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1、1.變阻器傳感器的工作原理,電阻傳感器,2,3,測(cè)量電路,4,金屬電阻應(yīng)變片的結(jié)構(gòu)(a)導(dǎo)線式(b)箔式的工作原理,電阻應(yīng)變片1)金屬電阻應(yīng)變片,5,1)金屬電阻應(yīng)變片,假設(shè)長(zhǎng)度l,橫截面積a,電阻率a,電阻R,當(dāng)受到應(yīng)變時(shí)假設(shè)金屬的橫截面半徑為R,有,6,根據(jù)材料力學(xué)理論, 有處于拉伸和壓縮狀態(tài)的圓棒,其中:-所承受的應(yīng)變-材料的泊松比-軸向應(yīng)力-材料的壓阻系數(shù)E-材料的彈性模量,其被引入到原始類型的半導(dǎo)體應(yīng)變儀的結(jié)構(gòu)1引線中; 2半導(dǎo)體芯片;3襯底,2)半導(dǎo)體應(yīng)變儀,8,薄膜半導(dǎo)體應(yīng)變儀結(jié)構(gòu)1的鍺薄膜;2絕緣層;3金屬箔襯底;4引腳擴(kuò)散半導(dǎo)體應(yīng)變計(jì)結(jié)構(gòu)1N硅;2P硅擴(kuò)散層;3二氧化硅絕緣層

2、;4個(gè)鋁電極;5導(dǎo)聯(lián),測(cè)量電路DC電橋電路(1)平衡狀態(tài),DC電橋電路,10,當(dāng)R為無(wú)窮大時(shí),電橋有輸出電壓,L,如果R為應(yīng)變計(jì)電阻,應(yīng)變計(jì)最初無(wú)應(yīng)變,電橋處于平衡狀態(tài),1,當(dāng)U=0時(shí),電橋處于平衡狀態(tài),0,當(dāng)電橋R承受應(yīng)變并產(chǎn)生R變化時(shí),輸出電壓為0。N=R 2 R 1=R 3 R 4,并省略分母中的軌跡,有一個(gè)非線性誤差的補(bǔ)償方法。上述公式是一種理想化的線性關(guān)系,是應(yīng)變計(jì)電阻R 1 R 1的相對(duì)變化很小且可以忽略的理想情況。減小和消除非線性誤差的方法有多種:(1)使用差動(dòng)電橋;(2)提高橋臂比,半差動(dòng)電橋,在同一試件上粘貼兩個(gè)應(yīng)變計(jì),一個(gè)感受拉力,另一個(gè)感受壓力,符號(hào)相反,大小相等。半差動(dòng)

3、電橋不僅可以消除非線性誤差,而且與單應(yīng)變片相比,電壓靈敏度提高了一倍,還可以起到溫度補(bǔ)償?shù)淖饔谩?3,全差分電橋電路,如果四個(gè)應(yīng)變儀連接到同一個(gè)試樣上,其中兩個(gè)處于拉伸狀態(tài),兩個(gè)處于壓力狀態(tài),將兩個(gè)具有相同應(yīng)變符號(hào)的應(yīng)變儀連接到同一個(gè)電橋臂上,則形成全差分電橋。全差分電橋的輸出電壓靈敏度是單個(gè)應(yīng)變電橋的四倍,是半差分電橋的兩倍。汽車上的電阻式傳感器主要包括葉片式空氣流量計(jì)、節(jié)氣門位置傳感器、半導(dǎo)體壓阻式進(jìn)氣壓力傳感器、油門踏板位置傳感器、氣囊中央碰撞傳感器和可變電阻式液位傳感器。電阻式傳感器在汽車上的應(yīng)用,幾種電阻式應(yīng)變傳感器的示意圖(a)位移傳感器(b)加速度傳感器(c)力傳感器(d)扭矩傳感器(e)壓力傳感器16,翅片式空氣流量計(jì),圖4.16,翅片式空氣流量計(jì)的結(jié)構(gòu),圖17,圖4.19,翅片式空氣流量計(jì)的電路原理,圖4.20,葉片式空氣流量計(jì)的工作原理,18,線性輸出節(jié)流閥位置傳感器的結(jié)構(gòu)和輸出特性(a)結(jié)構(gòu)組成(b)輸出特性, 線性輸出節(jié)氣門位置傳感器與電子控制單元之間的連接,19,壓阻式進(jìn)氣壓力傳感器的結(jié)構(gòu),壓阻式進(jìn)氣壓力傳感器的工作原理,20,油門踏板位置傳感器1傳感器可調(diào)范圍的電路和輸出特性; 2 .控制使用范圍;3完全關(guān)閉;4全

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