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文檔簡介

1、Chemic Piping Installation solution化學(xué)品供給、回收雙層配管統(tǒng)系 PFA(C-PVC)管道安裝工藝簡述化學(xué)品供給、回收雙層配管統(tǒng)系 PFA管道安裝工藝簡述 大量的化學(xué)藥品輔送管道,系采用PFA管材及其配件組成。PFA管道具有優(yōu)越的耐酸、堿腐蝕性能;管道內(nèi)壁光滑、耐磨、潔凈,是理想的化學(xué)藥品輸送材料。所謂PFA材料,即聚四氯乙烯(teflon)。制成的管材可適度彎曲,外觀透明?;瘜W(xué)藥品遞過PFA管道輸送,在該管道外部,另套有一根透明PVC管作為外保護(hù)套管,起保護(hù)、承托PFA管及防止藥液自PFA管泄漏后直接暴露造成危害的作用。在工程上,通常稱外保護(hù)套管為外管,內(nèi)部

2、的PFA管為內(nèi)管,某些情況下,外管也有采用不銹鋼作保護(hù)管的。 PFA管的安裝方式有二類:穿設(shè)安裝,焊接安裝。下面分別介紹。 一、穿設(shè)安裝PFA管穿設(shè)安裝,一般用于由供給單元向使用點輸送藥品的管路;連接管道規(guī)格一般為1/4"1",管材彩成卷的PFA管,除三通、閥門及與設(shè)備連接處有接口外,均為整根內(nèi)管連接,這種安裝方式頗似電纜敷設(shè)。 系統(tǒng)組成 該系統(tǒng)由供給單元、三通箱、閥門箱、用藥設(shè)備、藥品供給管路組成,如圖一: :藥品供給單元,設(shè)于化學(xué)品供給室。向用藥設(shè)備供藥。:閥門箱(VMB),設(shè)于潔凈室一層,負(fù)責(zé)分送藥品。:用藥設(shè)備,設(shè)于潔凈室用力區(qū)或工作區(qū)。:三通箱,設(shè)于供給管路上,一

3、個供給單元如何向二個或二個以上閥門箱輸送藥品時,則設(shè)一個或若干個三通箱。內(nèi)設(shè)PFA三通,有檢修蓋及排液閥。 :藥品供給管路,自藥品供給單元經(jīng)閥門箱,再到用藥設(shè)備。由外管及內(nèi)管組成,外管通常為透明PVC管,或不銹鋼管,內(nèi)管均為PFA管。安裝順序:供給單元、閥門箱就位管道支架制安外管、三通箱安裝外管試壓PFA管穿設(shè)PFA管道試壓系統(tǒng)清洗、運行用藥設(shè)備就位支架制安外管數(shù)設(shè)外管試壓PFA管穿設(shè)PFA管試壓聯(lián)機(jī)供藥。供給單元至閥門箱的配管為一次配管,閥門箱至用藥設(shè)備的配管為二次配管。所有設(shè)備就位,管道敷設(shè),均應(yīng)嚴(yán)格按設(shè)計要求及有關(guān)規(guī)范施工,同時必須參照施工要領(lǐng)書作業(yè)。支架制安根據(jù)外管規(guī)格進(jìn)行支架制安,支

4、架必須安裝牢固,直線段每4米及轉(zhuǎn)彎處,必須設(shè)置防晃支架,管道支架間距如下表:管道規(guī)格(DN) 25 40 50 6580 100(及以上)支架間距(m) 1.3 1.4 1.5 1.7 2.0外管安裝A:透明PVC管,彎頭采用成品彎頭(R4D)或利用烘箱現(xiàn)場煨制,彎曲外徑均為4倍或4倍以上管外徑。彎頭及直管均采用直二通粘接,如管路較長(超過20米)或連續(xù)出現(xiàn)多個彎頭,則在適當(dāng)處設(shè)置活接頭,以便在穿設(shè)內(nèi)管出現(xiàn)困難時,折開外管以助穿管,活接頭與管道連接方式為脹接。每根直管或彎頭粘接前,必須對管端做內(nèi)外倒角,并刮凈毛刺,在做倒角操作前,應(yīng)先塞一個無塵布團(tuán)進(jìn)入管內(nèi)約1寸,以防切削碎屑和其它顆粒進(jìn)入管內(nèi)

5、,粘接用的直二通均為承口,管子、彎頭均為插入直二通形成參插粘接。粘接前,先測量管子或彎頭插入的連接點的插入邊線,同時用彩色記號筆劃好標(biāo)記,然后在管端外壁標(biāo)記范圍內(nèi),均勻涂上一層粘著劑,并在直二通承口內(nèi)壁涂一層膠水,然后快速插入,并持續(xù)約一分鐘保持壓力,待膠水固化后放手,粘接所用的粘著劑必須是指定的品種,不得隨意亂用,另外,由于管道粘接后,管道內(nèi)部會因粘著劑的揮發(fā)氣體產(chǎn)生一定氣壓,幫剛完成粘接的管路不得封閉,宜保持開放狀態(tài)2448小時,以防止接口遭脹壞。管道與三通箱、設(shè)備的連接,均為活接頭脹接,拆卸方便。外管的敷設(shè)必須嚴(yán)格按圖施工。B:不銹鋼外管,這類管路不設(shè)三通箱,自供給單元至閥門箱僅有一路管

6、道。彎頭采用煨制(R4D)或成品彎頭(R4D),材質(zhì)均為不銹鋼,管道上彎頭與直管連接或直管與直管連接,均采用直二通套管承插后氬弧焊接,適當(dāng)處設(shè)法蘭連接,管道連接前,管端面必須做45º內(nèi)外倒角,并確認(rèn)管內(nèi)壁及管口光滑,無異物無毛刺后,加上不銹鋼套管(直二通),測量好插入深度,在管外壁劃線標(biāo)記,將套路邊線調(diào)整至劃線處,然后進(jìn)行手工氬弧焊,焊縫應(yīng)平整、嚴(yán)密。上述二種外管施工完成后,做全面檢查,確認(rèn)管道用材、走向、規(guī)格等均符合設(shè)計要求后,即可做壓力測試。試驗壓力為1000mAq,保壓30分鐘,以不降壓力合格。PFA管穿設(shè)外管試壓完成后,即可進(jìn)行內(nèi)管穿設(shè),內(nèi)管為整卷PFA管,每種規(guī)格均有不同長

7、度數(shù)卷。自供給單元至三通箱,自三通箱至閥門箱,自閥門箱至用藥設(shè)備,各自均為一根整管貫穿,中間不設(shè)接頭。故穿管前,應(yīng)準(zhǔn)確計算出每段管道長度,分別選擇不同長度的某卷管子穿設(shè),避免浪費。穿管時以引線牽引內(nèi)管前行,前方抽拉引線,后方輸送管子,雙方用力須一致,必須防止內(nèi)管打折、變篇,指定專人發(fā)出口令,通過對講機(jī)協(xié)調(diào)各方動作。穿管順序:按附圖一中、的順序穿設(shè)。首先選擇較細(xì)尼龍線。23mm,端頭系一小團(tuán)無塵布(=2/3D),自處塞入外管,然后在處(如無則于處)將吸塵器抽吸外管內(nèi)之空氣,待抽出細(xì)線后,拆去紙團(tuán),以細(xì)線系好較粗尼龍線(56mm),由處拖動細(xì)線,(或)處輸送粗線,直到處抽出粗線,然后,在粗線端頭系

8、一專用拉套,該拉套套住內(nèi)管,通過對講機(jī),告訴(或)處的人員、徐徐抽引粗線,處人員配合緩緩向外管內(nèi)輸送內(nèi)管,直到(或)處抽出內(nèi)管。如穿設(shè)內(nèi)管中途因阻力太大無法抽動,則可在適當(dāng)處(有活接頭處)拆開活接頭,如外管為不銹鋼管、則脫開連接法蘭,抽動管內(nèi)粗線,協(xié)助牽引內(nèi)管,待抽出內(nèi)管后再恢復(fù)活接頭或法完。完成(或)的穿設(shè)后,在處計算好留頭長度,將多余的內(nèi)管割去,包好管端留用。這樣,就完成了這段管線的穿設(shè),可以進(jìn)行接口,按上述方法,同樣可完成其它各段內(nèi)管穿設(shè)。內(nèi)管穿設(shè)完畢后,可進(jìn)行管道與三通,設(shè)備接口的連接,一般均采用擴(kuò)口脹接,擴(kuò)口脹接采用冷擴(kuò)或加熱擴(kuò)口二種方式。將PFA端口擴(kuò)大,形成永久變形,通過緊固螺母

9、,將擴(kuò)口與接口鎖緊。接口一般為短管,外部正好與擴(kuò)口內(nèi)部吻合,當(dāng)緊固螺母帶動擴(kuò)口套入內(nèi)管外部,螺母內(nèi)絲方向?qū)χ龜U(kuò)口方向,使用擴(kuò)口專用工具,將管端口擴(kuò)大,達(dá)到永久變形,然后慢收擰緊螺母,因接口短管后側(cè)為外螺紋、故當(dāng)螺母擰緊后,擴(kuò)口與接口就嚴(yán)密連接好了。必須注意,螺線、接口后外螺紋、均為PFA材質(zhì),較為軟,切忌盲目蠻力擰緊,必須確保順絲,如手感過于緊澀,應(yīng)立即退出螺母,認(rèn)真檢查,待擺正螺母后重新上緊。PFA管自拆開內(nèi)層包裝,至穿管、擴(kuò)口,直到連接,各工序過程中均應(yīng)盡量減短管道口開放暴露在空氣中的時間,如暫停工作而管口未連接,則需臨時用潔凈布包裹管口,再以膠布固室好,凡接觸管子乾,均應(yīng)戴潔凈手套,不

10、得裸手觸摸。管道接口完成后,可做管道試壓。強(qiáng)度試驗壓力為設(shè)計壓力1.5倍,測試時間為3小時,不得降壓,嚴(yán)密件試驗壓力為設(shè)計壓力1.5倍,測試時間24小時,在確認(rèn)無泄漏后,壓力變化±5%以內(nèi)為合格,測試介質(zhì)采用潔凈N2(99.99以上)。壓力試完成后,進(jìn)行系統(tǒng)清洗,采用純水及相應(yīng)的化學(xué)藥品,沿藥品供給方向流動沖洗管線,至閥門輸出口排放到儲藥桶內(nèi)運出,清洗至測試合格為止。二、焊接安裝連接管道規(guī)格為1/4"、3/4"、1"、2"的焊接型PFA管材及其管件,管道、附件均通過專用PFA焊接機(jī)進(jìn)行焊接,與設(shè)備連接通常為法蘭連接,這類管道一般用于接收機(jī)臺至藥

11、品接收儲罐的連接管路及藥品接收儲罐至供給單元的管路。系統(tǒng)組成該系統(tǒng)由設(shè)于化學(xué)品間外墻的接收機(jī)臺、化學(xué)品間內(nèi)的藥品接收儲罐,供給單、藥品供給管路組成,如圖二:藥品接收機(jī)臺,置于化學(xué)品間內(nèi),于外墻設(shè)有接收窗,直接將室外藥品槽車之藥品接收,并注入藥品儲罐內(nèi)。:藥品接收儲罐,置于化學(xué)品間地下基礎(chǔ)之上,儲存藥品。:藥品供給單元,置于化學(xué)品間內(nèi),向用藥設(shè)備供藥。:藥品供給管路,自接收機(jī)臺至藥品儲罐,再由藥品儲罐至藥品供給單元。由外管及內(nèi)管組成,外管均為透明PVC管,內(nèi)管由焊接型PFA管及PFA彎頭組成。安裝順序接收機(jī)、接收儲罐、供給單元就位支架制安內(nèi)管焊接、外管粘接內(nèi)管彎頭焊接外管彎頭焊接內(nèi)管試壓外管試壓

12、清洗運行。設(shè)備安裝就位必須符合設(shè)計要求及有關(guān)規(guī)范要求,設(shè)備就位驗收后,方可進(jìn)行配管工作。支架安裝要求與前文要求一致。內(nèi)管焊接時,外管幾乎同步安裝,內(nèi)管直管連接完畢,外管也隨即套于內(nèi)管外部完成。僅在彎頭處預(yù)留不做,外管的直管連接為直二通粘接,具體要求同前文所述。外管的彎頭為成品承插彎頭R=1.5D,待內(nèi)管彎頭焊接完畢后,將外管承插彎頭對稱剖成兩半,然后扣于內(nèi)管彎頭外,并與外管兩端粘接,對剖縫用熱風(fēng)焊槍及PVC焊條焊接復(fù)原,作法同普通PVC塑料熱風(fēng)焊。內(nèi)管直管及彎頭、法蘭焊接工藝焊接前,先將待焊的二個端口相對固定在焊接設(shè)備夾具內(nèi),兩個端面之間的間隙內(nèi)設(shè)一塊雙面架熱板,該加熱板加熱時不與管道端面接解

13、,通過熱幅射使兩端面達(dá)到熔化溫度,這項操作是靠作業(yè)員目視掌握端面是否己經(jīng)熔化,達(dá)到可以熔合程度,當(dāng)熔化程序合適時,立即撤去加熱板,迅速使兩個端面接觸并施加一定壓力,使管端熔化物流動,它能形成混合與熔結(jié),當(dāng)冷卻后,原始接觸面消失了,同時,兩個端面結(jié)合在一起了,焊縫始終不發(fā)生化學(xué)變化。注意要點:1焊接操作場應(yīng)干凈、干燥,并且具有良好的通風(fēng)設(shè)備(因加熱時會產(chǎn)生有害氣體)。2不得使加熱板任何一面,因加熱時接觸管端而發(fā)生污損,故應(yīng)避免觸及管端。3管子的切割,應(yīng)采用帶棘輪的專用切割刀切斷管子。4焊接過程中,焊口不得錯位。5始終保持PFA管清潔。管道與設(shè)備連接,一般均采用法蘭連接,法蘭與管子采用焊接連接,要求同上述,法蘭與設(shè)備接口法蘭的連接方法同普通法蘭連接方法一致。內(nèi)外管的試壓要求的同前文所述。施工中的體會及教訓(xùn)。通過各大半導(dǎo)體廠內(nèi)化學(xué)品供給、回收系統(tǒng)配管施

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