GB/T 40868-2021 納米尺度科研生產(chǎn)受控環(huán)境規(guī)劃與設(shè)計（正式版）

納米尺度科研生產(chǎn)受控環(huán)境規(guī)劃與設(shè)計國家市場監(jiān)督管理總局國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會GB/T40868—2021 I Ⅱ 3術(shù)語和定義 3附錄A(資料性)噪聲評價曲線與限值 6附錄B(資料性)防微振設(shè)計 附錄C(資料性)納米材料風(fēng)險控制 IGB/T40868—2021本文件按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任。本文件由全國潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC319)提出并歸口。本文件起草單位：江蘇蘇凈科技有限公司、中國電子工程設(shè)計院有限公司、中天道成(蘇州)潔凈技京天加環(huán)境科技有限公司、美埃(中國)環(huán)境凈化有限公司、中電投工程研究檢測評定中心有限公司、杭州市標(biāo)準(zhǔn)化研究院、吳江市華宇凈化設(shè)備有限公司、常州祥明智能動力股份有限公司、北京恒泰建業(yè)工程項目管理有限公司、蘇州蘇信環(huán)境科技有限公司、賀氏(蘇州)特殊材料有限公司。ⅡGB/T40868—2021本文件總結(jié)歸納已建納米尺度受控環(huán)境的經(jīng)驗，提示規(guī)劃、設(shè)計可能遇到的特殊問題，以及項目進程中的潛在障礙，為項目規(guī)劃決策提供指南。給出的相關(guān)技術(shù)要求和限值，方便業(yè)主與設(shè)計團隊間的技術(shù)協(xié)商和探討。本文件未詳細(xì)規(guī)定環(huán)境條件，具體科研生產(chǎn)需求以及具體工藝設(shè)備、儀器決定其環(huán)境條件。本文件并非普遍適用于所有納米技術(shù)設(shè)施的具體項目或細(xì)節(jié)。設(shè)施各不相同，使用時宜將本文件的一般性要求加以完善，以適應(yīng)具體設(shè)施的運行要求。納米尺度科研生產(chǎn)受控環(huán)境規(guī)劃與設(shè)計本文件給出了納米尺度科研生產(chǎn)受控環(huán)境的規(guī)劃與選址勘察、設(shè)計要求等。本文件適用于納米尺度科研生產(chǎn)受控環(huán)境的規(guī)劃與設(shè)計。本文件沒有規(guī)范性引用文件。下列術(shù)語和定義適用于本文件?？諝饣瘜W(xué)污染物airchemicalcontamination所有相關(guān)構(gòu)筑物、空氣處理系統(tǒng)以及服務(wù)、公用系統(tǒng)集合而成的潔凈室，或一個或數(shù)個這樣的潔凈區(qū)。12GB/T40868—2021[GB/T25915.6—2010,定義2.82]4概述4.1納米尺度科研生產(chǎn)受控環(huán)境(以下簡稱“納米受控環(huán)境”)的有些專業(yè)技術(shù)超出了傳統(tǒng)設(shè)計團隊的4.3納米技術(shù)設(shè)施的設(shè)計中涉及一些非常專業(yè)、關(guān)系著項目成敗的元素，設(shè)計的基礎(chǔ)性決策也會直接5.2選址勘查粒物等。起的振動。連續(xù)等效聲壓級外，還應(yīng)進行倍頻程或1/3倍頻程的頻譜測量分析。頻帶聲壓級評價曲線與噪聲限制見附錄A。3GB/T40868—2021a)在備選場地選擇采樣點，用磁通門磁力儀測量單點和30min時長的直流磁通量數(shù)據(jù)，儀器靈敏度為0.01mG(毫高斯);b)使用高斯表進行直流和極低頻交流勘測，測量地點包括建筑物的輪廓，開發(fā)紅線(覆蓋整個選6設(shè)計該階段不涉及詳細(xì)設(shè)計內(nèi)容。設(shè)計團隊與業(yè)主密切合作，深入了解生產(chǎn)工藝對納米受控環(huán)境的技a)建筑結(jié)構(gòu)圖；d)實驗室(生物安全實驗室)設(shè)施初步設(shè)計；e)項目預(yù)算；f)編制施工圖設(shè)計所需收集的資料清單。溫度誤差控制在±0.1℃以內(nèi)，必要時誤差控制在±0.01℃~±0.05℃。注：綜合考慮提高溫度控制精度和建造、運行費用的關(guān)系來確定具體的溫度參數(shù)。相對濕度波動控制在±5%以內(nèi)，需要時可將相對濕度波動控制在±2%以內(nèi)。注：相對濕度高于55%可能出現(xiàn)滋生霉菌的活粒子污染，低于35%則可能出現(xiàn)靜電放電問題。4GB/T40868—2021納米受控環(huán)境中空氣化學(xué)污染物(酸性、堿性、有機物、工藝摻雜物、釋氣)濃度控制范圍為ISO-ACC-9級到ISO-ACC-12級(見GB/T25915.8)。生物污染監(jiān)測見GB/T25916.1—2010中5.3,生物污染分析見GB/T25916.2—2010中第4章。靜電控制的方法和措施見GB/T33555—2017中4.2和4.3。確定。振等綜合降噪措施。6.2.7.1納米尺度的科研生產(chǎn)受控環(huán)境工頻磁場磁感應(yīng)強度容許值宜不超過1G,在25MHz~3000MHz頻段射頻電場強度容許值宜不超過為100μV/m。6.2.7.2抑制電磁干擾以符合限值要求的基本方法是建筑設(shè)計控制(例如，保持足夠遠(yuǎn)的距離)和屏蔽，可采用其中任何一種或兩種方法。屏蔽空間的大小對成本有明顯影響。6.3.1施工單位應(yīng)在招投標(biāo)基礎(chǔ)上產(chǎn)生，設(shè)計團隊?wèi)?yīng)協(xié)助對投標(biāo)單位提交的施工資質(zhì)等文件是否符合項目要求進行審查。6.3.2業(yè)主與設(shè)計團隊和施工單位達(dá)成協(xié)議，組成由設(shè)計團隊、技術(shù)顧問團隊和施工監(jiān)理人員參加的5GB/T40868—2021b)對每個可能的風(fēng)險均應(yīng)提出控制方法，并體現(xiàn)在設(shè)計中，以降低風(fēng)險。c)無法用設(shè)計控制風(fēng)險時，應(yīng)對使用做出規(guī)定。d)對風(fēng)險控制設(shè)計應(yīng)進行審核，并注重尋找尚未列入的風(fēng)險因素和相關(guān)的關(guān)鍵控制點。6.4.2建筑設(shè)計中風(fēng)險控制的主要內(nèi)容如下：a)建筑系統(tǒng)包括氣體配送系統(tǒng)、液體配送系統(tǒng)、監(jiān)測系統(tǒng)，在建筑系統(tǒng)設(shè)計中應(yīng)密切注意作業(yè)的b)良好的建筑設(shè)計、細(xì)致的空間平面布置，設(shè)施內(nèi)規(guī)劃良好的作業(yè)區(qū)，都是受控環(huán)境內(nèi)風(fēng)險控制的最有效措施。6.4.3應(yīng)控制受控環(huán)境排放可能對外界的污染(例如具有毒性的納米材料、有害氣體、廢水等)。6.4.4納米材料風(fēng)險控制見附錄C。6倍頻程聲壓級/dBGB/T倍頻程聲壓級/dB(資料性)A.1噪聲評價曲線常用的頻帶聲壓級曲線(即噪聲評價曲線)有三組：噪聲標(biāo)準(zhǔn)頻率聲壓級評價曲線(簡稱“NC曲評價曲線(簡稱“NR曲線”,見圖A.3),直觀地反映了各頻程帶的倍頻程聲壓級和頻率的關(guān)系。線并列為國際標(biāo)準(zhǔn)化組織(ISO)推薦的評價曲線。非常吵吵鬧較吵安靜M20非常安靜5001000200040008000250407倍頻程聲壓級/dB倍頻程聲壓級/dB頻率/JJz頻率/HzA.2普通潔凈室噪聲控制限值普通潔凈室空態(tài)噪聲頻譜的倍頻程聲壓級限制值一般不大于表A.1的規(guī)定。8潔凈室分類倍頻程聲壓級/dB中心頻率4000Hz非單向流單向流、混合流A.3.1納米尺度科研生產(chǎn)受控環(huán)境噪聲一般控制在NC-45到NC-50,目前該級別噪聲控制要求無法使至NC-30或更低。9GB/T40868—2021(資料性)B.1.1微振動限值分級IESTRP-CC012.2給出了微振動限值分級，即VC-A～VC-G分級，見表B.1。表B.1微振動限值分級限值定義VC-A4Hz～8Hz頻段256μm/s,8Hz～80Hz頻段50μm/s(2000min/s)VC-B4Hz～8Hz頻段128μm/s,8Hz～80Hz頻段25μm/s(1000min/s)VC-C1Hz～80Hz頻段12.5μm/s(500min/s)VC-D1Hz～80Hz頻段6.25pm/s(250min/s)VC-E1Hz～80Hz頻段3.12μm/s(125min/s)VC-F1Hz～80Hz頻段1.56μm/s(62.5min/s)VC-G1Hz～80Hz頻段0.78μm/s(31.3min/s)B.1.2微振動限值應(yīng)用限值振幅特征尺寸用途VC-A50(2000)8適用于400X的光學(xué)顯微鏡、精密天平、光學(xué)天平、對準(zhǔn)與投影校準(zhǔn)器等VC-B25(1000)3適用于3μm線寬的檢測和光刻設(shè)備(包括分步投影光刻機)VC-C12.5(500)適用于1000X光學(xué)顯微鏡，1μm線寬的檢測和光刻設(shè)備(包括比較敏感的電子顯微鏡)VC-D6.25(250)0.1～0.3適用于大多數(shù)有防振要求的設(shè)備，包括許多電子顯微鏡(掃描與透射)和電子束系統(tǒng)VC-E3.12(125)此限值是個挑戰(zhàn)。假設(shè)此要求適用于大多數(shù)有防振要求的設(shè)備，包括長距離小目標(biāo)激光系統(tǒng)、納米級電子束光刻系統(tǒng)、其他需要特別穩(wěn)定的系統(tǒng)VC-F1.56(62.5)不確定適用于特別寧靜的研究場所，一般很難達(dá)到，特別是潔凈室難以達(dá)到。僅作為一種特征要求，不建議作為設(shè)計限值GB/T40868—2021表B.2微振動限值應(yīng)用案例(續(xù))限值振幅pm/s(min/s)特征尺寸用途不確定到。僅作為一種特征要求，不建議作為設(shè)計限值注1:在8Hz～80Hz(VC-A和VC-B)頻段或1Hz～80Hz(VC-C～VC-G)頻段測量值為1/3倍頻程參數(shù)。注2:特征尺寸在微電子行業(yè)指線寬，在醫(yī)藥研究領(lǐng)域指顆粒物(細(xì)胞)粒徑。特征尺寸并未與探針系統(tǒng)、原子力顯微鏡(AFM)、納米技術(shù)的成像相聯(lián)系。B.2防微振工程設(shè)計防微振工程設(shè)計宜考慮以下要點：c)宜根據(jù)在工程各階段實測取得的數(shù)據(jù)，進行相應(yīng)階段的防微振設(shè)計；防微振工程設(shè)計主要內(nèi)容包括：a)選址及規(guī)劃設(shè)計；b)地基基礎(chǔ)防微振設(shè)計；c)建筑結(jié)構(gòu)防微振設(shè)計；d)精密設(shè)備隔振設(shè)計；e)動力設(shè)備隔振設(shè)計。防微振工程設(shè)計程序見圖B.1。動力房位置精密廠房、實驗室內(nèi)環(huán)境振動測試動力設(shè)備隔振設(shè)計動力設(shè)備(精密廠房、實驗室內(nèi))試運行環(huán)境振動測試精密設(shè)計隔振設(shè)計環(huán)境振動最終測試精密房、實驗室GB/T40868—2021(資料性)納米材料風(fēng)險控制b)納米領(lǐng)域發(fā)明新材料的能力已顯著超越了以往對相關(guān)毒性和風(fēng)險因素的理解。納米材料的很C.2風(fēng)險和限制C.2.1接觸納米材料有潛在風(fēng)險。納米材料合成和含有納米顆粒(納米尺度)粉末處理的潛在風(fēng)險最高。C.2.2生物危險分為一般生物活性物質(zhì)和生物激活的納米材料。需要關(guān)注后者，有些材料納米尺度的毒理特性的改變，能夠摧毀人的免疫系統(tǒng)。C.2.3部分納米材料接觸濃度限值見表C.1。表C.1部分納米材料接觸濃度限值表種類空氣濃度限值TiO?細(xì)粉2.4mg/m3超細(xì)粉0.3mg/m3碳納米管和碳納米纖維接觸時間為每周40h,每工作日10h。C.3風(fēng)險控制層次與方法納米受控環(huán)境內(nèi)納米材料風(fēng)險控制層次(由低到高)及方法如下。代替風(fēng)險材料。盡量將材料數(shù)量或濃度降至風(fēng)險閾值以下。保持環(huán)境安全。c)“門禁系統(tǒng)”:當(dāng)隔離方法不可行時，采用微環(huán)境配機器人，將風(fēng)險減至最低。禁止人員在風(fēng)險時期進入風(fēng)險區(qū)。GB/T40868—2021C.4其他的粒子更有效；基于布朗運動的擴散收集對小于約300nm的粒子更有效，且效率隨粒徑的降低而提[1]GB/T25915.6—2010潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第6部分：詞匯[2]GB/T25915.8潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第8部分：按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度(ACC)等級[3]GB/T25916.1—2010潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境生物污染控制第1部分：一般原理和[4]GB/T25916.2—201