微機(jī)械行業(yè)及其微細(xì)加工技術(shù)

一、引言

隨著微／納米科學(xué)與技術(shù)(Micro/NanoScienceandTechnology)的發(fā)展，以本身形狀尺寸微小或操作尺度極小為特征的微機(jī)械已成為人們在微觀領(lǐng)域認(rèn)識和改造客觀世界的一種高新技術(shù)。3.6微機(jī)械及其微細(xì)加工技術(shù)3.6微機(jī)械及其微細(xì)加工技術(shù)微機(jī)械是80年代末出現(xiàn)的一門嶄新的學(xué)科，被譽(yù)為21世紀(jì)最具代表性的技術(shù)之一。微機(jī)電系統(tǒng)與微電子學(xué)、信息學(xué)、材料科學(xué)和納米技術(shù)的發(fā)展等密切相關(guān)。被公認(rèn)為21世紀(jì)的重點(diǎn)發(fā)展學(xué)科，是國家重點(diǎn)發(fā)展的高技術(shù)產(chǎn)業(yè)。微機(jī)電系統(tǒng)是微電子技術(shù)的延伸和拓寬，通過傳感器、致動器、信號處理、控制等多項(xiàng)功能，與外部世界有機(jī)聯(lián)系起來。

微機(jī)電系統(tǒng)的概念始于20世紀(jì)80年代，一般泛指尺度在亞微米至亞毫米范圍內(nèi)的裝置。在不同國家和地區(qū)有不同的術(shù)語和解釋：美國稱作MicroElectro-MechanicalSystem-MEMS（微型電-機(jī)系統(tǒng)）微型電-機(jī)系統(tǒng)是由電子和機(jī)械組成的集成化器件或系統(tǒng)，采用與集成電路兼容的大批量處理工藝制造，尺寸在微米到毫米之間。3.6微機(jī)械及其微細(xì)加工技術(shù)在歐洲則稱作MicroSystem（微系統(tǒng)）是指具有微米級結(jié)構(gòu)，可以批量制作的、集微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、甚至外圍接口、通信電路和電源等于一體的微型器件或系統(tǒng)。在日本稱作MicroMachine（微機(jī)器）微機(jī)器由只有幾毫米大小的功能元件組成，它能夠執(zhí)行復(fù)雜、細(xì)微的任務(wù)。3.6微機(jī)械及其微細(xì)加工技術(shù)3.6微機(jī)械及其微細(xì)加工技術(shù)微機(jī)電系統(tǒng)是指特征尺寸在微米至毫米范圍內(nèi)，由電子和機(jī)械組成的集成化器件或系統(tǒng)。按外形尺寸，微機(jī)械可劃分為110mm的微小型機(jī)械,1m1mm的微機(jī)械，以及1nm1m的納米機(jī)械。圖13.6微機(jī)械及其微細(xì)加工技術(shù)微機(jī)電系統(tǒng)器件不能用總尺寸來定義，而用特征尺寸來表征。特征尺寸：決定器件性質(zhì)和加工工藝的關(guān)鍵尺寸。如擴(kuò)散硅壓力傳感器的膜厚。

由于微機(jī)電系統(tǒng)的基于微電子技術(shù)的背景（從微機(jī)械的加工方法來看，它主要起源于硅集成制造技術(shù)），使其具有集成電子器件所具有的微小、可靠、靈敏、低耗、高效、成本低、適于大批量生產(chǎn)等系列優(yōu)點(diǎn)。3.6微機(jī)械及其微細(xì)加工技術(shù)微機(jī)械具有以下幾個(gè)基本特點(diǎn)：1.體積小(特征尺寸范圍為lnm～10mm)，精度高，重量輕，慣性小。2.性能穩(wěn)定，可靠性高。微機(jī)械器件體積極小，封裝后幾乎可以擺脫熱膨脹、噪聲和撓曲等因素的影響，具有較高的抗干擾性，可以在比較惡劣的環(huán)境下穩(wěn)定工作。3.6微機(jī)械及其微細(xì)加工技術(shù)3.能耗低，靈敏性和工作效率高（響應(yīng)時(shí)間短）。完成相同的工作，微機(jī)械所消耗的能量僅為傳統(tǒng)機(jī)械的十幾或幾十分之一，卻能以數(shù)十倍以上的速度運(yùn)作。微機(jī)電系統(tǒng)不存在信號延遲等問題，從而更適合高速工作。4.多功能和智能化。集約高技術(shù)成果，附加價(jià)值高。5.適于大批量生產(chǎn)，制造成本低廉。3.6微機(jī)械及其微細(xì)加工技術(shù)具有以下一般機(jī)械所不能及的優(yōu)勢：1.表現(xiàn)在活動空間、操作對象和工作環(huán)境上。微機(jī)械能夠進(jìn)入極狹小空間進(jìn)行作業(yè)，且不易對環(huán)境造成不必要的影響與破壞。微機(jī)械還可以面對很脆弱、易損傷的工作對象。微機(jī)械還可出現(xiàn)于人類所不能及或不適宜的工作環(huán)境。3.6微機(jī)械及其微細(xì)加工技術(shù)2.與一般機(jī)械相比，微機(jī)械所表現(xiàn)出的智能化程度更高、實(shí)現(xiàn)的功能更趨于多樣化。

國外一些有實(shí)力的半導(dǎo)體公司和研究機(jī)構(gòu)對微機(jī)械的研究非常重視，已研制開發(fā)出許多有特色的產(chǎn)品。3.6微機(jī)械及其微細(xì)加工技術(shù)

目前，微機(jī)械的研究正在從基礎(chǔ)研究逐步邁向研制開發(fā)與實(shí)用階段。許多微傳感器、微執(zhí)行器以及微光學(xué)部件已經(jīng)在某些行業(yè)得到應(yīng)用。3.6微機(jī)械及其微細(xì)加工技術(shù)3.6微機(jī)械及其微細(xì)加工技術(shù)目前微機(jī)械研究分為理論研究、技術(shù)基礎(chǔ)研究及應(yīng)用研究三部分。1、理論基礎(chǔ)當(dāng)尺寸縮小到一定范圍時(shí)，許多物理現(xiàn)象與宏觀世界有很大差別。在微觀尺寸領(lǐng)域，與尺寸L的高次方成比例的慣性力、電磁力(L8)等的作用相對減小，而與尺寸的低次方成比例的黏性力、彈性力(L2)、表面張力(L1)、靜電力(L0)等的作用相對增大，同時(shí)表面積(L2)與體積(L3)之比增大，熱傳導(dǎo)、化學(xué)反應(yīng)等加速和表面間的摩擦力顯著增大。3.6微機(jī)械及其微細(xì)加工技術(shù)因此，許多宏觀物理量進(jìn)入微觀尺度后甚至需要重新定義。相關(guān)學(xué)科，如微電子學(xué)、微機(jī)械學(xué)、微光學(xué)、微動力學(xué)、微流體力學(xué)、微熱力學(xué)、微摩擦學(xué)、微結(jié)構(gòu)學(xué)和微生物學(xué)等共同構(gòu)成了微機(jī)械研究的理論基礎(chǔ)。3.6微機(jī)械及其微細(xì)加工技術(shù)2、技術(shù)基礎(chǔ)微機(jī)械涉及的基礎(chǔ)技術(shù)主要有：微機(jī)械設(shè)計(jì)，微機(jī)械材料，微細(xì)加工，集成技術(shù)，微裝配和封裝，微測量，微能源，微系統(tǒng)控制等。3.6微機(jī)械及其微細(xì)加工技術(shù)微機(jī)械設(shè)計(jì)技術(shù)包括：微結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、彈塑性有限元分析、CAD/CAM技術(shù)、數(shù)據(jù)庫技術(shù)、微系統(tǒng)建模與仿真等。微細(xì)加工技術(shù)：微機(jī)械的技術(shù)關(guān)鍵，目前常用的方法包括起源于半導(dǎo)體IC加工工藝的硅微細(xì)加工、微細(xì)電火花加工等特種精密加工、LIGA技術(shù)、微組裝技術(shù)等。3.6微機(jī)械及其微細(xì)加工技術(shù)微系統(tǒng)測量技術(shù)：設(shè)計(jì)材料的機(jī)械性能、微構(gòu)件或微系統(tǒng)參數(shù)與性能測試等，微型薄膜構(gòu)件的彈性模量、泊松比、拉伸強(qiáng)度、殘余應(yīng)力、韌性等。在測量基礎(chǔ)上建立相關(guān)的數(shù)據(jù)庫和數(shù)學(xué)、力學(xué)模型，從而進(jìn)一步服務(wù)于以后的設(shè)計(jì)、制造、改進(jìn)以及測量過程。3.6微機(jī)械及其微細(xì)加工技術(shù)微系統(tǒng)的集成與控制：涉及系統(tǒng)設(shè)計(jì)、微傳感器或微執(zhí)行器與控制處理電路的集成、能源供給、接口通訊等。3.6微機(jī)械及其微細(xì)加工技術(shù)3、應(yīng)用研究微機(jī)械在精密儀器、生物醫(yī)學(xué)，特別是空間狹小、操作精度高、功能高度集成的航空航天設(shè)備領(lǐng)域，有著巨大的應(yīng)用潛力。二微型機(jī)械發(fā)展現(xiàn)狀及展望1.微型儀器微型儀器實(shí)際上就是具有儀器功能的MEMS產(chǎn)品，是MEMS技術(shù)與微電子技術(shù)綜合集成的產(chǎn)物。它具有一般儀器具有的監(jiān)測、測量、分析、診斷、控制和執(zhí)行功能，是一種新型的智能結(jié)構(gòu)。其基本結(jié)構(gòu)模式為：微傳感器+信號和數(shù)據(jù)處理電路（含控制軟件）+外顯示器或微執(zhí)行器3.6微機(jī)械及其微細(xì)加工技術(shù)(1)微光譜儀(2)MEMS顯示器美國TexasInstruments研究用于投影顯示裝置的數(shù)字驅(qū)動微鏡陣列芯片（DigitalMicromirrordevice-DMD）。已成功利用768×576像素的DMD芯片制出彩色電視投影儀。DMD芯片利用硅表面微加工工藝制作，一個(gè)微鏡的尺寸僅16um×16um。(3)微型化學(xué)傳感器及微型粘度儀利用微機(jī)械薄膜（厚度僅3um）對化學(xué)分子的吸收，改變薄膜的體積，導(dǎo)致性能發(fā)生改變。3.6微機(jī)械及其微細(xì)加工技術(shù)2.MEMS在醫(yī)療和生物技術(shù)領(lǐng)域的應(yīng)用生物細(xì)胞的典型尺寸為1～10um，生物大分子的厚度為納米量級，長度為微米量級。微型器件尺寸也在這范圍之內(nèi)，因而適合操作生物細(xì)胞和生物大分子。另外，臨床分析化驗(yàn)和基因分析遺傳診斷所需要的各種微泵、微閥、微鑷子、微溝槽、微器皿和微流量計(jì)等。3.6微機(jī)械及其微細(xì)加工技術(shù)3.6微機(jī)械及其微細(xì)加工技術(shù)增高體溫法治療癌癥：利用超聲波或無線電波的能量把身體某一部位加熱到430C以殺死癌細(xì)胞。在治療時(shí)溫度不夠效果就不好，溫度過高又會傷害周圍的組織，醫(yī)生很難判斷腫瘤部位是否達(dá)到這個(gè)溫度。美國斯坦福大學(xué)研究所研制的微型溫度傳感器可注射到腫瘤中去。3.6微機(jī)械及其微細(xì)加工技術(shù)血管成形手術(shù)：在動脈中推動一個(gè)小氣球來清除動脈壁上的硬化瘢塊。通過注射或吞服法將微機(jī)械加工法制成的微型壓力傳感器放到氣球里面，醫(yī)生通過它可以知道瘢塊清除工作進(jìn)行得怎樣。通過微機(jī)械加工技術(shù)已經(jīng)能夠制造出可以夾起一個(gè)紅細(xì)胞的微型鑷子。3.MEMS在汽車工業(yè)的應(yīng)用汽車內(nèi)安裝的微型傳感器已達(dá)幾十個(gè)，用來傳感氣囊、壓力、溫度、濕度等的情況，以及進(jìn)行智能控制。其中用于制導(dǎo)、衛(wèi)星控制的微慣性傳感器及微型慣性測量組合在汽車中可用于自動駕駛、防撞氣囊、防報(bào)死系統(tǒng)（ABS）等。微型壓力傳感器：檢測發(fā)動機(jī)進(jìn)氣管壓力，微機(jī)據(jù)此控制發(fā)動機(jī)的工作狀態(tài)，如最省油或排污最少的狀態(tài)。微加速度計(jì)：用于汽車安全氣袋系統(tǒng)中，檢測和監(jiān)控前面和側(cè)面的碰撞。微角速度計(jì)：用于車輪側(cè)滑和打滾控制。微型繼電器等。3.6微機(jī)械及其微細(xì)加工技術(shù)3.6微機(jī)械及其微細(xì)加工技術(shù)4.MEMS軍事應(yīng)用展望軍事領(lǐng)域是微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)的最早應(yīng)用領(lǐng)域。3.6微機(jī)械及其微細(xì)加工技術(shù)汽車工業(yè)安全氣囊加速計(jì)、發(fā)動機(jī)壓力計(jì)、自動駕駛陀螺武器裝備制導(dǎo)、戰(zhàn)場偵察（化學(xué)、震動）、武器智能化生物醫(yī)學(xué)疾病診斷、藥物研究、微型手術(shù)儀器、植入式儀器信息和通訊光開關(guān)、波分復(fù)用器、集成化RF組件、打印噴頭娛樂消費(fèi)類游戲棒、虛擬現(xiàn)時(shí)眼鏡、智能玩具3.6微機(jī)械及其微細(xì)加工技術(shù)微機(jī)電技術(shù)已經(jīng)受到工業(yè)發(fā)達(dá)國家的高度重視。從微機(jī)電發(fā)展的總體水平看，許多關(guān)鍵技術(shù)已經(jīng)突破，正處于從實(shí)驗(yàn)室研究走向?qū)嵱没?、產(chǎn)業(yè)化階段。美國國家自然科學(xué)基金、先進(jìn)研究計(jì)劃、國防部等投資1.4億美元進(jìn)行微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)的研究。3.6微機(jī)械及其微細(xì)加工技術(shù)歐共體為了加強(qiáng)各國之間的組織和合作，成立了NEXUS（多功能微系統(tǒng)研究合作機(jī)構(gòu)）組織。德國20世紀(jì)80年代中期發(fā)展的LIGA工藝，研究人員在實(shí)驗(yàn)室里制造出了微傳感器、微電機(jī)、微執(zhí)行器、微型流量計(jì)以及直徑為數(shù)百微米的金屬雙聯(lián)齒輪等微機(jī)械零件。日本制定了納米制造計(jì)劃、埃技術(shù)計(jì)劃、微型機(jī)器人計(jì)劃。目前日本共有以企業(yè)為中心的60多個(gè)微機(jī)電系統(tǒng)研究組。成立了微機(jī)械中心和微機(jī)械學(xué)會。3.6微機(jī)械及其微細(xì)技術(shù)加工我國的微系統(tǒng)研究起步并不晚，目前從事微機(jī)電系統(tǒng)研究的單位有60多個(gè)，主要集中在高校、中科院及信息產(chǎn)業(yè)部的研究所。已積累了一些基礎(chǔ)技術(shù)，取得了一些傳感器和微執(zhí)行器的研究經(jīng)驗(yàn)和科研成果，多數(shù)為實(shí)驗(yàn)室產(chǎn)品，商品化工作剛剛起步，離產(chǎn)業(yè)化要求相距甚遠(yuǎn)。3.6微機(jī)械及其微細(xì)技術(shù)加工二、微機(jī)電系統(tǒng)材料硅材料微機(jī)械加工源自于微電子集成制造，所以在微機(jī)電系統(tǒng)材料中，硅是最常用的材料。硅具有良好的機(jī)電合一特性。3.6微機(jī)械及其微細(xì)技術(shù)加工特點(diǎn)：1、既有足夠的機(jī)械強(qiáng)度，又有良好的電性能，便于實(shí)現(xiàn)機(jī)電器件的集成化。2、硅的加工精度比較高，容易生成絕緣薄膜。3、硅具有壓阻效應(yīng)、霍爾效應(yīng)。4、硅材料密度小，為不銹鋼的1/3，而彎曲強(qiáng)度卻為不銹鋼的3.5倍。3.6微機(jī)械及其微細(xì)技術(shù)加工壓阻效應(yīng)：電阻阻值變化與應(yīng)變成正比。

霍爾效應(yīng)：霍爾效應(yīng)是磁電效應(yīng)的一種，將一塊半導(dǎo)體或?qū)w材料，沿Z方向加以磁場，沿X方向通以工作電流I，則在Y方向產(chǎn)生出電動勢V，如圖所示，這現(xiàn)象稱為霍爾效應(yīng)。V稱為霍爾電壓。3.6微機(jī)械及其微細(xì)技術(shù)加工壓電材料一些離子型晶體的電介質(zhì)存在壓電效應(yīng)(如石英、酒石酸鉀鈉、鈦酸鋇等)?？衫脡弘娦?yīng)實(shí)現(xiàn)驅(qū)動或開發(fā)微型傳感器。3.6微機(jī)械及其微細(xì)技術(shù)加工

正壓電效應(yīng)：在壓電材料的一定方向上施加機(jī)械力而產(chǎn)生變形時(shí)，就會引起它內(nèi)部正負(fù)電荷的遷移而產(chǎn)生電的極化，從而導(dǎo)致其兩個(gè)相對表面(極化面)上出現(xiàn)符號相反的電荷，且其電荷密度與外應(yīng)力成正比。3.6微機(jī)械及其微細(xì)技術(shù)加工逆壓電效應(yīng)（或稱電致伸縮）：若對壓電材料施加電場作用時(shí)，會引起材料內(nèi)部正負(fù)電荷中心的相對位移，導(dǎo)致材料變形，應(yīng)變與外電場強(qiáng)度成正比，應(yīng)變的方向與電場方向有關(guān)。3.6微機(jī)械及其微細(xì)技術(shù)加工除石英晶體外，還有壓電陶瓷、壓電高分子材料和壓電半導(dǎo)體等。由于壓電陶瓷具有微小位移且精度高的突出優(yōu)勢，適應(yīng)微機(jī)械、微機(jī)器人微小位移控制的要求3.6微機(jī)械及其微細(xì)技術(shù)加工形狀記憶合金利用形狀記憶合金的記憶特性可以制成對環(huán)境溫度敏感的熱響應(yīng)執(zhí)行器，也可利用形狀記憶合金的導(dǎo)電特性進(jìn)行電加熱，構(gòu)成電驅(qū)動執(zhí)行器。超磁致伸縮材料材料在磁場作用下，其長度或形狀發(fā)生伸長或縮短的現(xiàn)象，具有較大磁致伸縮應(yīng)變的材料稱為超磁致伸縮材料。超磁致伸縮材料可承受比壓電陶瓷高一個(gè)數(shù)量級的應(yīng)變，制成的超高精密致動器具有高的精度和大的輸出力。三、微細(xì)加工技術(shù)

微細(xì)加工（Microfabrication）起源于半導(dǎo)體制造工藝，原來指加工尺度約在微米級范圍的加工方式。

在微機(jī)械研究領(lǐng)域中，它是微米級，亞微米級乃至毫微米級微細(xì)加工的通稱。3.6微機(jī)械及其微細(xì)加工技術(shù)

可以進(jìn)一步分為微米級微細(xì)加工(Micro-fabrication)，亞微米級微細(xì)加工(Sub-micro-fabrication)和納米級微細(xì)加工(Nano-fabrication)等。廣義上的微細(xì)加工，其方式十分豐富，幾乎涉及了各種現(xiàn)代特種加工、高能束等加工方式。3.6微機(jī)械及其微細(xì)加工技術(shù)

從基本加工類型看，微細(xì)加工可大致分四類:

分離加工——將材料的某一部分分離出去的加工方式，如分解、蒸發(fā)、濺射、破碎等；

接合加工——同種或不同材料的附和加工或相互結(jié)合加工，如蒸鍍、淀積、摻入、生長、粘結(jié)等；3.6微機(jī)械及其微細(xì)加工技術(shù)

變形加工——使材料形狀發(fā)生改變的加工方式，如塑性變形加工、流體變形加工等；材料處理或改性，如一些熱處理或表面改性等。3.6微機(jī)械及其微細(xì)技術(shù)加工

微機(jī)械領(lǐng)域的重要角色不僅僅是微電子部分，更重要的是微機(jī)械結(jié)構(gòu)或構(gòu)件及其與微電子等的集成。所以微機(jī)械微細(xì)加工并不僅限于微電子制造技術(shù)，更重要的是指微機(jī)械構(gòu)件的加工或微機(jī)械與微電子、微光學(xué)等的集成結(jié)構(gòu)的制作技術(shù)。3.6微機(jī)械及其微細(xì)技術(shù)加工

目前，微機(jī)械微細(xì)加工常用的有光刻制版、高能束刻蝕、LIGA、準(zhǔn)LIGA等方法。圖7-19是通過三維微細(xì)加工得到的埃菲爾鐵塔的微模型。

圖7-19微細(xì)加工得到的鐵塔微模型3.6微機(jī)械及其微細(xì)技術(shù)加工

微機(jī)械的微細(xì)加工技術(shù)（Micromachiningtechnology）有以下特點(diǎn)：⑴從加工對象上看，微細(xì)加工不但加工尺度極小，而且被加工對象的整體尺寸也很微??；3.6微機(jī)械及其微細(xì)技術(shù)加工⑵由于微機(jī)械對象的微小性和脆弱性，僅僅依靠控制和重復(fù)宏觀的加工相對運(yùn)動軌跡達(dá)到加工目的，已經(jīng)很不現(xiàn)實(shí)。必須針對不同對象和加工要求，具體考慮不同的加工方法和手段；⑶微細(xì)加工在加工目的、加工設(shè)備、制造環(huán)境、材料選擇與處理、測量方法和儀器等方面都有其特殊要求。3.6微機(jī)械及其微細(xì)技術(shù)加工教師專業(yè)發(fā)展評鑑

推動策略姚素蓮一、學(xué)校擁有發(fā)展課程的決定權(quán)：我們?nèi)绾螞Q定？課程決定的信心多大？課程決定規(guī)準(zhǔn)是主觀？客觀？專業(yè)？隨意？檢視課程理論與學(xué)?，F(xiàn)場二、教師自主決定：１.課程設(shè)計(jì)２.教學(xué)實(shí)施３.學(xué)生輔導(dǎo)４.教學(xué)評量５.班級經(jīng)營教師的專業(yè)知能如何？

三、教師專業(yè)表現(xiàn)１.建構(gòu)學(xué)校課程、教材２.靈活有效啟發(fā)學(xué)生３.培養(yǎng)學(xué)生帶著走的能力四、教師專業(yè)自主的省思１.教師自主VS.專業(yè)提升２.自主衝突VS.專業(yè)判斷３.判斷標(biāo)準(zhǔn)VS.衝突、和諧４.職場現(xiàn)象VS.專業(yè)知識五、評鑑為溝通與協(xié)商的歷程推動策略宣導(dǎo)→溝通→實(shí)作

↑↓培訓(xùn)檢討評鑑回饋←結(jié)果運(yùn)用←人員

實(shí)用正當(dāng)可行具體壹、宣導(dǎo)一、對象：行政人員、教師、家長二、教師專業(yè)發(fā)展需求日殷三、評鑑的本質(zhì)與目的是為教師專業(yè)發(fā)展四、試辦是找可行性和發(fā)現(xiàn)執(zhí)行問題五、學(xué)校對教師專業(yè)發(fā)展評鑑提供支持六、試辦的選擇權(quán)在學(xué)校和教師七、並非為解決不適任教師八、試辦期程自９５年～９８年有補(bǔ)助經(jīng)費(fèi)，加速學(xué)校本位發(fā)展貳、溝通一、澄清疑慮１.與不適任教師、考績..等脫鉤２.是教師專業(yè)形象的重塑二、透過對話建立互信三、評鑑計(jì)劃回歸學(xué)校本位四、實(shí)施計(jì)畫、配套措施、支持系統(tǒng)同步規(guī)劃實(shí)施計(jì)畫含：（一）評鑑內(nèi)容：１.課程設(shè)計(jì)與教學(xué)２.班級經(jīng)營與輔導(dǎo)３.研究發(fā)展與進(jìn)修４.敬業(yè)精神與態(tài)度（二）評鑑人員（三）評鑑方式（四）評鑑時(shí)程（五）評鑑結(jié)果的運(yùn)用五、引領(lǐng)教師了解評鑑指標(biāo)意涵＊評鑑指標(biāo)可自訂，亦可參考已研發(fā)之規(guī)準(zhǔn)評鑑人員在評鑑時(shí)，以所列規(guī)準(zhǔn)和項(xiàng)目為依據(jù)。工具若有錯(cuò)誤，結(jié)果必打折。好的工具應(yīng)符合：1.教育現(xiàn)場需求2.有效評量出所要達(dá)到的目標(biāo)。參、實(shí)作一、掌握回歸教學(xué)現(xiàn)場，化評鑑於無形的原則二、輔導(dǎo)建置教學(xué)檔案三、擬訂實(shí)用可行的評鑑方式四、開發(fā)簡易具體的評鑑工具一、掌握回歸教學(xué)現(xiàn)場，化評鑑於無形的原則1.全面宣導(dǎo)。自願參與鼓勵(lì)參與全面參與。2.成立評鑑推動委員會，討論評鑑計(jì)劃。3.透過工作坊(讀書會)方式詮釋評鑑規(guī)準(zhǔn)、內(nèi)涵、示例..等。4.經(jīng)由討論決定評鑑模式、工具..等二、輔導(dǎo)建置教學(xué)檔案教育專業(yè)被挑戰(zhàn)！專業(yè)的尊嚴(yán)－是贏來的，而非爭來的.

專業(yè)的權(quán)威－是來自別人的肯定，而非自我的認(rèn)定.建置教學(xué)檔案是展現(xiàn)教師專業(yè)能力簡易、具體的措施教學(xué)檔案的定義一、教師是教學(xué)檔案的主體二、教學(xué)檔案的要項(xiàng)是有系統(tǒng)的、有結(jié)構(gòu)的三、教學(xué)檔案的內(nèi)容是反省與對話的歷程四、教學(xué)檔案的目的是促進(jìn)教學(xué)專業(yè)發(fā)展教學(xué)檔案含一、教學(xué)目標(biāo)與教學(xué)理念之陳述二、檔案計(jì)畫與組織三、課程的計(jì)畫四、作業(yè)的樣本（含對作業(yè)的解說與標(biāo)題）五、師生的互動情形六、學(xué)習(xí)成就記錄七、個(gè)人的成長及反省八、他人的回饋及建議九、自我專業(yè)成長的記錄十、對檔案的評述三、實(shí)用可行的評鑑方式:(一).對話(二).審閱教學(xué)檔案(三).教室觀察(四).教學(xué)計(jì)畫(五).作業(yè)調(diào)閱對話訪談模式有:1.非正式訪談2.導(dǎo)引式訪談3.標(biāo)準(zhǔn)化開放式訪談4.封閉式訪談(一).對話說明目的→使參與者感到輕鬆→促使人際互動1.要有議題.2.對話內(nèi)容要有準(zhǔn)備.3.論述要有辯証,勿淪於各抒己見.訪談要領(lǐng)1.確認(rèn)錄音(錄影)正常運(yùn)作2.一次只問一個(gè)問題3.過程保持中立4.鼓勵(lì)多發(fā)表意見5.紀(jì)錄時(shí)不忘注意受訪者表情6.順利移轉(zhuǎn)主題訪談方法與發(fā)問技巧

1.選取符合主題需要人員.2.先談事實(shí)的問題,再談爭論性問題.3.先討論現(xiàn)況,再討論過去或未來的事4.讓受訪者自由發(fā)揮感覺.對話(訪談)1.以開放性問題引起討論問題.如:您以為目前的教學(xué)環(huán)境如何?2.激發(fā)與會者提出不同想法.如:我不認(rèn)為有那麼糟,您以為呢?3.達(dá)到初步共識後:引入更深入討論.如:我們可以怎麼做?4.討論離題時(shí),需回到主題.5.盡量不要過度贊同與會者意見.6.盡量不發(fā)表個(gè)人意見.7.錄音或即時(shí)紀(jì)錄要點(diǎn).(二).審閱教學(xué)檔案評量要項(xiàng)一.檔案目錄二.個(gè)人專業(yè)背景三.課程教學(xué)設(shè)計(jì)與省思四.學(xué)習(xí)成果評量五.班級經(jīng)營與輔導(dǎo)六.個(gè)人專業(yè)成長*注意事項(xiàng)1.不論是教師成長或?qū)W生作品樣本均須同一教學(xué)單元,其因?yàn)?a.能真正深入教學(xué)整體的各細(xì)部,有效協(xié)助教師反思與專業(yè)成長.b.一次一個(gè)單元不會造成過度負(fù)擔(dān)較易引導(dǎo)教師分析反省自己.2.簡要解釋每一個(gè)作品內(nèi)容的標(biāo)題和註解3.對教學(xué)及作品反省思考.4.檔案內(nèi)容要逐年更改.屬直接觀察教學(xué)行為、察看環(huán)境與設(shè)備,以了解實(shí)際行為、環(huán)境現(xiàn)況的方法.含:1.教學(xué)環(huán)境佈置.2.學(xué)習(xí)形式組織.3.師生互動.4.靜態(tài)文件資料.如:教師檔案、學(xué)習(xí)檔案、作業(yè)、會議記錄.(三).教室觀察:教室觀察方法:1.準(zhǔn)備紀(jì)錄單／檢核表.2.觀察並紀(jì)錄每一項(xiàng)的行為或存在事實(shí).3.可同時(shí)紀(jì)錄次數(shù)、人數(shù),以符合程度、量化依據(jù).4.留意紀(jì)錄單未載之行為或情形.5.簡單紀(jì)錄行為發(fā)生或事物存在之現(xiàn)場環(huán)境.6.觀察次數(shù)要足夠,避免斷章取義.教室觀察注意事項(xiàng):一.要蒐集具有代表性的事實(shí)資料,不必蒐集全部資料二.掌握新發(fā)現(xiàn)問題,並進(jìn)一步蒐集相關(guān)資料以為驗(yàn)證三.有效運(yùn)用時(shí)間:1.觀察教師教學(xué)與學(xué)生學(xué)習(xí)2.與學(xué)生晤談

3.觀察對象要廣泛,觀察要完整a.觀察課外活動情形b.查閱評鑑與績效管理情形c.分析學(xué)生近期表現(xiàn)資料d.分析特殊學(xué)生學(xué)習(xí)紀(jì)錄4.把重點(diǎn)擺在影響學(xué)生表現(xiàn)的原因(四).教學(xué)計(jì)畫一.教學(xué)目標(biāo)1.掌握教材內(nèi)容~能連結(jié)舊經(jīng)驗(yàn)與新概念.2.設(shè)計(jì)教學(xué)方案~依據(jù)教學(xué)目標(biāo)設(shè)計(jì)教學(xué)活動並提供切合教學(xué)目標(biāo)的補(bǔ)充教材.3.系統(tǒng)呈現(xiàn)教材二.活用教學(xué)策略~善用不同教學(xué)方法；善於發(fā)問.三.善用評量回饋~評估學(xué)習(xí)表現(xiàn)提供回饋與指導(dǎo).

(五).作業(yè)調(diào)閱1.作業(yè)內(nèi)容要項(xiàng)分布是否平均?2.學(xué)生作業(yè)品質(zhì).3.教師批閱是否適切~批閱的時(shí)間、方式進(jìn)度、評語..等等作業(yè)訂正是否追蹤?四、開發(fā)簡易具體的評鑑工具1.課程計(jì)畫編寫自我檢核表2.課程計(jì)畫編寫課發(fā)會檢核表3.教學(xué)檔案建置指標(biāo)檢核表4.教學(xué)環(huán)境佈置檢核表5.教室觀察表6.班級經(jīng)營表現(xiàn)(檢核表)教室觀察量表1.教室管理技巧2.維持適當(dāng)?shù)慕淌倚袨?.集中並維持學(xué)生的注意力4.提供學(xué)生複習(xí)與練習(xí)的機(jī)會5.展現(xiàn)發(fā)問技巧6.呈現(xiàn)多種教學(xué)方式7.營造一個(gè)積極的教室氣氛8.促進(jìn)正向的自我概念9.佈置積極教室環(huán)境教學(xué)效能教室觀察表一.學(xué)科教學(xué)能力1.導(dǎo)引學(xué)習(xí)方向2.清楚呈現(xiàn)教材3.運(yùn)用多種教學(xué)技巧4.提供練習(xí)與回饋5.有效利用時(shí)間二.班級經(jīng)營能力1.維持班級秩序2.鼓勵(lì)正向行為表現(xiàn)3.實(shí)施生活教育4.表達(dá)清晰5.板書適當(dāng)6.正向的師生互動教學(xué)效能教室觀察表臺北縣○○國小教師教學(xué)評鑑—「教室觀察」檢視表

基本資料授課教師（）老師學(xué)習(xí)領(lǐng)域（）學(xué)習(xí)領(lǐng)域授課班級（）年（）班教材來源□教科書（）版本□其他

教學(xué)日期

年月日時(shí)分觀察者指標(biāo)觀察紀(jì)錄或資料來源省思暨建議1瞭解學(xué)校課程計(jì)畫的內(nèi)涵□持續(xù)參與領(lǐng)域課程計(jì)畫□徹底執(zhí)行彈性學(xué)習(xí)課程□設(shè)計(jì)校本課程相關(guān)主題與活動設(shè)計(jì)□規(guī)劃補(bǔ)救或銜接教學(xué)□自編教材或?qū)W習(xí)單□教學(xué)札記□□2瞭解學(xué)校課程的架構(gòu)□了解學(xué)校願景□了解校本課程主題□參與教科書評選□了解重大大議題融入領(lǐng)域教學(xué)□□□□□□

指標(biāo)觀察紀(jì)錄或資料來源省思暨建議3參與學(xué)校課程的發(fā)展□參與課程發(fā)展小組的座談、研討□與行政人員、教師意見交流、對話□學(xué)校課程地圖充分運(yùn)用□積極參與學(xué)年（班群）、班親會會議□學(xué)生課程活動紀(jì)錄□教學(xué)札記□

4分析可運(yùn)用的教學(xué)資源□思賢公園□文化藝術(shù)中心□新莊運(yùn)動公園□署立臺北醫(yī)院□大眾廟□慈祐宮□廣福宮□文昌祠□新莊老街□傳統(tǒng)行業(yè)□導(dǎo)護(hù)商店□自然公園

5研擬適切的教學(xué)計(jì)畫□教學(xué)計(jì)畫設(shè)計(jì)週延□活動安排與學(xué)校行事曆相結(jié)合□運(yùn)用家庭聯(lián)絡(luò)簿進(jìn)行個(gè)別輔導(dǎo)□注意學(xué)生學(xué)習(xí)經(jīng)驗(yàn)□流暢的教學(xué)歷程

6編選適切的教學(xué)材料□教材與學(xué)生身心發(fā)展相合□採用教科書版本經(jīng)過分析、整理□社區(qū)資源融入教材□教學(xué)材料與學(xué)生生活經(jīng)驗(yàn)相融合□

指標(biāo)觀察紀(jì)錄或資料來源省思暨建議7規(guī)劃適切的學(xué)習(xí)評量□筆試□口試□表演□實(shí)作□自我評量□小組討論□實(shí)踐□同儕互評□

8編選適當(dāng)?shù)脑u量工具□文字描述的□圖畫的□量化的測驗(yàn)□檔案記錄的評量□口語的評量□□□□□

指標(biāo)觀察紀(jì)錄或資料來源省思暨建議9.營造有利於學(xué)習(xí)的情境□配合教學(xué)單元佈置教室□佈置欄分類呈現(xiàn)□佈置欄內(nèi)物品沒有掉落□掃除用具排列整齊□粉筆槽整理乾淨(jìng)□黑板只呈現(xiàn)該單元內(nèi)容□學(xué)生桌面整潔□學(xué)生抽屜不雜亂□教師桌面整齊□桌椅排放整齊□公物維修良好□打開窗戶讓教室光線充足、通風(fēng)□美化、綠化教室□教室內(nèi)外保持整潔□維護(hù)教室內(nèi)設(shè)備如CD收錄音機(jī)、電視、錄放影機(jī)等清潔?！跎险n秩序良好□□

指標(biāo)觀察紀(jì)錄或資料來源省思暨建議指標(biāo)觀察紀(jì)錄或資料來源省思暨建議10.建立有助於學(xué)習(xí)的常規(guī)□準(zhǔn)時(shí)上、下課□學(xué)生秩序井然有序□學(xué)生學(xué)習(xí)氣氛熱絡(luò)□師生互動頻繁□學(xué)生對教師問題樂意回答□學(xué)生學(xué)習(xí)態(tài)度認(rèn)真□學(xué)生對課程有興趣□學(xué)生穿著整齊□教師說話語調(diào)自然□教師說話語詞合適、比喻恰當(dāng)□教師教學(xué)態(tài)度自然、舉止適合□教師穿著得體□眼神關(guān)愛全班□表情□以手勢動作輔助表達(dá)□身體動作□儀態(tài)大方□模仿動作□幽默、滑稽動作□指標(biāo)觀察紀(jì)錄或資料來源省思暨建議11.積極落實(shí)班級學(xué)生輔導(dǎo).□快樂的學(xué)習(xí)氣氛□良好的教室常規(guī)□傾聽□讚美□口頭鼓勵(lì)□良性的師生互動□活絡(luò)的親師互動□和諧的同儕互動□適才適性的原則□鼓舞團(tuán)隊(duì)士氣□公開獎勵(lì)□私下規(guī)勸□妥適規(guī)劃合作學(xué)習(xí)小組□肢體語言溫婉□晤談12.建立人力資源網(wǎng)絡(luò)與管理□班親會□親師懇談□家庭訪問□電話聯(lián)絡(luò)□聯(lián)絡(luò)簿聯(lián)絡(luò)□約談□通知書聯(lián)絡(luò)□E-Mail聯(lián)絡(luò)□由學(xué)生轉(zhuǎn)達(dá)□親職講座□□指標(biāo)觀察紀(jì)錄或資料來源省思暨建議13.善用教學(xué)媒體進(jìn)行教學(xué)□自製教具□合製教具□多媒體使用：電腦結(jié)合電視、等□投影機(jī)使用□實(shí)物使用□網(wǎng)路資源□學(xué)術(shù)專書□雜誌資源□刊物資源□圖書館資源14.靈活運(yùn)用多元的教學(xué)方法□講授法□問答法□討論法□比較法□練習(xí)教學(xué)法□欣賞教學(xué)法□角色扮演□價(jià)值澄清□問題解決□小組討論□合作學(xué)習(xí)□發(fā)現(xiàn)教學(xué)法□建構(gòu)式教學(xué)法□創(chuàng)意思考教學(xué)法□編序教學(xué)法□精熟學(xué)習(xí)法□發(fā)現(xiàn)教學(xué)法□協(xié)同教學(xué)法指標(biāo)觀察紀(jì)錄或資料來源省思暨建議15.系統(tǒng)呈現(xiàn)學(xué)習(xí)單元的教材內(nèi)容□簡介單元之重要性□資料蒐集整理□教學(xué)活動設(shè)計(jì)周延□□□□□□□16.熟練有效的教學(xué)技巧□講解□問答□討論□示範(fàn)□參觀□訪問□表演□觀察□測量□紀(jì)錄□實(shí)驗(yàn)□操作□角色扮演□分組報(bào)告□閱讀□資料蒐集□創(chuàng)作指標(biāo)觀察紀(jì)錄或資料來源省思暨建議17.實(shí)施多元化的學(xué)習(xí)評量□筆試□