無塵室相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)ppt課件.ppt

1、無塵室相關(guān)標(biāo)準(zhǔn),1,無塵室原理 無塵室衡量標(biāo)準(zhǔn) 無塵室驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn),Contents,2,無塵室原理,無塵室概念: 以工業(yè)鋁材(或不銹鋼方通、鐵方通噴塑)作為框架,采用風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)機(jī)組FFU送風(fēng),四周用防靜電垂簾(或鋼化玻璃),內(nèi)部?jī)艋?jí)別可達(dá)100100K級(jí),適用局部?jī)艋?jí)別要求高的區(qū)域。 對(duì)微?？刂啤囟?、濕度、照明、噪聲、靜電、微振的多功能綜合整體。,3,無塵室原理,依據(jù)送風(fēng)方式的不同： 可分為亂流式(非均勻流型)和單一方向式(均勻流型)。 Class 1100 均采用單向流送風(fēng)方式，即在同一截面的任一點(diǎn)，氣流的方向和速度均保持一致，將室內(nèi)的塵埃粒子以最快的速度帶走。靠送風(fēng)氣活塞般的擠壓作用。新

2、風(fēng)量不小于總風(fēng)量的2%4%。 Class 1000 100000采用非單向流送風(fēng)方式，以不均勻的速度呈不平行流動(dòng)，伴有回流或渦流，主要靠氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣，將室內(nèi)的污染逐漸排出，以實(shí)現(xiàn)凈化?？繗饬鲾U(kuò)散來稀釋。新風(fēng)量不小于總風(fēng)量的10%30%。 測(cè)量單位：微米(micrometer),1um=1m的百萬分之一。,4,無塵室衡量標(biāo)準(zhǔn),潔凈度參照 STD-209E,5,無塵室衡量標(biāo)準(zhǔn),Air Change & HEPA 遮蔽率,Air change: FFU的表面積*風(fēng)速*FFU數(shù)量/Clean Room體積,HEPA遮蔽率： FFU的表面積* FFU數(shù)量/Clean Room面積,6,無塵室衡量

3、標(biāo)準(zhǔn),風(fēng)速、溫濕度 氣流速度為：0.30.5m/s(60100ft/min) 。 一般之溫度控制范圍：T=(212) 一般之濕度控制范圍：(455)RH,7,無塵室衡量標(biāo)準(zhǔn),壓差 在兩個(gè)無塵室間合理的設(shè)計(jì)壓力差應(yīng)為10Pa，而在無塵室和未確認(rèn)潔凈等級(jí)的區(qū)域應(yīng)保持有15Pa的壓力差。當(dāng)產(chǎn)生這些壓力差有實(shí)際困難時(shí)，維持5Pa的最小壓力差是可以接受的。,8,無塵室驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn),用Particle Counter (Met One）測(cè)空氣中之粒子總數(shù)及大小(離作業(yè)面為30公分)。 依據(jù)ISO14644-1可分為三種操作狀態(tài)：完工狀態(tài)-無制程設(shè)備、原料或工作人員。完工后停止生產(chǎn)狀態(tài)-室內(nèi)有制程設(shè)備，不含工作

4、人員。運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)-三者皆在工作狀態(tài)。,9,無塵室驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn),取樣次數(shù)要求 單一方向氣流的測(cè)試數(shù)量,方法一、氣流的流入體積/25 方法二、氣流的流入體積/潔凈度等級(jí)的平方根,選數(shù)字小者,非單一方向氣流的測(cè)試數(shù)量,方法：氣流的流入體積/潔凈度等級(jí)的平方根,例如：計(jì)算iMac所使用的潔凈室的測(cè)試數(shù)量 (1.6*3+2.3*2.4+2.7*7.01+1.3*2.44+1.66*3.2)*2.2m/ =3次,例如：計(jì)算M97所使用的潔凈室的測(cè)試數(shù)量 方法一、(16*1.9*2.1)m/25=3次 方法二、(16*1.9*2.1)m/ =7次,10,無塵室驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn),潔凈度取樣要求 取樣需兩點(diǎn)以上 測(cè)試點(diǎn)要平均

5、分布 各測(cè)試點(diǎn)須一個(gè)以上的取樣數(shù) 全體需5個(gè)以上的取樣數(shù) 各測(cè)試點(diǎn)的取樣數(shù)不一樣也可以,11,無塵室驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn),潔凈度判斷標(biāo)準(zhǔn) 兩個(gè)條件需同時(shí)滿足： 在每個(gè)測(cè)試點(diǎn)的粒子濃度平均值應(yīng)在CLASS上限值以下 這些平均值的平均在95%的信賴界限的上限值在CLASS上限值以下,12,無塵室驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn),實(shí)例說明 在Ring Room空態(tài)下，共取3個(gè)點(diǎn)，每個(gè)點(diǎn)測(cè)量0.5um的粒子，測(cè)量記錄如下： 第一點(diǎn) 8、0 第二點(diǎn) 20、8 第三點(diǎn) 11、23、14 判斷依據(jù)一、 在各測(cè)試點(diǎn)的粒子濃度平均值應(yīng)在CLASS上限值以下 第一點(diǎn)的平均值 （8+0)/2=4 第二點(diǎn)的平均值 （20+8)/2=14 第三點(diǎn)的平均值

6、 （11+23+14)/3=16 小結(jié)：滿足,13,無塵室驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn),判斷依據(jù)二、 這些平均值的平均在95%的信賴界限的上限值在CLASS上限值以下 上限值UCL=M+SE*UCL系數(shù) M：平均值的平均 M =(4+14+16)/3=11.3 SE：標(biāo)準(zhǔn)誤差 SE=SD/ SD：標(biāo)準(zhǔn)偏差 L：測(cè)試點(diǎn)數(shù)量 SD= =6.429 SE=6.429/ =3.71,14,無塵室驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn),UCL系數(shù)： 95%信賴界限的UCL系數(shù) 上限值UCL=M+SE*UCL系數(shù) =11.3+3.71*2.9=22.1 總結(jié)：滿足,15,無塵室驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn),其余要求,注：1.PVC窗簾與地面高度為1520cm，且應(yīng)該在立柱內(nèi)側(cè)。 2.配電箱是三相電，電壓380V。,16,圖片欣賞,FFU,風(fēng)淋室,17,1.2米方通,立柱,18,托框,初效,19,高效,自己找找看？ 1、盲板？ 2、PVC簾？ 3、垂簾？,20,搶答環(huán)