CSTM-變形高溫合金渦輪盤鍛件 全截面化學成分測定 原位統(tǒng)計分布分析方法

ICS19.100J04團 體 標 準T/CSTMLX990000720-2021變形高溫合金渦輪盤鍛件全截面化學成分測定金屬原位統(tǒng)計分布分析法TurbinediskforgingofwroughtsuperalloyDeterminationofchemicalcompositionoftotalcrosssectionandoriginalpositionstatisticdistributionanalysis（征求意見稿）201X-XX-XX發(fā)布201X-XX-XX實施發(fā)布中關村材料試驗技術聯(lián)盟發(fā)布T/CSTMXXXXX—2019T/CSTMXXXXX—201XI前??言本標準按照GB/T1.1—2020給出的規(guī)則起草。本標準由中國材料與試驗團體標準委員會綜合領域委員會FC98提出。本標準由中國材料與試驗團體標準委員會綜合領域委員會FC98歸口。本標準為第一次發(fā)布。專利情況申明1、大尺度樣品全域成分全自動掃查定位和定量分析系統(tǒng)發(fā)明專利ZL201910330690.X 鋼研納克2、大尺度金屬構件偏析度分析儀及分析方法 發(fā)明專利 201911374898.8 鋼研納克3、一種超大尺寸管棒狀金屬材料全域成分分析裝置及方法 發(fā)明專利202011059568.2鋼研納克4、大尺寸不規(guī)則樣品表面掃描區(qū)域識別及掃描路徑確定方法發(fā)明專利202011180218.1鋼研納克變形高溫合金渦輪盤鍛件全截面化學成分測定金屬原位統(tǒng)計分布分析法警告：使用本標準的人員應有正規(guī)實驗室工作的實踐經(jīng)驗。本標準并未指出所有可能的安全問題。使用者有責任采取適當?shù)陌踩徒】荡胧?，并保證符合國家有關法規(guī)規(guī)定的條件。1范圍本標準規(guī)定了用金屬原位統(tǒng)計分布分析法測定變形高溫合金渦輪盤鍛件及坯的成分分布。本標準適用于測定表面長為50mm～1000mm，寬為50mm～500mm的長方形或正方形區(qū)域，高度為50mm～300mm的長方形鋼鐵樣品；也適用于直徑小于700mm的圓形或圓環(huán)形鋼鐵樣品，厚度為50mm～300mm。一般分析面積最大不超過5x105mm2，分析長度最大不超過1000mm。以GH4169鎳基高溫合金鑄坯為例可能的各元素質(zhì)量分數(shù)測定范圍見表1。表1測定元素測定范圍，％（質(zhì)量分數(shù)）碳C0.012~0.036硅Si0~0.35錳Mn0~0.35磷P0.007~0.015鉻Cr17~19鐵Fe16~19鉬Mo2.8~3.15釩V0~100鈦Ti0.75~1.15鈮Nb5.2~5.55鋁Al0.35~0.65鈷Co0~12規(guī)范性引用文件下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有的修改單（不包括勘誤的內(nèi)容）或修訂版均不適用于本標準，然而，鼓勵根據(jù)本標準達成協(xié)議的各方研究是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標準。GB/T21834中低合金鋼多元素成分分布的測定金屬原位統(tǒng)計分布分析方法GB/T24213金屬原位統(tǒng)計分布分析方法通則3術語3.14原理采用的超大尺寸材料原位分析系統(tǒng)，集金屬構件自動加工、精準掃描定位、光譜分析于一體，全自動分析與表征材料中偏析、夾雜、疏松等信息；可分析矩形、圓形、米字形、異形等各種金屬構件。將金屬構件放在超大尺寸金屬原位分析系統(tǒng)樣品臺上，用臺鉗或其他方式固定。經(jīng)數(shù)控加工中心自動銑削，成為表面粗糙度不大于Ra3.2um的紋路清晰平面。金屬構件試樣經(jīng)表面加工后，作為單火花放電的一個工作電極，其對電極鎢電極作為單火花放電原子發(fā)射光譜儀的一部分安裝于系統(tǒng)W軸上，光譜儀采用光電倍增管PMT或其他光電轉換器件接收光電流，光學系統(tǒng)為羅蘭園結構。光譜儀激發(fā)臺倒置于金屬構件樣品之上。按照程序設計的掃描路徑，精密移動樣品同時光譜儀進行連續(xù)單火花激發(fā)。對相對運動的樣品實施連續(xù)的火花激發(fā)放電；將所激發(fā)的火花光譜色散成特定波長的線狀光譜；高速、實時記錄單次火花放電的位置和光譜信號，將單次火花信號轉化為電信號，輸入信號存儲器；對選用的參比線和分析線的發(fā)射譜線強度進行測量，用計算機對上述單次火花放電的線狀光譜進行統(tǒng)計分布分析。根據(jù)標準樣品制作的校準曲線，求出分析樣品測量區(qū)域內(nèi)各測量元素的化學成分分布。經(jīng)過含量統(tǒng)計分布分析，得到用于評價各元素含量分布和偏析的各種指標，如不同區(qū)域內(nèi)的含量平均值和標準偏差、特定位置含量、最大偏析度、統(tǒng)計偏析度、統(tǒng)計符合度、含量95%置信區(qū)間、含量一維分布圖、含量二維等高圖、含量三維視圖、含量頻度分布圖、夾雜物頻數(shù)分布圖等。4超大尺寸金屬材料原位分析系統(tǒng) 超大尺寸金屬原位分析系統(tǒng)主要由以下單元組成：4．1激發(fā)光源激發(fā)光源提供能量可控并能長時間連續(xù)進行單次放電。全固態(tài)數(shù)字火花光源，可連續(xù)激發(fā)時間15h，高能預火花放電技術，充電電容3μF。光源激發(fā)頻率10~1000Hz軟件連續(xù)可調(diào)，光源能量軟件連續(xù)可調(diào)，電容充電電壓180~380V。4．2連續(xù)激發(fā)臺倒置式火花激發(fā)臺實現(xiàn)對超大樣品表面激發(fā)掃描。共軸自旋氣路火花臺，有效降低氬氣消耗。工作時該裝置使用高純氬氣（純度大于99.995%）氣氛保護。4．3對電極采用90°頂角純鎢電極，直徑為6mm。每個實驗室根據(jù)分析樣品數(shù)量的具體情況確定更換對電極的時間。具備電極自動清理裝置，根據(jù)掃描時間設定清理電極時間間隔。4．4光學系統(tǒng)帕邢-龍格結構羅蘭光學系統(tǒng)，光柵焦距500mm，一級光譜色散的倒數(shù)小于0.74nm/mm，；二級色散率小于0.37nm/mm。波長范圍為160nm～650.0nm。光學系統(tǒng)內(nèi)充高純氬氣。小尺寸高靈敏度PMT檢測器，高發(fā)光全息光柵2700條/mm，分辨率優(yōu)于0.01nm。整個光學系統(tǒng)處于恒溫下，溫度32±0.1°C。4．5分光單元由準直透鏡、入射狹縫、凹面光柵以及出射狹縫組成，光經(jīng)過準直透鏡進入入射狹縫﹑凹面光柵分光，由出射狹縫系統(tǒng)選擇各元素的特征譜線，整套光路系統(tǒng)均在真空系統(tǒng)下運行。4．6信號高速采集系統(tǒng)信號高速采集系統(tǒng)由光電倍增管、高壓板、放大板和高速采集板（A/D板）組成，此系統(tǒng)可以高速采集放電區(qū)域內(nèi)的所有單次火花的激發(fā)信號。該系統(tǒng)高速連續(xù)采集由連續(xù)激發(fā)光源對待測樣品放電所產(chǎn)生的大量單次火花信號強度，并加以存儲。4．7精密掃描移動系統(tǒng)超大試樣掃描方式通常為線性面掃描，沿X軸方向連續(xù)掃描，掃描速度為1mm/s；Y軸方向為平移方式，間隔為3mm-4mm。也可以設定其他掃描方式。X軸行程1200mm，Y軸行程510mm，Z軸行程560mm。工作臺尺寸610×1500mm，最大均布承載能力900kg，雙向定位精度(mm)X:0.016/0.010Y/Z:0.012/0.010，雙向重復位精度(mm)X:0.008/0.006Y/Z:0.008/0.006。4．8數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)由于一個火花脈沖中包含多個單次放電，每個單次放電信號與放電位置的狀態(tài)相關，將高速采集系統(tǒng)所采集的大量單次火花信號強度進行數(shù)理統(tǒng)計分析，即可得到與原始位置相對應的元素成分位置含量分布及相關缺陷狀態(tài)分布的信息。該統(tǒng)計分析方法處理系統(tǒng)以含量二維等高圖、含量三維視圖、含量線分布圖、含量-頻度統(tǒng)計分布圖、致密度分布圖以及夾雜物分布圖來直觀表征待測元素在樣品中的分布規(guī)律，并以平均含量、最大偏析度、統(tǒng)計偏析度、統(tǒng)計符合度、平均表觀致密度以及夾雜物含量來表征元素的分布規(guī)律。4.9樣品表面加工系統(tǒng)CNC數(shù)控系統(tǒng)；主軸端面至工作臺面距離（mm）152-712快速移動速度（mm/min） 24000切削進給速度（mm/min） 3-15000主軸 轉速范圍（rpm） 60-7000或60-8000或60-10000 主軸錐孔 7:24No.40 主軸軸徑（mm） Φ70 主軸最大扭矩Nm 70（FANUC）或114.6（SIEMENS）或105（GSK）加工面積（mm×mm） 1200×510平面度(mm) 0.04/1000樣件加工粗糙度 Ra3.2電源要求 380（1±10%）VAC，50Hz壓縮空氣工作壓力（MPa） 0.64.10大尺寸試樣掃描路徑測量裝置在大尺寸金屬原位分析系統(tǒng)Z軸上固定一個照相裝置，對樣品制備前對全尺寸樣品照相，并對樣品掃描分析路徑進行自動規(guī)劃設計，經(jīng)操作人員確認后，掃描分析路徑代碼傳輸至控制系統(tǒng)，系統(tǒng)按照規(guī)劃的掃描路徑進行分析。大尺寸樣品分析完成后也進行拍照存檔。5標準樣品和標準化樣品5.1標準樣品標準樣品用于原位統(tǒng)計分布分析中繪制校準曲線。標準樣品的掃描面積一般大于20mm×20mm。5.2標準化樣品標準化樣品應非常均勻，并要有適當?shù)暮?，用于校正儀器的漂移。5.3類型標準化樣品（控制樣品）類型標準化樣品（控制樣品）是與待測樣品成分、冶煉工藝類似且成分分布均勻的樣品，為原位分布分析專用控制樣品，可用來對校準曲線進行監(jiān)控。5.4自動標準化或類型標準化系統(tǒng)在系統(tǒng)工作前，用選擇好的數(shù)塊標準化樣品對使用的分析程序進行標準化。需要時，可用一塊或數(shù)塊類型標準化樣品對測量系統(tǒng)進行類型標準化。必要時，可以在分析大尺寸樣品之前，將試樣表面干銑至平面，采用單點火花光譜分析方法，在樣品表面每行每列按照固定間隔，每一個位置進行一次經(jīng)典光譜分析獲得一個含量數(shù)據(jù)。用所有單點激發(fā)獲得的含量數(shù)據(jù)的平均值，校正大面積單火花掃描分析后的總體平均值。6儀器準備放置超大尺寸金屬原位分析系統(tǒng)的實驗室應防震、潔凈，一般室內(nèi)溫度應保持在25℃左右，在同一個標準化周期內(nèi)室內(nèi)溫度變化不超過6.1儀器的穩(wěn)定為使儀器工作穩(wěn)定，開始工作前應使激發(fā)光源有適當?shù)耐姇r間，使光譜儀光室和激發(fā)平臺加熱至恒溫。長時間停機后重新開機，一般應保證通電時間不少于8h。6.2電極的更換和調(diào)整電極應根據(jù)使用頻率及磨損程度定期更換，并用定距規(guī)調(diào)整其間隙的距離，使其保持正常工作狀態(tài)。6.3光學系統(tǒng)的檢查聚光鏡應定期清理，光路應定期校準。7分析樣品7.1取樣本標準適用于測定樣品表面長x寬不大于1000mmx500mm的區(qū)域，高度為50mm～300mm的鋼鐵樣品?；蛑睆叫∮?00mm的圓形鋼鐵樣品，厚度為50mm～300mm。一般分析面積最大不超過5x105mm2。如果金屬構件樣品長度超過1米，待分析面應包含某些特征區(qū)域，如板坯的中心等。7.2樣品的制備標準樣品、標準化樣品以及大尺寸分析樣品應在同一條件下制備，并保證樣品表面平整，無沾污。7.3掃描路徑的智能設定對于大尺寸金屬構件樣品，由于有些構件中心缺陷或外形不規(guī)則。用智能樣品掃描路徑規(guī)劃系統(tǒng)對試樣表面拍照識別，選定掃描分析起點后，自動規(guī)劃掃描分析路徑，掃描行距4mm。計算出每掃一行的起點坐標和終點坐標以及掃描的總行數(shù)。坐標自動輸入到移動系統(tǒng)中。9分析步驟8.1根據(jù)樣品的種類、化學成分選擇標準樣品、標準化樣品。8.2根據(jù)樣品的種類、化學成分選8擇參比線（中低合金鋼一般采用Fe譜線）、分析線、激發(fā)參數(shù)等工作條件。8.3對儀器準備工作的要求，設定和校準儀器。8.4分析工作前先激發(fā)一塊樣品，確保儀器穩(wěn)定后開始分析。8.5校準曲線的繪制在所選定的工作條件下，掃描激發(fā)一系列標準樣品。以每個待測元素的絕對強度或相對強度與標準樣品中該元素的含量繪制校準曲線。8.6校準曲線的標準化應定期采用標準化樣品對校準曲線進行標準化，標準化的間隔時間取決于儀器的穩(wěn)定性。必要時，可進一步采用與待測樣品成分、冶煉工藝類似的控制樣品對校準曲線進行監(jiān)控。8.7測定結果的控制對標準樣品進行掃描測定，確定分析結果的準確性和可靠性。8.8樣品分析根據(jù)需要確定分析樣品的取樣區(qū)和掃描區(qū)。采用與繪制校準曲線相同的工作條件對樣品進行激發(fā)并保存數(shù)據(jù)。（見附錄B.2）9結果的表述根據(jù)各元素的絕對強度或相對強度，從校準曲線上計算出掃描區(qū)域的含量。通過成分統(tǒng)計分布分析，得到掃描分析范圍內(nèi)用于評價各元素分布的各種指標：特定位置含量、最大偏析度、含量二維等高圖、含量三維視圖、含量頻度分布圖、含量線分布圖、統(tǒng)計符合度及統(tǒng)計偏析度等。10測量結果精密度GH4169鎳基高溫合金鑄坯截面原位分析，從表面制樣到一次分析結束需要約1.5～5小時，如果進行兩次平行分析則需要一天時間。由于時間較長，已經(jīng)超出一般成分分析的重復性條件，相當于時間變化的中間精密度（或室內(nèi)再現(xiàn)性）條件。因此以中間精密度臨界差Rw作為判斷重復分析的精密度臨界值。在5天內(nèi)，對GH4169鎳基高溫合金鑄坯分析10次，統(tǒng)計各個參數(shù)，用格拉布斯95%置信度檢驗并剔除異常值。表2中給出了直徑約380mm鋼管橫截面兩次測量的各類參數(shù)的中間精密度臨界差Rw。C2.5是95%置信區(qū)間下限；C97.5是95%置信區(qū)間上限；-Ds是負偏析度；+Ds是正偏析度；Dc是統(tǒng)計符合度。Rw(C2.5）)、Rw(C97.5)、Rw(-Ds)、Rw(+Ds)、Rw(Dc)分別是以上參數(shù)在中間精密度條件下的臨界差。對鋼管或管坯橫截面兩次平行分析時，各指標兩次分析差值應小于表中Rw值，超過Rw值的概率不超過5%。表2元素元素含量（%）C2.5（%）Rw(C2.5)(-Ds)Rw(-Ds）C97.5（%）Rw(C97.5）(+Ds)Rw（+Ds）統(tǒng)計符合度（Dc）（%）Rw(Dc)C0.0220.0130.015-0.4010.690.0350.0140.5850.62292.81926.199Si0.09750.0860.018-0.1210.180.1110.0130.1340.1381000Mn0.10.0710.079-0.2920.7940.1340.0720.3440.7191000Fe17.86517.4251.217-0.0250.06818.2771.1660.0230.06599.0996.268Mo2.9642.7580.358-0.070.1213.1970.2540.0790.08691.40822.415V0.03250.0240.025-0.2760.7750.0440.0210.3650.6511000Al0.4590.4310.069-0.0610.150.4940.080.0760.17499.8350.88Co0.02670.0230.005-0.1380.1710.0310.0050.1460.21000Nb5.39155.1210.514-0.050.0955.6160.1950.0420.03689.85319.862Cr18.66218.2390.746-0.0220.03919.0150.4740.0190.02696.7559.172Ti0.85550.810.091-0.0530.1070.9040.0740.0570.08697.26818.99911試驗報告試驗報告應包括下列內(nèi)容：分析的構件樣品、實驗室和分析日期等資料；遵守本標準規(guī)定的程度；分析結果及其表示；測定中觀察到的異?，F(xiàn)象；對分析結果可能有影響而本標準未包括的操作或者任選的操作。

附錄A（規(guī)范性附錄）高溫合金渦輪盤鍛件取樣方法A.1取樣方法渦輪盤坯鍛件（圖1）從中心到外延取橫截面（圖2）作為分析面。圖1渦輪盤坯鍛件示意圖圖2渦輪盤坯鍛件橫截面示意圖A.2掃描方法根據(jù)渦輪盤坯鍛件橫截面樣品的面積和形狀，設置樣品的原點、X值、Y值等掃描參數(shù)確定樣品的掃描范圍。一般采用行掃描方式，由于樣品不規(guī)則，設定每一行從左到右的掃描起點和終點。掃描從最上一行開始，從左到右掃描，第一行掃描結束后，移動到第二行，仍然從左到右掃描，直至最后一行掃描結束。附錄B（規(guī)范性附錄）高溫合金GH4169-DB3渦輪盤鍛件原位分析范例1概述全自動超大尺寸金屬構件原位分析系統(tǒng)，可分析構件尺寸長×寬為1000mm×500mm構件平面表面全覆蓋表征。2實驗儀器和方法2.1實驗儀器全自動超大尺寸金屬構件原位分析系統(tǒng)OPA-1000；2.2環(huán)境條件溫度：25℃，相對濕度：41.5%，氬氣純度：99.999%。2.3儀器參數(shù)表1分析系統(tǒng)參數(shù)分析系統(tǒng)加工系統(tǒng)火花激發(fā)頻率（Hz）500行程X軸（mm）1200激發(fā)電容（μF）7.0Y軸（mm）510預燃電壓（V）360Z軸（mm）560積分電壓（V）190工作臺尺寸（mm）610×1500氬氣流量(L/min)8最大承載能力（均布）（kg）900電極材料90度頂角鎢電極，直徑6mm波長范圍（nm）160-650主軸端面至工作臺面距離（mm）152-712PMT直徑（mm）13快速移動速度（mm/min）24000靈敏度（μA/lm）40切削進給速度（mm/min）3-15000位置精度雙向定位精度(mm)X:0.016/0.010Y/Z:0.012/0.010采集系統(tǒng)傳輸方式Ethernet雙向重復定位精度(mm)X:0.008/0.006Y/Z:0.008/0.006控制方式COM壓縮空氣工作壓力（MPa）0.6頻率(kHz)100可加工面積（mm×mm）1200×510通道數(shù)量最大64平面度(mm)0.04/1000偏析通道最大20個樣件加工粗糙度Ra3.2表2掃描參數(shù)掃描面積掃描速度掃描方式掃描方向掃描模式274*64mm21mm/s異形帶預燃X向加工掃描全自動3樣品預處理試樣采用系統(tǒng)內(nèi)的CNC自動銑削功能，對樣品上、下底面進行銑削加工。銑削過程不能用水冷卻，采用經(jīng)過濾水分及油的壓縮空氣冷卻。保證樣品上、下底面平行度小于0.015mm。選擇樣品上、下面的一個平面進行CNC自動銑削加工，轉速800。銑削出具清晰紋路的平整平面。4測試過程加工后的試樣底部的工作臺，同時也作為全自動超大尺寸金屬構件原位分析系統(tǒng)工作臺。設置掃描區(qū)域、固定光譜儀的W軸高度。上位機軟件自動編輯運動測試G代碼并發(fā)送測試指令，采集系統(tǒng)開始采集PMT的光譜強度信號，強度信號通過采集系統(tǒng)返回到上位機軟件，軟件解析強度信號轉變?yōu)闈舛刃盘?，所得到的測定結果以二維圖、三維圖和統(tǒng)計圖的形式將樣品表面的偏析、夾雜的信息展現(xiàn)出來。5測試結果5.1實驗對比圖樣品掃描后的實物圖如圖1所示，掃描方向沿圖中X方向。Y方向Y方向X方向圖SEQ圖\*ARABIC1 掃描完成后樣品實物圖5.2成分偏析分析圖2~38是C、Si、Mn、P、Cr、Fe、Mo、V、Ti、Nb、Al、Co元素的含量分布圖。包括元素含量二維、三維分布圖及含量統(tǒng)計分布圖。其中二維分布圖X、Y軸均表示位置坐標，以“色標”的方式表示含量高低，色標從下到上所代表的顏色表示含量依次增加。含量統(tǒng)計分布圖中X軸表示元素含量大小，Y軸表示元素在相應含量下的統(tǒng)計頻度。5.2.1C元素偏析圖2 C元素含量二維分布圖 圖3 C元素含量三維分布圖 圖4 C元素含量統(tǒng)計圖5.2.2Si元素偏析圖5 Si元素含量二維分布圖圖6 Si元素含量三維分布圖圖7 Si元素含量統(tǒng)計圖5.2.3Mn元素偏析圖8 Mn元素含量二維分布圖圖9 Mn元素含量三維分布圖圖10 Mn元素含量統(tǒng)計圖5.2.4P元素偏析圖11 P元素含量二維分布圖 圖12 P元素含量三維分布圖 圖13 P元素含量統(tǒng)計圖5.2.5Cr元素偏析圖14 Cr元素含量二維分布圖圖15 Cr元素含量三維分布圖圖16 Cr元素含量統(tǒng)計圖5.2.6Fe元素偏析圖17 Fe元素含量二維分布圖圖18 Fe元素含量三維分布圖圖19 Fe元素含量統(tǒng)計圖5.2.7Mo元素偏析圖20 Mo元素含量二維分布圖圖21 Mo元素含量三維分布圖圖22 Mo元素含量統(tǒng)計圖5.2.8V元素偏析圖23 V元素含量二維分布圖 圖24 V元素含量三維分布圖 圖25 V元素含量統(tǒng)計圖5.2.9Ti元素偏析圖26 Ti元素含量二維分布圖 圖27 Ti元素含量三維分布圖 圖28 Ti元素含量統(tǒng)計圖5.2.10Nb元素偏析圖30 Nb元素含量二維分布圖 圖31 Nb元素含量三維分布圖 圖32 Nb元素含量統(tǒng)計圖5.2.11Al元素偏析圖33 Al元素含量二維分布圖圖34 Al元素含量三維分布圖圖35 Al元素含量統(tǒng)計圖5.2.12Co元素偏析圖36 Co元素含量二維分布圖圖37 Co元素含量三維分布圖圖38 Co元素含量統(tǒng)計圖5.3夾雜物分析圖41~58為C、Si、Mn、S、Al、S+Mn、C+Nb、C+V、S+Mn+Al元素夾雜分布圖。包括異常火花二維分布圖、三維和統(tǒng)計分布圖。其中二維分布圖X、Y軸表示位置坐標，以“色標”的方式表示火花強度，色標從下到上所代表的顏色表示火花強度依次增加。三維分布圖X、Y軸均表示位置坐標，Z軸表示元素火花強度數(shù)值，同時也以“色標”的方式表示火花強度。5.3.1碳化物圖41 碳化物二維分布圖圖42 碳化物三維分布圖圖43 碳化物統(tǒng)計分布圖5.3.2Si元素夾雜圖44 Si元素夾雜二維分布圖圖45 Si元素夾雜三維分布圖圖46 Si元素夾雜統(tǒng)計分布圖5.3.3Mn元素夾雜圖47 Mn元素夾雜二維分布圖圖48 Mn元素夾雜三維分布圖圖49 Mn元素夾雜統(tǒng)計分布圖5.3.4Al元素夾雜圖50 Al元素夾雜二維分布圖圖51 Al元素夾雜三維分布圖圖52 Al元素夾雜統(tǒng)計分布圖5.3.5C+Nb元素夾雜圖53 C+