QMDGDWE040012015c電子車間防靜電管理工作指引(0727)2

1、電子車間防靜電管理工作指引電子車間防靜電管理工作指引 QMD-GDWE04.001-2015c修訂說(shuō)明編制/修訂原因說(shuō)明： 為管控電子車間靜電問(wèn)題，特制定電子車間防靜電管理工作指引，用于指導(dǎo)順德三分廠電子車間的防靜電工作。 章節(jié)號(hào)修訂(內(nèi)容)說(shuō)明修訂人/時(shí)間5.3.1.54.5.2.35.3.16.17.1.1新編完善增加防靜電服外觀檢驗(yàn)條款增加靜電手環(huán)鱷魚(yú)夾與地線連接特別要求更新靜電工衣（上衣/褲子）、靜電帽的測(cè)試要求增加靜電工衣/靜電帽的管理要求更新防靜電工衣、防靜電帽的清洗要求李然/2015.01.04李然/2015.03.03李然/2015.04.03李然/2015.07.27李然/2

2、015.07.27李然/2015.07.271 范圍 本文件規(guī)定了電子車間防靜電管理的工作要求，用于指導(dǎo)順德三分廠電子車間的防靜電工作，對(duì)電子產(chǎn)品制造工藝進(jìn)行防靜電保護(hù)，減少或消除靜電放電對(duì)電子產(chǎn)品的損傷，提高產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率，通過(guò)建立有效的高質(zhì)量管理稽核程序，保證各項(xiàng)防靜電措施的有效實(shí)行。同時(shí)規(guī)范了靜電衣、靜電鞋、靜電帽、靜電手套、靜電袖套、車間地面、設(shè)備、工裝夾具的定期檢查進(jìn)行規(guī)范，確保防護(hù)用品在滿足防護(hù)要求條件下進(jìn)行使用。本文件使用與三分廠電子車間。2 術(shù)語(yǔ)和定義本文件采用下列定義： 2.1 靜電：物體表面過(guò)?；虿蛔愕撵o止的電荷。2.2 靜電場(chǎng)：靜電在其周圍形成的電場(chǎng)。2.3 靜電放電

3、：ESD(ElectroStatic Discharge)兩個(gè)具有不同靜電電位的物體，由于直接 接觸或靜電場(chǎng)感應(yīng)引起兩物體間的靜電電荷的轉(zhuǎn)移。靜電電場(chǎng)的能量達(dá)到一定程度后，擊穿其間介質(zhì)而進(jìn)行放電的現(xiàn)象就是靜電放電。2.4 靜電敏感度：元器件所能承受的靜電放電電壓。2.5 靜電敏感器件：對(duì)靜電放電敏感的器件。2.6 接地:電氣連接到能接受大量電荷的物體,如大地等。2.7 中和：利用異性電荷使靜電消失。2.8 防靜電工作區(qū)：EPA(ElectroStatic Protected Area)配備各種防靜電設(shè)備和器材，能限制靜電電位，具有明確的區(qū)域界限和專門(mén)標(biāo)記的適于從事靜電防護(hù)操作的工作場(chǎng)地。2.9

4、 根據(jù)防靜電材料的導(dǎo)電性能，可分為靜電絕緣、耗散、導(dǎo)電、屏蔽四種。靜電絕緣材料：表面電阻率1012； 靜電耗散材料：表面電阻率105-1011； 靜電導(dǎo)電材料：表面電阻率103-105靜電屏蔽材料：表面電阻率1033 管理職責(zé)3.1 參與部門(mén) 防靜電物品管控工作是一項(xiàng)細(xì)致且長(zhǎng)久持續(xù)的的工作，需要參與的部門(mén)有：工藝、生產(chǎn)、IQC、現(xiàn)場(chǎng)品質(zhì)、采購(gòu)等部門(mén)。3.2 部門(mén)職責(zé)3.2.1 工藝a、 主導(dǎo)防靜電物品管控工作，建立規(guī)范并確保規(guī)范條款的落實(shí)。b、 完善防靜電物品管控工作。c、 新員工防靜電知識(shí)培訓(xùn)。3.2.2 生產(chǎn)a、 遵守規(guī)范要求，定期更換超過(guò)使用期的防靜電物品。b、 按照清洗要求對(duì)防靜電物品

5、進(jìn)行清洗。3.2.3 IQCa、 對(duì)新到貨的防靜電物品按照比例進(jìn)行檢驗(yàn)。b、 新員工防靜電知識(shí)培訓(xùn)。3.2.4 現(xiàn)場(chǎng)品質(zhì)：對(duì)生產(chǎn)正常使用的防靜電物品按照比例抽檢。3.2.5 采購(gòu)a、 根據(jù)工藝要求的技術(shù)，尋找合適的資源（儀器、設(shè)備等），完善防靜電物品管控工作。b、 采購(gòu)開(kāi)報(bào)檢單，通知IQC進(jìn)貨檢驗(yàn)。4 管理內(nèi)容4.1 ESD敏感分類4.1.1 靜電敏感等級(jí)的劃分 器件的ESD失效和一系列相互關(guān)聯(lián)的效應(yīng)有關(guān)。一些影響器件ESD敏感程度的因素包括：ESD電流、能量包絡(luò)、電場(chǎng)強(qiáng)度、放電的上升時(shí)間、器件設(shè)計(jì)、制造技術(shù)和器件的封裝類型等。能量型敏感器件的損傷是由于流過(guò)雙極性結(jié)電阻、保護(hù)電阻等的過(guò)電流引起

6、。電壓敏感器件的損傷是由于ESD電壓超過(guò)了器件的擊穿電壓引起。為了比較不同器件的ESD敏感度等級(jí)，逐漸發(fā)展了三種測(cè)試模型，分為人體模型（HBM）、機(jī)器模型（MM）和帶電器件模型（CDM）,其中常見(jiàn)的模型為人體模型(HBM)。4.1.2 靜電敏感電壓的分類靜電敏感器件的敏感等級(jí)分別按照HBM、MM、CDM三種模式進(jìn)行分類，一般來(lái)說(shuō)，器件的靜電敏感電壓的高低在三種模式之間沒(méi)有必要的聯(lián)系。 沒(méi)有特殊說(shuō)明時(shí)，本規(guī)范主要以人體模式來(lái)描述器件靜電敏感電壓的相關(guān)問(wèn)題。靜電敏感組件的等級(jí)按照其上所裝的最敏感器件的敏感等級(jí)來(lái)確定。最初器件的ESD損傷主要采用了HBM進(jìn)行分析，隨著電子技術(shù)和生產(chǎn)工藝的不斷發(fā)展，M

7、M和CDM類型的靜電放電對(duì)器件的危害也越來(lái)越普遍，因此采用MM、CDM模式進(jìn)行分析的方法也逐漸發(fā)展。4.1.3 HBM模式的靜電敏感等級(jí)分類 靜電敏感器件等級(jí)普遍采用人體模式（人體帶電與器件接觸）進(jìn)行劃分，所有的靜電敏感器件、組件按照人體模式靜電放電損傷的閾值被劃分為以下等級(jí)。車間元器件人體模式電壓范圍機(jī)器模式電壓范圍霍爾元件1800V200V集成電路（插件芯片）1600V200V4.2 EPA區(qū)域的劃分 防靜電區(qū)域的劃分應(yīng)以該區(qū)域內(nèi)是否可能出現(xiàn)靜電敏感物品為準(zhǔn)則，只要有可能出現(xiàn)靜電敏感物品就應(yīng)定義為防靜電區(qū)，否則定義為非防靜電區(qū)。 前電子車間的防靜電區(qū)定義為電子產(chǎn)品生產(chǎn)制造車間、電子材料倉(cāng)庫(kù)

8、。4.3 靜電管理的要求4.3.1 電子產(chǎn)品制造現(xiàn)場(chǎng)地面是防靜電地板，防靜電地板全部用銅片連接，在多次墻壁、梁柱位置設(shè)有與地板、地面、建筑結(jié)構(gòu)形成的防靜電網(wǎng)絡(luò)。4.3.2 要求靜電線與地線分開(kāi)，禁止兩種地線連在一起。4.3.3 生產(chǎn)用設(shè)備、儀器、焊槍等必須與設(shè)備靜電網(wǎng)絡(luò)接地連接，倉(cāng)庫(kù)中的電子貨架必須接地。4.3.4 周轉(zhuǎn)車、精益管架必須接地。4.3.5 安裝防靜電報(bào)警器，以確認(rèn)靜電環(huán)與地線的連接良好。4.3.6 各工作臺(tái)、物料架面必須鋪上防靜電墊且與接地線連接完好。4.3.7 人體接觸半導(dǎo)體、SMT半成品、成品等必須佩戴良好的接地帶。4.3.8 所有進(jìn)入電子產(chǎn)品制造車間人員必須穿防靜電工作鞋、

9、防靜電衣服,戴防靜電工作帽。4.3.9 半導(dǎo)體、SMT半成品、成品在中轉(zhuǎn)、盛裝、包裝、運(yùn)輸過(guò)程中的物品(如框架、吸塑盒、包裝袋、鑷子及周轉(zhuǎn)工具等)必須具備防靜電性。4.3.10 設(shè)備接地與人員接地必須要分開(kāi)接地，以免出現(xiàn)安全問(wèn)題。4.4 靜電防護(hù)區(qū) (EPA)的基本環(huán)境要求4.4.1 在進(jìn)行EPA環(huán)境設(shè)計(jì)時(shí)，為達(dá)到靜電防護(hù)的基本要求應(yīng)遵循以下原則。4.4.1.1 抑制靜電荷的積累和靜電壓的產(chǎn)生。4.4.1.2 安全、迅速、有效地消除已產(chǎn)生的靜電荷。4.4.1.3 確定靜電防護(hù)應(yīng)達(dá)到的程度，一般要求EPA內(nèi)靜電壓的絕對(duì)值應(yīng)小于100V。4.4.1.4 EPA必須具有如下的基本環(huán)境要求4.4.1.

10、4.1 明確的區(qū)域界線和防靜電警示標(biāo)志。4.4.1.4.2 防靜電工作臺(tái)。4.4.1.4.3 防靜電接地系統(tǒng)。4.4.1.4.4 防靜電的設(shè)備、工具和包裝轉(zhuǎn)運(yùn)材料，在EPA內(nèi)禁止使用易產(chǎn)生靜電荷的材料。4.4.1.4.5 工作區(qū)門(mén)簾、窗簾、區(qū)域隔離簾等應(yīng)是防靜電材料制成，表面電阻小于109,禁止使用普通材料和化纖材料。4.4.2 EPA（靜電防護(hù)區(qū)）溫濕度控制4.4.2.1 EPA區(qū)域的溫濕度控制要求：溫度：2028，濕度：3070RH。4.4.2.2 產(chǎn)品物料對(duì)環(huán)境有特殊要求時(shí)，應(yīng)根據(jù)物料的特殊需求和實(shí)際條件采取相應(yīng)的局部環(huán)境保證措施。4.4.2.3 EPA區(qū)內(nèi)應(yīng)配置溫濕度計(jì)，并在每班次上班

11、前做一次記錄。當(dāng)相對(duì)濕度超出規(guī)定范圍時(shí)，必須通知工藝人員協(xié)調(diào)維護(hù)，并采取相應(yīng)的增濕或抽濕措施。4.4.3 防靜電標(biāo)識(shí)4.4.3.1 防靜電工作區(qū)、防靜電包裝材料和轉(zhuǎn)運(yùn)工具、儀器設(shè)備的接地等都應(yīng)具有防靜電標(biāo)識(shí)。防靜電標(biāo)識(shí)的作用是警示任何靠近防靜電工作區(qū)的人員，區(qū)域內(nèi)存在靜電敏感器件的操作，警示任何接觸靜電敏感器件的操作人員，對(duì)該器件的操作必須進(jìn)行靜電防護(hù)。4.4.3.2 可接受的防靜電警示標(biāo)識(shí)為黃底黑字的說(shuō)明，警示標(biāo)識(shí)所在位置及其大小應(yīng)保證在1米范圍以內(nèi)都能夠清晰可見(jiàn)。4.4.3.3 防靜電器材、工具和靜電敏感物料都必須具有明顯的防靜電標(biāo)識(shí)，防靜電接地系統(tǒng)應(yīng)有明顯的接地標(biāo)識(shí)說(shuō)明。4.5 人體防靜

12、電要求 人體運(yùn)動(dòng)和操作過(guò)程是產(chǎn)生靜電的主要根源，任何進(jìn)入防靜電區(qū)域（警示膠帶）或接觸ESD敏感器件的人員，必須嚴(yán)格遵守防靜電規(guī)范，貫徹執(zhí)行靜電防護(hù)措施。4.5.1 人體防靜電要求4.5.1.1 接受防靜電知識(shí)培訓(xùn)和教育是對(duì)每個(gè)員工的基本要求，是減少靜電危害的根本方法和途徑之一，EPA區(qū)域內(nèi)的員工必須經(jīng)過(guò)ESD培訓(xùn)并考核合格后方可上崗。4.5.1.2 任何人進(jìn)入EPA內(nèi)需穿戴防靜電工衣、工鞋、工帽并通過(guò)人體綜合電阻測(cè)試。4.5.1.3 工作服外嚴(yán)禁佩戴除工卡和筆之外的金屬器件和塑膠制品，員工不得把個(gè)人物品如衣物、食品、香煙、各類塑料和紙類制品帶入EPA區(qū)域內(nèi)。4.5.1.4 更換工作服應(yīng)在指定地

13、點(diǎn)進(jìn)行，不允許在生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)穿、脫工作服。4.5.1.5 防靜電工作服、鞋應(yīng)勤洗、勤換，建議至少每?jī)芍軗Q洗一次，工衣、工帽、工鞋不應(yīng)有破損、污穢現(xiàn)象。4.5.1.6 進(jìn)入防靜電區(qū)域的所有作業(yè)人員、接觸產(chǎn)品的其它人員。每天上班前應(yīng)使用接地帶測(cè)試儀對(duì)接地帶進(jìn)行測(cè)試，并做好測(cè)試記錄；每天上班前應(yīng)使用人體綜合電阻測(cè)試儀對(duì)工鞋進(jìn)行測(cè)試，并做好記錄。4.5.1.7 接地帶測(cè)試、人體綜合電阻測(cè)試不通過(guò)者不得進(jìn)入防靜電工作區(qū)，不得接觸ESD敏感器件及組件。接地帶不通過(guò)者可通過(guò)更換重新測(cè)試，人體綜合電阻測(cè)試不通過(guò)者首先要確保工鞋沒(méi)有問(wèn)題，然后更換靜電鞋重測(cè)直至OK。4.5.1.8 外來(lái)參觀人員原則上只沿通道走，不得

14、接觸產(chǎn)品，若接觸產(chǎn)品要通過(guò)接地帶測(cè)試。4.5.2 靜電手環(huán)的佩戴要求4.5.2.1 佩戴接地帶時(shí),金屬片必須直接緊貼皮膚,夾子夾住接地線。4.5.2.2 每班上班前都必須用接地帶測(cè)儀器檢測(cè)所有所佩戴的接地帶是否戴好或損壞。4.5.2.3 為確保靜電手環(huán)的與接地線連接良好，靜電手環(huán)的鱷魚(yú)夾要與地線焊接在一起，離崗時(shí)靜電腕帶留在崗位上。4.6 防靜電工作臺(tái)4.6.1 防靜電工作臺(tái)表面應(yīng)有靜電耗散型材料制成。防靜電表面應(yīng)耐磨、耐化學(xué)腐蝕、耐熱并可靠接地（軟接地，串接1M電阻）。4.6.2 防靜電臺(tái)墊必須滿足下列要求4.6.2.1 防靜電臺(tái)墊的尺寸應(yīng)不小于工作臺(tái)的尺寸。4.6.2.2 防靜電臺(tái)墊必須防

15、靜電面朝上（綠色、或灰色），導(dǎo)電面朝下（黑色）。4.6.2.3 防靜電工作臺(tái)墊必須串聯(lián)一個(gè)1M阻值的電阻后接到防靜電接地線上。4.6.2.4 每個(gè)工作臺(tái)只需接一條防靜電地線，各個(gè)工作臺(tái)的連接線不能串接，應(yīng)以并聯(lián)方式與接地母線連接。4.6.2.5 壓接防靜電臺(tái)墊的靜電接地線連接端子時(shí)，應(yīng)從臺(tái)墊的正面壓下，使其貫穿臺(tái)墊并壓緊，以保證接觸良好。4.6.2.6 防靜電臺(tái)墊上任意兩點(diǎn)之間的表面電阻為110611012。4.6.2.7 當(dāng)防靜電臺(tái)墊上有絕緣性油膜、樹(shù)脂和其它污物時(shí)，應(yīng)及時(shí)使用中性清洗劑或防靜電劑進(jìn)行清潔。4.6.2.8 每月初對(duì)生產(chǎn)線工作臺(tái)上的防靜電墊進(jìn)行檢查,將結(jié)果記錄在防靜電臺(tái)墊定期檢

16、查記錄表中。4.7 設(shè)備、儀器、工裝、工具4.7.1 防靜電工作區(qū)內(nèi)的各種設(shè)備、儀器、工裝、工具都應(yīng)采取靜電防護(hù)措施。4.7.2 為保證放靜電效果、消除對(duì)人體及敏感器件的危害，應(yīng)采取下列措施。4.7.2.1 使用高壓電源具有金屬外殼的的設(shè)備、儀器、工裝、工具，必須選用三芯電源插座，并確保其可靠連接到電源地線上。插頭插入插座時(shí)，其接地端要首先接地；插頭拔出插座時(shí)，其接地端要最后斷開(kāi)。4.7.2.2 防靜電工作區(qū)的各種儀器、設(shè)備、工具、工裝的防靜電接地，由設(shè)備技術(shù)員定期檢測(cè)、維護(hù)，每班開(kāi)工前，由員工目檢接地的可靠性。4.7.2.3 工裝、設(shè)備上接觸敏感器件和靠近敏感器件的運(yùn)動(dòng)摩擦部件必須采用防靜電

17、材料或?qū)w材料（導(dǎo)體材料需鈍化處理）制成，并保證這些部件具有可靠的接地通路，這些部件禁止使用非防靜電材料，設(shè)備上的導(dǎo)體部件必須采取硬接地。4.7.3 工具、輔材的應(yīng)用注意事項(xiàng)4.7.3.1 EPA區(qū)域內(nèi)使用的工具都應(yīng)具有防靜電功能。4.7.3.2 防靜烙鐵焊臺(tái)必須有硬接地通路，焊臺(tái)的硬接地電阻要求小于1，由于烙鐵頭長(zhǎng)期使用會(huì)氧化，日常檢查測(cè)試時(shí)的電阻小于20可接受。4.7.3.3 防靜電焊槍、吸錫槍等電動(dòng)、氣動(dòng)手工工具在使用前必須首先接地。4.7.3.4 清潔基板的毛刷必須為防靜電毛刷，禁止使用普通塑料毛刷（如牙刷）。4.7.3.5 工具上接觸靜電敏感器件的部分應(yīng)避免使用導(dǎo)體或絕緣材料，應(yīng)為靜

18、電耗散材料。4.8 防靜電包裝材料4.8.1 靜電敏感器件、組件、成品在生產(chǎn)制造、存放和運(yùn)輸中所使用的包裝材料必須是防靜電的，其防靜電性能指標(biāo)應(yīng)滿足：表面電阻：1104RS 11011體電阻： 1104RV 11011摩擦電壓：Vf100V,或在2秒內(nèi)下降到100V以下屏蔽袋的屏蔽泄漏電壓：小于100V4.8.2 用于ESD防護(hù)的包裝袋、包裝盒、隔板應(yīng)在明顯的位置標(biāo)有廠商名稱、生產(chǎn)日期和ESD防護(hù)標(biāo)識(shí)，防靜電海綿、氣珠袋類可無(wú)此標(biāo)識(shí)。4.8.3 防靜電塑料袋、泡沫、海綿、氣珠袋等的材料顏色應(yīng)采用防靜電通用的警示顏色,即粉紅色。4.8.4 用于包裝ESD敏感器件、基板、產(chǎn)品的防靜電包裝材料在溫度

19、為255、濕度為155的環(huán)境下，應(yīng)滿足防靜電性能指標(biāo)要求，并且該材料進(jìn)入公司后，防靜電性能指標(biāo)要至少保持1年。4.8.5 用于ESD防護(hù)的包材不能靠表面噴涂、浸泡防靜電液來(lái)實(shí)現(xiàn)防靜電功能，而要通過(guò)材料本身具有的物理特性或塑料材料通過(guò)摻雜導(dǎo)電材料的制作方式來(lái)實(shí)現(xiàn)該功能。4.8.6 防靜電包材的防靜電性能指標(biāo)要均勻。4.8.7 用于ESD防護(hù)的包材不能有異味，不能對(duì)器件有腐蝕作用。4.9 周轉(zhuǎn)工具4.9.1 用于EPA內(nèi)、EPA間的防靜電周轉(zhuǎn)工具其性能指標(biāo)必須滿足：表面電阻：1103RS 1109體電阻：1103RV 1109摩擦電壓：Vf100V,或在2秒內(nèi)下降到100V以下4.9.2 常用的周

20、轉(zhuǎn)工具有：防靜電周轉(zhuǎn)車、防靜電周轉(zhuǎn)盒、L架，一般為黑色或深色。4.9.3 防靜電周轉(zhuǎn)工具要貼有醒目的防靜電標(biāo)識(shí)。4.9.4 作業(yè)人員對(duì)生產(chǎn)使用的防靜電容器、防靜電周轉(zhuǎn)箱應(yīng)定期清潔，保持容器和周轉(zhuǎn)箱的清潔和整齊，表面不得有灰塵或其它明顯可見(jiàn)的臟物。組長(zhǎng)每月組織對(duì)防靜電桌墊、工具和容器等用酒精進(jìn)行清洗，保持物件的清潔和整齊。4.10 防靜電敏感器件的存儲(chǔ)4.10.1 存儲(chǔ)環(huán)境：防靜電敏感器件的一般存儲(chǔ)條件為溫度：2028，濕度：30704.10.2 存儲(chǔ)環(huán)境：當(dāng)存儲(chǔ)區(qū)域的溫濕度不能滿足要求時(shí)，可通過(guò)使用空調(diào)、增濕機(jī)、抽濕機(jī)來(lái)調(diào)節(jié)，直至滿足要求為止。4.10.3 對(duì)環(huán)境有特殊要求的器件或物品（如潮濕

21、敏感器件），請(qǐng)參照相應(yīng)的作業(yè)指導(dǎo)書(shū)來(lái)設(shè)定環(huán)境溫濕度。4.10.4 靜電敏感器件存儲(chǔ)區(qū)域不得有強(qiáng)電場(chǎng)、強(qiáng)磁場(chǎng)、強(qiáng)輻射場(chǎng)存在。4.10.5 存儲(chǔ)器具要求4.10.5.1 存儲(chǔ)靜電敏感器件及組件必須采用防靜電的包裝材料或器具，并保證存儲(chǔ)的封閉性。4.10.5.2 可用于直接存儲(chǔ)靜電敏感器件及組件的器具有：防靜電屏蔽袋、IC管、防靜電托盤(pán)、卷盤(pán)卷帶、吸塑盒、防靜電周轉(zhuǎn)箱、基板周轉(zhuǎn)車等。4.10.6 存儲(chǔ)操作要求4.10.6.1 靜電敏感器件及其組件不得直接放于貨架或不具有防靜電功能的周轉(zhuǎn)箱內(nèi)或周轉(zhuǎn)車上，應(yīng)通過(guò)防靜電屏蔽袋或防靜電周轉(zhuǎn)箱等存放。4.10.6.2 靜電敏感的基板及組件主要采用屏蔽袋、吸塑盒

22、、防靜電周轉(zhuǎn)箱、基板周轉(zhuǎn)車等存放，當(dāng)采用防靜電周轉(zhuǎn)箱（盒）、基板周轉(zhuǎn)車較長(zhǎng)時(shí)間存放單板時(shí)，應(yīng)采用防靜電屏蔽袋罩住周轉(zhuǎn)車、采用屏蔽袋或周轉(zhuǎn)箱蓋板蓋住箱口，以保證其防靜電效果并除塵。4.10.6.3 靜電敏感器件盡量保持原包裝狀態(tài)，嚴(yán)禁隨意拆封。4.10.6.4 用于靜電敏感器件的散裝清點(diǎn)、分料、發(fā)料的工作臺(tái)必須鋪設(shè)防靜電臺(tái)墊、并可靠接地，人員作業(yè)時(shí)必須帶手套、指套或防靜電腕帶。4.11 接地4.11.1 接地是靜電釋放的關(guān)鍵措施，EPA區(qū)必須有可靠的防靜電接地系統(tǒng)，以保證工作中產(chǎn)生的電荷安全有效的釋放，避免靜電積累。4.11.2 防靜電接地必須有一個(gè)安全可靠的防靜電接地母線（防靜電地線），所有人

23、體、設(shè)備、工作臺(tái)、臺(tái)墊、工具等以并聯(lián)方式接入防靜電母線。4.11.3 防靜電地線的設(shè)置4.11.3.1 防靜電地線專供防靜電工程器具和人體釋放靜電荷使用，它不得連接在電源零線上，也不得與防雷地線共用。方法為：從專門(mén)埋設(shè)的地線接地體引出的接地線，單獨(dú)鋪設(shè)到生產(chǎn)線的防靜電作業(yè)崗位，單獨(dú)鋪設(shè)的接地導(dǎo)線通常使用3MM厚、約25MM寬的紫銅皮或用截面大約為46mm2的銅芯軟線單獨(dú)引入。4.11.3.2 埋設(shè)地線的原則是埋設(shè)地點(diǎn)的土壤電阻系數(shù)越小越好，接地體與土壤的接觸面積要大，接觸密度要高，接觸要緊。埋設(shè)地線時(shí)需注意：接地線與接地體接頭要焊接牢固，要有足夠的機(jī)械強(qiáng)度，引線不要過(guò)長(zhǎng)；要采用耐腐蝕的接地體金

24、屬。4.11.3.3 電氣保護(hù)地線應(yīng)該按照動(dòng)力配電安全管理制度定期進(jìn)行檢驗(yàn)維護(hù)，每半年至少檢測(cè)一次地線配置系統(tǒng)電阻值，要求室內(nèi)電氣保護(hù)地線到大地的接地電阻小于4。4.11.4 EPA內(nèi)接地方法4.11.4.1 EPA區(qū)域內(nèi)的所有設(shè)備、儀器、AC工具必須可靠接地；人體接地帶、防靜電臺(tái)墊、防靜電地板需要串接1M電阻后連接到地線配置系統(tǒng)上。4.11.4.2 防靜電設(shè)施的接地，需要使用橫截面面積不小于2mm2的多股銅芯軟線或電纜作為接地線，要求接地線采用黃綠色線，接地點(diǎn)應(yīng)該采用螺釘、焊接、雙線交繞的緊固連接方式， 保證連結(jié)點(diǎn)連接可靠、接觸電阻小。4.11.4.3 用萬(wàn)用表測(cè)試電源相線與配電房輸出的地線

25、之間電壓為100V10,則判定地線相通。4.11.4.4 用接地電阻表檢查接地線與配電房輸出地線電阻值小于5為OK。4.11.4.5 每半年檢查一次接地線情況，將結(jié)果記錄在地線定期檢查表上。5 檢驗(yàn)要求5.1 整體點(diǎn)檢要求5.1.1 檢驗(yàn)范圍：電子車間防靜電物品、設(shè)備、工裝、地面。5.1.2 測(cè)試環(huán)境：常溫常濕。5.1.3 新品檢驗(yàn)作為進(jìn)廠檢驗(yàn)項(xiàng)目，采購(gòu)開(kāi)報(bào)檢單，通知IQC進(jìn)貨檢驗(yàn)，IQC按照抽檢標(biāo)準(zhǔn)對(duì)新購(gòu)靜電防護(hù)用品進(jìn)行檢驗(yàn)。5.1.4 現(xiàn)場(chǎng)品質(zhì)人員對(duì)正常使用的靜電防護(hù)用品隨機(jī)抽取檢驗(yàn)。5.1.5 到貨的靜電衣發(fā)現(xiàn)的不合格品退貨，抽查中發(fā)現(xiàn)的不合格靜電物品報(bào)廢處理。5.1.6 清洗后進(jìn)行全檢

26、，車間、品質(zhì)部共同負(fù)責(zé)全檢，并記錄測(cè)試結(jié)果。5.2 ESD物品點(diǎn)檢清單NO名稱檢查項(xiàng)目負(fù)責(zé)部門(mén)1靜電工衣對(duì)地電阻IQC、巡檢2靜電帽（新）對(duì)地電阻IQC、巡檢3靜電鞋表面阻抗車間4靜電手環(huán)表面阻抗車間5靜電手套表面阻抗IQC、巡檢6靜電指套表面阻抗IQC、巡檢7電烙鐵接地電阻班組8包裝箱子表面阻抗巡檢9波峰焊夾具表面阻抗巡檢10L架表面阻抗巡檢11工作臺(tái)臺(tái)面表面阻抗對(duì)地電阻巡檢12流水線表面阻抗對(duì)地電阻巡檢13周轉(zhuǎn)車對(duì)地電阻巡檢14物料架子對(duì)地電阻巡檢15防靜電椅對(duì)地電阻巡檢16生產(chǎn)設(shè)備接地電阻表面靜電壓巡檢17車間地面接地電阻表面靜電壓巡檢5.3 檢查要求5.3.1 靜電工衣（上衣/褲子）、

27、靜電帽5.3.1.1 測(cè)試儀器：接地?cái)?shù)顯電阻表5.3.1.2 合格標(biāo)準(zhǔn)：對(duì)地電阻要求范圍：1061012歐姆。5.3.1.3 測(cè)試方式：a、 將數(shù)顯接地電阻表接地鱷魚(yú)嘴連接到地線，電阻表的兩個(gè)金屬片與工衣接觸，長(zhǎng)按測(cè)試儀器的PUSH START按鍵，待顯示穩(wěn)定后讀數(shù)b、 一套靜電工衣測(cè)試12個(gè)點(diǎn)，上衣測(cè)試6個(gè)點(diǎn)，分別為：上衣左袖、上衣正面左邊、上衣正面右邊、上衣右袖、上衣反面左邊、上衣反面右邊；褲子測(cè)試4個(gè)點(diǎn)：褲子正面左邊、褲子正面右邊、褲子反面左邊、褲子反面右邊；帽子測(cè)試2個(gè)點(diǎn)：帽子外面一點(diǎn)，帽子里面一點(diǎn)。 c、測(cè)試后記錄實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)，品質(zhì)人員確認(rèn)合格后方可使用。5.3.1.4 靜電工檢驗(yàn)頻率：

28、新購(gòu)靜電工衣，IQC按照抽檢標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行檢驗(yàn)；正常使用的靜電工衣做抽樣檢驗(yàn)，每周抽樣檢驗(yàn)20件，抽檢不合格的靜電工衣要求水洗，去掉表面的臟污、異物直至合格為止。5.3.1.5 外觀檢驗(yàn)合格標(biāo)準(zhǔn)： 靜電衣/靜電帽干凈整潔，表面無(wú)臟污、異物，衣服及帽子上沒(méi)有毛絮。5.3.2 靜電鞋/靜電手環(huán)5.3.2.1 測(cè)試儀器：人體靜電測(cè)試儀器。 5.3.2.2 合格標(biāo)準(zhǔn)：綠燈亮表示測(cè)試合格。5.3.2.3 測(cè)試方式5.3.2.3.1 穿上靜電鞋，站立于電極板上。5.3.2.3.2 將測(cè)試按鍵打至“工鞋”，按住測(cè)試按鍵2-3秒。綠燈表示通過(guò)。5.3.2.3.3 佩戴靜電手環(huán)于手腕上，靜電手環(huán)另一側(cè)插入測(cè)試孔中。5

29、.3.2.3.4 測(cè)試按鍵打至“手腕帶”，按住測(cè)試按鍵2-3秒，綠燈亮表示測(cè)試通過(guò)。步驟1 步驟2 步驟3 步驟4 5.3.2.4 注意事項(xiàng)5.3.2.4.1 注意測(cè)試操作時(shí)手不要觸摸到其它金屬類部位。5.3.2.4.2 如果蜂鳴器報(bào)警，應(yīng)檢查靜電環(huán)本身或接口連接是否正常。5.3.2.4.3 電池欠壓指示燈亮?xí)r應(yīng)更換電池，更換電池時(shí)要注意不能裝反電池極性。5.3.2.4.4 若靜電鞋與腳電極板之間因塵土或潮濕等原因引起報(bào)警，可用無(wú)水乙醇清洗并烘干即恢復(fù)正常。5.3.2.4.5 測(cè)試頻率：每天上午、下午上班前、每次進(jìn)入電子車間時(shí)進(jìn)行測(cè)試，若靜電環(huán)、靜電鞋出現(xiàn)異常應(yīng)立即更換，將測(cè)試結(jié)果填寫(xiě)到PCB

30、A靜電測(cè)試表。5.3.3 防靜手套/指套5.3.3.1 測(cè)試儀器：數(shù)顯接地電阻表（型號(hào)：3143）。5.3.3.2 合格標(biāo)準(zhǔn)：阻抗值要求范圍：1061012歐姆。5.3.3.3 測(cè)試方式：戴上防靜手套/指套，把表面電阻測(cè)試儀的兩極按在防靜電手套（手指套）上，長(zhǎng)按測(cè)試儀器的TEST鍵，測(cè)試后記錄數(shù)據(jù)。5.3.3.4 測(cè)試頻率：新購(gòu)防靜手套/指套，IQC按照抽檢標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行檢驗(yàn)；正常使用的靜電衣做抽樣檢驗(yàn)，每周抽樣檢驗(yàn)20件。5.3.4 包裝箱子5.3.4.1 測(cè)試儀器：數(shù)顯接地電阻表（型號(hào)：3143）。5.3.4.2 合格標(biāo)準(zhǔn)：表面阻抗值要求范圍：1061012歐姆。5.3.4.3 測(cè)試方法：將包裝

31、箱子表面清理干凈，將測(cè)試儀器按在箱子表面，長(zhǎng)按測(cè)試儀器的TEST鍵，待數(shù)據(jù)穩(wěn)定后記錄數(shù)據(jù)，一個(gè)箱子測(cè)試5個(gè)點(diǎn)，地面測(cè)試一個(gè)點(diǎn)，四個(gè)側(cè)面各測(cè)一個(gè)點(diǎn)。5.3.4.4 測(cè)試頻率：每周抽測(cè)50個(gè)箱子。5.3.4.5 注意事項(xiàng)：不合格的箱子隔離處理，不能再次使用。5.3.5 波峰焊工裝/L架。5.3.5.1 測(cè)試儀器：數(shù)顯接地電阻表（型號(hào)：3143）。5.3.5.2 合格標(biāo)準(zhǔn)：表面阻抗值要求范圍：1061012歐姆。5.3.5.3 測(cè)試方法：把數(shù)顯接地電阻表按在被測(cè)的波峰焊工裝/L架上，長(zhǎng)按測(cè)試儀器的TEST按鍵，待顯示穩(wěn)定后讀數(shù)，波峰焊工裝在與焊錫接觸面選點(diǎn)、L各在1個(gè)點(diǎn)，測(cè)試完畢后記錄數(shù)據(jù)。5.3.

32、5.4 測(cè)試頻率：每周抽測(cè)50個(gè)波峰焊夾具/L架。5.3.5.5 注意事項(xiàng)：測(cè)試不合格的工裝/L架隔離處理，不能再次使用。5.3.6 工作臺(tái)臺(tái)面5.3.6.1 測(cè)試儀器：儀器1、數(shù)顯接地電阻表（測(cè)試表面阻抗）。儀器2、重錘式電阻測(cè)試儀（測(cè)試對(duì)地電阻）。5.3.6.2 合格標(biāo)準(zhǔn)：表面阻抗：1061012歐姆，對(duì)地電阻：1061012歐姆。5.3.6.3 測(cè)試方法5.3.6.3.1 表面阻抗：把數(shù)顯接地電阻表按在被測(cè)的工作臺(tái)臺(tái)面上，長(zhǎng)按測(cè)試儀器的TEST按鍵，待顯示穩(wěn)定后讀數(shù)，波峰焊工裝在與焊錫接觸面選點(diǎn)、L各在1個(gè)點(diǎn)，測(cè)試完畢后記錄數(shù)據(jù)。5.3.6.3.2 對(duì)地電阻：把一個(gè)圓柱型電機(jī)放在工作臺(tái)臺(tái)

33、面上，另一個(gè)電極與接地線連接，長(zhǎng)按重錘。式電阻測(cè)試儀上的TEST按鍵待數(shù)字穩(wěn)定后讀數(shù)。挪動(dòng)臺(tái)面上的圓柱形金屬電極3-5次，記下測(cè)試的最大數(shù)據(jù)。數(shù)顯接地電阻表 重錘式電阻測(cè)試儀5.3.6.3.3 測(cè)試頻率：每月對(duì)工作臺(tái)臺(tái)面測(cè)量一次。5.3.6.3.4 注意事項(xiàng)：不合格的臺(tái)面噴涂靜電噴涂液，再次測(cè)試不合格時(shí)換掉臺(tái)面的防靜電材料5.3.7 流水線5.3.7.1 測(cè)試儀器：儀器1、數(shù)顯接地電阻表（測(cè)試表面阻抗）。儀器2、重錘式電阻測(cè)試儀（測(cè)試對(duì)地電阻）。5.3.7.2 合格標(biāo)準(zhǔn)：表面阻抗：1061012歐姆，對(duì)地電阻：1061012歐姆。5.3.7.3 測(cè)試方法5.3.7.3.1 表面阻抗：把數(shù)顯接地

34、電阻表按在被測(cè)的流水線皮帶上，長(zhǎng)按測(cè)試儀器的TEST按鍵，待顯示穩(wěn)定后讀數(shù)，波峰焊工裝在與焊錫接觸面選點(diǎn)、L各在1個(gè)點(diǎn)，測(cè)試完畢后記錄數(shù)據(jù)。5.3.7.3.2 對(duì)地電阻：把一個(gè)圓柱型電機(jī)放在流水線皮帶上，另一個(gè)電極與接地線連接，長(zhǎng)按重錘式電阻測(cè)試儀上的TEST按鍵待數(shù)字穩(wěn)定后讀數(shù)。挪動(dòng)臺(tái)面上的圓柱形金屬電極3-5次，記下測(cè)試的最大數(shù)據(jù)。數(shù)顯接地電阻表 重錘式電阻測(cè)試儀5.3.7.4 測(cè)試頻率：每月對(duì)流水線測(cè)量一次。5.3.7.5 注意事項(xiàng)：不合格的流水線噴涂靜電噴涂液，再次測(cè)試不合格時(shí)換掉臺(tái)面的防靜電材料。5.3.8 周轉(zhuǎn)車/物料架5.3.8.1 測(cè)試儀器： 重錘式電阻測(cè)試儀（測(cè)試對(duì)地電阻）。

35、5.3.8.2 合格標(biāo)準(zhǔn)：對(duì)地電阻：1061012歐姆。5.3.8.3 測(cè)試方法：把一個(gè)圓柱型電機(jī)周轉(zhuǎn)車/物料架上，另一個(gè)電極放在防靜電地板上，長(zhǎng)按重錘式電阻測(cè)試儀上的TEST按鍵待數(shù)字穩(wěn)定后讀數(shù)。挪動(dòng)臺(tái)面上的圓柱形金屬電極3-5次，記下測(cè)試的最大數(shù)據(jù)。5.3.8.4 測(cè)試頻率：每月對(duì)所有的周轉(zhuǎn)車/物料架測(cè)量一次。5.3.8.5 注意事項(xiàng)：不合格的周轉(zhuǎn)車/物料架噴涂靜電噴涂液，再次測(cè)試不合格時(shí)換掉周轉(zhuǎn)車/物料架。5.3.9 防靜電椅5.3.9.1 測(cè)試儀器：重錘式電阻測(cè)試儀。5.3.9.2 合格標(biāo)準(zhǔn)：對(duì)地電阻：1061012歐姆。5.3.9.3 測(cè)試方法5.3.9.3.1 椅子靠背：將防靜電椅

36、子放在鋼板上，把一個(gè)圓柱形電機(jī)放在椅子靠背上，另一個(gè)電極放在鋼板上，長(zhǎng)按重錘式電阻測(cè)試儀上的TEST按鍵待數(shù)字穩(wěn)定后讀數(shù)。挪動(dòng)臺(tái)面上的圓柱形金屬電極3-5次，記下測(cè)試的最大數(shù)據(jù)。5.3.9.3.2 椅子座墊：將防靜電椅子放在鋼板上，把一個(gè)圓柱形電機(jī)放在椅子座墊上，另一個(gè)電極放在鋼板上，長(zhǎng)按重錘式電阻測(cè)試儀上的TEST按鍵待數(shù)字穩(wěn)定后讀數(shù)。挪動(dòng)臺(tái)面上的圓柱形金屬電極3-5次，記下測(cè)試的最大數(shù)據(jù)。5.3.9.4 測(cè)試頻率：每月對(duì)所有的防靜電椅子架測(cè)量一次。5.3.9.5 注意事項(xiàng)：不合格的椅子更換處理，不能放在車間使用。5.3.10 生產(chǎn)設(shè)備5.3.10.1 檢查儀器：儀器1、萬(wàn)用表。儀器2、紅外線靜電電壓測(cè)試儀。5.3.10.2 合格標(biāo)準(zhǔn)：接地電阻1歐姆。表面靜電壓100V。5.3.10.3 測(cè)試方法5.3.10.3.1 接地電阻：使用萬(wàn)用表正極連接被測(cè)設(shè)備，負(fù)極與接電線連接，待儀器上的讀數(shù)穩(wěn)定后讀數(shù)并記錄數(shù)據(jù)。5.3.10.3.2 靜電電壓：打開(kāi)紅外線靜電電壓測(cè)試儀的開(kāi)關(guān)，在被測(cè)設(shè)備上把紅外線靜電測(cè)試儀射出的兩條紅外線的點(diǎn)合并一點(diǎn)，讀數(shù)并記錄。5.3.10.4 測(cè)試頻率：每月對(duì)所有的設(shè)備測(cè)量測(cè)量一