GB/T 1557-2006硅晶體中間隙氧含量的紅外吸收測量方法

ICS77.040.01H17中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T1557—2006代替GB/T1557--1989、GB/T14143-1993硅晶體中間隙氧含量的紅外吸收測量方法Themethodofdetermininginterstitialoxygencontentinsiliconbyinfraredabsorption2006-07-18發(fā)布2006-11-01實施中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T1557—2006本標(biāo)準(zhǔn)是對GB/T1557—1989、GB/T14143-1993進行的整合修訂。本標(biāo)準(zhǔn)在原標(biāo)準(zhǔn)基礎(chǔ)上.修改采用ASTMF1188:2000《用紅外吸收法測量硅中間隙氧原于含量的標(biāo)準(zhǔn)方法》.本標(biāo)準(zhǔn)與ASTMF1188:2000的一致性程度為修改，其差異如下：-刪去了ASTMF1188:2000第1章“范圍”中涉及方法原理、安全的1.3、1.4條及第5章“意義和用途”：將將ASTMF1188:2000第8章“儀器測試”和第10章“測量步驛”并為第8章“測量步驃”：本標(biāo)準(zhǔn)與原標(biāo)準(zhǔn)相比主要變動如下：采用ASTMF1188:2000第7章“儀器"(刪去其中7.2條)作為第6章“測量儀器"用ASTMF1188:2000第11章“計算”中的計算公式替代原（B/T1557—1989.GB/T14143-1993的計算公式；參照ASTMF1188:2000增加了"術(shù)語”章和"干擾因素”章；參照ASTMF1188:2000增加了采用經(jīng)認(rèn)證的硅中氧含量標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)對光譜儀進行校準(zhǔn)的內(nèi)容：參照ASTMF1188:2000將原GB/T1557-1989、GB/T14143—1993規(guī)定的“本標(biāo)準(zhǔn)適用于室溫電阻率大于0.1Q·cm的硅品體”改為“本標(biāo)準(zhǔn)適用于室溫電阻率大于0.1Q·cm的n型硅單品和室溫電阻率大于0.5·cm的p型硅單品"；-采用ASTMF1188:2000中規(guī)定的0.04cm～0.4cm樣品厚度范圍替代原GB/T15571989、GB/T14143-1993規(guī)定的樣品厚度范圍：規(guī)定的氧含量測量范圍替代原GB/T1557—1989、GB/T14143—1993的測量范圍：刪去了原GB/T1557—1989、GB/T14143-1993的附錄，采用ASTMF1188:2000的附錄X1作為本標(biāo)準(zhǔn)的附錄A.本標(biāo)準(zhǔn)的附錄A是資料性附錄本標(biāo)準(zhǔn)自實施之日起,同時代替GB/T1557—1989、GB/T14143-1993.本標(biāo)準(zhǔn)由中國有色金屬工業(yè)協(xié)會提出。本標(biāo)準(zhǔn)由全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：峨眉半導(dǎo)體材料廠。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：梁洪、草銳兵、王炎本標(biāo)準(zhǔn)由全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會負(fù)責(zé)解釋。本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為：GB/T1557-1989、—GB/T14143-1993

GB/T1557—2006硅晶體中間隙氧含量的紅外吸收測量方法1范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了采用紅外光譜法測定硅單品中的間隙氧含量的方法本標(biāo)準(zhǔn)適用于室溫電阻率大于0.12·cm的n型硅單品和室溫電阻率大于0.52·cm的p型硅單品中間隙氧含量的測量。本標(biāo)準(zhǔn)測量氧含量的有效范圍從1×10*at·cm-到硅中間隙氧的最大固溶度2規(guī)范性引用文件下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件,其隨后所有的修改單(不包括勒誤的內(nèi)容)或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn).然而，鼓勵根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。GB/T14264半導(dǎo)體材料術(shù)語ASTME131分分子光譜有關(guān)術(shù)語術(shù)語和定義GB/T14264和ASTME131確立的以下術(shù)語和定義適用于本標(biāo)準(zhǔn)31色散型紅外光譜儀dispersiveinfraredspectrophotometer-種使用棱鏡或光柵作為色散元件的紅外光譜儀。它通過振幅-波數(shù)(或波長)光譜圖獲取數(shù)據(jù)3.2傅立葉變換紅外光譜儀Fouriertransforminfraredspectrophotometer一種通過傅立葉變換將由干涉儀得到的干涉譜圖轉(zhuǎn)換為振幅-波數(shù)（或波長)光譜圖來獲取數(shù)據(jù)的紅外光譜儀。3.3參比光譜referencespectrum參比樣品的光譜。當(dāng)用雙光束光譜儀測量時,它可以通過直接將參比樣品放人樣品光路.讓參比光路空著獲得；在用單光束光譜儀測量時,它可以通過由紅外光路中獲得的參比樣品的光譜計算扣除背景光譜后獲得3.4洋品光譜sampleSPectrum測試樣品的光譜。當(dāng)用雙光束光譜儀測量時,它可以通過直接將測試樣品放入樣品光路,讓參比光路空著獲得;在用單光束光譜儀測量時,它是由測試樣品放入紅外光路獲得的光譜扣除背景光譜后算出的4方法原理使用經(jīng)過校準(zhǔn)的紅外光譜儀和適當(dāng)?shù)膮?/p>