pecvd班組的維護(hù)流程

1、9h6Olr>gRuA$tfMW2MW W.fiqrwIrw H*«d MH»0O9-219«a匚Mn川3WbW CMiiiQinrulaiEion 時(shí)WshK CoQilIng 心kt&iii&i »制片itMW1MW 瞞怕i,Mran HmA MH MMS-SI MBMW-P0W»r 加皿 MX 4»KH(HLLBNCDioci*BMC-Cabk的 維 護(hù) 流 程禺情I" Cubing Aifp: Tube&i 曲MWV* FwdthnunR»wsr SuppryNtX4QlMO1

2、1»LL1維護(hù)準(zhǔn)備11提前準(zhǔn)備維護(hù)工具石英管的準(zhǔn)備8-15根單晶需15根,2根備用多晶需9根,1根備用2】石英管的挑選注意：口徑的大小兩端口徑不要有裂痕 整根不能有裂痕 碰痕.無(wú)細(xì)微裂紋和氣泡3】一對(duì)軸套的卡孔注意能與扭力扳手吻合,需要時(shí)要用電鉆處理卡孔鋁杯罩外部4】面綠"O'圈面注意不能有大的劃痕O'圈的選用一注意形狀不變形不扭曲;二"O圈用酒精清洗,觀察“ O圈是否有裂痕 毛刺,尤具綠"O'圈.5】梅花圈分薄和厚型,選用注意形狀厚度大小 其作用是支撐銅導(dǎo)管,調(diào)節(jié)安裝石英管的長(zhǎng)度注意兩者的吻合,孔位的適是和銅導(dǎo)管配位使用,在維護(hù)

3、撤除石英管時(shí),需要拔出銅制天線組裝的一端圖【下】【下】細(xì)分圖帶有環(huán)形封口的鋁制罩帽quartz tube1)圖：將石英管擠壓進(jìn)準(zhǔn)備好的鋁質(zhì)罩帽2) 將銅質(zhì)導(dǎo)管插入并定位于聚四氟乙烯梅花圈的中央位置(梅花圈對(duì)于保證銅質(zhì)內(nèi)導(dǎo)管在石英管內(nèi)的中央位置是 十分必要的)圖：完整的石英管的剖面圖3) 將卡口鎖定裝置滑入石英管圖：準(zhǔn)備好的微波傳送系統(tǒng)4) 將石英管的另一端推入準(zhǔn)備好的另一個(gè)鋁制的罩帽中,同時(shí)將銅質(zhì)內(nèi)導(dǎo)管插入并定位于另外一個(gè)聚四氟乙烯梅 花圈的中央位置圖2:完整的微波傳送系統(tǒng)拆卸石英管的過(guò)程:1.先將微波連接器一端的銅質(zhì)天線向外拔出80mm后即可挪開(kāi)該天線見(jiàn)右圖圖：在工作位置和維護(hù)位置配有銅質(zhì)天

4、線的小型微波發(fā)射頭2 .用大力鉗將石英管掐碎,碎斷距離大約15CM 一手掌的距 離,注意別傷到銅導(dǎo)管碎斷的距離便于拆卸石英管.【注 意別讓碎玻璃傷到手】3 .軸套的松緊,順時(shí)針是上緊,逆時(shí)針?lè)较驗(yàn)樗尚腹に嚪错憘}(cāng)倉(cāng)壁上的微波發(fā)射頭法蘭接口（1） 4.法蘭：石英管連接處,注意觀察外部面的平整度,不得有任何劃痕.拆卸掉石英管時(shí),需要用麻有酒精的無(wú) 塵布進(jìn)行阻擋或用墊板進(jìn)行隔離2使用真空吸塵器清洗一側(cè)的外表法蘭盤并用 麻有酒精的無(wú) 塵布封外表注意！卡口鎖定連接器和法蘭盤之間的尺寸咬合公差只有0.10.2mm如果顆粒從卡口鎖定架或橫向工藝特氣罩上脫落將會(huì)導(dǎo)致擦傷和損傷卡口鎖定裝置和法蘭盤現(xiàn)舉用下鍍膜的工藝腔室為例：沉積罩或特氣梢的熟悉圖：關(guān)閉的氨氣吹淋噴頭孔左圖局部關(guān)閉的硅烷氣體吹淋噴頭孔右圖3使用金屬線刷或砂紙清洗嚴(yán)重污染的不能拆卸的部件,使 用真空吸塵器去除過(guò)程中產(chǎn)生的灰塵.4檢查氣體吹淋口所有的氣孔1mmt徑是否通暢,如果有 堵塞,使用1mm的鉆孔機(jī)或針頭刺透氣孔,從外向內(nèi)用壓 縮氣體將氣體吹淋頭孔內(nèi)部的灰塵吹出.腔室上裝石英管示意圖：圖1:完整的等離子體發(fā)射源左圖和沒(méi)有橫向沉積罩的等離子體發(fā)射源右圖圖2：設(shè)備維護(hù)位置時(shí)的卡口鎖定機(jī)械裝置圖3:卡口鎖定機(jī)械裝置