《連續(xù)雙樣品室等離子體清洗裝置》

ICS21.020

CCSJ70

團體標準

T/QGCMLXXXX—2023

連續(xù)雙樣品室等離子體清洗裝置

Continuousdoublesamplechamberplasmacleaningdevice

XXXX-XX-XX發(fā)布XXXX-XX-XX實施

全國城市工業(yè)品貿(mào)易中心聯(lián)合會發(fā)布

T/QGCMLXXXX—2023

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《標準化工作導則第1部分：標準化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定

起草。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機構(gòu)不承擔識別專利的責任。

本文件由全國城市工業(yè)品貿(mào)易中心聯(lián)合會提出并歸口。

本文件起草單位：

本文件主要起草人：

II

T/QGCMLXXXX—2023

連續(xù)雙樣品室等離子體清洗裝置

1范圍

本文件規(guī)定了連續(xù)雙樣品室等離子體清洗裝置的術語和定義、構(gòu)成及原理、技術要求、試驗方法、

檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸及貯存。

本文件適用于連續(xù)雙樣品室等離子體清洗裝置的設計、制造和檢驗。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，

僅該日期對應的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本

文件。

GB/T191包裝儲運圖示標志

GB/T3767聲學聲壓法測定噪聲源生功率級和聲能量級反射面上方近似自由場的工程法

GB/T4208外殼防護等級（IP代碼）

GB/T5095.7電子設備用機電元件基本試驗規(guī)程及測量方法第7部分:機械操作試驗和密封性試驗

GB/T5226.1機械電氣安全機械電氣設備第1部分:通用技術條件

GB/T13306標牌

GB/T15706機械安全設計通則風險評估與風險減小

3術語和定義

下列術語和定義適用于本文件。

3.1

連續(xù)雙樣品室等離子體清洗裝置continuousdoublesamplechamberplasmacleaningdevice

將多種待清洗工件放置在樣品庫的樣品托上后，通過兩側(cè)送樣裝置和樣品庫升降裝置的作用，方便

取送托盤至清洗位置，系統(tǒng)自動抽真空并充氣，運動機構(gòu)根據(jù)程序設置自動運行；啟動設備后可實現(xiàn)自

動、單片、連續(xù)式清洗，有效提高清洗效率及清洗穩(wěn)定性。

3.2

等離子清洗裝置plasmacleaner

等離子清洗裝置也叫等離子清潔機，或者等離子表面處理儀，利用等離子體來達到常規(guī)清洗方法無

法達到的效果。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括：離

子、電子、原子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清潔機就是通過利用這些活性組

分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實現(xiàn)清潔、涂覆等目的。

3.3

等離子體plasma

等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)，并不屬于常見的固液氣三態(tài)。

4構(gòu)成

連續(xù)雙樣品室等離子體清洗裝置的結(jié)構(gòu)見圖1所示，主要包括：

1

T/QGCMLXXXX—2023

a)等離子體清洗室；

b)送樣裝置；

c)樣品庫升降裝置；

d)樣品室；

e)多層樣品托；

f)導電塊；

g)連接通道。

注：1送樣裝置、2樣品庫升降裝置、3樣品室、4多層樣品托、5導電塊、6等離子體清洗室、7連接通道。

圖1結(jié)構(gòu)圖

5技術要求

5.1工作條件

5.1.1環(huán)境溫度:10℃～35℃。

5.1.2相對濕度:不大于80%。

5.1.3大氣壓力:76.0kPa～106.0kPa。

5.2外觀

外觀應符合下列要求:

a)外觀整齊、清潔,表面涂、鍍層無明顯剝落、擦傷、露底及污垢；

b)所有銘牌及標志應清晰和耐久，內(nèi)容符合相關法規(guī)、標準的要求；

c)所有緊固件不得松動、各種調(diào)節(jié)件靈活，功能正常所有部件表面不得銹蝕。

5.3功能要求

導電塊與高頻放電電源電性連接，等離子體清洗室、送樣裝置和樣品庫升降裝置采用全自動控制功

能。全自動控制避免連續(xù)開啟等離子體清洗室導致等離子體清洗室氣氛變化，從而導致清洗效果的不一

致性。

5.4防護等級

應不低于GB/T4208中規(guī)定的外殼防護等級IP65的要求。

5.5安全要求

a)電氣安全應符合GB/T5226.1的要求；

b)機械安全應符合GB/T15706的要求。

5.6氣密性

2

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各部件連接處不應出現(xiàn)泄漏現(xiàn)象。

5.7工作穩(wěn)定性

應進行工作穩(wěn)定性試驗，通電試驗時間不小于48h，每24h檢查一次。

5.8噪聲

在空載運轉(zhuǎn)條件下，整機噪聲聲壓級不應大于85dB(A)。

5.9環(huán)境適應性

5.9.1耐低溫

符合GB/T2423.1中5.9.1的要求。

5.9.2耐高溫

符合GB/T2423.2中5.9.2的要求。

5.9.3交變濕熱

符合GB/T2423.4中5.9.3的要求。

6試驗方法

6.1外觀

在自然光照下用目測法進行觀察。

6.2防護等級

防護等級試驗按GB/T4208的規(guī)定進行。

6.3安全要求

6.3.1電氣安全

電氣安全試驗按GB/T5226.1的規(guī)定進行。

6.3.2機械安全

機械安全試驗按GB/T15706的規(guī)定進行。

6.4氣密性

連接管路后，觀察各部件接頭處，各部件連接處不應出現(xiàn)泄漏現(xiàn)象。

6.5工作穩(wěn)定性

試驗中的測量時間間隔不得大于24h，共試驗48h。試驗中，如出現(xiàn)關連性故障則終止試驗，等故障

排除后重新開始計時試驗，如出現(xiàn)非關連性故障，等故障排除后繼續(xù)試驗，排除故障過程計時。

6.6噪聲

工作噪聲試驗按GB/T3767的規(guī)定執(zhí)行。

6.7環(huán)境適應性試驗

6.7.1耐低溫

耐低溫試驗按GB/T2423.1的規(guī)定進行。

6.7.2耐高溫

耐高溫試驗按GB/T2423.2的規(guī)定進行。

3

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6.7.3交變濕熱

交變濕熱試驗按GB/T2423.4的規(guī)定進行。

7檢驗規(guī)則

檢驗規(guī)則分為出廠檢驗和型式檢驗。

7.1出廠檢驗

7.1.1每批產(chǎn)品由公司質(zhì)檢部門按本文件檢驗合格出具合格證后方可出廠。

7.1.2檢驗項目見表1所示。

7.2型式檢驗

7.2.1型式檢驗項目見表1所示。

7.2.2型式檢驗正常生產(chǎn)時每年一次，有下列情況時也需進行型式檢驗：

a)新產(chǎn)品定型或老產(chǎn)品長期停產(chǎn)一年以上恢復生產(chǎn)時；

b)正式生產(chǎn)后，如材料、工藝有較大改變，可能影響產(chǎn)品性能時；

c)用戶對產(chǎn)品性能質(zhì)量有異議時；

d)出廠檢驗結(jié)果與上次型式檢驗有較大差異時；

e)國家相關管理部門提出型式檢驗的要求時。

表1檢驗項目

檢驗項目出廠檢驗型式檢驗

外觀√√

功能要求√√

防護等級—√

電氣安全—√

機械安全—√

氣密性—√

工作穩(wěn)定性—√

噪聲—√

耐低溫—√

耐高溫—√

交變濕熱—√

注：“√”表示檢驗項目；“—”表示不檢驗項目

7.3判定規(guī)則

7.3.1在出廠檢驗項目中全部符合本文件要求則判為合格，若有一項不符合則判為不合格。

7.3.2在型式檢驗項目中若全部符合本文件要求則判定為合格；若有一項不符合則隨機抽取2倍量樣

品數(shù)進行復檢，若仍有不符合則判定型式檢驗不合格。

8標志、包裝、運輸及貯存

8.1標志

8.1.1標志應符合GB/T13306分規(guī)定，產(chǎn)品標志應包括以下內(nèi)容：

a)產(chǎn)品名稱；

b)規(guī)格型號；

c)生產(chǎn)日期；

d)生產(chǎn)企業(yè)名稱和地址；

e)出廠檢驗合格證明；

4

T/QGCMLXXXX—2023

f)主要技術參數(shù)。

8.1.2包裝標志應符合GB/T191的規(guī)定。

8.2包裝

包裝應牢固，包裝箱內(nèi)應有下列文件：

a)產(chǎn)品合格證；

b)安裝使用說明書；

c)裝箱單；

d)檢驗合格證；

e)隨機附件及備件清單等。

8.3運輸

運輸過程中不應有劇烈機械沖擊，不應傾倒放置，運輸過程中應輕拿輕放，嚴防重壓。

8.4貯存

產(chǎn)品應存放在干燥、通風的環(huán)境中，并注意防潮、防腐蝕性。

5

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目次

前言.................................................................................II

1范圍...............................................................................1

2規(guī)范性引用文件.....................................................................1

3術語和定義.........................................................................1

4構(gòu)成...............................................................................1

5技術要求...........................................................................2

6試驗方法...........................................................................3

7檢驗規(guī)則...........................................................................4

8標志、包裝、運輸及貯存.............................................................4

I

T/QGCMLXXXX—2023

連續(xù)雙樣品室等離子體清洗裝置

1范圍

本文件規(guī)定了連續(xù)雙樣品室等離子體清洗裝置的術語和定義、構(gòu)成及原理、技術要求、試驗方法、

檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸及貯存。

本文件適用于連續(xù)雙樣品室等離子體清洗裝置的設計、制造和檢驗。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，

僅該日期對應的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本

文件。

GB/T191包裝儲運圖示標志

GB/T3767聲學聲壓法測定噪聲源生功率級和聲能量級反射面上方近似自由場的工程法

GB/T4208外殼防護等級（IP代碼）

GB/T5095.7電子設備用機電元件基本試驗規(guī)程及測量方法第7部分:機械操作試驗和密封性試驗

GB/T5226.1機械電氣安全機械電氣設備第1部分:通用技術條件

GB/T13306標牌

GB/T15706機械安全設計通則風險評估與風險減小

3術語和定義

下列術語和定義適用于本文件。

3.1

連續(xù)雙樣品室等離子體清洗裝置continuousdoublesamplechamberplasmacleaningdevice

將多種待清洗工件放置在樣品庫的樣品托上后，通過兩側(cè)送樣裝置和樣品庫升降裝置的作用，方便

取送托盤至清洗位置，系統(tǒng)自動抽真空并充氣，運動機構(gòu)根據(jù)程序設置自動運行；啟動設備后可實現(xiàn)自

動、單片、連續(xù)式清洗，有效提高清洗效率及清洗穩(wěn)定性。

3.2

等離子清洗裝置plasmacleaner

等離子清洗裝置也叫等離子清潔機，或者等離子表面處理儀，利用等離子體來達到常規(guī)清洗方法無

法達到的效果。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括：離

子、電子、原子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清潔機就是通過利用這些活性組

分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實現(xiàn)清潔、涂覆等目的。

3.3

等離子體plasma

等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)，并不屬于常見的固液氣三態(tài)。

4構(gòu)成

連續(xù)雙樣品室等離子體清洗裝置的結(jié)構(gòu)見圖1所示，主要包括：

1

T/QGCMLXXXX—2023

a)等離子體清洗室；

b)送樣裝置；

c)樣品庫升降裝置；

d)樣品室；

e)多層樣品托；

f)導電塊；

g)連接通道。

注：1送樣裝置、2樣品庫升降裝置、3樣品室、4多層樣品托、5導電塊、6等離子體清洗室、7連接通道。

圖1結(jié)構(gòu)圖

5技術要求

5.1工作條件

5.1.1環(huán)境溫度:10℃～35℃。

5.1.2相對濕度:不大于80%。

5.1.3大氣壓力:76.0kPa～106.0kPa。

5.2外觀

外觀應符合下列要求:

a)外觀整齊、清潔,表面涂、鍍層無明顯剝落、擦傷、露底及污垢；

b)所有銘牌及標志應清晰和耐久，內(nèi)容符合相關法規(guī)、標準的要求；

c)所有緊固件不得松動、各種調(diào)節(jié)件靈活，功能正常所有部件表面不得銹蝕。

5.3功能要求

導電塊與高頻放電電源電性連接，等離子體清洗室、送樣裝置和樣品庫升降裝置采用全自動控制功

能。全自動控制避免連續(xù)開啟等離子體清洗室導致等離子體清洗室氣氛變化，從而導致清洗效果的不一

致性。

5.4防護等級

應不低于GB/T4208中規(guī)定的外殼防護等級IP65的要求。

5.5安全要求

a)電氣安全應符合GB/T5226.1的要求；

b)機械安全應符合GB/T15706的要求。

5.6氣密性

2

T/QGCMLXXXX—2023

各部件連接處不應出現(xiàn)泄漏現(xiàn)象。

5.7工作穩(wěn)定性

應進行工作穩(wěn)定性試驗，通電試驗時間不小于48h，每24h檢查一次。

5.8噪聲

在空載運轉(zhuǎn)條件下，整機噪聲聲壓級不應大于85dB(A)。

5.9環(huán)境適應性

5.9.1耐低溫

符合GB/T2423.1中5.9.1的要求。

5.9.2耐高溫

符合GB/T2423.2中5.9.2的要求。

5.9.3交變濕熱

符合GB/T2423.4中5.9.3的要求。

6試驗方法

6.1外觀

在自然光照下用目測法進行觀察。

6.2防護等級

防護等級試驗按GB/T4208的規(guī)定進行。

6.3安全要求

6.3.1電氣安全

電氣安全試驗按GB/T5226.1的規(guī)定進行。

6.3.2機械安全

機械安全試驗按GB/T15706的規(guī)定進行。

6.4氣密性

連接管路后，觀察各部件接頭處，各部件連接處不應出現(xiàn)泄漏現(xiàn)象。

6.5工作穩(wěn)定性

試驗中的測量時間間隔不得大于24h，共試驗48h。試驗中，如出現(xiàn)關連性故障則終止試驗，等故障

排除后重新開始計時試驗，如出現(xiàn)非關連性故障，等故障排除后繼續(xù)試驗，排除故障過程計時。

6.6噪聲

工作噪聲試驗按GB/T3767的規(guī)定執(zhí)行。

6.7環(huán)境適應性試驗

6.7.1耐低溫

耐低溫試驗按GB/T2423.1的規(guī)定進行。

6.7.2耐高溫

耐高溫試驗按GB/T2423.2的規(guī)定進行。

3

T/QGCMLXXXX—2023

6.7.3交變濕熱

交變濕熱試驗按GB/T2423.4的規(guī)定進行。

7檢驗規(guī)則

檢驗規(guī)則分為出廠檢驗和型式檢驗。

7.1出廠檢驗

7.1.1每批產(chǎn)品由公司質(zhì)檢部門按本文件檢驗合格出具合格證后方可出廠。

7.1.2檢驗項目見表1所示。

7.2型式檢驗

7.2.1型式檢驗項目見表1所示。

7.2.2型式檢驗正常生產(chǎn)時每年一次，有下列情況時也需進行型式檢驗：

a)新產(chǎn)品定型或老產(chǎn)品長期停產(chǎn)一年以上恢復生產(chǎn)時；

b)正式生產(chǎn)后，如材料、工藝有較大改變，可能影響產(chǎn)品性能時；

c)用戶對產(chǎn)品性能質(zhì)量有異議時；

d)出廠檢驗結(jié)果與上次型式檢驗有較大差異時；

e)國家相關管理部門提出型式檢驗的要求時。

表1檢驗項目

檢驗項目出廠檢驗型式檢驗

外觀√√

功能要求√√

防護等級—√

電氣安全—√

機械安全—√

氣密性—√