造區(qū)外的其他區(qū);
二級(jí)等離子顯示屏(PDP)的支持區(qū);
鋰電池制造:干工藝和其他區(qū);
人人文庫(kù)專(zhuān)用彩色顯像管制造:錐石墨涂覆、蔭罩裝配工序;
印制板的成像、制版干膜工序;
光導(dǎo)纖維制造:預(yù)制棒、拉絲工序;
磁頭生產(chǎn):清洗區(qū);
片式陶瓷電容、片式電阻等制造:絲印、流延工序;
聲表面波器件制造:光刻、顯影、鍍膜、清洗、劃片、封帽工序
1.除上述范圍以外的電子元器件和整機(jī)的組裝調(diào)試場(chǎng)所
三級(jí)2.存在外部電磁干擾,必須對(duì)環(huán)境中的電子設(shè)備和設(shè)施提供最基本的
防靜電保護(hù)的場(chǎng)所
·12·
本規(guī)范用詞說(shuō)明
1為便于在執(zhí)行本規(guī)范條文時(shí)區(qū)別對(duì)待,對(duì)要求嚴(yán)格程度不
同的用詞說(shuō)明如下:
1)表示很?chē)?yán)格,非這樣做不可的:
正面詞采用“必須”,反面詞采用“嚴(yán)禁”;
2)表示嚴(yán)格,在正常情況下均應(yīng)這樣做的:
正面詞采用“應(yīng)”,反面詞采用“不應(yīng)”或“不得”;
3)表示允許稍有選擇,在條件許可時(shí)首先應(yīng)這樣做的:
正面詞采用“宜”,反面詞采用“不宜”;
4)表示有選擇,在一定條件下可以這樣做的,采用“可”。
2條文中指明應(yīng)按其他有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行的寫(xiě)法為:“應(yīng)符合
……的規(guī)定”或“應(yīng)按……執(zhí)行”。
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·22·
引用標(biāo)準(zhǔn)名錄
《建筑物防雷設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50057
《爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50058
《工業(yè)金屬管道設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50316
《建筑物電子信息系統(tǒng)防雷技術(shù)規(guī)范》GB50343
《測(cè)量、控制和實(shí)驗(yàn)室用電氣設(shè)備的安全要求第一部分:通用要
求》GB4793.1
《工業(yè)、科學(xué)和醫(yī)療(ISM)射頻設(shè)備電磁騷擾特性限值和測(cè)量
方法》GB4824
《電離輻射防護(hù)與輻射源安全基本標(biāo)準(zhǔn)》GB18871
《電磁兼容試驗(yàn)和測(cè)量技術(shù)靜電放電抗擾度試驗(yàn)》GB/T17626.2
《防靜電活動(dòng)地板通用規(guī)范》SJ/T10796
《防靜電地坪涂料通用規(guī)范》SJ/T11294
人人文庫(kù)專(zhuān)用
·32·
人人文庫(kù)專(zhuān)用
中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
電子工程防靜電設(shè)計(jì)規(guī)范
GB50611-2010
條文說(shuō)明
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制定說(shuō)明
《電子工程防靜電設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50611—2010,經(jīng)住房和城鄉(xiāng)
建設(shè)部2010年7月15日以第672號(hào)公告批準(zhǔn)發(fā)布。
本規(guī)范認(rèn)真貫徹執(zhí)行國(guó)家有關(guān)促進(jìn)電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展和節(jié)能
減排的方針政策,總結(jié)我國(guó)電子工程防靜電行業(yè)近年來(lái)的科研成
果和實(shí)踐經(jīng)驗(yàn),吸收、采用經(jīng)過(guò)實(shí)踐驗(yàn)證并符合我國(guó)國(guó)情的新工
藝、新設(shè)備、新材料、新技術(shù),做到技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)合理、安全適用。
本規(guī)范制定過(guò)程分為準(zhǔn)備階段、征求意見(jiàn)階段、送審階段和報(bào)
批階段,編制組在各階段開(kāi)展的主要編制工作如下:
準(zhǔn)備階段:起草規(guī)范編制大綱,重點(diǎn)分析規(guī)范的主要內(nèi)容和框
架結(jié)構(gòu)、研究的重點(diǎn)問(wèn)題和方法,制定總體編制工作進(jìn)度和分工合
作安排等。
征求意見(jiàn)階段:編制組成員根據(jù)審定的編制大綱要求,在前期
收集資料的基礎(chǔ)上,分析、研究、總結(jié)了國(guó)內(nèi)外相關(guān)法規(guī)、標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)
范和電子工程靜電防護(hù)措施,起草規(guī)范討論稿,并匯總、調(diào)整形成
規(guī)范征求意見(jiàn)稿初稿。
此后,編制組組織了多次會(huì)議,分別就重點(diǎn)問(wèn)題進(jìn)行研討,并
分別于2006年5月、12月對(duì)征求意見(jiàn)稿初稿進(jìn)行了兩次規(guī)模較
大的征求意見(jiàn)活動(dòng)人人文庫(kù)專(zhuān)用;2006年9月、2008年10月還進(jìn)行了二次征求
專(zhuān)家意見(jiàn);在此基礎(chǔ)上多次修改完善,完成了規(guī)范送審稿的編制。
送審階段:2008年12月26日,由工業(yè)和信息化部在上海組
織召開(kāi)了《電子工程防靜電設(shè)計(jì)規(guī)范》(送審稿)專(zhuān)家審查會(huì),通過(guò)
了審查。審查專(zhuān)家組認(rèn)為,本規(guī)范總結(jié)、梳理、歸納、提升了電子工
程領(lǐng)域靜電防護(hù)方面的工程經(jīng)驗(yàn),能夠很好地滿(mǎn)足需求;具有先進(jìn)
性、科學(xué)性、協(xié)調(diào)性和可操作性;規(guī)范的貫徹實(shí)施,將促進(jìn)電子工程
·72·
防靜電設(shè)計(jì)的規(guī)范化,推動(dòng)防靜電工程領(lǐng)域的技術(shù)進(jìn)步;同時(shí)在規(guī)
范市場(chǎng)、促進(jìn)產(chǎn)業(yè)進(jìn)步方面也將起到重要作用,產(chǎn)生較好的經(jīng)濟(jì)效
益和社會(huì)效益。
報(bào)批階段:根據(jù)審查會(huì)專(zhuān)家意見(jiàn),編制組認(rèn)真進(jìn)行了修改、完
善,形成報(bào)批稿。
本規(guī)范制訂過(guò)程中,編制組進(jìn)行了深入調(diào)查研究,總結(jié)了我國(guó)
電子行業(yè)的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn),同時(shí)參考了國(guó)外先進(jìn)技術(shù)法規(guī),廣泛征求了
國(guó)內(nèi)有關(guān)設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、研究等單位的意見(jiàn),最后制定出本規(guī)范。
為便于廣大設(shè)計(jì)、施工、科研、教學(xué)等單位有關(guān)人員在使用本
規(guī)范時(shí)能正確理解和執(zhí)行條文規(guī)定,《電子工程防靜電設(shè)計(jì)規(guī)范》
編制組按章、節(jié)、條順序編制了本規(guī)范的條文說(shuō)明。對(duì)條文規(guī)定的
目的、依據(jù)以及執(zhí)行中需注意的有關(guān)事項(xiàng)進(jìn)行了說(shuō)明,并著重對(duì)強(qiáng)
制性條文的強(qiáng)制性理由作了解釋。但是,本條文說(shuō)明不具備與規(guī)
范正文同等的法律效力,僅供使用者作為理解和把握規(guī)范規(guī)定的
參考。
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·82·
目次
1總則…………………(31)
3防靜電材料及制品的基本要求和設(shè)計(jì)選擇……………(34)
3.1防靜電材料及制品的基本要求……………(34)
3.2防靜電材料及制品的設(shè)計(jì)選擇……………(36)
4防靜電工作區(qū)室內(nèi)裝飾設(shè)計(jì)……………(37)
4.1地面設(shè)計(jì)………………(37)
4.2頂棚和墻面設(shè)計(jì)………(38)
4.3門(mén)窗和其他裝修設(shè)計(jì)……(39)
5防靜電工作區(qū)電氣設(shè)計(jì)…………………(40)
6防靜電工作區(qū)接地系統(tǒng)設(shè)計(jì)……………(42)
7防靜電工作區(qū)空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)和工業(yè)管道設(shè)計(jì)…………(45)
8防靜電安全工作臺(tái)的設(shè)計(jì)選擇…………(47)
9離子化靜電消除器的設(shè)計(jì)選擇…………(49)
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·92·
人人文庫(kù)專(zhuān)用
1總則
1.0.1本規(guī)范屬于工程建設(shè)類(lèi)標(biāo)準(zhǔn)。隨著電子工業(yè)的高速發(fā)展,
對(duì)各類(lèi)特定功能防靜電工作區(qū)的需求日益增加,本規(guī)范旨在提供
一般電子工業(yè)建設(shè)工程設(shè)計(jì)中可能設(shè)置防靜電工作區(qū)的設(shè)計(jì)控制
目標(biāo)、實(shí)施方法,同時(shí)規(guī)定防靜電工作區(qū)室內(nèi)設(shè)計(jì)的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)及適
用范圍。
1.0.2電子工業(yè)領(lǐng)域建設(shè)工程中要求其室內(nèi)環(huán)境控制靜電的場(chǎng)
所主要有以下兩類(lèi):
1靜電放電敏感的基礎(chǔ)材料、元器件、組件、儀器和設(shè)備的制
造和操作場(chǎng)所。這里指的“操作”包括靜電敏感元器件的包裝、運(yùn)
輸、打開(kāi)包裝、測(cè)試、安裝、保養(yǎng)和維修以及與這些操作相關(guān)聯(lián)的活
動(dòng)。
2配置靜電放電敏感的電子儀器、設(shè)備和設(shè)施的應(yīng)用場(chǎng)所,
諸如各類(lèi)電子信息機(jī)房,各類(lèi)靜電放電敏感的電子儀器實(shí)驗(yàn)室、監(jiān)
控室等。
電子工業(yè)領(lǐng)域的某些場(chǎng)所有較高的潔凈環(huán)境要求,靜電的存
在會(huì)影響潔凈設(shè)施的效能,同時(shí)潔凈環(huán)境的高速氣流會(huì)產(chǎn)生較嚴(yán)
重的靜電,因此潔凈環(huán)境的設(shè)計(jì)亦應(yīng)設(shè)定靜電控制的預(yù)期目標(biāo),并
按本規(guī)范的規(guī)定執(zhí)行人人文庫(kù)專(zhuān)用。
1.0.3本條提出了防靜電工作區(qū)設(shè)計(jì)應(yīng)遵循的幾條原則:根據(jù)使
用要求,確定控制目標(biāo)、選擇防靜電等級(jí);根據(jù)不同的環(huán)境影響因
素、使用要求,進(jìn)行技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較,選擇經(jīng)濟(jì)有效的設(shè)計(jì)方案;根據(jù)
質(zhì)量控制要素的要求,進(jìn)行系統(tǒng)綜合設(shè)計(jì),達(dá)到使用要求、控制目
標(biāo)、影響因素、設(shè)計(jì)方案、對(duì)應(yīng)措施、實(shí)現(xiàn)需求的總體設(shè)計(jì)目標(biāo)。
防靜電工作區(qū)的確定邊界,可以是建筑的實(shí)體介質(zhì)(如墻、柱、
·13·
門(mén)窗、地面、頂棚等),也可以是空間的界定范圍(圖1)。
圖1防靜電工作區(qū)邊界的空間界定
注:圖中最外層六面體是建筑的實(shí)質(zhì)性邊界,即墻、柱、門(mén)窗、頂棚、地面。
1.0.4本條提出了防靜電工作區(qū)設(shè)計(jì)應(yīng)采用的主要技術(shù)措施,從
抑制或減少靜電的產(chǎn)生和有效、安全地泄放靜電兩個(gè)方面制定了
3條措施。關(guān)于消除防靜電工作區(qū)局部超過(guò)規(guī)定靜電電位限值的
工程措施,因不具有普遍性,在第9章專(zhuān)述。
1.0.5現(xiàn)行行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《防靜電工作區(qū)技術(shù)要求》GJB3007將防靜
電工作區(qū)的允許對(duì)地靜電電位絕對(duì)值按100V為界分為A、B二
級(jí)。本規(guī)范以這一人人文庫(kù)專(zhuān)用“分級(jí)”標(biāo)準(zhǔn)為參考,分析電子工業(yè)靜電防護(hù)的
需求分布,調(diào)查防靜電工程的工程實(shí)例,考慮對(duì)應(yīng)的技術(shù)措施,從
需求、資源、措施、目標(biāo)鏈?zhǔn)揭氐鹊木C合表述,將防靜電工作區(qū)設(shè)
計(jì)標(biāo)準(zhǔn)細(xì)化,分為靜電電位絕對(duì)值不大于100V、不大于200V、不
大于1000V三級(jí)。力求標(biāo)準(zhǔn)目標(biāo)明確,資源利用充分,措施對(duì)應(yīng)
得力,執(zhí)行簡(jiǎn)便易行。
本規(guī)范規(guī)定的防靜電工作區(qū)一級(jí)標(biāo)準(zhǔn),即室內(nèi)靜電電位絕對(duì)
·23·
值不大于100V,僅是本級(jí)標(biāo)準(zhǔn)的最低要求。注意到當(dāng)前某些工程
有靜電電位絕對(duì)值不大于50V的要求,但囿于工程實(shí)現(xiàn)條件需要
一個(gè)成熟的過(guò)程,本規(guī)范暫不設(shè)規(guī)定,待條件成熟時(shí)及時(shí)修訂。
為實(shí)施的可操作性,本規(guī)范附錄A表A提供了各級(jí)標(biāo)準(zhǔn)防靜
電工作區(qū)的適用場(chǎng)所,但并不能涵蓋電子工業(yè)所有工程類(lèi)別,相近
工程設(shè)計(jì)可根據(jù)此表參照使用。
1.0.6防靜電工程設(shè)計(jì)涉及多種專(zhuān)業(yè),相關(guān)的專(zhuān)業(yè)有:建筑裝飾、
空調(diào)潔凈、電氣技術(shù)、消防、防雷以及電子計(jì)算機(jī)、通信技術(shù)、環(huán)保、
職業(yè)安全等。所涉及相關(guān)專(zhuān)業(yè)的要求均應(yīng)符合相應(yīng)國(guó)家現(xiàn)行有關(guān)
標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范的規(guī)定。同時(shí)尚應(yīng)執(zhí)行國(guó)家有關(guān)安全、環(huán)保、建筑節(jié)能
方面的政策法規(guī)的規(guī)定。
人人文庫(kù)專(zhuān)用
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3防靜電材料及制品的基本要求和設(shè)計(jì)選擇
3.1防靜電材料及制品的基本要求
3.1.1材料學(xué)理論及實(shí)驗(yàn)室條件對(duì)材料電性能采用的經(jīng)典指標(biāo)
是電阻率。隨著防靜電工程理論的發(fā)展和工程實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)的積累,
目前防靜電工程業(yè)界比較趨同的認(rèn)識(shí)是:在防靜電工程領(lǐng)域,采用
材料的表面電阻值或體積電阻值作為材料分類(lèi)參數(shù)比表面電阻率
或體積電阻率更符合應(yīng)用實(shí)際。國(guó)內(nèi)(如電子行業(yè))、國(guó)外[如美國(guó)
材料與試驗(yàn)學(xué)會(huì)(ASTM)、美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)學(xué)會(huì)/防靜電協(xié)會(huì)
(ANSI/ESD)]近年來(lái)發(fā)布的標(biāo)準(zhǔn)都使用了上述量綱單位,本規(guī)范
采納電阻值作為量綱單位。
本條規(guī)定的材料名稱(chēng)、性能指標(biāo)主要依據(jù)現(xiàn)行行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《電子
產(chǎn)品制造與應(yīng)用系統(tǒng)防靜電檢測(cè)通用規(guī)范》SJ/T10694、《地板覆
蓋層和裝配地板靜電性能的試驗(yàn)方法》SJ/T11159、《防靜電地面
施工及驗(yàn)收規(guī)范》SJ/T31469,并且參考國(guó)際、國(guó)內(nèi)相關(guān)規(guī)范、標(biāo)
準(zhǔn),結(jié)合我國(guó)實(shí)際情況,綜合考慮確定。
考慮到制品配制和工程前檢測(cè)的需要,為使用方便,這里補(bǔ)充
相應(yīng)的防靜電材料電阻率指標(biāo):
1靜電屏蔽材料:表面電阻率小于1.0×105Ω/□、體積電阻
率小于1.0×10人人文庫(kù)專(zhuān)用5Ω·cm的材料。
2導(dǎo)靜電材料:表面電阻率小于1.0×108Ω/□、體積電阻率
小于1.0×108Ω·cm的材料。
3靜電耗散材料:表面電阻率1.0×108Ω/□~1.0×1011Ω/
□、體積電阻率為1.0×108Ω·cm~1.0×1011Ω·cm的材料。
應(yīng)當(dāng)指出,目前無(wú)論國(guó)內(nèi)或國(guó)外并無(wú)統(tǒng)一的材料靜電性能測(cè)
試標(biāo)準(zhǔn),不同標(biāo)準(zhǔn)、條件、儀器測(cè)量的結(jié)果有差異,應(yīng)以質(zhì)監(jiān)部門(mén)認(rèn)
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可的(按《電子產(chǎn)品制造與應(yīng)用系統(tǒng)防靜電檢測(cè)通用規(guī)范》SJ/T
10694—2006)測(cè)量報(bào)告為準(zhǔn)。
3.1.2許多防靜電材料及制品都由幾部分材料復(fù)合組成,本條規(guī)
定強(qiáng)調(diào)各部分組合應(yīng)具有導(dǎo)靜電泄放功能,最終鑒別的是系統(tǒng)的
綜合防靜電性能。
3.1.3防靜電材料及制品由于制作方法不同,其防靜電性能穩(wěn)定
性差異較大,本條規(guī)定要求對(duì)防靜電材料及制品進(jìn)行長(zhǎng)效型和短
效型的鑒別。明示在明確的使用期限內(nèi)防靜電性能應(yīng)保持穩(wěn)定,
以便設(shè)計(jì)選擇和采取相應(yīng)措施。
防靜電材料及制品使用期限,可參照《電氣絕緣設(shè)備評(píng)價(jià)和鑒
定》IEC60505的原則,通過(guò)加速老化試驗(yàn),進(jìn)行功能性評(píng)定和壽
命預(yù)測(cè)。
防靜電性能保持穩(wěn)定,可以從以下三個(gè)方面進(jìn)行檢測(cè)鑒定。
1環(huán)境濕度從75%變化到30%,環(huán)境溫度從15℃變化到
35℃,當(dāng)材料及制品的電阻變化在一個(gè)數(shù)量級(jí)范圍內(nèi),可視為穩(wěn)
定。
2測(cè)試電壓絕對(duì)值從100V變化到500V,材料及制品的電
阻變化在半個(gè)數(shù)量級(jí)范圍內(nèi),可視為穩(wěn)定。
3在溫度為25℃,相對(duì)濕度為40%~65%的條件下對(duì)試樣
施加放電,靜電電位絕對(duì)值衰減從1000V到100V,當(dāng)靜電衰減時(shí)
間不大于1s,可視為穩(wěn)定。
3.1.4本規(guī)范僅對(duì)材料及制品的防靜電性能進(jìn)行規(guī)定,涉及其他
物理化學(xué)性能的應(yīng)按國(guó)家和行業(yè)現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)人人文庫(kù)專(zhuān)用《防靜電活動(dòng)地板通用
規(guī)范》SJ/T10796、《防靜電貼面板通用規(guī)范》SJ/T11236、《防靜電
鞋、導(dǎo)電鞋技術(shù)要求》GB4385、《防靜電工作服》GB12014、《防靜
電地坪涂料通用規(guī)范》SJ/T11294等的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行,尤其要符
合國(guó)家有關(guān)環(huán)保、安全、衛(wèi)生方面的規(guī)定。
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3.2防靜電材料及制品的設(shè)計(jì)選擇
3.2.1本條規(guī)定主要依據(jù)現(xiàn)行行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《防靜電地面施工及驗(yàn)收
規(guī)范》SJ/T31469、地方標(biāo)準(zhǔn)《防靜電工程技術(shù)規(guī)程》DG/TJ08—
83等,并參考國(guó)內(nèi)、國(guó)外相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)以及近年來(lái)大量的工程實(shí)踐經(jīng)
驗(yàn)而制定。
由于軟簾的放電機(jī)理比較特殊,其靜電泄放過(guò)程不是一次就
釋放全部能量,參照國(guó)外標(biāo)準(zhǔn),軟簾的摩擦起電電壓可適當(dāng)放寬。
三級(jí)防靜電工作區(qū)提出了低起電材料的應(yīng)用,根據(jù)有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)
和文獻(xiàn)的一般提法,低起電材料界定為摩擦起電電壓絕對(duì)值不大
于2000V,為滿(mǎn)足三級(jí)防靜電工作區(qū)的靜電電位要求,用于防靜電
環(huán)境材料的摩擦起電電壓絕對(duì)值仍不得大于1000V。
3.2.2本條規(guī)定適用于工程意義上的固定設(shè)施,不包括局部的臨
時(shí)或過(guò)渡性設(shè)施。
人人文庫(kù)專(zhuān)用
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4防靜電工作區(qū)室內(nèi)裝飾設(shè)計(jì)
4.1地面設(shè)計(jì)
4.1.1防靜電地面是室內(nèi)環(huán)境靜電控制的重點(diǎn)部位。防靜電
地面類(lèi)型的選擇,首先應(yīng)滿(mǎn)足不同的生產(chǎn)工藝及使用要求,其
次應(yīng)適合建筑環(huán)境條件,同時(shí)還應(yīng)進(jìn)行綜合技術(shù)經(jīng)濟(jì)分析和比
較。
本規(guī)范將防靜電地面分為五大類(lèi),本條款不排除其他新型材
料及地面類(lèi)型的使用,當(dāng)采用其他新型材料或地面類(lèi)型時(shí),可參照
相近地面類(lèi)型進(jìn)行設(shè)計(jì)選擇。具有長(zhǎng)效和穩(wěn)定的導(dǎo)靜電性能地面
材料參見(jiàn)本規(guī)范第3.1.3條的規(guī)定,具有可靠的靜電泄放接地系
統(tǒng)參見(jiàn)本規(guī)范第6章的相關(guān)規(guī)定。
本規(guī)范采取設(shè)置絕緣隔離層來(lái)保證靜電泄放接地系統(tǒng)的可靠
性,是緣于我國(guó)某些地區(qū)地下水位較高,氣候潮濕引起基礎(chǔ)地坪電
阻過(guò)低,造成靜電無(wú)組織泄放的問(wèn)題。為使接地檢測(cè)真實(shí)可靠,設(shè)
置絕緣隔離層是必要的措施。但設(shè)計(jì)判定當(dāng)?shù)貧庀蠛偷刭|(zhì)條件能
保證基礎(chǔ)地坪有較高電阻時(shí),三級(jí)防靜電工作區(qū)可不設(shè)置絕緣隔
離層。
4.1.2~4.1.6條文規(guī)定主要依據(jù)現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑地面工程
施工質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范人人文庫(kù)專(zhuān)用》GB50209、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《防靜電地面施工及驗(yàn)
收規(guī)范》SJ/T31469和地方標(biāo)準(zhǔn)《防靜電工程技術(shù)規(guī)程》DG/
TJ08—83,以及總結(jié)各地專(zhuān)業(yè)施工、設(shè)計(jì)單位近年來(lái)工程經(jīng)驗(yàn)
編寫(xiě)而成。為方便設(shè)計(jì)選擇,提供下列推薦使用表(表1)供參
考。
貼面地面如需防護(hù)上蠟,應(yīng)在保持其原有性能的基礎(chǔ)上,導(dǎo)靜
電型地面上涂導(dǎo)靜電蠟,靜電耗散型地面上涂防靜電蠟。
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表1防靜電地面
場(chǎng)所一級(jí)二級(jí)三級(jí)
地面類(lèi)型
導(dǎo)靜電型活動(dòng)地板☆√√
靜電耗散型活動(dòng)地板√☆√
貼面地板√√☆
樹(shù)脂涂層地面√√☆
水磨石地面—√√
移動(dòng)式地墊——√
注:表中☆為推薦使用,√為可以使用。
4.2頂棚和墻面設(shè)計(jì)
4.2.1金屬骨架有利于整體電氣連接和接地。設(shè)置接地連接點(diǎn)
的規(guī)定來(lái)源于工程實(shí)踐,并參照相關(guān)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)及行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。靜電
泄放和等電位連接是防靜電工作區(qū)環(huán)境抗干擾的必要手段。
4.2.2頂棚和墻、柱面的防靜電裝飾對(duì)控制防靜電工作區(qū)環(huán)境質(zhì)
量主要有兩方面的作用:
1抑制塵埃的帶電吸附,改善環(huán)境的清潔度。
2抑制靜電噪聲的空間傳導(dǎo)及其與電噪聲的耦合,凈化防靜
電工作區(qū)的電場(chǎng)環(huán)境。
其實(shí)際效果最終反映仍然是環(huán)境的靜電電位控制。所以防靜
電工作區(qū)的頂棚和墻、柱面的罩面板應(yīng)根據(jù)設(shè)計(jì)分級(jí)標(biāo)準(zhǔn)選擇。
4.2.3為確保任何情況下防靜電工作區(qū)的靜電電位絕對(duì)值不大人人文庫(kù)專(zhuān)用
于100V,一級(jí)防靜電工作區(qū)的墻、柱面應(yīng)設(shè)置導(dǎo)電層,這有利于靜
電的可靠泄導(dǎo)。
4.2.4由于高度潔凈或嚴(yán)格限制靜電吸附場(chǎng)所的靜電場(chǎng)對(duì)塵埃
的影響,不能籠統(tǒng)按照本規(guī)范第3.1.1條的規(guī)定進(jìn)行控制,因此應(yīng)
根據(jù)工藝要求計(jì)算確定或依據(jù)模擬試驗(yàn)確定頂棚和墻、柱罩面層
的靜電耗散指標(biāo)。
·83·
當(dāng)表層使用金屬面板時(shí),金屬導(dǎo)體會(huì)與靠近的帶電人體產(chǎn)生
電離與放電,所以面層金屬不宜裸露。
4.2.5本條規(guī)定針對(duì)二、三級(jí)防靜電工作區(qū)。環(huán)境濕度對(duì)靜電的
積聚影響極大,濕度提高會(huì)有利靜電的耗散,所以在有利濕度的條
件下,靜電防護(hù)的措施可簡(jiǎn)化。
4.3門(mén)窗和其他裝修設(shè)計(jì)
4.3.1本條規(guī)定第1、2款是防靜電工作區(qū)的基本條件,第3~5
款滿(mǎn)足環(huán)境密封防塵的基本要求,這對(duì)凈化防靜電環(huán)境和節(jié)能等
具有積極影響。
第5款考慮到長(zhǎng)效型靜電耗散薄膜的價(jià)格問(wèn)題,提出了可采
用透明防靜電塑料板。
4.3.2一般裝修設(shè)計(jì)中經(jīng)常使用未經(jīng)表面改性處理的高分子絕
緣材料,這是環(huán)境中產(chǎn)生靜電的主要靜電源,因此本規(guī)范明確強(qiáng)調(diào)
禁用。另外,強(qiáng)吸濕性材料在高濕環(huán)境條件下容易造成塵埃的懸
浮吸附,不宜使用。
由于裝修飾面的平整光滑對(duì)于抑制靜電的產(chǎn)生和積聚有積極
作用,所以防靜電工作區(qū)作為工作場(chǎng)所不宜將飾面設(shè)計(jì)得過(guò)于復(fù)
雜。
人人文庫(kù)專(zhuān)用
·93·
5防靜電工作區(qū)電氣設(shè)計(jì)
5.0.1防靜電工作區(qū)電源質(zhì)量與靜電的產(chǎn)生并無(wú)直接關(guān)系,但當(dāng)
環(huán)境中的靜電噪聲與電源噪聲產(chǎn)生感應(yīng)耦合時(shí),將會(huì)誘發(fā)對(duì)電子
設(shè)備的干擾。因此基于抑制靜電噪聲的考慮,在防靜電工程設(shè)計(jì)
中應(yīng)規(guī)定供電電源的質(zhì)量要求。供電電源質(zhì)量分級(jí)可參照現(xiàn)行國(guó)
家標(biāo)準(zhǔn)《電子信息系統(tǒng)機(jī)房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50174的規(guī)定執(zhí)行。
5.0.2防靜電工作區(qū)中的電子設(shè)備和設(shè)施對(duì)供電的可靠性有較
高的要求,因此為了防止其他電力負(fù)荷的干擾,同時(shí)亦為有利于運(yùn)
行維護(hù)管理,當(dāng)電子設(shè)備和設(shè)施用電容量較大時(shí),宜由變電所專(zhuān)用
回路供電;當(dāng)電子設(shè)備和設(shè)施用電容量較小時(shí),宜由低壓總配電間
專(zhuān)用回路供電。本條又規(guī)定各種電源設(shè)施應(yīng)盡量靠近電子設(shè)備和
設(shè)施,是為了減少線路電壓下降和線路干擾。
5.0.3本條及其以下各條規(guī)定指明了在防靜電工作區(qū)的供配電
和照明設(shè)計(jì)必須解決防電源線干擾的途徑。電氣設(shè)計(jì)應(yīng)為防靜電
工作區(qū)的電子設(shè)備和設(shè)施的安全運(yùn)行與可靠性工作提供保證。根
據(jù)IBM公司、AT&T公司及美國(guó)海軍所發(fā)布的數(shù)據(jù),影響電子設(shè)
備工作的問(wèn)題主要起因于長(zhǎng)時(shí)間的電壓跌落和短時(shí)間的瞬變。
5.0.4本條規(guī)定是為了防止雷擊及操作過(guò)電壓對(duì)防靜電工作區(qū)
中的電子設(shè)備和設(shè)施造成的危害人人文庫(kù)專(zhuān)用。
5.0.5電子設(shè)備和設(shè)施中單相負(fù)荷的不均勻分配,特別是大容量
負(fù)荷的突然變更,都將導(dǎo)致電壓波動(dòng)和諧波失真,因此本規(guī)定強(qiáng)調(diào)
單相負(fù)荷的均勻分配,并引用現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子信息系統(tǒng)機(jī)房設(shè)
計(jì)規(guī)范》GB50174規(guī)定的三相負(fù)荷不平衡度應(yīng)小于20%。同時(shí)
又規(guī)定應(yīng)根據(jù)負(fù)荷實(shí)際運(yùn)行情況,選擇放大中性線的導(dǎo)線截面,以
防止諧波電流通過(guò)時(shí),造成中性線過(guò)熱現(xiàn)象。
·04·
5.0.6本條對(duì)電源布線方式的規(guī)定,是為了防止相鄰導(dǎo)線之間電
磁騷擾能量的感應(yīng)耦合,抑制電源噪聲的傳播。本條又規(guī)定應(yīng)分
別設(shè)置電子設(shè)備和設(shè)施的工作電源插座和普通電源插座,這是為
了避免其他電氣設(shè)備誤插入電子設(shè)備和設(shè)施的專(zhuān)用工作電源插
座,從而影響電子設(shè)備和設(shè)施的正常工作。
5.0.7本條是對(duì)防靜電工作區(qū)中的電氣設(shè)備電磁兼容性的規(guī)定。
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·14·
6防靜電工作區(qū)接地系統(tǒng)設(shè)計(jì)
6.0.1將靜電泄放至大地是消除靜電的一種主要方法,為了保證
靜電迅速、安全、有效地泄放,應(yīng)設(shè)置防靜電接地系統(tǒng)。
6.0.3防靜電工作區(qū)有較多的電子設(shè)備是單相負(fù)荷,存在著不平
衡電流,而且由于環(huán)境中有熒光燈、晶閘管以及其他非線性負(fù)荷的
存在,在線路中產(chǎn)生高次諧波,使中性線帶有較大的電流,而TN-S
或TN-C-S供電接地系統(tǒng)中有專(zhuān)用不帶電的保護(hù)接地PE線,因
此安全性好。
6.0.4防靜電工作區(qū)必然有多種電子設(shè)備和裝置,因此除了一般
建筑物共有的防雷接地、工作(交流工作)接地、保護(hù)(故障保護(hù))接
地外,還有直流工作(信號(hào)參考接地、邏輯接地)接地、屏蔽接地、功
率接地和防靜電接地系統(tǒng)等。由于各自的功能不同,為了抑制相
互干擾,不同功能的接地系統(tǒng)不應(yīng)混接,而且必須遵循總等電位、
局部等電位連接的原則。
6.0.5圖2提供了防靜電接地系統(tǒng)滿(mǎn)足本條要求的一種布置方
式,供參考。
6.0.6為了解決好各個(gè)接地系統(tǒng)之間的相互關(guān)系,在接地系統(tǒng)設(shè)
計(jì)時(shí),應(yīng)以防雷接地系統(tǒng)設(shè)計(jì)為基礎(chǔ)。由于在大多數(shù)情況下各種
功能接地系統(tǒng)最終采用聯(lián)合接地方式人人文庫(kù)專(zhuān)用,因此應(yīng)首先考慮防雷接地
系統(tǒng)設(shè)計(jì),使其他功能接地系統(tǒng)都包含在防雷接地系統(tǒng)的保護(hù)范
圍之內(nèi)。
特定行業(yè)、特定地面及設(shè)施的防雷接地尚應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)
準(zhǔn)《電子信息系統(tǒng)機(jī)房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50174和現(xiàn)行行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《通信機(jī)
房靜電防護(hù)通則》YD/T754、《移動(dòng)通信基站防雷與接地設(shè)計(jì)規(guī)范》
YD5068、《航天系統(tǒng)地面設(shè)施接地要求》Q(chēng)J1211等的有關(guān)規(guī)定。
·24·
圖2防靜電接地系統(tǒng)典型布置
注:圖中FEB為樓層等電位接地端子板。
6.0.7、6.0.8防靜電接地系統(tǒng)接地端口之間應(yīng)做等電位連接。
防靜電接地系統(tǒng)應(yīng)設(shè)計(jì)低阻抗的靜電泄放電氣通路人人文庫(kù)專(zhuān)用,接地導(dǎo)線的
橫截面除了滿(mǎn)足低電阻的要求以外,還必須有足夠的機(jī)械強(qiáng)度及
其他電磁兼容性要求。電子、航天行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定接地主干線截面
積不應(yīng)小于95mm2,本規(guī)范引用了這一規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)。
防靜電接地主干線通常應(yīng)從總等電位接地端子板引接。當(dāng)防
靜電工作區(qū)設(shè)置在高層建筑內(nèi),總等電位接地端子板與防靜電工
作區(qū)樓層垂直距離較遠(yuǎn)時(shí),為保證防靜電接地端子板與樓層其他
·34·
接地設(shè)備的等電位,防靜電接地主干線宜從樓層等電位接地端子
板引接。
現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑物電子信息系統(tǒng)防雷技術(shù)規(guī)范
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