潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證

潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證5/9/20241潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證5/9/20242潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證檢測(cè)程序及要求

檢測(cè)程序主要是指對(duì)潔凈室或潔凈區(qū)域的空氣潔凈度等級(jí)等進(jìn)行測(cè)定生物潔凈室還要進(jìn)行浮游菌、沉降菌的測(cè)試1、潔凈室的檢測(cè)首先應(yīng)明確潔凈室或潔凈區(qū)域的占用狀態(tài)，按照《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》規(guī)定，潔凈室檢測(cè)狀態(tài)分為空態(tài)、靜態(tài)和動(dòng)態(tài)三種。5/9/20243潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證檢測(cè)程序

1、三態(tài)檢測(cè)1.1空態(tài)檢測(cè)

設(shè)施已建成，所有動(dòng)力接通并運(yùn)行，但在無(wú)生產(chǎn)設(shè)備、材料和生產(chǎn)人員在場(chǎng)的情況下所進(jìn)行的測(cè)試稱(chēng)為空態(tài)檢測(cè)。1.2靜態(tài)檢測(cè)設(shè)施已建成，生產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)安裝好，并以用戶(hù)和供應(yīng)商同意的方式運(yùn)行，但沒(méi)有生產(chǎn)人員在場(chǎng)的情況下所進(jìn)行的測(cè)試稱(chēng)為靜態(tài)檢測(cè)5/9/20244潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證檢測(cè)程序1、三態(tài)檢測(cè)1.3動(dòng)態(tài)檢測(cè)設(shè)施以規(guī)定的方式運(yùn)行，有規(guī)定數(shù)目的人員在場(chǎng)，并以雙方同意的方式進(jìn)行工作的情況下進(jìn)行的測(cè)試稱(chēng)為動(dòng)態(tài)檢測(cè)。2、潔凈室的檢測(cè)可分為潔凈室工程竣工驗(yàn)收的檢測(cè)、綜合性能評(píng)定的檢測(cè)和運(yùn)行中的監(jiān)測(cè)及定期綜合性能檢測(cè)。

5/9/20245潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證檢測(cè)內(nèi)容

1、竣工驗(yàn)收《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》中明確規(guī)定，竣工驗(yàn)收在對(duì)各分部工程作外觀檢查、單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)、系統(tǒng)聯(lián)合試運(yùn)轉(zhuǎn)，空態(tài)或靜態(tài)條件下的潔凈室性能檢測(cè)和調(diào)整以及對(duì)有關(guān)的施工檢查記錄合格后進(jìn)行。2、綜合性能全面評(píng)定綜合性能全面評(píng)定的檢測(cè)工作必須由有經(jīng)驗(yàn)的第三方承擔(dān)；5/9/20246潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證檢測(cè)內(nèi)容

2、綜合性能全面評(píng)定檢測(cè)所用儀表必須合格有效。檢測(cè)工作須在系統(tǒng)調(diào)整符合設(shè)計(jì)要求并運(yùn)行至少24h后進(jìn)行，而且，在檢測(cè)工作之前，必須對(duì)潔凈室及凈化空調(diào)系統(tǒng)再次進(jìn)行全面徹底的清掃。5/9/20247潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證檢測(cè)內(nèi)容

3、潔凈室（區(qū)）性能測(cè)試和認(rèn)證潔凈室（區(qū)）投入運(yùn)行后，為了檢測(cè)其綜合性能是否可以做到始終符合設(shè)計(jì)要求、標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范的規(guī)定和滿足業(yè)主的產(chǎn)品生產(chǎn)質(zhì)量要求，需對(duì)潔凈室（區(qū)）進(jìn)行監(jiān)測(cè)和定期性能測(cè)試認(rèn)證，測(cè)試認(rèn)證工作應(yīng)由專(zhuān)門(mén)的潔凈室檢測(cè)認(rèn)證單位承擔(dān)。上述三種不同階段、不同時(shí)序的潔凈室（區(qū)）的檢測(cè)內(nèi)容及要求，有相同也有差異，下表列出了它們的各自檢測(cè)項(xiàng)目的情況。5/9/20248潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證潔凈室（區(qū)）各階段測(cè)試要求

序號(hào)項(xiàng)目工程竣工驗(yàn)收綜合性能驗(yàn)收性能測(cè)試認(rèn)證1室內(nèi)送風(fēng)量，系統(tǒng)總新風(fēng)量（必要時(shí)系統(tǒng)總送風(fēng)量），有排風(fēng)時(shí)的室內(nèi)排風(fēng)量

√√√2靜壓差√√√3截面平均風(fēng)速√√Δ4截面風(fēng)速不平均度√√Δ5空氣潔凈度等級(jí)√√√6浮游菌和沉降菌ООО7室內(nèi)溫度和相對(duì)濕度√√Δ8室內(nèi)溫度（或相對(duì)濕度）波動(dòng)范圍和區(qū)域溫差ООΔ9室內(nèi)噪聲級(jí)√√Δ5/9/20249潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證潔凈室（區(qū)）各階段測(cè)試要求

10室內(nèi)倍頻程聲壓級(jí)ООΔ11室內(nèi)照度和照度均勻度√√Δ12室內(nèi)微振ООΔ13表面導(dǎo)電性能ООΔ14室內(nèi)氣流流型ООΔ15流線平行性ООΔ16自?xún)魰r(shí)間ООΔ17通風(fēng)機(jī)風(fēng)量、轉(zhuǎn)數(shù)√××18高效過(guò)濾器檢測(cè)√×Δ19污染泄漏-×Δ注：√—檢測(cè)；О—必要時(shí)測(cè)；Δ—洽商選測(cè)；×—不檢測(cè)。

5/9/202410潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證檢測(cè)方法及評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)

高效過(guò)濾器檢漏

高效過(guò)濾器本體在進(jìn)入現(xiàn)場(chǎng)前生產(chǎn)廠家應(yīng)按規(guī)定進(jìn)行性能實(shí)驗(yàn)檢測(cè)（如DOP實(shí)驗(yàn)等）對(duì)于5級(jí)（100級(jí)）以上潔凈室所使用的高效過(guò)濾器，在現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)再次進(jìn)行高效過(guò)濾器本體的性能檢測(cè)，同時(shí)進(jìn)行檢漏試驗(yàn)以確認(rèn)高效過(guò)濾器是否正確安裝。5/9/202411潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證檢測(cè)方法及評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)高效過(guò)濾器檢漏

在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的超潔凈技術(shù)中（如0.1μm，1級(jí)），由于新風(fēng)量往往僅是循環(huán)風(fēng)量的百分之幾，經(jīng)過(guò)稀釋上風(fēng)側(cè)也變成6級(jí)（1000級(jí)）的程度，因此，在這種情況下，就必須重新考慮采用DOP檢漏試驗(yàn)。5/9/202412潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證檢測(cè)方法及評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)1、檢測(cè)要求1.1一般采取粒子計(jì)數(shù)器法進(jìn)行檢漏，被檢高效過(guò)濾器必須已檢測(cè)過(guò)風(fēng)量，并在設(shè)計(jì)風(fēng)速的80%～120%之間進(jìn)行。1.2對(duì)于被檢高效過(guò)濾器上風(fēng)側(cè)的微粒濃度符合下列要求：對(duì)受控微?！?.5m的濃度，≥3.5×104pc/L；對(duì)受控微粒≥0.1m的濃度，≥3.5×106～3.5×107pc/L。5/9/202413潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證檢測(cè)方法及評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)2、檢測(cè)方法

采用掃描法對(duì)高效過(guò)濾器安裝接縫和主斷面進(jìn)行檢測(cè)，檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)距被測(cè)表面20～30毫米，測(cè)頭以5～20mm/s的速度移動(dòng)，對(duì)被檢過(guò)濾器整個(gè)斷面、封膠頭和安裝框架處進(jìn)行掃描，如圖8-1所示。粒子計(jì)數(shù)器的最小采樣量大于1L/min。5/9/202414潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證掃描方法示意圖

圖8-1掃描方法示意圖A—高效過(guò)濾器B—粒子計(jì)數(shù)器檢測(cè)口5/9/202415潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證檢測(cè)方法及評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)3、檢測(cè)設(shè)備3.1光散射粒子計(jì)數(shù)器

其工作原理是利用空氣中的微粒對(duì)光線的散射現(xiàn)象，將采樣空氣中的微粒的光脈沖信號(hào)轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的電脈沖信號(hào)來(lái)測(cè)定微粒的顆粒數(shù)，利用微粒的光散射強(qiáng)度與微粒粒徑的平方成正比的關(guān)系，測(cè)量微粒粒徑大小。光散射粒子計(jì)數(shù)器的工作原理見(jiàn)圖8-2，儀器一般由氣路系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)、電路系統(tǒng)和電源等部分組成。國(guó)產(chǎn)的Y09等系列粒子計(jì)數(shù)器，進(jìn)口的Royco-245粒子計(jì)數(shù)器均屬于此類(lèi)粒子計(jì)數(shù)器。5/9/202416潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證光散射粒子計(jì)數(shù)器

圖8-2光散射粒子計(jì)數(shù)器的工作原理

5/9/202417潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證檢測(cè)方法及評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)3、檢測(cè)設(shè)備3.2激光粒子計(jì)數(shù)器其工作原理與光散射粒子計(jì)數(shù)器基本相同，但因采用了比光散射粒子計(jì)數(shù)器強(qiáng)100倍的氦-氖激光光源，所以微粒粒徑的檢測(cè)范圍達(dá)0.1μm。圖8-3是該類(lèi)計(jì)數(shù)器光學(xué)系統(tǒng)簡(jiǎn)圖。3.3凝聚核粒子計(jì)數(shù)器它是利用飽和蒸汽讓微小粒子凝聚為大粒徑為粒子，進(jìn)行微粒粒子濃度測(cè)定，原理見(jiàn)圖8-4。5/9/202418潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證激光粒子計(jì)數(shù)器光學(xué)系統(tǒng)簡(jiǎn)圖

圖8-3激光粒子計(jì)數(shù)器光學(xué)系統(tǒng)簡(jiǎn)圖

5/9/202419潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證凝聚核計(jì)數(shù)器原理簡(jiǎn)圖

圖8-4凝聚核計(jì)數(shù)器原理簡(jiǎn)圖

5/9/202420潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證檢測(cè)方法及評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)

4、合格標(biāo)準(zhǔn)《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》中規(guī)定，由高效過(guò)濾器下風(fēng)側(cè)泄漏濃度換算成的穿透率來(lái)衡量是否合格，計(jì)算公式如右式。K:高效過(guò)濾器出廠時(shí)檢測(cè)合格的透過(guò)率;K’:高效過(guò)濾器的泄漏濃度換算成的透過(guò)率;C1:高效過(guò)濾器上風(fēng)側(cè)含塵濃度;C2:高效過(guò)濾器下風(fēng)側(cè)塵濃度.5/9/202421潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證檢測(cè)方法及評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)靜壓差此項(xiàng)檢測(cè)的目的是為了測(cè)定潔凈室的靜壓差，它可以是正壓或負(fù)壓，以防止?jié)崈羰覂?nèi)（外）氣流間被污染。檢測(cè)要求靜壓差的測(cè)定要求在潔凈區(qū)內(nèi)所有的門(mén)全部關(guān)閉的情況下進(jìn)行。在潔凈室平面上應(yīng)從潔凈度由高到低的順序依次進(jìn)行，一直檢測(cè)到直通室外的房間。5/9/202422潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證檢測(cè)方法及評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)靜壓差檢測(cè)要求測(cè)管口設(shè)在室內(nèi)沒(méi)有氣流影響的任何地方均可，測(cè)管口面與氣流流線平行。所測(cè)定記錄的數(shù)據(jù)應(yīng)精確到0.1Pa。檢測(cè)方法記錄所有數(shù)據(jù)。先關(guān)閉所有的門(mén)。用微壓差計(jì)測(cè)量各潔凈室之間、潔凈室走廊之間、走廊與外界之間的壓差。5/9/202423潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證檢測(cè)方法及評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)靜壓差測(cè)量?jī)x器采用YJB-150補(bǔ)償微壓差計(jì)，量程0～1500Pa或其他壓差計(jì)，儀表靈敏度小于0.1Pa。合格標(biāo)準(zhǔn)按照潔凈室設(shè)計(jì)或工藝要求決定維持被測(cè)潔凈室的正壓或負(fù)壓值。5/9/202424潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證檢測(cè)方法及評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)靜壓差

合格標(biāo)準(zhǔn)不同級(jí)別的潔凈室或潔凈區(qū)與非潔凈室（區(qū)）之間的靜壓差，應(yīng)不小于于4.9Pa。潔凈室與室外的靜壓差，不應(yīng)小于9.8Pa。對(duì)于空氣潔凈度等級(jí)高于5級(jí)（100級(jí)）的單向流潔凈室在開(kāi)門(mén)時(shí)，門(mén)內(nèi)0.6m處的室內(nèi)工作面含塵濃度應(yīng)不大于相應(yīng)級(jí)別的含塵濃度限值。若達(dá)不到以上標(biāo)準(zhǔn)的要求，應(yīng)重新調(diào)整新風(fēng)量、排風(fēng)量，至合格為止。5/9/202425潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證風(fēng)速、風(fēng)量的測(cè)定

檢測(cè)要求風(fēng)量、風(fēng)速應(yīng)首先檢測(cè)；風(fēng)量檢測(cè)前，必須檢查風(fēng)機(jī)運(yùn)行是否正常，系統(tǒng)各部件安裝是否正確，有無(wú)障礙，所有閥門(mén)應(yīng)固定在一定的開(kāi)啟位置上，并應(yīng)實(shí)測(cè)風(fēng)管、風(fēng)口的尺寸是否符合設(shè)計(jì)要求。5/9/202426潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證風(fēng)速、風(fēng)量的測(cè)定檢測(cè)方法對(duì)于單向流潔凈室按右式計(jì)算其中：Q——潔凈室送風(fēng)量（m.3/h）；F——潔凈室的測(cè)定截面面積（m2）；——潔凈室截面平均風(fēng)速（m/s）。5/9/202427潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證風(fēng)速、風(fēng)量的測(cè)定檢測(cè)方法對(duì)非單向流潔凈室，風(fēng)量的測(cè)量有風(fēng)管法和風(fēng)口法兩種方法。風(fēng)管法測(cè)定風(fēng)量。矩形風(fēng)管圓形風(fēng)管

風(fēng)口法測(cè)量風(fēng)量對(duì)安裝有高效過(guò)濾器的風(fēng)口，可根據(jù)輔助風(fēng)管測(cè)量風(fēng)量；將平面劃分為等面積的網(wǎng)絡(luò)；每次測(cè)試至少進(jìn)行5s，取此時(shí)間平均值為測(cè)量結(jié)果。5/9/202428潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證風(fēng)速、風(fēng)量的測(cè)定圖8-5矩形風(fēng)管測(cè)點(diǎn)位置示意5/9/202429潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證風(fēng)速、風(fēng)量的測(cè)定圖8-6圓形風(fēng)管測(cè)點(diǎn)位置示意

5/9/202430潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證風(fēng)速、風(fēng)量的測(cè)定圖8-7圓形風(fēng)管測(cè)點(diǎn)距離

5/9/202431潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證風(fēng)速、風(fēng)量的測(cè)定測(cè)量設(shè)備熱球風(fēng)速儀、畢托管和微壓計(jì)等。熱球風(fēng)速儀的量程宜采用0.05～5m/s，精度＜±3%，常用畢托管有500mm、1000mm、1500mm。測(cè)量合格標(biāo)準(zhǔn)實(shí)測(cè)室內(nèi)平均風(fēng)速應(yīng)大于設(shè)計(jì)風(fēng)速，應(yīng)為設(shè)計(jì)風(fēng)速的1～1.2倍，且為正偏差；單向流潔凈室的截面風(fēng)速不均勻度不應(yīng)大于0.25。

5/9/202432潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證風(fēng)速、風(fēng)量的測(cè)定合格標(biāo)準(zhǔn)風(fēng)速不均勻度按右式βμ——風(fēng)速不均勻度；υi——任一點(diǎn)實(shí)測(cè)風(fēng)速（m/s）；υ——平均風(fēng)速（m/s）;n——測(cè)點(diǎn)數(shù)。5/9/202433潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證風(fēng)速、風(fēng)量的測(cè)定合格標(biāo)準(zhǔn)除了風(fēng)速不均勻度外還有以下兩個(gè)方面；實(shí)測(cè)新風(fēng)量與設(shè)計(jì)新風(fēng)量之差不應(yīng)超過(guò)設(shè)計(jì)風(fēng)量的10%；潔凈室系統(tǒng)總風(fēng)量與設(shè)計(jì)風(fēng)量的允許偏差為0～20%，室內(nèi)各風(fēng)口風(fēng)量與各自設(shè)計(jì)的風(fēng)量之差不應(yīng)超過(guò)設(shè)計(jì)風(fēng)量的15%。5/9/202434潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證潔凈度的測(cè)定

檢測(cè)要求測(cè)定之前，凈化空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)經(jīng)過(guò)反復(fù)清洗，并連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行在24h以上；必須在空氣流量、流速、壓差以及過(guò)濾器檢漏，維護(hù)結(jié)構(gòu)泄漏測(cè)試之后進(jìn)行；所用測(cè)試儀器必須經(jīng)過(guò)有效標(biāo)定，并在有效期范圍內(nèi)。粒子計(jì)數(shù)器的采樣量必須在1L/min以上。5/9/202435潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證潔凈度的測(cè)定檢測(cè)方法最小采樣點(diǎn)數(shù)目按右式計(jì)算NL——最小采樣點(diǎn)數(shù)目（四舍五入為整數(shù)）；A——潔凈室或潔凈區(qū)的面積（m2）。5/9/202436潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證潔凈度的測(cè)定檢測(cè)方法每個(gè)采樣點(diǎn)要采集能保證檢測(cè)出至少20個(gè)粒子的空氣量，每個(gè)采樣點(diǎn)的每次采樣量VS用右式確定VS——每個(gè)采樣點(diǎn)的每次采樣量（L）；Cn-m——被測(cè)潔凈室的空氣潔凈度等級(jí)被考慮粒徑的最大濃度限值（pc/m3）；5/9/202437潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證潔凈度的測(cè)定檢測(cè)儀器測(cè)量≥0.5m粒子時(shí)，建議采用光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器；測(cè)量≥0.1m粒子時(shí)，建議采用大流量的激光光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器；測(cè)量≥0.02m粒子時(shí)，建議采用凝聚核激光粒子計(jì)數(shù)器。5/9/202438潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證FSC—1型浮游微生物采樣器

FSC—1型浮游微生物采樣器（細(xì)菌采樣器）是依據(jù)顆粒撞擊原理設(shè)計(jì)而成。被采樣空氣在抽氣泵作用下，通過(guò)采樣器的縫隙式平板，將空氣噴射并撞擊到勻速旋轉(zhuǎn)的裝有培養(yǎng)基的平皿內(nèi)，培養(yǎng)基內(nèi)附著的活微生物經(jīng)培養(yǎng)后形成菌落，予以計(jì)數(shù)。

5/9/202439潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證潔凈度的測(cè)定合格標(biāo)準(zhǔn)

把每次采樣測(cè)量的結(jié)果與空氣潔凈度等級(jí)相關(guān)的各個(gè)被考慮的粒徑的濃度記錄下來(lái)，并計(jì)算采樣數(shù)據(jù)的平均值。當(dāng)采樣點(diǎn)只有一個(gè)或多于9個(gè)時(shí)，不用計(jì)算95%置信上限。當(dāng)采樣點(diǎn)多于1個(gè)而少于10個(gè)時(shí)，應(yīng)計(jì)算粒子平均濃度的平均值、標(biāo)準(zhǔn)誤差、95%置信上限。5/9/202440潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證潔凈度的測(cè)定合格標(biāo)準(zhǔn)每次性能測(cè)試或再認(rèn)證測(cè)試應(yīng)做記錄，并提交性能合格或不合格的綜合報(bào)告；如果在每個(gè)采樣點(diǎn)測(cè)得的粒子平均濃度≤級(jí)別上限，即室內(nèi)平均濃度統(tǒng)計(jì)值95%置信上限Xi≤級(jí)別上限，則該潔凈室或潔凈區(qū)即被認(rèn)為是達(dá)到了規(guī)定的空氣潔凈度等級(jí)。5/9/202441潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證潔凈度的測(cè)定合格標(biāo)準(zhǔn)如果是由于測(cè)量差錯(cuò)或異常低的粒子濃度，而產(chǎn)生單個(gè)的非隨機(jī)性的“界外值”，影響95%置信上限的計(jì)算結(jié)果不能滿足規(guī)定的空氣潔凈度等級(jí)，在符合條件下的情況下，可以把該“界外值”排除，但最多只有一個(gè)測(cè)量值排除在外。5/9/202442潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證微生物測(cè)定

空氣中懸浮微生物的測(cè)定有多種但其測(cè)定的基本過(guò)程都是經(jīng)過(guò)捕集－培養(yǎng)－計(jì)數(shù)的過(guò)程。目前普遍采用的測(cè)試方法：浮游菌沉降菌5/9/202443潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證微生物測(cè)定檢測(cè)要求檢測(cè)前，被測(cè)潔凈室的運(yùn)行狀態(tài)必須在正常狀態(tài)，其溫度、濕度、風(fēng)量、風(fēng)壓及風(fēng)速必須在控制的規(guī)定值內(nèi)；被測(cè)試的潔凈室應(yīng)已進(jìn)行過(guò)消毒；同時(shí)，潔凈室的測(cè)試狀態(tài)必須符合生產(chǎn)工藝的要求，并在測(cè)試報(bào)告中注明其測(cè)試狀態(tài)。測(cè)試人員必須穿戴潔凈服，而且一般不得超過(guò)兩個(gè)人。5/9/202444潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證微生物測(cè)定檢測(cè)要求凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間對(duì)單相流如5級(jí)（100級(jí)）潔凈室或?qū)恿鞴ぷ髋_(tái)不得少于10min；對(duì)非單相流如7級(jí)（10000級(jí)）、8級(jí)（100000級(jí)）的潔凈室不得少于30min。采樣點(diǎn)的布置及要求浮游菌測(cè)試時(shí)沉降菌測(cè)試時(shí)5/9/202445潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證注：1.表中面積，對(duì)單相流潔凈室（包括層流工作臺(tái)），指的是送風(fēng)口表面積；對(duì)非單相流潔凈室，指的是房間面積。2.日常監(jiān)測(cè)的采樣點(diǎn)數(shù)由生產(chǎn)工藝的關(guān)鍵操作點(diǎn)來(lái)確定。微生物測(cè)定浮游菌的最少采樣點(diǎn)數(shù)

面積/m2空氣潔凈度等級(jí)10010000100000驗(yàn)證監(jiān)測(cè)驗(yàn)證監(jiān)測(cè)驗(yàn)證監(jiān)測(cè)<102～31212-≥10～2042212-≥20～4083212-≥40～100164412-≥100～20040-10-3-≥200～40080-20-6-400160-40-13-5/9/202446潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證微生物測(cè)定沉降菌測(cè)試的最少采樣點(diǎn)數(shù)面積/m2

空氣潔凈度等級(jí)10010000100000<102～322≥10～20422≥20～40822≥40～1001642≥100～20040103≥200～40080206≥400～10001604013≥1000～200040010032200080020063注：表中面積，對(duì)于單向流潔凈室是指送風(fēng)口面積；對(duì)于非單向流潔凈室是指房間的面積。5/9/202447潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證微生物測(cè)定采樣點(diǎn)的布置及要求對(duì)沉降菌法不僅要滿足最少采樣總數(shù)，還應(yīng)滿足最少培養(yǎng)皿數(shù)。浮游菌測(cè)試法的最小采樣量應(yīng)按不同空氣潔凈度等級(jí)確定。以上2個(gè)方面的數(shù)值具體可以參看教材中表8-6沉降菌測(cè)試最少培養(yǎng)皿數(shù)表8-7浮游菌測(cè)試法的最小采樣量5/9/202448潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證微生物測(cè)定檢測(cè)方法檢測(cè)程序首先應(yīng)對(duì)測(cè)試儀器、培養(yǎng)皿表面進(jìn)行嚴(yán)格消毒。采樣器進(jìn)入被測(cè)房間前先用消毒房間的消毒劑滅菌，用于100級(jí)潔凈室的采樣器宜一直放在被測(cè)房間內(nèi)；用消毒劑擦凈培養(yǎng)皿的外表面，把采樣器的頂蓋、轉(zhuǎn)盤(pán)以及罩子內(nèi)外消毒干凈；采樣口及采樣管在使用前必須高溫滅菌。采樣者應(yīng)穿戴與被測(cè)潔凈室相應(yīng)的潔凈服，在轉(zhuǎn)盤(pán)上放入或調(diào)換培養(yǎng)皿前，雙手要用消毒劑消毒5/9/202449潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證微生物測(cè)定檢測(cè)方法浮游菌檢測(cè)程序開(kāi)動(dòng)真空泵抽氣，使儀器中的殘余消毒劑蒸發(fā)，時(shí)間不少于5min，并調(diào)好流量、轉(zhuǎn)盤(pán)轉(zhuǎn)速；關(guān)閉真空泵，放入培養(yǎng)皿，蓋好蓋子調(diào)節(jié)采樣器置采樣口于采樣點(diǎn)后，依次開(kāi)啟采樣器、真空泵，轉(zhuǎn)動(dòng)定時(shí)器，根據(jù)采樣量選定采樣時(shí)間；全部采樣結(jié)束后，將培養(yǎng)皿倒置于30～35℃恒溫培養(yǎng)箱中培養(yǎng)，時(shí)間不少于45h；5/9/202450潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證微生物測(cè)定檢測(cè)方法浮游菌檢測(cè)程序用肉眼直接計(jì)數(shù)，然后用5～10倍放大鏡檢查，是否有遺漏。若平板上有兩個(gè)或兩個(gè)以上的菌落重疊，分辨時(shí)仍以?xún)蓚€(gè)或兩個(gè)以上菌落計(jì)數(shù)。沉降菌測(cè)試檢測(cè)儀器沉降菌測(cè)試儀器、浮游菌測(cè)試儀器。5/9/202451潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證微生物測(cè)定常見(jiàn)采樣器圖8-8THK-201型采樣器的工作示意圖5/9/202452潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證微生物測(cè)定常見(jiàn)采樣器圖8-9

JWC-1型離心式空氣微生物采樣器。1-葉輪2培養(yǎng)基條樣口3-蝸殼4-電源指示燈5-電源開(kāi)關(guān)6-定時(shí)選擇開(kāi)關(guān)7-啟動(dòng)鈕8-交流穩(wěn)壓電源插孔9-電池筒10-螺帽5/9/202453潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證

微生物測(cè)定

合格標(biāo)準(zhǔn)浮游菌測(cè)試一般被測(cè)房間（或潔凈工作臺(tái)）的浮游菌平均濃度按右式計(jì)算。C——被測(cè)房間（或潔凈工作臺(tái)）的浮游菌平均濃度（CFU/m2）；PS——被測(cè)房間總菌落數(shù)（CFU）；VS——總的采樣量（m3）5/9/202454潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證溫濕度檢測(cè)

檢測(cè)要求測(cè)定前，潔凈空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)連續(xù)運(yùn)行24h以上根據(jù)溫度和相對(duì)濕度的波動(dòng)范圍，應(yīng)選擇足夠精度的測(cè)試儀表，并經(jīng)過(guò)校驗(yàn)標(biāo)定合格。檢測(cè)方法測(cè)點(diǎn)距地面0.8m，距外墻應(yīng)大于0.5m，也可以根據(jù)恒溫區(qū)的大小，分別布置在離地面不同高度的幾個(gè)平面上。5/9/202455潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證溫濕度檢測(cè)檢測(cè)方法

根據(jù)溫濕度波動(dòng)范圍要求，檢測(cè)宜連續(xù)進(jìn)行8～48h，每次讀數(shù)間隔不大于30min。對(duì)沒(méi)有恒溫要求的房間，溫度僅測(cè)房間中心一個(gè)點(diǎn)即可。對(duì)有溫濕度波動(dòng)要求的區(qū)域，測(cè)點(diǎn)應(yīng)放在送、回風(fēng)口處或具有代表性的地點(diǎn)，其測(cè)點(diǎn)數(shù)按教材中表8-10確定。5/9/202456潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證照度測(cè)定

檢測(cè)要求室內(nèi)照度測(cè)定必須在室溫已趨穩(wěn)定，光源輸出趨于穩(wěn)定后進(jìn)行（對(duì)熒光燈必須有100h）檢測(cè)方法

測(cè)點(diǎn)平面距地面0.85m，按間距1～2m布點(diǎn)，測(cè)點(diǎn)距墻面1m。其要求基本與潔凈度的測(cè)定位置要求相同。記錄，在簡(jiǎn)圖上設(shè)測(cè)量位置，記錄實(shí)測(cè)照度值并計(jì)算總平均照度。5/9/202457潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證照度測(cè)定檢測(cè)方法照度測(cè)定，一般測(cè)定除局部照明之外的照明檢測(cè)儀器采用移動(dòng)式照度計(jì)檢測(cè)。合格標(biāo)準(zhǔn)符合設(shè)計(jì)要求或符合《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》中對(duì)潔凈室（區(qū)）的照度值規(guī)定。潔凈室內(nèi)一般照明的照度均勻度不應(yīng)小于0.7。5/9/202458潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證噪聲檢測(cè)

噪聲儀器為帶倍頻程分析儀的聲級(jí)計(jì)，一般情況下只檢測(cè)A聲級(jí)的數(shù)據(jù)，必要時(shí)測(cè)倍頻程聲壓級(jí)。檢測(cè)方法檢測(cè)點(diǎn)布置，當(dāng)面積≤50m2時(shí)，僅測(cè)房間中心一個(gè)點(diǎn)；當(dāng)房間面積較大時(shí)，每增加50m2增加一個(gè)點(diǎn)，測(cè)點(diǎn)距地面1.2m。有條件時(shí)，宜測(cè)量潔凈室靜態(tài)工況的噪聲和潔凈室的本底噪聲。5/9/202459潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證噪聲檢測(cè)

合格標(biāo)準(zhǔn)符合設(shè)計(jì)要求或按《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》中的規(guī)定，在空態(tài)情況下，非單向流潔凈室的噪聲級(jí)不應(yīng)大于60dB（A），單向流、混合流潔凈室的噪聲級(jí)不應(yīng)大于65dB（A）。潔凈室的噪聲頻譜限制的各頻帶聲壓級(jí)值不應(yīng)大于《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》的規(guī)定。5/9/202460潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證表面導(dǎo)靜電性能測(cè)定

檢測(cè)設(shè)備采用符合精度要求的高阻計(jì)。檢測(cè)方法在測(cè)試表面上選擇比較有代表區(qū)域的兩個(gè)點(diǎn)，用導(dǎo)線把高阻計(jì)和兩個(gè)銅圓柱形電極連接起來(lái)進(jìn)行測(cè)量，其表面電阻和泄漏電阻值可以按圖8-10所示的測(cè)試裝置測(cè)量。5/9/202461潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證表面導(dǎo)靜電性能測(cè)定

圖例說(shuō)明：1—高阻計(jì)2—試件3—銅柱形電極4—濕漬紙L＝900mm,d=60mm,M=2㎏合格標(biāo)準(zhǔn)地面的面層應(yīng)具有導(dǎo)電性能，并應(yīng)能長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定。表面電阻率應(yīng)為：1.0×105～1.0×1012Ω。圖8-10表面導(dǎo)靜電性能測(cè)定裝置示意圖5/9/202462潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證氣流流型檢測(cè)方法測(cè)點(diǎn)位置對(duì)于單向流潔凈室，所測(cè)截面上的測(cè)點(diǎn)間距均為0.2～1m，垂直單向流要求取四個(gè)測(cè)點(diǎn)截面：潔凈室的縱剖面，潔凈室橫剖面，距地面0.8m和1.5m的兩個(gè)水平面。水平單向流要求取五個(gè)測(cè)點(diǎn)截面：潔凈室的縱剖面，工作區(qū)水平面，距送、回風(fēng)口0.5m處的兩個(gè)縱剖面和房間中心的總剖面對(duì)非單向流潔凈室要求取3個(gè)測(cè)點(diǎn)截面：具有代表性的送、回風(fēng)口中心的縱、橫剖面和工作區(qū)高度的水平面。5/9/202463潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證氣流流型

檢測(cè)方法測(cè)點(diǎn)位置對(duì)非單向流潔凈室測(cè)點(diǎn)間距要求：縱剖面上為0.2～0.5m，水平面上為0.5～1m。用發(fā)煙器或懸掛單絲線的方法逐點(diǎn)觀察和記錄氣流流向；用量角器測(cè)定氣流流向偏離規(guī)定方向的角度。在測(cè)點(diǎn)布置的剖面圖上標(biāo)出流向。氣流流型檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)工作區(qū)氣流流向偏離規(guī)定方向的角度不大于14°，應(yīng)繪出氣流流型圖，并給出分析結(jié)果。5/9/202464潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證自?xún)魰r(shí)間檢測(cè)方法以大氣濃度為基準(zhǔn)，本項(xiàng)測(cè)定必須在潔凈室停止運(yùn)行相當(dāng)時(shí)間，含塵濃度已接近大氣濃度時(shí)進(jìn)行。首先測(cè)出潔凈室內(nèi)的濃度，然后開(kāi)機(jī)，定時(shí)讀數(shù)，直到濃度達(dá)到最低限度為止，這一段時(shí)間即為自?xún)魰r(shí)間。以人工發(fā)巴蘭香煙為基準(zhǔn)按標(biāo)準(zhǔn)發(fā)煙；然后開(kāi)機(jī)記時(shí)直到濃度到最低。5/9/202465潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證自?xún)魰r(shí)間

合格標(biāo)準(zhǔn)由初始濃度（N0）和室內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定的濃度（N），實(shí)際換氣次數(shù)（n）計(jì)算出的自?xún)魰r(shí)間（t0）與實(shí)測(cè)的自?xún)魰r(shí)間（t）進(jìn)行對(duì)比，若t≤t01.2為合格。5/9/202466潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證潔凈室檢測(cè)常用儀器5/9/202467潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證潔凈室檢測(cè)常用儀器5/9/202468潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證潔凈室檢測(cè)常用儀器5/9/202469潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證潔凈室檢測(cè)常用儀器四種常見(jiàn)的粒子記數(shù)器5/9/202470潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證潔凈室檢測(cè)常用儀器5/9/202471潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證潔凈室檢測(cè)常用儀器5/9/202472潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證潔凈室檢測(cè)常用儀器自動(dòng)過(guò)濾器及連接示意5/9/202473潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證潔凈室的認(rèn)證

認(rèn)證的目的和程序潔凈室工程在設(shè)計(jì)、建造和驗(yàn)收投入使用后；為確保潔凈室使用過(guò)程中始終能保持規(guī)定的空氣潔凈度等級(jí)和綜合性能參數(shù)要求?；蛘呤怯捎跐崈羰彝度胧褂煤蟮木S護(hù)管理不當(dāng)或潔凈室工作人員誤操作以及潔凈空調(diào)系統(tǒng)長(zhǎng)期運(yùn)轉(zhuǎn)使空氣過(guò)濾器性能變化。5/9/202474潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證潔凈室的認(rèn)證認(rèn)證的目的和程序

或者是潔凈室周?chē)h(huán)境的突發(fā)變化如因房屋拆遷、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝調(diào)整、突出性大氣塵污染甚至沙塵暴的侵襲等各類(lèi)因素，影響潔凈室的性能參數(shù)。所以投入運(yùn)行后的潔凈室的日常監(jiān)測(cè)和定期的綜合性能檢測(cè)是十分必要的工作，通過(guò)檢測(cè)以認(rèn)證潔凈室的綜合性能是否符合設(shè)計(jì)要求或產(chǎn)品生產(chǎn)所必須的綜合性能參數(shù)要求。5/9/202475潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證潔凈室的認(rèn)證認(rèn)證的目的和程序綜合性能檢測(cè)的目的確定正常運(yùn)行；掌握能量使用情況；發(fā)現(xiàn)異?，F(xiàn)象并維修；查明發(fā)生污染的原因，測(cè)定相關(guān)數(shù)據(jù)；產(chǎn)品質(zhì)量相關(guān)的資料；潔凈室的缺點(diǎn)（運(yùn)行上的缺點(diǎn)等）。

5/9/202476潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證潔凈室的認(rèn)證潔凈室的認(rèn)證程序由業(yè)主委托專(zhuān)門(mén)檢測(cè)認(rèn)證單位承擔(dān)潔凈室的認(rèn)證工作。委托可以是一次性的也可以是階段性的，比如一年的委托合約，在雙方的合約中應(yīng)明確委托認(rèn)證的內(nèi)容、測(cè)試要求（含時(shí)間間隔等）、檢測(cè)認(rèn)證報(bào)告內(nèi)容和要求、認(rèn)證檢測(cè)的進(jìn)度安排、各方的責(zé)任（包括保密要求）等。5/9/202477潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證潔凈室的認(rèn)證潔凈室的認(rèn)證程序認(rèn)證檢測(cè)用儀器儀表必須在標(biāo)定使用的有效期內(nèi)；認(rèn)證檢測(cè)之前，潔凈室的各功能系統(tǒng)應(yīng)達(dá)到穩(wěn)定運(yùn)行，并由業(yè)主提供穩(wěn)定運(yùn)行的有關(guān)記錄；按合約要求逐項(xiàng)進(jìn)行檢測(cè)，并作詳細(xì)記錄。記錄應(yīng)該清晰，并有必要的實(shí)測(cè)狀況和有關(guān)問(wèn)題的說(shuō)明；5/9/202478潔凈室檢測(cè)與認(rèn)證潔凈室的認(rèn)證潔凈室的認(rèn)證程序?qū)懗稣J(rèn)證檢測(cè)報(bào)告，并明確說(shuō)明潔凈室是否符合規(guī)定要求及各項(xiàng)綜合性能參