印刷電子設(shè)備 接觸式印刷剛性母版 第一部分：印版外形尺寸的測(cè)量方法 征求意見(jiàn)稿

1印刷電子設(shè)備接觸式剛性印版第一部分：印版外形尺寸測(cè)量方法3.13.2印版的幾何定義geometricaldefiniti3.33.423.53.63.73.83.93.103.113.123.133.14印版基材的平面度f(wàn)latnessofplate3平面度截止波長(zhǎng)flatnesscut-off3.15az3.1643.17粗糙度截止波長(zhǎng)roughnesscut-offwave4印版幾何尺寸的測(cè)量方法4.2.1測(cè)量?jī)x器54.2.2邊緣長(zhǎng)度測(cè)量f)使用公式（1）計(jì)算橫向（CD）邊長(zhǎng)和縱向（MD注：W和L分別是標(biāo)準(zhǔn)試樣的寬度和長(zhǎng)度，分別代表橫向（CD4.2.2.2報(bào)告64.2.3邊緣垂直度b)如圖4所示，將兩個(gè)比較儀（例如千分表）4.2.3.2報(bào)告——以0.1°為單位展示結(jié)果。4.2.4邊緣直線度測(cè)量4.2.4.1總則7b)將直線度標(biāo)準(zhǔn)試樣與直線導(dǎo)軌臺(tái)系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)方向平e)將印版的待測(cè)邊緣與比較儀靠緊，使f)在直線導(dǎo)軌臺(tái)的每個(gè)xi位置處測(cè)量比較儀的數(shù)值(g)根據(jù)數(shù)據(jù)集{(x1,y1,2?y1,1),…,(xi,yi,2?yi,1),…,(xn,yn,2?yn,1)}計(jì)算該邊緣的近似直線（采 h)獲取邊緣點(diǎn)偏差數(shù)據(jù)集{Δy1,Δy2, Δyi=(yi,2?yi,1)?mxi?b( 4.2.4.3報(bào)告84.2.5厚度a)將厚度標(biāo)準(zhǔn)試樣放置在平面上并夾緊：厚度標(biāo)準(zhǔn)試樣的邊長(zhǎng)無(wú)需與印版的邊長(zhǎng)相等。4.2.5.2報(bào)告4.3.1測(cè)量?jī)x器a)測(cè)量?jī)x器的精度c)通過(guò)最小二乘法擬合計(jì)算坐標(biāo)測(cè)量機(jī)（CMM）坐標(biāo)系中四條邊緣的直線g)根據(jù)三個(gè)頂點(diǎn)來(lái)計(jì)算橫向（CD）邊長(zhǎng)（LCD）以9j)通過(guò)用Hp減去HF來(lái)計(jì)算印版的厚度。4.3.3報(bào)告——以0.1°為單位提供測(cè)得的邊緣垂直度。——注明測(cè)量?jī)x器的精度?！⒚鳒y(cè)量溫度以及測(cè)量過(guò)程中的溫度變化情況。5.1.1方法——觸針尖端形狀：球形。——光斑直徑：由用戶和供應(yīng)商商定。5.1.4校準(zhǔn)應(yīng)根據(jù)需要提供溫度控制和隔音/隔振措施，以獲得無(wú)——測(cè)量長(zhǎng)度：由用戶和供應(yīng)商商定?！蓸娱g隔：由用戶和供應(yīng)商商定?！吮荛_有圖案的區(qū)域。c)利用平面度截止波長(zhǎng)對(duì)實(shí)際輪廓應(yīng)用濾波器，通過(guò)去g)針對(duì)每條輪廓計(jì)算輪廓參數(shù)（Ra，Rz，Rmax）。Pi是輪廓長(zhǎng)度范圍內(nèi)的第it?個(gè)最高峰；5.3報(bào)告RaRmaxRzMD掃描#*b)以微米(μm）為單位展示平面度測(cè)量結(jié)果，并將結(jié)果四舍五入至0.5的倍數(shù)（見(jiàn)表2）。RaRmaxRz——測(cè)量?jī)x器：儀器類型、制造商名稱和型號(hào)、觸針半徑和測(cè)量力。——測(cè)量條件：輪廓濾波器、平面度截止波長(zhǎng)、測(cè)量位置、測(cè)量長(zhǎng)度、采樣間隔、測(cè)量溫度和測(cè)——觸針尖端形狀：球體。——光斑直徑：由用戶和供應(yīng)商商定。應(yīng)根據(jù)需要提供溫度控制和隔音/隔振措施，以獲得無(wú)——掃描區(qū)域：由用戶和供應(yīng)商商定。——采樣間隔：由用戶和供應(yīng)商商定。——樣本的中心位置?！挥诙ㄏ蚪莾蛇厓?nèi)側(cè)20mm處的點(diǎn)。c)對(duì)實(shí)際輪廓應(yīng)用二維高通截止波長(zhǎng)濾波器，以獲取表面粗糙度輪廓。d)計(jì)算表面粗糙度參數(shù)（zrms,Rmax,Rz）。zrms=1/2··························································Rmax=P1?V1··································································································Vi