JJF 1488-2014 橡膠、塑料薄膜測厚儀校準(zhǔn)規(guī)范

中華人民共和國國家計量技術(shù)規(guī)范JJF1488—2014橡膠、塑料薄膜測厚儀校準(zhǔn)規(guī)范CalibrationSpecificationforRubberandPlasticFilmGage國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布JJF1488—2014橡膠、塑料薄膜測厚儀校準(zhǔn)規(guī)范CalibrationSpecificationforRubberandPlasticFilmGage→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→→歸口單位:全國幾何量工程參量計量技術(shù)委員會主要起草單位:上海市計量測試技術(shù)研究院安徽省計量科學(xué)研究院參加起草單位:上海六菱儀器廠本規(guī)范委托全國幾何量工程參量計量技術(shù)委員會負(fù)責(zé)解釋本規(guī)范主要起草人:姜志華(上海市計量測試技術(shù)研究院)王昕歌(上海市計量測試技術(shù)研究院)馬琳(安徽省計量科學(xué)研究院)參加起草人:余國安(上海六菱儀器廠)唐冬梅(上海市計量測試技術(shù)研究院)引言 1范圍 (1)2引用文件 (1)3概述 (1)4計量特性 (2)4.1測桿行程 (2)4.2指針與表盤的相互位置 (2)4.3標(biāo)尺標(biāo)記寬度 (2)4.4測量面的表面粗糙度 (2)4.5橡膠測厚儀上測頭的直徑 (2)4.6測量力 (2)4.7測量面的平行度 (3)4.8示值變動性 (3)4.9示值誤差 (3)4.10漂移 (4)5校準(zhǔn)條件 (4)5.1環(huán)境條件 (4)5.2校準(zhǔn)用設(shè)備 (4)6校準(zhǔn)項目和校準(zhǔn)方法 (5)6.1測桿行程 (5)6.2指針與表盤的相互位置 (5)6.3標(biāo)尺標(biāo)記寬度 (5)6.4測量面的表面粗糙度 (5)6.5橡膠測厚儀上測頭的直徑 (5)6.6測量力 (5)6.7測量面的平行度 (5)6.8示值變動性 (6)6.9示值誤差 (6)6.10漂移 (6)7校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá) (6)8復(fù)校時間間隔 (6)附錄A不同尺寸的測頭獲得相應(yīng)壓力所需加荷質(zhì)量 (7)附錄B用測力儀測量時使用測量頭輔助附件的方法 (8)附錄C測厚儀示值誤差測量結(jié)果不確定度評定 (9)附錄D校準(zhǔn)證書內(nèi)容及內(nèi)頁格式 (12)ⅠJJF1071—2010《國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF1001—2011《通用計量術(shù)語及定義》、JJF1059.1—2012《測量不確定度評定與表示》共同構(gòu)成支撐本校準(zhǔn)規(guī)范制定的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。本規(guī)范為首次制定。Ⅱ橡膠、塑料薄膜測厚儀校準(zhǔn)規(guī)范1范圍本規(guī)范適用于測量范圍為(0~30)mm的指針式、數(shù)顯式橡膠測厚儀和測量范圍為(0~1)mm的指針式、數(shù)顯式塑料薄膜測厚儀的校準(zhǔn)。2引用文件本規(guī)范引用了下列文件:GB/T6672—2001塑料薄膜和薄片厚度測定機(jī)械測量法GB/T22520—2008厚度指示表HG/T2041—2009橡膠厚度計技術(shù)條件凡是注明日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本規(guī)范;凡不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修訂單)適用于本規(guī)范。3概述橡膠、塑料薄膜測厚儀(以下簡稱測厚儀)是一種在特定支架(或弓形架)上安裝有指示表和相應(yīng)壓力裝置,由指示表讀取測頭測量面相對支架測砧測量面直線位移的計量器具。橡膠測厚儀用于測量橡膠制件的厚度,塑料薄膜測厚儀用于測量塑料薄膜的厚度。兩者測量范圍和測量力不同,但結(jié)構(gòu)形式相似,常見的外形結(jié)構(gòu)示意圖見圖1。(a)數(shù)顯式測厚儀(b)指針式測厚儀圖1測厚儀外形結(jié)構(gòu)示意圖1—重錘;2—撥叉;3—指示表;4—顯示屏;5—功能鍵;1—重錘;2—撥叉;3—指示表;4—指針;5—緊固釘;6—緊固釘;7—測量桿;8—測頭;9—測砧;10—弓形架6—測量桿;7—測頭;8—測砧;9—弓形架1JJF1488—20144計量特性4.1測桿行程測桿行程一般應(yīng)超過測量范圍上限0.5mm。4.2指針與表盤的相互位置4.2.1指針式測厚儀的測頭測量面與測砧測量面接觸時,調(diào)整刻度盤零標(biāo)記與測桿軸線正方向重合,指針相對于零標(biāo)記的偏差一般不超過表1的規(guī)定。表1指針相對于零標(biāo)記的偏差分度值/mm指針指向零標(biāo)記方位的偏差0.01±1個分度0.002±2個分度0.001±4個分度4.2.2指針的長度一般應(yīng)保證指針末端覆蓋短標(biāo)記長度的30%~80%。4.2.3指針末端上表面到刻度盤刻線面間的距離一般不大于0.7mm。4.3標(biāo)尺標(biāo)記寬度標(biāo)尺標(biāo)記寬度見表2。表2標(biāo)尺標(biāo)記寬度mm分度值標(biāo)記寬度0.010.15~0.250.001,0.0020.10~0.204.4測量面的表面粗糙度測量面的表面粗糙度值一般不大于Ra0.2μm。4.5橡膠測厚儀上測頭的直徑橡膠測厚儀上下測量面為平面/平面,其上測頭的直徑見表3。4.6測量力4.6.1橡膠測厚儀的測量力不同尺寸的測頭對應(yīng)壓力的測量力一般不超過表3的規(guī)定。2表3不同尺寸的測頭對應(yīng)壓力的測量力壓力/kPa測量力/N測頭尺寸/mm10±222±520±370±51.6±0.1?2.00±0.040.03±0.010.07±0.02———?3.00±0.040.07±0.010.16±0.04?4.00±0.050.13±0.030.28±0.06?5.00±0.050.20±0.040.43±0.100.39±0.061.37±0.10?6.00±0.050.28±0.060.63±0.14——?8.00±0.050.50±0.101.11±0.25?10.00±0.050.79±0.161.73±0.391.57±0.24?25.00±0.10———0.79±0.051.00×4.00(長方形)———0.28±0.02—注:測量力是根據(jù)測頭直徑和壓力按公式F=3.14pD2/4換算得到(其中D單位:m)。按不同的試驗方法要求施加規(guī)定的壓力。不同尺寸的測頭獲得相應(yīng)壓力所需加荷質(zhì)量見附錄A。4.6.2塑料薄膜測厚儀的測量力上下測量面為平面/平面時,測量力一般為(0.5~1.0)N。上下測量面為凸面/平面時,測量力一般為(0.1~0.5)N。4.7測量面的平行度兩平測量面間的平行度一般不超過表4的規(guī)定。表4測量面的平行度mm分度值/分辨力兩平測量面間的平行度0.010.01(0.02)0.002、0.0010.005注:括號內(nèi)的指標(biāo)僅為數(shù)顯式測厚儀在采用量塊檢查測量面平行度時的允許值。4.8示值變動性示值變動性一般不超過表5的規(guī)定。表5示值變動性mm分度值/分辨力指針式測厚儀數(shù)顯式測厚儀0.010.0050.010.002、0.0010.0010.0024.9示值誤差示值最大允許誤差見表6。3表6示值最大允許誤差mm測量范圍上限S指針式測厚儀數(shù)顯式測厚儀分度值分辨力0.010.0020.0010.010.001示值最大允許誤差S≤1——±0.005—±0.0061<S≤10(12.7)±0.020±0.015—±0.03±0.00910(12.7)<S≤20±0.030—±0.04±0.01520<S≤30±0.0354.10漂移數(shù)顯式測厚儀其顯示值在1h內(nèi)的漂移一般不大于一個分辨力。注:校準(zhǔn)工作不判斷合格與否,上述計量特性要求僅供參考。5校準(zhǔn)條件5.1環(huán)境條件校準(zhǔn)室溫度:(20±10)℃。校準(zhǔn)室相對濕度:不大于80%。校準(zhǔn)前,測厚儀和校準(zhǔn)用器具平衡溫度時間不少于2h。5.2校準(zhǔn)用設(shè)備校準(zhǔn)用設(shè)備見表7。表7校準(zhǔn)項目和校準(zhǔn)用設(shè)備序號校準(zhǔn)項目設(shè)備名稱計量性能1測桿行程——2指針與表盤的相互位置工具顯微鏡、指示表MPEV:3μm,20μm3標(biāo)尺標(biāo)記寬度工具顯微鏡MPEV:3μm4測量面的表面粗糙度表面粗糙度比較樣塊MPE:+12%~-17%5橡膠測厚儀上測頭的直徑千分尺M(jìn)PE:±4μm6測量力橡膠測厚儀使用分度值/分辨力為0.01N的測力儀MPE:±0.5%塑料薄膜測厚儀使用分度值/分辨力為0.1N的測力儀MPE:±1%7測量面的平行度量塊5等(或3級)8示值誤差量塊5等(或3級)9漂移——4JJF1488—20146校準(zhǔn)項目和校準(zhǔn)方法首先檢查外觀和各部分相互作用,確定沒有影響計量特性因素后再進(jìn)行校準(zhǔn)。校準(zhǔn)項目見表7。6.1測桿行程手動試驗和目力觀察。6.2指針與表盤的相互位置指針末端上表面到度盤間的距離用工具顯微鏡和指示表測量。測量時采用五倍物鏡,利用微動升降裝置對指針上表面和度盤表面分別調(diào)焦,用百分表讀數(shù),兩次讀數(shù)的差值即為指針末端上表面到度盤表面間的距離。6.3標(biāo)尺標(biāo)記寬度標(biāo)尺標(biāo)記寬度在工具顯微鏡上測量,至少抽測3處。6.4測量面的表面粗糙度用表面粗糙度比較樣塊進(jìn)行比較測量。進(jìn)行比較時,所用的表面粗糙度樣塊和被檢測量面的加工方法應(yīng)相同,表面粗糙度樣塊的材料、形狀、表面色澤等也應(yīng)盡可能與被檢測量面一致。當(dāng)被檢測量面的加工痕跡深淺不超過表面粗糙度比較樣塊工作面加工痕跡深度時,則被檢測量面的表面粗糙度一般不超過表面粗糙度比較樣塊的標(biāo)稱值,以相應(yīng)表面粗糙度比較樣塊的標(biāo)稱值作為校準(zhǔn)結(jié)果。6.5橡膠測厚儀上測頭的直徑橡膠測厚儀上測頭的直徑用千分尺測量。6.6測量力橡膠測厚儀的測量力用分度值/分辨力不大于0.01N的測力儀進(jìn)行測量,塑料薄膜測厚儀的測量力用分度值/分辨力不大于0.1N的測力儀進(jìn)行測量。使用測力儀測量時,將測力儀的測量頭(或測量頭輔助附件)伸入測厚儀的兩測量面間,使測厚儀測頭測量面與測力儀測頭相接觸,由測力儀讀取測力值。使用測量頭輔助附件的方法見附錄B。6.7測量面的平行度在測量范圍內(nèi)任一位置,將一塊量塊置于兩平測量面間,分別在測頭直徑1/4處的四個位置測量(見圖2),分別從測厚儀指示表上讀數(shù),其讀數(shù)的最大值與最小值之差即為兩測量面的平行度。圖2平行度測量示意圖圖中:D—測頭直徑5JJF1488—20146.8示值變動性在測量范圍內(nèi)任一位置,將一塊量塊置于兩測量面之間,對量塊重復(fù)測量5次,其最大示值與最小示值之差即為示值變動性。6.9示值誤差示值誤差測量點(diǎn)的設(shè)置見表8。將各測量點(diǎn)對應(yīng)的量塊依次放于兩測量面之間,使量塊與兩測量面充分接觸,在測厚儀上讀數(shù)。每一測量點(diǎn)測量3次,以3次測量值的平均值作為該點(diǎn)的示值。測厚儀的示值與相應(yīng)量塊尺寸之差即為該點(diǎn)的示值誤差。示值誤差e可按公式(1)計算:e=Ld1-Ls1(1)式中:Ld1—測厚儀的示值,mm;Ls1—量塊的標(biāo)稱值,mm。對于(0~1)mm的測厚儀,測量前先松開測厚儀的緊固螺釘,用1mm的量塊對到零位附近,將測厚儀重新緊固。先對零,再分別用間隔0.1mm的量塊依次對測厚儀進(jìn)行測量,直至全量程。然后使測厚儀兩測量面直接對零,分別對0.5mm、1mm測量。表8示值誤差測量點(diǎn)設(shè)置測量范圍上限S/mm示值誤差測量點(diǎn)S≤11)用1mm的量塊對零:每間隔0.1mm為一測量點(diǎn),直至全量程;2)兩測量面直接對零:0.5mm、1mm1<S≤10(12.7)每間隔1mm為一測量點(diǎn),直至全量程10(12.7)<S≤201)在0mm~10(12.7)mm段,每間隔1mm為一測量點(diǎn);2)從10(12.7)mm開始每間隔5mm為一測量點(diǎn),直至全量程;當(dāng)以上測量點(diǎn)不包括測量范圍上限時,應(yīng)至少補(bǔ)充測量上限點(diǎn)20<S≤306.10漂移數(shù)顯測厚儀測量桿處于行程的任一位置時,觀察其1h內(nèi)的示值變化,其變化量即為漂移。7校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)校準(zhǔn)后的測厚儀,出具校準(zhǔn)證書。校準(zhǔn)證書的內(nèi)容及內(nèi)頁格式見附錄D。8復(fù)校時間間隔由于復(fù)校時間間隔的長短是由儀器的使用情況、使用者、儀器本身質(zhì)量等諸因素所決定的,因此,送校單位可根據(jù)實際使用情況自主決定復(fù)校時間間隔。建議復(fù)校時間間隔一般不超過1年。6JJF1488—2014附錄A不同尺寸的測頭獲得相應(yīng)壓力所需加荷質(zhì)量表A.1不同尺寸的測頭獲得相應(yīng)壓力所需加荷質(zhì)量壓力/kPa所需質(zhì)量/g測頭尺寸/mm10±222±520±370±51.6±0.1?2.00±0.043.0±0.57.0±0.6———?3.00±0.047.0±1.016.0±1.7?4.00±0.0513.0±2.028.0±3.0?5.00±0.0520.0±3.044.0±4.040.0±6.0140.0±10.0?6.00±0.0529.0±5.063.0±7.0——?8.00±0.0551.0±9.0113.0±13.0?10.00±0.0580.0±14.0176.0±20.0160.0±24.0?25.00±0.10———80.0±3.01.00×4.00(長方形)———28.6±2.0—注:1所需質(zhì)量包括測桿、測頭、重錘等的質(zhì)量;2按不同的試驗方法要求,測厚儀測頭尺寸和加荷重錘可做相應(yīng)變化,做專用或多用測厚儀。7JJF1488—2014附錄B用測力儀測量時使用測量頭輔助附件的方法用測力儀測量測厚儀的測量力時,需使用測量頭輔助附件。對測量頭輔助附件的剛性要求高。使用方法如下:1)將測量頭輔助附件固定在測力儀的受力盤上。見圖B.1。2)用標(biāo)準(zhǔn)砝碼驗證其剛性。分別將1g和200g的標(biāo)準(zhǔn)砝碼放置在測力儀受力盤的中心和測量頭輔助附件最外端兩個位置,分別記錄1g標(biāo)準(zhǔn)砝碼和200g標(biāo)準(zhǔn)砝碼在不同位置時測力儀顯示的力值,若力值不發(fā)生變化,則測量頭輔助附件的剛性滿足要求。否則其剛性不滿足要求。如圖B.1中(b)、(c)所示。3)驗證剛性后,使測厚儀測頭測量面與測力儀測量頭輔助附件相接觸,即可實現(xiàn)測量力的測量。(a)(b)受力盤的中心(c)測量頭輔助附件最外端圖B.1數(shù)顯量儀測力計示意圖8JJF1488—2014附錄C測厚儀示值誤差測量結(jié)果不確定度評定C.1測量方法測厚儀示值誤差是用3級(或5等)量塊直接測量而得。下面以分辨力為0.001mm,測量范圍為(0~12.7)mm的測厚儀為例,對測厚儀示值誤差測量結(jié)果不確定度進(jìn)行評定。C.2數(shù)學(xué)模型e=Ld1-Ls1=Ld-Ls+Ld·αd·Δtd-Ls·αs·Δts+δpar+δF(C.1)式中:Ld1—測厚儀的示值;Ls1—量塊的標(biāo)稱值;Ld—測厚儀的示值(20℃條件下);Ls—量塊的標(biāo)稱值(20℃條件下);αd,αs—分別為測厚儀和量塊的線膨脹系數(shù);Δtd,Δts—分別為測厚儀和量塊偏離溫度20℃時的數(shù)值;δpar—定向誤差引起的變形量;δF—測力引起的變形量。EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up7(令),取)EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up5(δ),L)EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up5(α),L)EQ\*jc3\*hps29\o\al(\s\up5(d),d)EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up5(α),L)EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up5(Δ),α)Δ;tsΔt≈Δtd≈ΔtsC.3測量不確定度分析得e=Ld-Ls+L·Δt·δα+L·α·δt+δC.3測量不確定度分析EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up10(ld-l),相關(guān))EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up10(+ld),所以)EQ\*jc3\*hps29\o\al(\s\up10(d),成)EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up10(Δ),標(biāo))EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up10(td-l),準(zhǔn)不確)EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up10(ld-l),相關(guān))EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up10(+ld),所以)EQ\*jc3\*hps29\o\al(\s\up10(d),成)EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up10(Δ),標(biāo))EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up10(td-l),準(zhǔn)不確)EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up10(t),計)EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up10(+),算)EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up10(δp),公).2):u(e)= cEQ\*jc3\*hps12\o\al(\s\up3(2),1)·u2(ld)+cEQ\*jc3\*hps12\o\al(\s\up3(2),2)·u2(ls)+cEQ\*jc3\*hps12\o\al(\s\up3(2),3)·u2(α)+cEQ\*jc3\*hps12\o\al(\s\up3(2),4)·u2(t)+cEQ\*jc3\*hps12\o\al(\s\up3(2),5)·u2(δpar)+cEQ\*jc3\*hps12\o\al(\s\up3(2),6)·u2(δF)(C.2)式中,靈敏系數(shù)為ci:c4=ct==l·α9JJF1488—2014C.4不確定度分量的評定C.4.1測量重復(fù)性或分辨力引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(ld)C.4.1.1測量重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(ld1)在各種條件均不改變的情況下,在短時間內(nèi),從1mm開始用間隔1mm的量塊依次對測厚儀進(jìn)行測量,直至全量程12mm,每塊量塊上測量n'=3的測量次數(shù),極差EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up8(最大為2),量的標(biāo)準(zhǔn))EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up8(極差),均取)EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up7(數(shù)1),11)EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up7(9),μ)EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up7(18),合)EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up5(μ),并)EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up8(考慮到),本標(biāo)準(zhǔn)偏)EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up8(此),差)EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up7(1),的)EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up7(2組),方法)次對測厚儀進(jìn)行測量,直至全量程12mm,每塊量塊上測量n'=3的測量次數(shù),極差u(ld1)=sp/n'=s/n'=1.18μm/3=0.68μmC.4.1.2分辨力引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(ld2)分辨力為0.001mm的測厚儀,區(qū)間半寬度為0.0005μm,符合均勻分布,k=3,則其引入的不確定度分量為:u(ld2)=0.0005mm/3=0.29μm測量重復(fù)性引入的不確定度分量u(ld1)和分辨力引入的不確定度分量u(u(ld2)=0.0005mm/3=0.29μmEQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up7(u),2)EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up7(9),入)EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up6(μm),的)3級量塊的長度偏差允許值為Δl=0.80μm+16×10-6×ln,按兩點(diǎn)分布處理,k=1,則:uL=12mm時,u(ls)=EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up7(Δ),k)l=0.99EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up7(2),1)μm=0.992μmC.4.3測厚儀和量塊線膨脹系數(shù)差引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(α)兩種材料熱膨脹系數(shù)界限均為(11.5±1)×10-6℃-1,則δα的界限為±2×10-6℃-1,服從三角分布,k=6,則:C.4.4測厚儀和量塊溫度差引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(t)u(α)=2×10-6℃-1/6=0.82×10-6C.4.4測厚儀和量塊溫度差引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(t)測厚儀與量塊之間存在溫度差,以等概率落于區(qū)間±1℃內(nèi)任何處,其區(qū)間半寬為1℃,均勻分布,k=3,則:C.4.5定向誤差引入的標(biāo)準(zhǔn)不u確(EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up6(1),u)pr)3:=0.58℃安裝時,需要調(diào)整被測件與測量頭垂直,但是由于兩測量面存在平行度誤差0.002μm,故無法調(diào)整到完全垂直。假定符合均勻分布,k=3,則:10JJF1488—2014C.4.6測量力引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度u(δF):在測量橡膠、塑料薄膜時,可能因測力產(chǎn)生壓陷而產(chǎn)生厚度測量的誤差,從而影響厚度測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。測量EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up7(量),力)EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up7(塊),N)EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up7(的彈),為0)性5EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up6(模量E),0N的)EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up5(206),厚儀)G,PEQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up5(a),則),EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up7(泊松),由測力)EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up7(比),引)EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up5(0),的).EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up5(2),變)EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up5(5),形),EQ\*jc3\*hps22\o\al(\s\up7(測),為)頭:直徑d0為?6.010mm,=0.099μm,其中假定符合均勻分布,k=3,則:C.5計算合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度C.5.1主要標(biāo)準(zhǔn)不確定度匯總表測量不確定度分量及計算結(jié)果見表C.1。表C.1主要標(biāo)準(zhǔn)不確定度匯總表不確定度分量不確定度來源u(xi)的值靈敏系數(shù)ciu(ld)測量重復(fù)性或分辨力0.68μm10.68(取大者)u(ld1)測量重復(fù)性0.68μmu(ld2)分辨力0.29μmu(ls)量塊的長度偏差0.992μm-10.992u(α)測厚儀與量塊線膨脹系數(shù)差0.82×10-6℃-0.098u(t)測厚儀與量塊溫度差0.58℃