等離子清洗機應(yīng)用及原理

1、等離子清洗機應(yīng)用及原理、金屬表面去油及清潔金屬表面常常會有油脂、油污等有機物及氧化層，在進行濺射、油漆、粘合、健合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等離子處理來得到完全潔凈和無氧化層的表面。在這種情況下的等離子處理會產(chǎn)生以下效果： 1.1灰化表面有機層表面會受到化學(xué)轟擊（氧下圖）hcfti?州癩出 tmWnlPhm tn omnt wtfh-在真空和瞬時高溫狀態(tài)下，污染物部分蒸發(fā)-污染物在高能量離子的沖擊下被擊碎并被真空帶出-紫外輻射破壞污染物因為等離子處理每秒只能穿透幾個納米的厚度，所以污染層不能太厚。指紋也適用 1.2氧化物去除金屬氧化物會與處理氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)（下圖）這種處理要采

2、用氫氣或者氫氣與氬氣的混合物。有時也采用兩步處理工藝。第一步先用氧 氣氧化表面5分鐘，第二步用氫氣和氬氣的混合物去除氧化層。也可以同時用幾種氣體進行處理。1.3焊接通常，印刷線路板在焊接前要用化學(xué)助焊劑處理。在焊接完成后這些化學(xué)物質(zhì)必須采用等 離子方法去除，否則會帶來腐蝕等問題。1.4鍵合好的鍵合常常被電鍍、粘合、焊接操作時的殘留物削弱，這些殘留物能夠通過等離子方法 有選擇地去除。同時氧化層對鍵合的質(zhì)量也是有害的，也需要進行等離子清潔。二、等離子刻蝕在等離子刻蝕過程中， 通過處理氣體的作用， 被刻蝕物會變成氣相 （例如在使用氟氣對硅刻 蝕時，下圖）。處理氣體和基體物質(zhì)被真空泵抽出，表面連續(xù)被新

3、鮮的處理氣體覆蓋。不希望被 刻蝕部分要使用材料覆蓋起來（例如半導(dǎo)體行業(yè)用鉻做覆蓋材料）。等離子方法也用于刻蝕塑料表面，通過氧氣可以灰化填充混合物，同時得到分布分析情況。刻蝕方法在塑料印刷和粘合時作為預(yù)處理手段是十分重要的，如POM、PPS和PTFE。等離子處理可以大大地增加粘合潤濕面積。三、刻蝕和灰化PTFE亥y蝕PTFE在未做處理的情況下不能印刷或粘合。眾所周知，使用活躍的堿性金屬可以增強粘合能力，但是這種方法不容易掌握，同時溶液是有毒的。使用等離子方法不僅僅保護環(huán)境，還能達到更好效果。（下圖）FIFE bBfotfe plutrn a EreMuedtBEfR 曲 mi f桶“-polyn

4、i or chiatcj-atrucEuring surfdEe -produrirg ui i日term“血 IjvyrA. hydk傅切* 匚jvbon. flu onneC.腳和咂鯉世Y陋塑緲伽AM!PTFE 時 ftreatfaefll：等離子結(jié)構(gòu)可以使表面最大化，同時在表面形成一個活性層，這樣塑料就能夠進行粘合、 印刷操作。P1IHE Birnuni adh-eav? pow?i. |祉站MN伽事-capillary efFed.Q y pf essirig m. bfatti &1 X on line PTFE. 'Hip ©jm sffict- a vb

5、y ealloit.PTFE混合物的刻蝕PTFE混合物的刻蝕必須十分仔細地進行，以免填充物被過度暴露，從而削弱粘合力。PTFE-PTFE cwn pou-nd befctfe pl*gtna treattnetii8.a7tti 廠o opLiiri a trrntm entp/jfer plasma treatnuentBno-ugh elchedwell etchedover etched處理氣體可以是氧氣、氫氣和氬氣?？梢詰?yīng)用于PE、PTFE、TPE、POM、ABS和丙烯。四、塑料、玻璃和陶瓷的表面活化和清潔塑料、玻璃、陶瓷與聚丙烯、PTFE 一樣是沒有極性的，因此這些材料在印刷、粘合、

6、涂覆前要進行處理。 同時，玻璃和陶瓷表面的輕微金屬污染也可以用等離子方法清潔。等離子處理與灼燒處理相比不會損害樣品。同時還可以十分均勻地處理整個表面，不會產(chǎn)生有毒煙氣， 中空和帶縫隙的樣品也可以處理。不需要用溶劑進行預(yù)處理« 所有的塑料都能應(yīng)用 具有環(huán)保意義 占用很小工作空間*成本低廉等離子表面處理的效果可以簡單地用水來驗證，處理過的樣品表面完全被水潤濕。長時間 的等離子處理（大于 15分鐘），材料表面不但被活化還會被刻蝕，刻蝕表面具有最大潤濕能力 常用的處理氣體為：空氣、氧氣、氬氣、氬氫混合氣體、CF4等五、等離子涂鍍聚合ftedpitaftedlayw1after plasmtr

7、eaiment在涂鍍中兩種氣體同時進入反應(yīng)艙，氣體在等離子環(huán)境下匯聚合。這種應(yīng)用比活化和清潔的要求要嚴格一些。典型的應(yīng)用是保護層的形成，應(yīng)用于燃料容器、防刮表面、類似PTFE材質(zhì)的涂鍍、防水涂鍍等。涂鍍層非常薄，通常為幾個微米，此時表面的親和力非常好。常用的有3種情況 防水涂鍍一環(huán)己物 * 類似PTFE材質(zhì)的涂鍍含氟處理氣體親水涂鍍乙烯醋酸小型等離子清洗機具有成本低廉、操作靈活的特點，與動輒十幾萬美元的大型產(chǎn)品相比小型等離子清潔小型機具有以下優(yōu)點：1、可以更靈活地操作，簡便地改變處理氣體的種類和處理程序。2、不會對人員的身體造成任何傷害。3、其成本對于等離子處理方法來說是微不足道的。小型等離子

8、設(shè)備廣泛應(yīng)用于等離子清洗和表面改性等場合。通過其處理，能夠改善材料的潤濕能力，使多 種材料能夠進行涂覆、鍍等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除有機污染物、油污或油脂。其具體應(yīng)用包括：1、塑料、玻璃和陶瓷表面活化玻璃、陶瓷和塑料（如聚丙烯、PTFE等）基本上是沒有極性的，因此這些材料在進行粘合、油漆和涂覆之前要進行表面活化處理。2、金屬去油及清潔金屬表面常常會有油脂、油污等有機物及氧化層，在進行濺射、油漆、粘合、健合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等離子處理來得到完全潔凈和無氧化層的表面。焊接操作前：通常印刷線路板在焊接前要用化學(xué)助焊劑處理。在焊接完成后這些化學(xué)物質(zhì)必須采用等離 子方法

9、去除，否則會帶來腐蝕等問題。鍵合操作前：好的鍵合常常被電鍍、粘合、焊接操作時的殘留物削弱，這些殘留物能夠通過等離子方法有 選擇地去除。同時氧化層對鍵合的質(zhì)量也是有害的，也需要進行等離子清潔。特點：* 操作簡便、成本低廉* 高效真空電極* 氣體流量通過流量計和針閥實現(xiàn)精確控制* 功率可在200W以內(nèi)調(diào)節(jié)控制（完全能夠能夠滿足清潔需要，200W以上功率用于刻蝕）* 自動阻抗匹配* 自由設(shè)置參數(shù)：處理時間、功率、氣體、壓力安全保護功能：真空觸發(fā)、艙門鎖o小型等離子清洗、刻蝕機具有成本低廉、操作靈活的特點，主要適合于大學(xué)、 科研機構(gòu)高科技生產(chǎn)單位的以下場合：半導(dǎo)體開發(fā)集成電路開發(fā)真空電子行業(yè) TEM、

10、SEM樣品及支架清潔生命科學(xué)實驗與動輒十幾萬美元的大型產(chǎn)品相比具有以下優(yōu)點1、可以更靈活地操作，簡便地改變處理氣體的種類和處理程序。2、不會對科研人員的身體造成任何傷害。3、其成本對于等離子處理方法來說是微不足道的。等離子設(shè)備廣泛應(yīng)用于等離子清洗、刻蝕、等離子鍍、等離子涂覆、等離子灰化和表面改性等場合。通過 其處理，能夠改善材料的潤濕能力，使多種材料能夠進行涂覆、鍍等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除有機 污染物、油污或油脂。其具體應(yīng)用包括：1、塑料、玻璃和陶瓷表面活化玻璃、陶瓷和塑料（如聚丙烯、PTFE等）基本上是沒有極性的，因此這些材料在進行粘合、油漆和涂覆之前要進行表面活化處理。2、金屬去油及清潔金屬表面常常會有油脂、油污等有機物及氧化層， 在進行濺射、油漆、粘合、健合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等離子處理來得到完全潔凈和無氧化層的表面。焊接操作前：通常印刷線路板在焊接前要用化學(xué)助焊劑處理。在焊接完成后這些化學(xué)物質(zhì)必須采用等離 子方法去除，否則會帶來腐蝕等問題。鍵合操作前：好