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1、表面粗糙度的檢測,0505309 張士強 0505345 楊 旭 0505342 梁桂平 0505315 解光勝,課件綜述：,一：引言 二：常用表面粗糙度的測量方法 三： 兩 種 典 型 的 測 量 方 法,一：引言,表面粗糙度是機械加工中描述表面微觀形貌最常用的參數, 它反映的是機械零件表面的微觀幾何形狀誤差, 隨著機械加工行業(yè)的發(fā)展表面粗糙度測量技術也得到長足進步, 特別是 70 年代中后期, 隨著微電子計算機應用的逐步普及和現(xiàn)代光學技術、激光應用技術的發(fā)展, 使粗糙度測量技術在機械加工、光學加工、電子加工等精密加工行業(yè)中的地位顯得愈發(fā)重要。,二：常用表面粗糙度的測量方法,表面粗糙度的測量

2、方法基本上可分為接觸式測量和非接觸式測量兩類: 在接觸式測量中主要有比較法、印模法、觸針法等; 非接觸測量方式中常用的有光切法、實時全息法、散斑法、像散測定法、光外差法、渦流傳感器法等。下面就接觸式和非接觸式兩類測量方法分別作介紹與討論。,比較法: 一般只用于粗糙度評定參數值較大的情況下, 而且容易產生較大的誤差。 印模法: 對于某些大型零件的內表面不便使用儀器測量, 可用印模法來間接測量, 但這種方法的測量精度不高且過程繁瑣。 觸針法: 觸針法又稱針描法, 它是將一個很尖的觸針 (半徑可以做到微米量級的金剛石針尖) 垂直安置在被測表面上作橫向移動。觸針將隨著被測表面輪廓形狀作垂直起伏運動。將

3、這種微小位移通過電路轉換成電信號并加以放大和運算處理。,光切法: 光切法是利用光切原理來測量表面粗糙度的方法, 它將一束平行光帶以一定角度投射與被測表面上,光帶與表面輪廓相交的曲線影像即反映了被測表面的微觀幾何形狀, 解決了工件表面微小峰谷深度的測量問題, 避免了與被測表面的接觸。,散斑法：當相干性很好的激光照射光學粗糙表面時，會出現(xiàn)激光散斑。表面粗糙度必須是在照明光波波長同一數量級或略大一些。從任意適當遠處的點出發(fā)的光波構成了許多相干子波，每一子波都是由表面單元引起的，由表面粗糙度散射的子波不僅具有隨機相位，而且具有隨機實振幅。帶有相位差并且是相干的二次球面子波相遇產生了強度分布的顆粒的斑紋，稱為散斑。,三：

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