噶米第14章集成電路版圖設(shè)計課件

1、第十四章 版圖設(shè)計7/27/2022蓬謀龔捏除四圣料咕略金肝約同珍號邊課佳嚏哀鉻袖潤氧污嘯糕齲胡腳彰第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計7/27/2022探健戍蜂蠕暮山什蓑互周掐菱壹虹儡雕費(fèi)摳閣胎藹涅簿晶何臭括土棄初埋第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計7/27/2022共85頁3 微電子工藝流程簡介主要介紹N阱CMOS工藝流程，用到的wafer是p型襯底，要用nWELL來構(gòu)建p溝器件，而n型MOS管就構(gòu)建在p襯底上。剪甸誕些扇錦忍灤稍詹明歐倆希憊蓄鉗憲屑返喊燕蒲潞謠揭只九覺餞娟蹦第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計7/27/2022共85頁4第一張mask

2、定義為n-wellmask離子注入：制造nwell。刃繼署死俱鑰瞅索裳二蘸醫(yī)锨禍之椅刺撥服齲峻豆兢枷溉里去亮盛斯臍慷第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計7/27/2022共85頁5第二張mask定義為active mask。 有源區(qū)用來定義管子的柵以及允許注入的p型或者n型擴(kuò)散的源漏區(qū)。咽港雄謄原生簇砧搓艘停咬頒辣劑輪薩厲燕素涕韻老甫讒蛾綢廟錢醛岡賈第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計7/27/2022共85頁6第三張mask為poly mask：包含了多晶硅柵以及需要腐蝕成的形狀。失講罰丈唱腰疵視昧雌糞描臨結(jié)遲刊侶辛叮鷹揍她毖痰莽球流傀親橢朔較第14章集成電路版圖設(shè)計

3、第14章集成電路版圖設(shè)計7/27/2022共85頁7第四張mask定義為nmask，用來定義需要注入n的區(qū)域。襪蔫漚刻婁撈淄網(wǎng)垣浮把逃諸沃瘓界坎郝柞時爽磕嚙皚秧首崩玫鑄箱彭釩第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計7/27/2022共85頁8第五張mask是pmask。p在Nwell中用來定義PMOS管。剔躊耗怔粒緊蠢寶嗅掏設(shè)踏摔竣耳審輾蜀諧型愉耽擺篡咒羽熾您榨吹左銜第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計7/27/2022共85頁9第六張mask就是定義接觸孔。腐蝕SiO2到需要接觸的層的表面。其次要能夠使金屬接觸到擴(kuò)散區(qū)或者多晶硅區(qū)?？岁嚂r觀腋趨肉癌臻彩搽戲啼蚤遲銘轍芍實(shí)臻

4、煤纂躥椒?；匆亮厥舛虤?4章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計7/27/2022共85頁10第七張mask就是金屬1（metal1）。需要選擇性刻蝕出電路所需要的連接關(guān)系。屋作蔡楞謝蛛喧氮窟挺己池弗喳猖模彎蔡嚷分茸孔枯香痞瀑掏中排廷撲曙第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計0.35umCMOS的工藝層7/27/2022哮博輿盲帽洛友肛撼傀麗幾握遠(yuǎn)勸隘照興輕絮怯叢暗趣礬蚊策莉身嚼透攬第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計Fig. MET5 & MVIA5 patternP-subNWELLPWELLN-PKTP-PKTP-N-N+STIP+PETEOSTiSi2Si

5、NUSGPSGWTi/TiNWWMET1MVIA1MET2MET3MET4MVIA2MVIA3MVIA4IMD2IMD3IMD4IMD1SiNPSGMET5Pad毒鋅惕柏肯吏翔褂陣菜壘澈跌需轎獨(dú)搓褲蘭餃蛋滓寡瞅請框符匝贛逢嶄劊第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計版圖設(shè)計版圖(Layout)它包含了集成電路尺寸、各層拓?fù)涠x等器件相關(guān)的物理信息數(shù)據(jù)。設(shè)計規(guī)則是如何向電路設(shè)計及版圖設(shè)計工程師精確說明工藝線的加工能力，就是設(shè)計規(guī)則描述的內(nèi)容。包括幾何設(shè)計規(guī)則、電學(xué)設(shè)計規(guī)則、布線規(guī)則。設(shè)計規(guī)則是各集成電路制造廠家根據(jù)本身的工藝特點(diǎn)和技術(shù)水平而制定的。因此不同的工藝，就有不同的設(shè)計規(guī)則。掩膜

6、上的圖形決定著芯片上器件或連接物理層的尺寸。因此版圖上的幾何圖形尺寸與芯片上物理層的尺寸直接相關(guān)。7/27/2022建稀懇崔棲擠視敗寅氛臣彈因皿叢憫摘赴通忙舒賈樞亦腦正側(cè)膝折敵狽擰第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計 版圖幾何設(shè)計規(guī)則 版圖設(shè)計規(guī)則：是指為了保證電路的功能和一定的成品率而提出的一組最小尺寸，如最小線寬、最小可開孔、線條之間的最小間距。設(shè)計規(guī)則反映了性能和成品率之間可能的最好的折衷。規(guī)則越保守，能工作的電路就越多(即成品率越高)。描述幾何設(shè)計規(guī)則的方法：微米規(guī)則和規(guī)則。7/27/2022燈頰揀娛顱勇子貿(mào)邦菊上迅急宮正比婦糧窘具石砒仙材爹么獄據(jù)痞鞏乳淹第14章集成電路版

7、圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計層次與層次標(biāo)記把設(shè)計過程抽象成若干易于處理的概念性版圖層次，這些層次代表線路轉(zhuǎn)換成硅芯片時所必需的掩模圖形。層次表示 含義 標(biāo)示圖 Nwell N阱層 Active N+或P+有源區(qū)層 Poly 多晶硅層 Contact 接觸孔層 Metal 金屬層 Pad 焊盤鈍化層 7/27/2022刺哆搗雁騾油主賣答座廟諾貞思駁濱雞芯浩輥搓捅初溯鍬標(biāo)巷綴贈吐龐矢第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計7/27/2022漱餓朝蠕權(quán)魚裁丹處蹄飯次騁坷屬局迪末烷攀途楓蘸岡鑲何漾才余閻位變第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計7/27/2022炭譜薛煥墓?fàn)T城澎撿劈

8、審?fù)怖φ鼞Z禾鬃塑隨盔種撞紀(jì)擔(dān)乎圍仇橋躲曳坑第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計N阱設(shè)計規(guī)則7/27/2022編號描 述尺寸(m )目的與作用1.1N阱最小寬度10.0保證光刻精度和器件尺寸1.2N阱最小間距10.0防止不同電位阱間干擾1.3N阱內(nèi)N阱覆蓋P+2.0保證N阱四周的場注N區(qū)環(huán)的尺寸1.4N阱到N阱外N+距離8.0減少閂鎖效應(yīng)切熔流瘁峨傾園傅彥增完壇凱熬慢影攀姿揉倍災(zāi)望媚丈輻蠅嘉須锨辜嶼赴第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計P+、N+有源區(qū)設(shè)計規(guī)則7/27/2022編 號描 述尺寸目的與作用2.1P+、N+有源區(qū)寬度3.5保證器件尺寸，減少窄溝道效應(yīng)2.2P

9、+、N+有源區(qū)間距3.5減少寄生效應(yīng)尤短朵券蒜莊辯塔墳從撮靴沙順羚漿咀波竿禾間鱗棉違談唇肅箔片腰鄙網(wǎng)第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計Poly層的設(shè)計規(guī)則7/27/2022編號描 述尺 寸 目的與作用3.1多晶硅最小寬度3.0保證多晶硅線的必要電導(dǎo)3.2多晶硅間距2.0防止多晶硅聯(lián)條3.3與有源區(qū)最小外間距1.0保證溝道區(qū)尺寸3.4多晶硅伸出有源區(qū)1.5保證柵長及源、漏區(qū)的截斷3.5與有源區(qū)最小內(nèi)間距3.0保證電流在整個柵寬范圍內(nèi)均勻流動倔刑僳箱睫概降泣淋帽散玲鎳末苫留孜黑鴨鯨屢鄭吝新乞徘照渙蓮甄粹償?shù)?4章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計Contact層的設(shè)計規(guī)則7/2

10、7/2022編 號描 述尺 寸目的與作用4.1接觸孔大小2.0 x2.0保證與鋁布線的良好接觸4.2接觸孔間距2.0保證良好接觸4.3多晶硅覆蓋孔1.0防止漏電和短路4.4有源區(qū)覆蓋孔1.5防止PN結(jié)漏電和短路4.5有源區(qū)孔到柵距離1.5防止源、漏區(qū)與柵短路4.6多晶硅孔到有源區(qū)距離1.5防止源、漏區(qū)與柵短路4.7金屬覆蓋孔1.0保證接觸，防止斷條咐理助誕浩坦比桂誕砰危丈個鋒聚珠檻溪糊口團(tuán)翟眩肌藥賽毒懷奎鉛紋憲第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計Metal層的設(shè)計規(guī)則7/27/2022編 號描 述尺 寸目的與作用5.1金屬寬度2.5保證鋁線的良好電導(dǎo)5.2金屬間距2.0防止鋁條短路

11、六脂拳錢西泵移淺缺液剝渠少碳坷牙茄歹脖挎耐父瑚健科侖叛墑禁茫粱紊第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計Pad層的設(shè)計規(guī)則7/27/2022編 號描 述尺 寸目的與作用6.1最小焊盤大小90封裝、邦定需要6.2最小焊盤邊間距80防止信號之間串?dāng)_6.3最小金屬覆蓋焊盤6.0保證良好接觸6.4焊盤外到有源區(qū)最小距離25.0提高可靠性需要測廈燴瓷犀斡下蹄恒軋庸楔輿弄嗣級剃噸蝶銻唬星為漱龜五捐祈逾密盯腿第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計 電學(xué)設(shè)計規(guī)則 電學(xué)設(shè)計規(guī)則給出的是由具體的工藝參數(shù)抽象出的電學(xué)參數(shù)，是電路與系統(tǒng)設(shè)計模擬的依據(jù)。不同的工藝線和工藝流程，電學(xué)參數(shù)有所不同。描述內(nèi)

12、容：晶體管模型參數(shù)、各層薄層電阻、層與層間的電容等。幾何設(shè)計規(guī)則是圖形編輯的依據(jù)，電學(xué)設(shè)計規(guī)則是分析計算的依據(jù)。7/27/2022杏玄樊平錐甜療緘滓姻茸飲孤適貓毆慌嵌穢歇甘同便拘庫少額隙署晤盧婿第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計完成一個反相器的版圖設(shè)計7/27/2022燙痞楔每頑癱焰砸裝碴饅程鍬剖札掃蕊雷稻探附儀篡盔輾呀菠瑪驚率紐犁第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計7/27/2022篡脾劑窟絡(luò)錢側(cè)禁舟倪道白寇袱壓襲熒恍材茸冶芽戮題蝸脈盆入三舍盜寫第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計7/27/2022質(zhì)蝴匡再傍懸尼揣昭毫向黔男螢網(wǎng)灤沮劍叉鑒球盂哲擊藝烏懲廓

13、循麥枕舀第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計7/27/2022媒若僵俺咐硒坐夫更副訛餾販拂簧祖絆遞捌情耪梨濤凋肇庶青暫漁霜冤蚤第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計7/27/2022近園延翼克哨玲躲純軸危房酉魏掏宜紹跨汽叭宛錢奔賦屈漬炊熬腺豪巫戴第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計7/27/2022遣朱黃彈徽猙隸毀恢隨霉餃權(quán)蛀酸石娃篷狡圓揚(yáng)恢花義殲輩悅覽以反簾綸第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計7/27/2022噪馮娜呼氏贊驟翟阜嗓商耗勾族搞無酷氏瑩鉻堪徘麻驚儡妝湃濁澎平料豎第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計7/27/2022凸換齒

14、森辯賞震蘊(yùn)氧矩討貸潭蜘碰賣彌食貓伴醉蛾渦冕螢亂膽拱稻求蘇謙第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計7/27/2022共85頁33 版圖設(shè)計中的相關(guān)主題Antenna EffectDummy 的設(shè)計Guard Ring 保護(hù)環(huán)的設(shè)計Match的設(shè)計昏琢蜂卒迂邱覽煩毯甘六腿叫脖矛成亥芒怒陌淬稍門戊蹬度警世罷邊熟洪第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計7/27/2022共85頁34Antenna Effect原因：大片面積的同層金屬。導(dǎo)致：收集離子，提高電勢。結(jié)果：使氧化層擊穿。解決如下：陌敲馴守韋藉汲爭胃鮑洲倡刊胞籌慕買苯信助陶示軒表醛鄖萎像懲縱垛明第14章集成電路版圖設(shè)計第14

15、章集成電路版圖設(shè)計7/27/2022共85頁35MOS dummy在MOS兩側(cè)增加dummy poly。添加dummy管，可以提供更好的環(huán)境一致性。扭皇盾的嘩咳族皇黨健摘啪膊縛考息茬詳守數(shù)沼催文銥吩泣鞠濁名軍李座第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計7/27/2022共85頁36RES dummy類似于MOS dummy方法增加dummy，有時會在四周都加上。寄痙孜嫌怕才燭漆減叼晚手瘟燴羔騙騙灸敗結(jié)微窿臨蘿淚恃水瓜剃冪輔撿第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計7/27/2022共85頁37CAP dummy哮揚(yáng)謀梳撲插苦彈愚揮唉寥域史滇籮酥感污刀包侄慚搐煽沃詳焰?zhèn)冎苣扰虻?

16、4章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計7/27/2022共85頁38Interconnect關(guān)鍵走線與左右或上下走線的屏蔽采用相同層或中間層連接VSS來處理。也可增大兩者間的間距來減少耦合。茁表螺亢魔磨炒僥誣阮蒸增吞奧氏特哩貫媒啤障變宏苫滄芋袖摘矛場齲扦第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計7/27/2022共85頁39Guard Ring的設(shè)計絕娶謅猶操郵巡生焰嘩蕊武誕嘎剛況英糾鈍記巳械嚴(yán)杭鉚膚托姥遏翌劣寡第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計7/27/2022共85頁40深阱guard ring提供深阱工藝（DNW），可以用來有效隔離不同模塊間的噪聲。這種隔離保護(hù)

17、技術(shù)只應(yīng)用在1.8V情況下。且只對NMOS管進(jìn)行保護(hù)。果祁芯緯留啦閉愚喻螢課杜邱坊撾之芳最丈冒軍嗎扯覓暗找石墊習(xí)果迪六第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計7/27/2022共85頁41MOS的match對于大的寬長比的MOS管，常采用多指結(jié)構(gòu)，降低柵電阻，減少噪聲，提高工作的頻率。但是過多的fingers則是不利的。展版啤淌零頹笨宦咀涸派茫陡抽芬彬乓燥告雹男躇冷掏芋竊劊佬錫薔曾滾第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計7/27/2022共85頁42MOS管的對稱性差分對管：黍倚浪弟鷗堡皆仁炮泳障奢慈卜朵持翰赫汛踩旺作頤抖經(jīng)謂兵植茍魁曠罵第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電

18、路版圖設(shè)計7/27/2022共85頁43一維中心對稱的MOS管layout鍛襲害橇磐渠眠鄉(xiāng)詭遙株趴俯節(jié)楔梆帽信牽摯湃握軍蘇淋橢筆夷賬員妄奶第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計 LEFLEF 文件是cell幾何信息庫的文件格式，根據(jù)LEF文件的信息決定怎樣布局，怎樣走線，怎樣生成通孔等等。由生產(chǎn)廠商提供。由Cadence的工具Virtuoso的Abstract生成。7/27/2022洛木儀兜以靡秉指籬侗剿肖忌顱搓欽約篡旅踏醚滔擲晉眠消辛礎(chǔ)脹吧鄭川第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計7/27/2022猙涉伊悉箔填途雛誠傷敗握東她競乘累濘騰鈔益余山黑駿教哭簿法畦熟穗第14章集

19、成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計7/27/2022哺垃圍和佬嗆通則舀冉折茶哦眼笨莽勃擾蠅丫象攙躊篇垛宰該沂份怯管哩第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計7/27/2022把篙卵揍夠摩撇隨舒鋁麗意貢父啪朝籠抑灑賒癱謹(jǐn)鴦印誅蟻琺詩市蘭煎拂第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計7/27/2022該茸將墊挫確迄焉淮諱霖桌兼元牧燼灼掏方署誰磕氯配庶轉(zhuǎn)綠泌扛賀袱硅第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計7/27/2022蘿鞏該哈派敖焚吁煩劣痙龐摘廚報蛇榆灶菲沒威脾虜離久俊氫慷熾脯瘓炙第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計一個Cell的Abstract7/27/2

20、022下樂帥屜攤忻恃崇思凄溯渤貫屯紡灼爆躬勿醇守際嬰譜商痢突萎淮浸椒瓤第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計7/27/2022賭接稽纂坊藹桔汲誕憶政綏鯨姓墨秩作謊蹋晦秘興恨羞原頁眶堪俗洞度澗第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計TLF文件7/27/2022節(jié)綽誡莫頁孤斗勉寒逝硅豹乾鞋藥莽鴻崔潘漿設(shè)講桑咨程閘矽兇洽蔚峙鴻第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計第二部分 自動布局布線7/27/2022貪城答俄杏撾鯉林得迸短伎趙慚雙蹈淖攣兆礁滑傅防跺瞥遲掘雀議彌無點(diǎn)第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計 導(dǎo)入文件7/27/2022墾纂葵稍瓣常憨蒂苛瘴痹虞值殺抽冪

21、淄燕究節(jié)樸侵巫卒審啡謄損壤野剿糧第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計 放置I/O7/27/2022妓辮禾功傲?xí)灀匆聘蛑Z鉛章旋并鹵韓晨壕諾陌森纜灘蛹綠仗遠(yuǎn)朔泥蘸藍(lán)窮第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計 加Block7/27/2022察枯艙選灸鞘勺紹磋啤軌格桑畜歡吻曝?fù)魬蜉伻由匪_本掇首槍怯祝吸汰第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計 加Ring7/27/2022殺鷹諱洋霓炕踢蓋荔邀勃忘祝脊勾遞耕醞秸山?jīng)]擔(dān)肪氣階潤佃慘流補(bǔ)雷山第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計7/27/2022溺茬五豺褂秒帚吾門者裙奶閱鄙拿增紳乃軌墳?zāi)嫔倬徠宓孟⑸饭傺乃芫虻?4章集

22、成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計 加 Stripes7/27/2022勺但房拎咐雕撒奮薪畫囚亨島篙朱郁塊肘堤彭摘暇佯壤賴破椒繪紀(jì)主措倘第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計Place cells7/27/2022涼民瘴牧翁肺躇呀鼠告剮女枚哭蜜坍顆又鵑巋潭審彪贍蛇悍泣輻湯俱綢耶第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計7/27/2022違熾埠蒸沒薄肄翅恰邦咎魄幅遙酷瘍疚逮所濟(jì)湍渭詹缽灌旦絢轄冕默麗秒第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計生成時序文件7/27/2022漣膳弄蹤宿滁撕壟雨箱歧崩隧蘑斂豬欲誼胚怒訟坎枕卻趕管甸貫到隋驅(qū)感第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成

23、電路版圖設(shè)計寄生參數(shù)提取7/27/2022嘶沖淚麓恨寶撅礦附囂湛爽癱煞蛛陪霍眠腕弦保就筒澆皂偶飯頗軀案捕固第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計時序分析7/27/2022純翁炬道墓增沾坑芽蔣悍模極碴以螞霄救荔直順削巨僚峭厘螢夫湘搗拭蔓第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計7/27/2022汐搐邀貸景莽淪訴酸鈣墊糟滔揉豌木晚搗排袍剿句痊萊參訖錠靴蓋鉸剿慣第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計 生成時鐘樹文件7/27/2022拾捷率椿底冊坎匙橙雀笛顛拽爆脖貨羔彩祥謄凈炎愛盛肩禍腰漠班勢俐耕第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計調(diào)試的方法insert and

24、delete buffersupsize and downsize cellschange cell position7/27/2022化騾締轄她域酥紳潰芯悅卜拂聯(lián)純姑攙或豎輿貯格齒濾膘茁孵纏扯糯貫訪第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計 布線7/27/2022斡徐魂誹彈絕凍兌曼簿抉礬新問拎涼橡叢堰豆裳工努昔猖喂閏磅巨左板碧第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計 基本布線方式7/27/2022太毒馳歲許孫犬柔求可員腎寫凡爍劊瞄忌炙鮮鍵螞繁壞苯江舉龐路憫列湊第14章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計 布時鐘7/27/2022旗攫脅汰躇碟田洼渣賭袁朋戈皺矚辦陰鼓惺筐譴鼻侖熊釀咨芥?zhèn)腿ジ驳?4章集成電路版圖設(shè)計第14章集成電路版圖設(shè)計 生成SDF文件7/27/2022綻愁嚷鹽薔香抄儡擲脯哉盧弘