項目需求和技術方案要求

山東標新項目管理有限公司項目需求和技術方案要求一、技術要求一、能源器件制備系統(tǒng)（四工位）該系統(tǒng)由4個惰性箱體組成,該系統(tǒng)可用于鈣鈦礦太陽能電池實驗及測試分析，鋰電制備（需提供箱體的方案介紹）一、箱體要求：1、4個不銹鋼箱體，設備長度>5800mm，通過多度艙和法蘭對接，可以實現(xiàn)箱體之間的互傳。箱體背部可對接真空鍍膜機；▲2、可拆卸的安全玻璃視窗，鋼化玻璃厚度8mm，視窗與箱體之間的密封使用雙層封技術，達到無泄漏（提供詳細的技術方案介紹）；3、4個過度艙；▲4、鋁合金手套口，由實心棒材加工而成，經(jīng)原色氧化防腐處理，手套與手套口之間采用微負壓抽真空密封，達到無泄漏（提供證明文件，提供官網(wǎng)介紹圖片并加蓋供應商公章）；5、真空系統(tǒng)自動休眠；▲6、照明自動控制系統(tǒng)；7、非集成電池閥；8、箱體平衡模塊；9、套快開視窗；10、泄露率﹤0.001vol%/h；11、一個空調(diào)：安裝在箱體上，控制箱體內(nèi)溫度，18-25℃；12、需確保該系統(tǒng)與真空鍍膜機設備連用。二、凈化系統(tǒng)：（可對接已有的手套箱）▲1、凈化系統(tǒng)，自動循環(huán)：循環(huán)風機無需連續(xù)運轉(zhuǎn)，由水氧分析儀控制，通常每小時只需工作5分鐘，使得氣體純化系統(tǒng)無需水冷卻。（提供詳細的方案介紹）2、水探頭（2套）氧化鋁薄膜探頭（不接受五氧化二磷探頭）檢測范圍0-1000ppm（可轉(zhuǎn)化為ppm在觸摸屏上顯示)，精度0.2ppm；專為手套箱氣氛設計，耐腐蝕，PLC集成控制，感測數(shù)據(jù)直接顯示在主機屏幕上，設計壽命≥5年，提供相關國家權威部門出具的探頭精準度檢測報告；▲3、氧探頭（2套）檢測范圍0-1000ppm，精度0.2ppm；專為手套箱氣氛設計，耐腐蝕，PLC集成控制，感測數(shù)據(jù)直接顯示在主機屏幕上，氧探頭為化學燃料電池（不接受氧化鋯探頭）（提供廠家官網(wǎng)探頭介紹圖片），提供相關國家權威部門出具的探頭精準度檢測報告；4、可自動監(jiān)測手套箱泄漏率：設定自動監(jiān)測，PLC將根據(jù)用戶的設定，每天自動在設定的時間對箱體的泄漏進行檢測和報告泄漏率，如超過設定值，系統(tǒng)會彈出窗口，警告用戶泄漏率超標（提供第三方證明文件）5、除塵模塊≥1套6、箱體內(nèi)部定制一套4mm的不銹鋼鋼管，用于手套口和箱體的抽真空。7、真空泵（2臺）：流量12m3/h，極限真空2x10-3毫巴，配備油霧過濾器。8、H2O﹤1ppm，O2﹤1ppm二、能源器件制備系統(tǒng)（單工位*2）該系統(tǒng)由2個惰性箱體組成,該系統(tǒng)可用于鈣鈦礦太陽能電池、有機薄膜晶體管等實驗及測試分析，鋰電制備（需提供箱體的方案介紹）一、箱體要求：1、2個不銹鋼箱體，設備長度>3000mm，通過多度艙和法蘭對接，可以實現(xiàn)箱體之間的互傳。箱體背部可對接真空鍍膜機；▲2、可拆卸的安全玻璃視窗，傾斜設計的操作面，鋼化玻璃厚度8mm，視窗與箱體之間的密封使用雙層封技術，達到無泄漏（提供詳細的技術方案介紹）；3、4個過度艙；▲4、鋁合金手套口，由實心棒材加工而成，經(jīng)原色氧化防腐處理，手套與手套口之間采用微負壓抽真空密封，達到無泄漏（提供證明文件，提供官網(wǎng)介紹圖片并加蓋供應商公章）；5、真空系統(tǒng)自動休眠；▲6、照明自動控制系統(tǒng)；7、非集成電池閥；8、箱體平衡模塊；9、套快開視窗；10、泄露率﹤0.001vol%/h；11、一個加熱過渡倉，最高溫度≥200℃二、凈化系統(tǒng)：（可對接已有的手套箱）▲1、凈化系統(tǒng)，自動循環(huán)：循環(huán)風機無需連續(xù)運轉(zhuǎn)，由水氧分析儀控制，通常每小時只需工作5分鐘，使得氣體純化系統(tǒng)無需水冷卻；（提供詳細的方案介紹）2、水探頭（2套）氧化鋁薄膜探頭（不接受五氧化二磷探頭）檢測范圍0-1000ppm（可轉(zhuǎn)化為ppm在觸摸屏上顯示)，精度0.2ppm；專為手套箱氣氛設計，耐腐蝕，PLC集成控制，感測數(shù)據(jù)直接顯示在主機屏幕上，設計壽命≥5年，提供相關國家權威部門出具的探頭精準度檢測報告；▲3、氧探頭（2套）檢測范圍0-1000ppm，精度0.2ppm；專為手套箱氣氛設計，耐腐蝕，PLC集成控制，感測數(shù)據(jù)直接顯示在主機屏幕上，氧探頭為化學燃料電池（不接受氧化鋯探頭）（提供廠家官網(wǎng)探頭介紹圖片），提供相關國家權威部門出具的探頭精準度檢測報告；4、可自動監(jiān)測手套箱泄漏率：設定自動監(jiān)測，PLC將根據(jù)用戶的設定，每天自動在設定的時間對箱體的泄漏進行檢測和報告泄漏率，如超過設定值，系統(tǒng)會彈出窗口，警告用戶泄漏率超標（提供第三方證明文件）；5、除塵模塊1套；6、箱體頂內(nèi)定制一套4mm的不銹鋼鋼管，用于手套口和箱體的抽真空；7、真空泵（2臺）：流量12m3/h，極限真空2x10-3毫巴，配備油霧過濾器；8、H2O﹤1ppm，O2﹤1ppm。三、真空鍍膜機1﹑實現(xiàn)功能：金屬熱蒸發(fā)沉積鍍膜設備，是在高真空條件下，通過加熱材料的方法，在襯底上沉積各種金屬單層或多層膜，主要用于有機太陽能電池，有機半導體材料的物理化學性能研究實驗及金屬材料的原理研究實驗?？梢哉舭l(fā)Au,Ag,Al,等金屬。其中金屬源采用300A水冷電極，絲舟兼容方式。除前開門位置為膠圈密封外，其他位置全部采用金屬密封或磁偶合密封技術，所用電極采用陶封技術，運動采用金屬焊接波紋管結(jié)構(gòu)。2、主要技術參數(shù)：1）極限真空：優(yōu)于5×10-5Pa（新設備）2）漏率：6.7×10-8Pa·L/S3）工作真空：7×10-4Pa，從大氣到工作真空時間＜40分鐘（新設備冷態(tài)下）4）系統(tǒng)保壓：系統(tǒng)抽到極限后，停泵關機12小時后，系統(tǒng)真空度保持狀態(tài)≤2Pa。5）樣品尺寸：100×100mm.6）樣品托尺寸：100×100mm.7）樣品架與源表面距離：260~300mm連續(xù)可調(diào)8）蒸發(fā)源：金屬源×3套。9）樣品臺升降距離：單級升降±20mm，電動升降10）樣品臺加熱：室溫~400℃11）樣品臺控溫精度：±1℃12）真空室開腔形式：手動前大開門結(jié)構(gòu)13）膜厚探頭：水冷2只，安裝在樣品架下方。3﹑需求概述蒸發(fā)室，工作臺兩大部分。工作臺內(nèi)安裝各種電器部件。1）蒸發(fā)室：由單真空腔體構(gòu)成，腔體材質(zhì)為不銹鋼SUS304，前后開門結(jié)構(gòu)。真空室尺寸為400×400×550mm。前開門嵌套在手套箱內(nèi)，側(cè)滑門結(jié)構(gòu)。后開門是折頁開門結(jié)構(gòu)。真空室底板安裝三套金屬蒸發(fā)源和兩個備用口，底板安裝帶防污分子泵抽氣口，真空室頂板安裝樣品架和總擋板。真空室底部安裝金屬蒸發(fā)源電動擋板，側(cè)壁上方安裝膜厚探頭法蘭，規(guī)管法蘭，備用法蘭等。前開門為合金鋁材料，氟膠圈密封方式。安裝上下兩套觀察窗。分別觀察樣品架和蒸發(fā)臺。真空室內(nèi)壁及前門，安裝有不銹鋼屏蔽板。2）蒸發(fā)屏蔽板：真空室側(cè)壁，底板，上板。3）前門觀察窗：分為上下觀察窗，上觀察窗為DN195×90mm，膠圈密封，用于樣品架運動觀察。下觀察窗為DN90.膠圈密封，用于蒸發(fā)臺觀察。下觀察窗上安裝一個轉(zhuǎn)動的遮片擋板。4）真空獲得系統(tǒng)：腔室配有獨立真空抽氣系統(tǒng)，由機械泵和渦輪分子泵組成。配置分子泵1臺，抽速速率（L/s）：N2：1200He：750H2：480Ar：1160；配置機械泵1臺，極限分壓力-關閉氣鎮(zhèn)：4*10?2Pa，極限全壓力-關閉氣鎮(zhèn)4*10?1Pa，極限全壓強-開啟氣鎮(zhèn)8*10?1Pa，抽速：30（8.3）m3/h（L/s）；配置CF200氣動插板閥≥一套；配置CF35全金屬氣動角閥≥1只；配置Ф32波紋管管路1.5m，≥3只；配置放氣閥≥1支；配置KF40電磁壓差閥≥1支；配置KF40氣動角閥≥1支。烘烤燈組件：烘烤與照明燈分開。兩只烘烤燈，一只照明燈。6）樣品架：單級電動升降±20，用于調(diào)整蒸發(fā)間距。蒸發(fā)源和樣品距離為260mm至300mm連續(xù)可調(diào)。在升降架側(cè)安裝有指示標尺。樣品架可旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速手動可調(diào)整。室溫～400℃，電動旋轉(zhuǎn)0～30轉(zhuǎn)/分。每次可安裝100mm*100mm樣品1片。采用鎧裝絲加熱器。7）樣品架擋板：氣動/磁力耦合原理，與樣品架同時升降，在真空室外有位置限制。8）金屬源及擋板：三套，金屬源直接安裝在真空室底板上。水冷結(jié)構(gòu)，可以用舟蒸發(fā)金屬類材料。兩只電極間距為70mm。配有三套電動旋轉(zhuǎn)磁力耦合擋板，安裝于真空室側(cè)壁或者底板。加熱電極有預留的加長功能。9）膜厚探頭：兩套，國產(chǎn)膜厚探頭，配有氣動小擋板。CF35，水冷結(jié)構(gòu)，用于測量蒸發(fā)速率。安裝在真空室側(cè)壁上，標配兩只，并且安裝有擋板。用于測量膜厚和蒸發(fā)速率，一只專用于減反膜的測試，另一只測量其他金屬的膜厚，測量精度0.01?。10）工作臺：工作臺是該設備的骨架，安裝著支撐部件，方管焊成結(jié)構(gòu)，臺面鋪有不銹鋼裝飾板，表面靜電噴涂處理，四周有方便拆卸的圍板，工作臺內(nèi)部安裝設備真空控制單元，樣品架加熱電源，室烘烤照明電源,分子泵電源,有機源電源，金屬蒸發(fā)電源、頻率計、真空計5227等。11）真空控制單元：PLC+觸摸屏控制：機械泵運行，前級閥運行，樣品架的升降，旋轉(zhuǎn)和掩膜板的升降。12）樣品架加熱電源：樣品臺旋轉(zhuǎn)控制，最高溫度400℃?？販鼐取?℃。導電控溫儀,控溫精度±1℃，0.8KW,13）室烘烤照明電源：控制真空室內(nèi)一只照明燈，兩只烘烤燈的供電。14）金屬蒸發(fā)電源：開關電源原理，總功率1.5KW，5V/300A，一帶二輸出方式，二臺。15）復合真空計：一低一高；一路連接電阻規(guī)，一路連接金屬電離規(guī)，復合模式，量程自動切換。16）膜厚儀：配置一臺進口品牌膜厚儀實時顯示膜厚以及沉積速率（明確品牌型號）16.1）高亮度，VGA活性點陣彩色LCD顯示器–可顯示英文或中文。16.2）標準RS-232和USB（有以太網(wǎng)選件）。16.3）易設置和操作，有“快速設置”菜單，6個上下文-敏感的按鈕，和參數(shù)設定旋鈕。16.4）Window程序用于開發(fā)，測試，和下載工藝過程，和將儀器數(shù)據(jù)記錄至PC上，用于過程分析與質(zhì)量控制。16.5）精確的過程控制，尤其用于低淀積率，在10讀值／秒時的分辨率為±0.03Hz，在0至50°C溫度范圍內(nèi)的頻率穩(wěn)定性為±2ppm。16.6）貯存容量高至100個工藝過程，1000個膜層，50個膜系