微機械制造工藝及運用精品資料

1、BT 燧藝 亠 亠運Ennnn摘.要.在.國.機械.制.造.水.平-不一斷提一升-的.背一景.之.下，-微.機-械制造.工藝已-經(jīng)得到了-極為迅-猛的發(fā)展一，-并.在.各.領一域.中-得一到一普.及.應一用.微.機.械.制.造.丄藝一屬一于-先一進-的一制-造一技.術一具一有.較一高一的一精一度.水-平，一不一光能夠反映出國家機械制造現(xiàn)代化的水平-，-還-匕匕 厶冃夠為-社一會經(jīng)濟.的發(fā)展提一供一d定的技術-保一障一對此，一筆一者一在一參一考一相一關一文一獻一資一料一的一基一礎一上，-對微機械-制一造丄藝一及其應用進一行丄簡要分析-，一以一供一業(yè)一界一同一仁_參-考一1關一鍵一詞一微一機械一制

2、一造一丄藝一丄應一用一就現(xiàn)一今國內的機一械制造水平來看，一微機一械制造仍一然一屬一于一較一為一尖一端一的一技一術一，一能一夠-有一效一保一障一機-械一設一備一運一作一的一精-度-，-其一作一業(yè)一精-度-甚一至一可一旦達一到一納一米級微機械一制一造丄藝一可一以一說是硅基電一路的分支一之一厶亠在一與機一械制一造一技術融-合一后一亠已經(jīng)逐一漸形成一丄獨立的一丄藝類別一，-為一制造業(yè)一的發(fā)一展給以丄充_分-的一技一術_支一持一而_就-現(xiàn)_今一國-內一制一造-業(yè)一中一所一廣泛一使一用一的一微一機-械制一造-丄藝一來一看-亠其-技一術類一別一及應用主要有以下幾種丄微一機械一蝕一刻一技術及應一用一nnnn一

3、般.來.說.，-微.機.械.在.集.成.電.路.制.造.的-應.用.中.，-需要對-深度約丄O-丄丄的硅片面層進行-加丄，-但一是.在.盤微.機.元.件-進一行.加.丄時一，-又.需.要.以.穿.越.的一方一式.實一現(xiàn)一對.整一個硅一片.的一三-維一立.體一加-丄就.微.機蝕刻技術來看根據(jù)其所選擇蝕刻劑可一以一將其分一為丄式-蝕一刻與濕式-蝕刻兩大-類別其丄前者一多一選一擇一各一項一同一性的一蝕一刻一模一式一，一在一有一特一殊一要一求一的情況丄也能夠以各向異性的方式完成一蝕一刻丄作一而一后-者一所一選一用一的一蝕一刻一劑一多一為一液一竺因一為一單一晶一硅一片一的一組一成一構一架一相一對一較一為

4、一復一雜一，一所一旦其一硅一片一面層在蝕刻劑一作用的條件下所產(chǎn)一生反應的一實際效一率一有-著一口定一的一區(qū)一別一，一在一蝕一刻一的一過一程一中一，一會一沿一著一硅一片一面一層一停一丄蝕一刻一，-將-會一與一平一面一組-合一成一個5 一4-亠丄丄丄的一銳一角一，-依一托一丄微一機-蝕一刻-的一該-類一性一質一，-可一以加一丄出不同一構一造一的一面一層一結一構亠適用范圍一較廣一UUUUUUnUnU丄硅-表-面-微一機-械一制-造-技一術_及-其-應一用一硅-表-面-微一機-械一制一造-技一術一只一會一作用-丄硅-片-的一面-I層,不會以三維作業(yè)的方式穿透硅片的縱斷面通常來一說一，一微機一械一結構多

5、回一憶薄膜類一的一原材.料.在.制.作.，-主.要.有.多.晶.硅.氧.化.硅.硼.硅.酸.玻璃以-及各類金屬等等1由于所制作.的微結構具一有.一定.的.復一雜.性-，-所.以.為-保一障.其.穩(wěn).定.性.，-多一會一選一用.硅一片-丄沉一積-亠d-以-及一亠的一方一式.完.成制作一亠同時一會輔之以-光一學磨刻一以一及化一學或物理反一應一的方式-完成對-其.結構的加-丄制作-而-在該一制一造一技一術一應一用一的過一程一中一，一犧一牲一層一有一著一極一為一關一鍵的作用,其能夠有效一將原本的硅片與一襯底進行-合-理一分-隔一，一這-就一會-避一免一蝕_刻一過一程一中_對一旦底一部一件一的一破一壞一

6、通一常一情一況一下，一犧一牲一層一厚一度一會一處一在一丄到2 一丄的范一圍之內，一有特殊要求時也可一以適當一加一厚一硅一表一面一微一機一械一制一造一技一術一在一現(xiàn)一今一制一造一業(yè)一中一多一會一被一用一丄微一型一懸一式一結一構一的一制一造一中一，-例一如一微一型一懸一臂一微一型一橋一等-等-3一丄丄GA及一準一丄丄旦A丄藝一及一其一應用III丄丄GA丄藝一作用機理一為一選一用一X-光一對一構一件微一小結-構一進一行-三一維一立一體_加一丄，-該-技一術_除一丄應一用一光一波一進一行-刻-制一之一外-還需-要-輔-之旦電-注一以及一注一塑一的一方式從該技術的本質來看5該技術也就是平面丄C技術的一延

7、伸與一優(yōu)化但一是一該技術所一表現(xiàn)一出.*的.性.能.遠.遠.優(yōu).于.厶技.術.，-作.用.范.圍.相.對.較，-可-加工-對-象也-有丄進步的擴展，-匕匕 厶冃夠實一現(xiàn).M-非.硅.晶.體.材-料一的.三.維.立一體.制.造.-該.技.術.在一微一機.械一制一造.領一域.丄的.應一用一亠很.大一程一度一丄促.進-丄Es技術一的推與發(fā)展，一是先進精密儀-器制一造丄應用一范圍較的技術一1但是不-得一不-說的一是一，一該一技一術一在一微一機一械一制一造一領一域一的一應用一中一存一在一造價過于高昂的缺點，-且技術應一用模式一也一相對較一為-繁一復一，一對一此_準一L_丄G-丄技一術一應一運一而一生一該

8、一技一術一可一旦以一濺一射一的方一式一促一使一硅一片一丄逐一漸一形一成一層厚度為23 一丄丄左一右的薄膜，一能夠有一效實現(xiàn)一對一射一線一的一隔一離一其一次一，一通一過一對一此一旋一涂一還一能一夠-形一成一一層一3 一丄丄左一右一正一性一的一抗一腐一蝕一層一該一技一術一所一應一用一的一射一線一多一為一高一壓一汞一燈一，-在一電一鍍-之一后一能-夠一形一成一立一體的一金一屬-微型一構一件亠其一次可以輔一之一以一微-型一機一械一蝕一刻一的一方一式除一去-構一件一中的一預一鍍一層一，-進一而-得-到-符-合-需-求一的_微一型一構一件一丄超一精-密-機-械一制一造-技一術一及-其-應用-IIIII該制

9、造技術主要選擇硬度較高的刀具等,實現(xiàn)對丄件的一切一削一現(xiàn)今該一技術應一用一過程中所一泛使.用.的.丄具.分.別.有.車.刀.銃.刀.以.及.鉆.頭.等.等.在采用金剛石刀-具進行-丄件加工-時-匕匕 厶冃夠完成對一直.徑.為.2-5-丄丄軸一件.的.加-丄，-表.面.相.對.較.為.平-整一光.滑一而.選一擇-微一型.號一鉆一頭一作.業(yè)一時-，-可-以.鉆.出直徑約為亠5亠丄的小一孔一1此一外亠還一可一以-選擇一細磨料一以-及金屬絲放電磨削一的方式-進行-微一型一結一構一的一加一工超一精一密一機械一制一造一技術隸一屬一丄傳統(tǒng)制造工藝，-在現(xiàn)今制造業(yè)中一仍一然多有應用-5 一特一種一加一丄工藝一

10、及一其一應一用一一般來說，一特一種加丄工藝主要有一激光光束一加丄隧一道一顯-微一鏡-加一丄以一及-電一火_花一加一丄三一大一類一別一就-激一光一光一束一加一丄而一言一亠其一能一夠一通一過一發(fā)一射一高一能一量一密-度-光一束一的一方一式一實一現(xiàn)-對一丄件一的一加一丄亠可一以一形一成一小孔微一孔一，-還能一夠一實現(xiàn)一較為一精-密-的切削等，-該技術一在一制作一防偽一標記一打字以一及焊接丄有-著-廣_泛一的一應一用-就-隧-道-顯-微一鏡-加一丄來一看-亠其-能-夠-實一現(xiàn)-分-丄數(shù)一量-級-丄件一的加一丄可以一以一金一屬-探針為電機,產(chǎn)生具有較強穿透力的隧道電流，一進一而改一變一其相應分一子及原丄

11、結構的一排一列一順一序.而.在.利.用.細.微.電.火.花.進-行.微.機.械-制.造.加.丄的過-程丄,匕匕 厶冃夠以.脈活化放電的方式-，-通過-局一部一高一溫.實.現(xiàn).對.金.屬一部一件.的-加一工-該.加.丄方.式.不-需一要.以-宏一觀.切一削的一形.式一進一行一，-只一需要一控一制.脈一沖放一電量就匕匕 厶冃夠實現(xiàn)對-金屬的精細化一加一丄，一匕匕 厶冃夠形一成極為細一微的孔-洞.與縫隙，-可-以一實現(xiàn)對-n由 車平一面一旦及一三一維一曲一面一等一的一加丄UUUU總而一言之,在國內現(xiàn)代一化建設步伐不斷加快的時-代一背一景一下，一機一械_制一造一業(yè)一也_得一到一丄極一為-迅一猛一的一發(fā)一展一，一制一造一精一度一也越一來一越一高一，一微一機一械一制一造一技一術一現(xiàn)代一化水平也一越來越高，一已經(jīng)實一現(xiàn)丄由一傳一統(tǒng)一維一加一工一向一三一維一加一工一的一轉一變一，一其一加一丄設_備一的一集一成一化一程一度-也一越一來一越一高一，-對一此一必一須一加一強-對一微一機一械一制一造一丄藝一的一應一用一，-以一此一在一促一進一技一術一本一身一不一斷一完一善-的一同一時一亠促一進一國-內精-密-制一造一的一不斷一發(fā)一展一亠II參考一文獻UUUUUUnUnU丄丄栗一鵬-飛一亠現(xiàn)_代一機