標準解讀

《GB/T 39163-2020 靶材與背板結合強度測試方法》是一項國家標準，主要針對靶材（如用于半導體、顯示器等行業(yè)的濺射靶材）與其支撐材料（背板）之間的粘結強度進行評價。該標準規(guī)定了測定靶材和背板之間結合力的方法，旨在為相關行業(yè)提供統(tǒng)一的測試依據(jù)。

標準中介紹了幾種不同的測試方法，包括但不限于拉伸試驗、剪切試驗以及剝離試驗等，每種方法都有其特定的應用場景和技術要求。例如，在進行拉伸試驗時，需要將樣品制備成一定規(guī)格，并通過專用設備施加均勻的外力直至靶材與背板分離；而剪切試驗則是模擬實際使用過程中可能遇到的側向力作用情況，考察兩者間在水平方向上的抗剪性能；剝離試驗則側重于評估沿著界面逐漸施力條件下材料間的脫粘行為。


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....

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  • 2020-11-19 頒布
  • 2021-10-01 實施
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文檔簡介

ICS19060

H22.

中華人民共和國國家標準

GB/T39163—2020

靶材與背板結合強度測試方法

Testmethodsofthebondingstrengthfortarget-backingplateassemblies

2020-11-19發(fā)布2021-10-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標準化管理委員會

GB/T39163—2020

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由中國有色金屬工業(yè)協(xié)會提出

。

本標準由全國有色金屬標準化技術委員會歸口

(SAC/TC243)。

本標準起草單位有研億金新材料有限公司有色金屬技術經(jīng)濟研究院寧波江豐電子材料股份有

:、、

限公司山東淄博漢能薄膜太陽能有限公司貴研鉑業(yè)股份有限公司

、、。

本標準主要起草人丁照崇陳明趙永善熊曉東賀昕林若虛李勇軍張曉娜曹歡歡王云能

:、、、、、、、、、、

袁海軍李利利曹曉萌張靜王傳軍

、、、、。

Ⅰ

GB/T39163—2020

靶材與背板結合強度測試方法

1范圍

本標準規(guī)定了靶材與背板結合強度測試方法

。

本標準適用于微電子領域鍍膜用靶材與背板結合強度測試方法

。

注靶材與背板結合方式包括釬焊傳統(tǒng)焊料導電銀膠納米箔焊接等擴散焊電子束或激光焊爆炸焊摩擦

:(、、)、、、、

焊機械復合冷噴涂熱噴涂等

、、、。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

金屬材料拉伸試驗第部分室溫試驗方法

GB/T228.1—20101:

金屬材料拉伸試驗第部分高溫試驗方法

GB/T228.22:

數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定

GB/T8170

金屬材料力學性能試驗術語

GB/T10623

靜力單軸試驗機的檢驗第部分拉力和或壓力試驗機測力系統(tǒng)的檢驗與

GB/T16825.11:()

校準

3術語和定義

界定的以及下列術語和定義適用于本文件為了便于使用以下重復列出了

GB/T228.1—2010。,

中的某些術語和定義

GB/T228.1—2010。

31

.

靶材target

在濺射沉積技術中的陰極部分該陰極材料在帶正電荷的陽離子撞擊下以分子原子或離子的形

。、

式脫離陰極而在陽極表面沉積由靶坯和背板組成

。。

32

.

靶坯targetblank

陰極上用作濺射材料的部分

。

33

.

背板backingplate

用來支撐或固定靶坯的部分

。

34

.

最大力maximumforce

F

m

試樣在屈服階段之后所能抵抗的最大力對于無明顯屈服連續(xù)屈服的材料為試驗期間最大

。(

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