mks spectra介紹殘余氣體分析儀

MKSMKS萬機(jī)儀 全球化架總部位 波士5616萬機(jī)儀 總50年發(fā)展經(jīng)2006年?duì)I業(yè)額為7.832010年?duì)I業(yè)額為8.5315全球2700員納斯達(dá)克上市 代碼MKSMKSSpectraMKSMKSSpectra11,000ft2Employs46people(36inCrewe+10Design,development,andmanufactureofgasysisequipmentBroadrangeofmarkets&productsSemiconductorfabs&HighenergyProcessIndustrialthinQMSsystemsforAPFuelcells&MKSMarkets,Applications&RGAMarketSemiEndIonVision1000B,Vision1000CVision1000C/E,Vision1000EVision1000P/HPQ2Vision1000I/HPQ2TOOLWebRGAAllIndustrialThinFilmEndLargesurfaceareacoatingDisk&headmanufactureDecorativecoatingMachinetoolcoatingSolarVisionHGST,CardinalGlass,FirstSolarGuardian,GeneralelectricSemi&ThinFilmIntegrationtoprocesstoolsBaselinemonitoringProcessMicrovisionPlusMicrovisionIPAviza,AMAT,Varian,Veeco,VonHighEnergyMicrovisionPluswithradiationresistantcables&UHVionDiamond,ESRFFermi,SLACVacuumKlystronNightvision/LightMicrovisionPlusMicrovisionIPeVisionMKSMarkets,Applications&RGAMarketTypicalGeneralResearch&SurfacescienceThermaldesorptionGeneralHV&MicrovisionPluseVisionPlusUHVionsourceResearchinstitutesGasSupplyContaminantmonitoringGasysisAirProductsAirLiquideDifferentialthermalResearchinstitutesFuelCells/GeneralcatalysisPolymerelectrolytemembranesSolidoxidefuelcellsFuelcellmanufacture&JohnsonMatheyRollsRoyce(Europe)Aerospace/MaterialsHeattreatmentprocessesVacuumfurnacesMicrovisionPlusMicrovisionIPGeneralInstrumentmanufacturersElectronmicroscopyQuadbasedinstrumenteVisionPlusSubMillbrook(Europe)AlphaMOS(Europe)MKSRGA(ResidualGasyzer余氣體分析儀 定定 Xe Xe組成氣體分壓的總和 離子–四極桿質(zhì)量過濾檢測推籠（帶負(fù)電壓源籠（帶正電壓加速電極板（帶負(fù)電壓（帶負(fù)電壓源籠里面為被測氣體分子原子。燈絲通電后會發(fā)射帶負(fù)電的電子，它受到帶負(fù)電推籠的推力飛向源籠，同時受到帶正電的源籠的引力，加速飛向源籠內(nèi)。加速的電子與源籠里面為被測氣體分子/焦板的引力，會加速從此兩電極板孔中穿過。 GoodchoiceforthemajorityofRunsathightempsoliableto‘burn’iftohighThorium Commonifhighpressureburstsarea(coatedon Notresilienttochlorineor-DC/-DC/四極桿上施加各一組極性相反的直流/足夠長的極桿提供的過濾周更高的射頻頻率等效于的過濾周高增高增法拉10-11低增M+10-1410-14M+M+800 zero法拉第檢測10-4mbar250℃光電倍增檢測僅能工作在10-6mbar不能工作在高于50℃片，分子–氬原子質(zhì)量是

1 當(dāng)失去一個電子時，其質(zhì)荷比是40/140當(dāng)失去兩個電子時，其質(zhì)荷比是40/220例子二氧化碳其峰值出現(xiàn)在44CO2+28CO+16O+12

CarbonDioxide?

PeakPeak0 81012141618202224262830323436384042444648Mass/Charge總壓力是1.1x10-壓總壓力是1.1x10-

65%氮?dú)?8%15%2%氬氣,100高真空清潔系統(tǒng)化學(xué)氣相濺泵油污輕有機(jī)重有機(jī)MicroVisionHighPerformanceApplications,預(yù)過濾預(yù)過濾分析儀能改善沾污，提高敏三過濾雙過濾單過濾(4吋傳輸率(對數(shù)標(biāo)尺

質(zhì)量

基本型質(zhì)譜 10-4mbar(總壓)到10-14mbar(分壓100ppb檢測極高壓性 10mbar(總壓)到10-10mbar(分壓10ppm檢測極帶真空泵系 大氣壓到10-14mbar(分壓100ppb檢測極常壓性CIRRUS2 大氣100ppb檢15ppb檢測極Products-PressureCirrus從ppb易于操作和CirrusCirrus2CirrusCirrus(低噪聲(高信號提供較高的溫度以減少效Cirrus2系統(tǒng)介（續(xù)70l/s4頭高壓縮,隔膜80℃時切斷電子系24VCirrus系統(tǒng)四極桿分析儀Capillary

TotheBacking

EndofQuadrupoleElectronEntryCirrusCirrus2低、快速響應(yīng)氣惰性的搪瓷毛細(xì)不銹鋼毛細(xì)管可選加熱到150℃以防止取樣氣體冷300更好的取樣傳輸特小體適合各種特殊應(yīng)用需容易ProcessProcessEyeProfessional基于Windows2000,XP數(shù)據(jù)顯示用單Recipe（菜單式）驅(qū)動自動操作和用戶定義和警(靈活的數(shù)據(jù)顯示包括雙“條形圖/CirrusPCCirrusCirrus2多氣流帶壓力補(bǔ)償?shù)亩鄽饬鰿irrusCirrus2的選件48,16ProcessEyeProcessEye軟件若選擇自動，可帶閥帶閥(選件這個選件類似于先前介紹的多氣體選但一個氣體閥動態(tài)地調(diào)整