第六章電阻式130411

1、西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院4 模擬量位移傳感器及其測(cè)量原理模擬量位移傳感器及其測(cè)量原理本章學(xué)習(xí)要求：本章學(xué)習(xí)要求：1 1）了解模擬量位移傳感器的分類）了解模擬量位移傳感器的分類 2 2）掌握常用模擬量位移傳感器測(cè)量原理）掌握常用模擬量位移傳感器測(cè)量原理3 3）了解傳感器測(cè)量電路）了解傳感器測(cè)量電路工程測(cè)試技術(shù)基礎(chǔ)工程測(cè)試技術(shù)基礎(chǔ)西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院4.1.1 4.1.1 位移測(cè)量基本概念和分類位移測(cè)量基本概念和分類位移：指物體上某一點(diǎn)在一定方向上的位置變動(dòng)，既有大小也有方向位移測(cè)量力壓力扭矩應(yīng)變速度 加速度 溫度厚度距離2）數(shù)字式測(cè)量方法：光柵、脈沖編碼器、感

2、應(yīng)同步器等1）模擬式測(cè)量方法：電阻式、電感式、電容式、電渦流式、光電式等4.14.1位移測(cè)試概述位移測(cè)試概述西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院4.1.2 4.1.2 傳感器概述傳感器概述1 1）傳感器定義）傳感器定義指能感受規(guī)定的被測(cè)量，并按照一定的規(guī)律轉(zhuǎn)換指能感受規(guī)定的被測(cè)量，并按照一定的規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用信號(hào)的器件或裝置。（廣意的）成可用信號(hào)的器件或裝置。（廣意的）如如熱電偶熱電偶可以測(cè)炙熱物體的溫度；可以測(cè)炙熱物體的溫度； 超聲波探測(cè)器超聲波探測(cè)器測(cè)海水深度；測(cè)海水深度； 紅外遙感器紅外遙感器從高空測(cè)地面植被和污染情況；從高空測(cè)地面植被和污染情況；西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)

3、院物理量物理量電量電量 目前，傳感器轉(zhuǎn)換后的信號(hào)大多為電信號(hào)，目前，傳感器轉(zhuǎn)換后的信號(hào)大多為電信號(hào)，狹義上講，傳感器是把外界輸入的非電信號(hào)按一狹義上講，傳感器是把外界輸入的非電信號(hào)按一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成電信號(hào)的裝置。定規(guī)律轉(zhuǎn)換成電信號(hào)的裝置。力位移溫度西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院傳感器信號(hào)調(diào)理信號(hào)調(diào)理及處理及處理微處理器AD被測(cè)信號(hào)被測(cè)信號(hào)整形整形放大放大濾波濾波傳感器系統(tǒng)傳感器是傳感器系統(tǒng)的一個(gè)組成部分，是被測(cè)信傳感器是傳感器系統(tǒng)的一個(gè)組成部分，是被測(cè)信號(hào)輸入的第一個(gè)關(guān)口號(hào)輸入的第一個(gè)關(guān)口西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院傳感器由傳感器由敏感器件敏感器件與與轉(zhuǎn)換器件轉(zhuǎn)換器件組成。

4、組成。 敏感器件能直接感受（響應(yīng)）被測(cè)量的部分；敏感器件能直接感受（響應(yīng)）被測(cè)量的部分； 轉(zhuǎn)換器件傳感器中能將敏感元件感受的被測(cè)量轉(zhuǎn)換器件傳感器中能將敏感元件感受的被測(cè)量轉(zhuǎn)換成能傳輸或測(cè)量的電信號(hào)的部分。轉(zhuǎn)換成能傳輸或測(cè)量的電信號(hào)的部分。2 2）傳感器的構(gòu)成）傳感器的構(gòu)成V西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院3 3） 傳感器的分類傳感器的分類 用途（被測(cè)物理量）用途（被測(cè)物理量） 轉(zhuǎn)換原理（傳感器工作的基本物理和化學(xué)效轉(zhuǎn)換原理（傳感器工作的基本物理和化學(xué)效應(yīng)）應(yīng)） 輸出信號(hào)類型輸出信號(hào)類型 制作材料和工藝制作材料和工藝 其他（如敏感元件與被測(cè)量的能量關(guān)系、信其他（如敏感元件與被測(cè)量的能量關(guān)

5、系、信號(hào)變換特性等）號(hào)變換特性等）西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院用途（被測(cè)物理量）用途（被測(cè)物理量）位置傳感器液面?zhèn)鞲衅魉俣葌鞲衅骷铀俣葌鞲衅髡駝?dòng)傳感器熱敏傳感器濕敏傳感器氣敏傳感器生物傳感器真空度傳感器西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院轉(zhuǎn)換原理轉(zhuǎn)換原理利用物理效應(yīng)和化學(xué)效應(yīng)，即使被測(cè)量是微小量都可以轉(zhuǎn)利用物理效應(yīng)和化學(xué)效應(yīng)，即使被測(cè)量是微小量都可以轉(zhuǎn)換為電信號(hào)換為電信號(hào)傳感器品種傳感器品種工作原理工作原理可被測(cè)量可被測(cè)量熱敏電阻、半導(dǎo)熱敏電阻、半導(dǎo)體傳感器體傳感器阻值變化阻值變化力、重量、壓力、加速度、溫度、濕力、重量、壓力、加速度、溫度、濕度度電容傳感器電容傳感器電容量變化

6、電容量變化力、重量、壓力、加速度、液面、濕力、重量、壓力、加速度、液面、濕度度電感傳感器電感傳感器電感量變化電感量變化力、重量、壓力、加速度、轉(zhuǎn)矩、磁力、重量、壓力、加速度、轉(zhuǎn)矩、磁場(chǎng)場(chǎng)霍爾傳感器霍爾傳感器霍爾效應(yīng)霍爾效應(yīng)角度、力、磁場(chǎng)角度、力、磁場(chǎng)壓電傳感器、壓電傳感器、壓電效應(yīng)壓電效應(yīng)壓力、加速度、距離壓力、加速度、距離熱電傳感器熱電傳感器熱電效應(yīng)熱電效應(yīng)煙霧、明火、熱分布煙霧、明火、熱分布光電傳感器光電傳感器光電效應(yīng)光電效應(yīng)輻射、角度、旋轉(zhuǎn)角、位移、轉(zhuǎn)矩輻射、角度、旋轉(zhuǎn)角、位移、轉(zhuǎn)矩西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院輸出信號(hào)類型輸出信號(hào)類型 模擬傳感器模擬傳感器將被測(cè)量的非電學(xué)量轉(zhuǎn)

7、換為模擬將被測(cè)量的非電學(xué)量轉(zhuǎn)換為模擬信號(hào)；信號(hào)； 數(shù)字傳感器數(shù)字傳感器將被測(cè)量的非電學(xué)量轉(zhuǎn)換成數(shù)將被測(cè)量的非電學(xué)量轉(zhuǎn)換成數(shù)字輸出信號(hào)；字輸出信號(hào)； 開關(guān)傳感器開關(guān)傳感器當(dāng)一個(gè)被測(cè)量達(dá)到某個(gè)特定的當(dāng)一個(gè)被測(cè)量達(dá)到某個(gè)特定的確定值時(shí)，傳感器相應(yīng)地輸出一個(gè)低電平或高確定值時(shí)，傳感器相應(yīng)地輸出一個(gè)低電平或高電平信號(hào)電平信號(hào)西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院制作材料和工藝制作材料和工藝所用材料的類別所用材料的類別金屬、聚合物、陶瓷金屬、聚合物、陶瓷等等材料的物理性質(zhì)材料的物理性質(zhì)導(dǎo)體、半導(dǎo)體、磁性材料導(dǎo)體、半導(dǎo)體、磁性材料等等制造工藝制造工藝集成傳感器、薄膜傳感器、陶瓷傳集成傳感器、薄膜傳感器、陶

8、瓷傳感器等感器等西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院其他（按敏感元件與被測(cè)量之間的能量關(guān)系）其他（按敏感元件與被測(cè)量之間的能量關(guān)系）能量轉(zhuǎn)換型能量轉(zhuǎn)換型: :直接由被測(cè)對(duì)象輸入能量使其工作直接由被測(cè)對(duì)象輸入能量使其工作. . 例如例如: :熱電偶溫度計(jì)熱電偶溫度計(jì), ,彈性壓力計(jì)（波登管、膜片等）彈性壓力計(jì)（波登管、膜片等）. . 能量控制型能量控制型: :從外部供給能量并由被測(cè)量控制外部從外部供給能量并由被測(cè)量控制外部 供給能量的變化供給能量的變化. . 例如例如: :電阻應(yīng)變片電阻應(yīng)變片. .V西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院6.2.2 6.2.2 變阻器式傳感器（電位器式傳感

9、器）變阻器式傳感器（電位器式傳感器）將位移變化轉(zhuǎn)換為電位器式傳感器阻值的變化AlR/4.2 4.2 電阻式傳感器電阻式傳感器 電阻式傳感器電阻式傳感器是把被測(cè)量轉(zhuǎn)換為電阻變化的一種傳感器是把被測(cè)量轉(zhuǎn)換為電阻變化的一種傳感器, , 按工作的原理可分為按工作的原理可分為: :變阻器式、電阻應(yīng)變式、熱敏式、變阻器式、電阻應(yīng)變式、熱敏式、光敏式、電敏式光敏式、電敏式.4.2.1 變阻器式傳感器（電位計(jì)（器）式傳感器）變阻器式傳感器（電位計(jì)（器）式傳感器）線圈骨架滑動(dòng)觸頭西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院1 1）等效電路分析）等效電路分析: :L-L-變阻器總長(zhǎng)變阻器總長(zhǎng); ;x-x-電刷移動(dòng)量電

10、刷移動(dòng)量. .xkRlC點(diǎn)與A點(diǎn)電阻：xLACB靈敏度：lkdxdRSRl-單位長(zhǎng)度電阻值單位長(zhǎng)度電阻值傳感器的輸出（電阻）與輸入（位移）成線性關(guān)系傳感器的輸出（電阻）與輸入（位移）成線性關(guān)系西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院uoRxR-RxuykxxkRuRRuulxy00空載特性空載特性西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院1UoUy xLRLR+ +Lx()-負(fù)載特性負(fù)載特性(其后接電路一般采用電阻分壓電路其后接電路一般采用電阻分壓電路,將電參量將電參量R轉(zhuǎn)換為電壓輸出轉(zhuǎn)換為電壓輸出給后續(xù)電路。給后續(xù)電路。)表明經(jīng)過后續(xù)電路后，其實(shí)際輸出、輸入為非線性關(guān)系，為表明經(jīng)過后續(xù)電路后，

11、其實(shí)際輸出、輸入為非線性關(guān)系，為減小后接電路的影響，一般減小后接電路的影響，一般R RL LRR，則近似為線性。，則近似為線性。UoRLRxR-RxUyxLRRLxx西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院2 2）分類）分類單圈電位器單圈電位器（一般用于音量控制（一般用于音量控制) )多圈電位器多圈電位器（精密調(diào)節(jié)電路中（精密調(diào)節(jié)電路中) )直線滑動(dòng)式電位器直線滑動(dòng)式電位器( (一般用于電視機(jī)、音響中作音量一般用于電視機(jī)、音響中作音量控制或均衡控制控制或均衡控制) ) 西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院3）優(yōu)點(diǎn)：）優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，性能穩(wěn)定；結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，性能穩(wěn)定；受環(huán)境溫度影響小；受環(huán)境溫度

12、影響?。蝗秉c(diǎn)缺點(diǎn):受骨架尺寸和導(dǎo)線直徑限制，分辨率很難高于受骨架尺寸和導(dǎo)線直徑限制，分辨率很難高于20um；磨損影響使用壽命，有較大噪聲，降低可靠性，繞制困磨損影響使用壽命，有較大噪聲，降低可靠性，繞制困難難應(yīng)用：應(yīng)用：主要用來測(cè)量線位移、角位移等。主要用來測(cè)量線位移、角位移等。西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院基于金屬導(dǎo)體的基于金屬導(dǎo)體的應(yīng)變效應(yīng)應(yīng)變效應(yīng)：即金屬導(dǎo)體在外力作：即金屬導(dǎo)體在外力作用下發(fā)生機(jī)械變形時(shí)，其電阻值隨著所受機(jī)械變用下發(fā)生機(jī)械變形時(shí)，其電阻值隨著所受機(jī)械變形形( (伸長(zhǎng)或縮短伸長(zhǎng)或縮短) )的變化而發(fā)生變化的現(xiàn)象。的變化而發(fā)生變化的現(xiàn)象。 1)金屬電阻應(yīng)變片金屬電阻

13、應(yīng)變片4.2.2 4.2.2 電阻應(yīng)變式傳感器電阻應(yīng)變式傳感器-應(yīng)變片應(yīng)變片金屬電阻應(yīng)變片金屬電阻應(yīng)變片半導(dǎo)體應(yīng)變片半導(dǎo)體應(yīng)變片測(cè)量應(yīng)變、力、位移、加速度等參數(shù)測(cè)量應(yīng)變、力、位移、加速度等參數(shù)西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院工作原理工作原理金屬應(yīng)變片的電阻金屬應(yīng)變片的電阻R R為為AlR/dAldAAldlAdR+2電阻絲截面積電阻絲長(zhǎng)度電阻率Al代入代入AlR/dRAdARldlRdR+時(shí)，電阻增量為：每一可變因素有一增量ddAdl,西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院dAdAldlRdR+電阻的相對(duì)變化為：電阻的相對(duì)變化為：金屬絲：金屬絲：2rAdrdrldlRdR+2金屬絲體

14、積不變：金屬絲體積不變：ldlrdr電阻絲橫向應(yīng)變:rdr電阻絲縱向應(yīng)變，即:ldlldlrdr/,:即泊松比系數(shù)西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院對(duì)金屬材料，電阻率不變或很小，即對(duì)金屬材料，電阻率不變或很小，即)21(+RdR0d表明電阻相對(duì)變化率與應(yīng)變成正比，比值表明電阻相對(duì)變化率與應(yīng)變成正比，比值S稱應(yīng)變系數(shù)或靈稱應(yīng)變系數(shù)或靈敏度，即：敏度，即：常數(shù)+21/ldlRdRS（取值一般在（取值一般在1.73.6）有：有：dRdR+2單位應(yīng)變所引起的電阻相對(duì)變化率單位應(yīng)變所引起的電阻相對(duì)變化率西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院應(yīng)變計(jì)結(jié)構(gòu)（由高電阻率的金屬絲繞成敏感柵，與基底、結(jié)構(gòu)（

15、由高電阻率的金屬絲繞成敏感柵，與基底、覆蓋層和引線等組成。）覆蓋層和引線等組成。）西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院分絲式和箔式，有單軸，多軸（應(yīng)變花)等多種類型 應(yīng)變片阻值一般有應(yīng)變片阻值一般有6060、9090、120120、200200、300300、500500、10001000等。等。西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院2）半導(dǎo)體應(yīng)變片）半導(dǎo)體應(yīng)變片dRdR+)21 (簡(jiǎn)化為：簡(jiǎn)化為：EdRdR基于半導(dǎo)體材料的基于半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)壓阻效應(yīng)：半導(dǎo)體材料沿某一軸向受到：半導(dǎo)體材料沿某一軸向受到外力作用時(shí)，電阻率發(fā)生變化。（或者溫度、光輻射）外力作用時(shí)，電阻率發(fā)生變化。（或者

16、溫度、光輻射）對(duì)半導(dǎo)體來說，對(duì)半導(dǎo)體來說， 由幾何尺寸引起，由幾何尺寸引起，)21 ( +)21 ( +d彈性模量壓阻系數(shù)；E西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院 優(yōu)點(diǎn)：靈敏度高優(yōu)點(diǎn)：靈敏度高; ;體積小體積小; ; 缺點(diǎn)：溫度穩(wěn)定性和可重復(fù)性不如金屬應(yīng)變片。缺點(diǎn)：溫度穩(wěn)定性和可重復(fù)性不如金屬應(yīng)變片。靈敏度：靈敏度：故靈敏度高其中：,21/+EERdRS金屬絲電阻應(yīng)變片金屬絲電阻應(yīng)變片利用導(dǎo)體形變引起電阻變化；利用導(dǎo)體形變引起電阻變化；半導(dǎo)體應(yīng)變片半導(dǎo)體應(yīng)變片利用半導(dǎo)體材料的電阻率變化引起電阻利用半導(dǎo)體材料的電阻率變化引起電阻變化。變化。（是金屬絲靈敏度的5070倍）西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院西

17、安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院2 2、應(yīng)變片的主要參數(shù)、應(yīng)變片的主要參數(shù) （4 4）其它表示應(yīng)變片性能的參數(shù)（）其它表示應(yīng)變片性能的參數(shù)（工作溫度、滯工作溫度、滯后、疲勞壽命、橫向靈敏度后、疲勞壽命、橫向靈敏度等）。等）。 （1 1）幾何參數(shù)幾何參數(shù)：絲柵寬度：絲柵寬度b b和表距和表距L L，常用，常用 b bL L表表示。示。（2 2）電阻值：電阻值：應(yīng)變計(jì)的原始電阻值。應(yīng)變計(jì)的原始電阻值。 （3 3）靈敏系數(shù)：靈敏系數(shù)：表示應(yīng)變片變換性能的重要參數(shù)。表示應(yīng)變片變換性能的重要參數(shù)。 西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院3、應(yīng)變片測(cè)量電路應(yīng)變片測(cè)量電路VER1R2R4R3采用轉(zhuǎn)換電路把電阻的變化轉(zhuǎn)換

18、為電壓或電流的變采用轉(zhuǎn)換電路把電阻的變化轉(zhuǎn)換為電壓或電流的變化，這種電路稱為化，這種電路稱為測(cè)量電路。測(cè)量電路。常用為常用為電橋電橋（直流和（直流和交流）交流）西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院1）直流電橋原理：）直流電橋原理：abcdI1I2R1R2R3R4UiUo當(dāng)電橋輸出端接較大的儀器或放大器時(shí)，當(dāng)電橋輸出端接較大的儀器或放大器時(shí)，可視為開路，電流輸出為零。可視為開路，電流輸出為零。idaiabURRRRIUURRRRIU4344221111+則輸出特性：則輸出特性：iiabdadboURRRRRRRRURRRRRRUUUU)()(43214231434211+若使電橋平衡，輸出電

19、壓為若使電橋平衡，輸出電壓為0，則：，則：4231RRRR西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院應(yīng)變片在電橋中的連接有三種基本線路：應(yīng)變片在電橋中的連接有三種基本線路：abcdI1I2R1R RR2R3R4UiUoabcdI1I2R2 RR3UiUoabcdI1I2UiUoR1R RR4R1R RR4 R RR3R RR2 R R單臂單臂半橋半橋全橋全橋即電橋平衡時(shí)，相對(duì)橋臂電阻的乘積相等。若橋臂即電橋平衡時(shí)，相對(duì)橋臂電阻的乘積相等。若橋臂電阻發(fā)生變化時(shí)，電橋失去平衡，則輸出電壓電阻發(fā)生變化時(shí)，電橋失去平衡，則輸出電壓U。西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院令令：R電阻變化為RRRRR4

20、321ioURRRRRRRRU)(+單臂為例：?jiǎn)伪蹫槔篿oURRRU+24忽略高次項(xiàng)，可得因?yàn)?RR ioURRU4SUUio4RdRldlRdRS/因?yàn)槲靼补I(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院工作方式單臂雙臂全橋應(yīng)變片所在橋臂R1R1,R2R1,R2,R3,R4輸出電壓UoSUi4SUi2SUi各臂電阻變化率相等的情況下：各臂電阻變化率相等的情況下：注意：R1或R1,R3產(chǎn)生R, R2或R2,R4產(chǎn)生-R（如：一個(gè)受拉，一個(gè)受壓）)(44321+SUUio表明各橋臂應(yīng)變對(duì)電橋輸出的影響相對(duì)橋臂應(yīng)變值相加，相鄰橋臂應(yīng)變值相減（加減特性）利用全橋可推出：西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院

21、2）溫度補(bǔ)償：）溫度補(bǔ)償：概念：概念：作為測(cè)量應(yīng)變的金屬應(yīng)變片，希望電阻值僅作為測(cè)量應(yīng)變的金屬應(yīng)變片，希望電阻值僅隨應(yīng)變變化，而干擾因素主要是隨應(yīng)變變化，而干擾因素主要是溫度變化溫度變化。原因：原因：電阻溫度效應(yīng)：電阻溫度效應(yīng)：tRR電阻溫度系數(shù)線膨脹系數(shù)不同產(chǎn)生的電阻變化：線膨脹系數(shù)不同產(chǎn)生的電阻變化：tSRR)(21其中：其中：1 1試件線膨脹系數(shù)試件線膨脹系數(shù) 2 2 電阻絲線膨脹系數(shù)電阻絲線膨脹系數(shù) S -應(yīng)變片靈敏度應(yīng)變片靈敏度西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院補(bǔ)償補(bǔ)償：（橋路補(bǔ)償和應(yīng)變片自補(bǔ)償?shù)确椒ǎ海蚵费a(bǔ)償和應(yīng)變片自補(bǔ)償?shù)确椒ǎ蚵费a(bǔ)償橋路補(bǔ)償 利用電橋相鄰的相等兩臂同時(shí)產(chǎn)生大小相等、符號(hào)相同利用電橋相鄰的相等兩臂同時(shí)產(chǎn)生大小相等、符號(hào)相同的電阻增量（加減特性），從而不會(huì)破壞電橋平衡的特性來的電阻增量（加減特性），從而不會(huì)破壞電橋平衡的特性來達(dá)到補(bǔ)償。達(dá)到補(bǔ)償。abcdI1I2UiUoR1R RR4R RR3R RR2R R全橋補(bǔ)償法全橋補(bǔ)償法abcdR1R RR3R4UiUoR2R R半橋補(bǔ)償法半橋補(bǔ)償法R1-工作片R2-溫度補(bǔ)償R1、 R2 -工作片R3 、R4 -溫度補(bǔ)償)(44321RRRRRRRRUUio+4231RRRR西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院西安工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院4