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傳感器應(yīng)用技術(shù)項目三
基于電容式傳感器的濕度計的設(shè)計與制作電容傳感器的主要特性講授內(nèi)容設(shè)初始電容為當間隙d0減小Δd時,則電容量增大ΔC,則:電容的相對變化為:1.變極距式電容傳感器當時,將上式按泰勒級數(shù)展開,得:可見,電容C的相對變化與位移之間呈現(xiàn)的是一種非線性關(guān)系。在誤差允許范圍內(nèi)通過略去高次項得到其近似的線性關(guān)系:電容傳感器的靜態(tài)靈敏度為:靈敏度隨極板間距的減小而增大1.變極距式電容傳感器如果只考慮二次非線性項,忽略其它高次項,則得非線性誤差:如圖,極距變化相同值±△d所對應(yīng)的電容變化量不同
由以上分析可知:變極距型電容式傳感器只有在Δd/d0很小時,才有近似的線性輸出。ΔC1>ΔC2非線性隨極板間距的減小而增大1.變極距式電容傳感器-非線性誤差C為了提高靈敏度和減小非線性,以及克服某些外界條件如電源電壓、環(huán)境溫度變化的影響,常采用差動式的電容傳感器,其原理結(jié)構(gòu)如圖所示。1.變極距式電容傳感器1.變極距式電容傳感器
1.變極距式電容傳感器
1.變極距式電容傳感器可見,電容式傳感器做成差動式結(jié)構(gòu)后,非線性誤差大大降低了,而靈敏度比單極距電容傳感器提高了一倍。與此同時,差動式電容傳感器還能減小靜電引力給測量帶來的影響,并有效的改善由于環(huán)境影響所造成的誤差。1.變極距式電容傳感器2.變面積式電容傳感器當動極板移動后,極板相對有效面積發(fā)生變化,對應(yīng)的電容值為:2.變面積式電容傳感器靈敏度:靈敏度為常數(shù)用于線位移測量的電容式傳感器變面積型電容傳感器中,平板形結(jié)構(gòu)對極距變化特別敏感,測量精度受到影響,而圓柱形結(jié)構(gòu)受極板徑向變化的影響很小,成為實際中最常采用的結(jié)構(gòu)。其電容計算式為:
2.變面積式電容傳感器當重疊長度x變化時,電容量變化為:靈敏度為:可見,其輸出與輸入成線性關(guān)系,靈敏度是常數(shù),但與極板變化型相比,圓柱式電容傳感器靈敏度較低,但其測量范圍更大。
2.變面積式電容傳感器
2.變面積式電容傳感器用于角位移測量的電容式傳感器2.變面積式電容傳感器3.變介質(zhì)式電容傳感器電容式液位傳感器原理圖電容式液位傳感器3.變介質(zhì)式電容傳感器電容式液位傳感器結(jié)構(gòu)原理圖與等效電路圖示同軸圓柱形電容器的初始電容為:測量時,電容器的介質(zhì)一部分是被測液位的液體,一部分是空氣。設(shè)C1為液體有效高度hx形成的電容,C2為空氣高度(h-hx)形成的電容,則:
3.變介質(zhì)式電容傳感器由于C1和C2為并聯(lián),所以總電容為:可見,電容C理論
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