標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 15862-2012 離子注入機(jī)通用規(guī)范》相比于《GB/T 15862-1995 離子注入機(jī)通用技術(shù)條件》，主要在以下幾個(gè)方面進(jìn)行了調(diào)整和更新：

  1. 技術(shù)內(nèi)容的擴(kuò)充與細(xì)化：2012版標(biāo)準(zhǔn)在原有基礎(chǔ)上，對離子注入機(jī)的技術(shù)要求進(jìn)行了更全面和細(xì)致的規(guī)定，涵蓋了設(shè)備性能、安全要求、測試方法等多個(gè)維度，以適應(yīng)技術(shù)進(jìn)步和應(yīng)用發(fā)展的需求。

  2. 安全標(biāo)準(zhǔn)的提升：隨著對安全生產(chǎn)重視程度的提高，新版標(biāo)準(zhǔn)加強(qiáng)了對離子注入機(jī)安全性能的要求，包括電氣安全、輻射防護(hù)及操作人員的安全保障措施，確保設(shè)備在使用過程中的安全性。

  3. 環(huán)境適應(yīng)性要求：考慮到不同使用環(huán)境下設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行，2012版標(biāo)準(zhǔn)增加了對離子注入機(jī)環(huán)境適應(yīng)性的規(guī)定，如溫度、濕度、潔凈度等環(huán)境因素對設(shè)備性能的影響及相應(yīng)的要求。

  4. 能效與環(huán)保要求：隨著節(jié)能減排理念的推廣，新標(biāo)準(zhǔn)引入了能效指標(biāo)和環(huán)保要求，鼓勵(lì)采用節(jié)能技術(shù)，減少在運(yùn)行過程中對環(huán)境的影響。

  5. 測試與檢驗(yàn)方法的標(biāo)準(zhǔn)化：為保證檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性和可比性，2012版標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)規(guī)定了離子注入機(jī)各項(xiàng)性能指標(biāo)的測試方法和檢驗(yàn)程序，提升了評估的一致性和科學(xué)性。

  6. 國際標(biāo)準(zhǔn)的接軌：新版標(biāo)準(zhǔn)在制定過程中參考了國際上的先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)和技術(shù)成果，增強(qiáng)了與國際標(biāo)準(zhǔn)的兼容性，有利于提升我國離子注入機(jī)產(chǎn)品的國際市場競爭力。

  7. 術(shù)語和定義的更新：為了反映技術(shù)發(fā)展和行業(yè)共識(shí)，標(biāo)準(zhǔn)對一些關(guān)鍵術(shù)語和定義進(jìn)行了修訂或新增，提高了標(biāo)準(zhǔn)的清晰度和實(shí)用性。


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....

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  • 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 2012-11-05 頒布
  • 2013-02-15 實(shí)施
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GB/T 15862-2012離子注入機(jī)通用規(guī)范_第1頁
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文檔簡介

ICS31-550

L97

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T15862—2012

代替

GB/T15862—1995

離子注入機(jī)通用規(guī)范

Generalspecificationofionimplantationequipment

2012-11-05發(fā)布2013-02-15實(shí)施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T15862—2012

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)代替離子注入機(jī)通用技術(shù)條件

GB/T15862—1995《》。

本標(biāo)準(zhǔn)與相比主要變化如下

GB/T15862—1995:

由代替

———GBn193—1983GB/T13384—1992;

增加術(shù)語注入角度見最大晶片傳輸效率見并在性能指標(biāo)及測試方法中做

———“”(3.6)、“”(3.7),

相應(yīng)要求見

(6.4.6);

環(huán)境溫度調(diào)整為相對濕度規(guī)定范圍見

———23℃±2℃;30%~50%(5.1.3);

安全要求中增加警示標(biāo)識(shí)的條款見

———“”(6.3.1);

去掉表表

———3、4;

均勻性測量增加了熱波探針法測量條件和方法見

———(6.4.4.1b));

重復(fù)性測量增加了批間重復(fù)性測量方法見

———(6.4.5.2);

檢驗(yàn)規(guī)則去掉例行檢驗(yàn)項(xiàng)

———。

本標(biāo)準(zhǔn)由中華人民共和國工業(yè)和信息化部提出

。

本標(biāo)準(zhǔn)由中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究所歸口

。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所

:。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人郭健輝彭立波羅宏洋

:、、。

本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為

:

———GB/T15862—1995。

Ⅰ

GB/T15862—2012

離子注入機(jī)通用規(guī)范

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了離子注入機(jī)的術(shù)語產(chǎn)品分類技術(shù)要求試驗(yàn)檢驗(yàn)規(guī)則和標(biāo)志包裝運(yùn)輸貯存

、、、、、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體工藝用電能離子注入機(jī)其他離子注入機(jī)亦可參照使用

。。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

包裝儲(chǔ)運(yùn)圖示標(biāo)志

GB/T191

包裝運(yùn)輸包裝件基本試驗(yàn)第部分正弦定頻振動(dòng)試驗(yàn)方法

GB/T4857.7—20057:

設(shè)備可靠性試驗(yàn)恒定失效率假設(shè)下的失效率與平均無故障時(shí)間的驗(yàn)證試

GB/T5080.7—1986

驗(yàn)方案

運(yùn)輸包裝收發(fā)貨標(biāo)志

GB/T6388—1986

機(jī)電產(chǎn)品包裝通用技術(shù)條件

GB/T13384—1992

機(jī)械安全指示標(biāo)志和操作第部分關(guān)于視覺聽覺和觸覺信號(hào)的要求

GB18209.1、1:、

電子工業(yè)專用設(shè)備通用規(guī)范

SJ/T142

金屬鍍層和化學(xué)處理層質(zhì)量檢驗(yàn)技術(shù)要求

SJ/T1276

涂料涂覆通用技術(shù)條件

SJ/T10674

3術(shù)語

下列術(shù)語和定義適用于本文件

。

31

.

束能量beamenergy

到達(dá)靶上離子所具有的動(dòng)能

。

注單位為電子伏特

:(eV)。

32

.

著靶束流beamcurrentontarget

單位時(shí)間內(nèi)靶上接收到的離子束電荷量

。

注單位為安培

:(A)。

33

.

均勻性uniformity

表征注入離子劑量不均勻的程度用相對標(biāo)準(zhǔn)偏差表示

。。

34

.

重復(fù)性repeatability

表征片間或批間在相同

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