半導(dǎo)體器件與工藝-光刻課件

半導(dǎo)體器件與工藝-光刻1、舟遙遙以輕飏，風(fēng)飄飄而吹衣。2、秋菊有佳色，裛露掇其英。3、日月擲人去，有志不獲騁。4、未言心相醉，不再接杯酒。5、黃發(fā)垂髫，并怡然自樂(lè)。半導(dǎo)體器件與工藝-光刻半導(dǎo)體器件與工藝-光刻1、舟遙遙以輕飏，風(fēng)飄飄而吹衣。2、秋菊有佳色，裛露掇其英。3、日月擲人去，有志不獲騁。4、未言心相醉，不再接杯酒。5、黃發(fā)垂髫，并怡然自樂(lè)。半導(dǎo)體器件與工藝第八章光刻哈爾濱工程大學(xué)微電子學(xué)引言光刻工藝是半導(dǎo)體工藝過(guò)程中非常重要的一道工序,它是用來(lái)在晶圓表面建立圖形的工藝過(guò)程。這個(gè)工藝過(guò)程的目標(biāo)有兩個(gè)。首先是在晶圓表面建立盡可能接近設(shè)計(jì)規(guī)則中所要求尺寸的圖形;第二個(gè)目標(biāo)是在晶圓表面正確定位圖形。整個(gè)電路圖形必須被正確地定位于晶圓表面,電路圖形上單獨(dú)的每一部分之間的相對(duì)位置也必須是正確的。最終的圖形是用多個(gè)掩膜版按照特定的順序在晶圓表面一層一層疊加建立起來(lái)的。因?yàn)樵诠饪坦に囘^(guò)程中的每一步都會(huì)有變化,所以對(duì)特征圖形尺寸和缺陷水平的控制是很難的。光刻操作步驟的數(shù)目之多和光刻工藝層的數(shù)量之大,可看出光刻工藝在半導(dǎo)體工藝過(guò)程中是個(gè)主要的缺陷來(lái)源?！盎ヂ?lián)網(wǎng)+”時(shí)代為基礎(chǔ)教育的重組與建構(gòu)提供了新的思考方式，也為應(yīng)試教育到創(chuàng)新教育的變遷提供了有利環(huán)境。進(jìn)入2013年以來(lái)，美國(guó)MakerMovement（創(chuàng)客運(yùn)動(dòng)）的發(fā)展如火如荼，美國(guó)多地多所中小學(xué)開(kāi)始實(shí)施創(chuàng)客教育（MakerEducation）運(yùn)動(dòng)。其實(shí)早在2009年，美國(guó)總統(tǒng)奧巴馬在“EducatetoInnovate（教育創(chuàng)新）”運(yùn)動(dòng)中就呼吁全美中小學(xué)生：“成為一個(gè)創(chuàng)造者，而不僅僅是一個(gè)消費(fèi)者”。[1]在創(chuàng)客教育這一大領(lǐng)域里面，創(chuàng)客、創(chuàng)客教育、創(chuàng)客空間成為人們的關(guān)注焦點(diǎn)，創(chuàng)客教育是創(chuàng)新教育的一種主要形式。創(chuàng)客教育以項(xiàng)目式學(xué)習(xí)為主要學(xué)習(xí)方式，學(xué)習(xí)者通過(guò)項(xiàng)目式學(xué)習(xí)來(lái)完成學(xué)業(yè)，獲得知識(shí)與技能，期間同時(shí)獲得創(chuàng)新能力的培養(yǎng)。以項(xiàng)目式學(xué)習(xí)為基礎(chǔ)的學(xué)習(xí)環(huán)境，培養(yǎng)了學(xué)習(xí)者的項(xiàng)目學(xué)習(xí)能力。創(chuàng)客教育不僅深化了學(xué)生的項(xiàng)目學(xué)習(xí)能力，而且更加關(guān)注學(xué)習(xí)者創(chuàng)新能力的培養(yǎng)。[2]創(chuàng)客教育以培養(yǎng)創(chuàng)新能力為目標(biāo)，圍繞這一目標(biāo)，創(chuàng)客教育將學(xué)習(xí)者視為創(chuàng)造者――創(chuàng)客；將學(xué)習(xí)場(chǎng)所拓展到傳統(tǒng)學(xué)習(xí)場(chǎng)所以外的空間――創(chuàng)客空間。創(chuàng)客教育成功地把學(xué)習(xí)重點(diǎn)由基于項(xiàng)目的學(xué)習(xí)轉(zhuǎn)移到創(chuàng)新能力的培養(yǎng)上來(lái)，這一轉(zhuǎn)折成為創(chuàng)客教育的亮點(diǎn)。創(chuàng)新能力的培養(yǎng)一直是信息素養(yǎng)、21世紀(jì)技能教育中的重中之重。傳統(tǒng)課堂是無(wú)法將學(xué)習(xí)者的創(chuàng)新能力表現(xiàn)出來(lái)的，也不具備創(chuàng)新能力實(shí)踐的場(chǎng)域要求[3]。從應(yīng)試教育到創(chuàng)客教育的轉(zhuǎn)變，本質(zhì)上深化了從培養(yǎng)簡(jiǎn)單學(xué)科素養(yǎng)到培養(yǎng)核心素養(yǎng)、綜合素養(yǎng)的轉(zhuǎn)變，實(shí)現(xiàn)了從培養(yǎng)項(xiàng)目學(xué)習(xí)能力到培養(yǎng)創(chuàng)新能力的轉(zhuǎn)變。構(gòu)建創(chuàng)新人才培養(yǎng)模型在重視學(xué)生思維能力發(fā)展的高中階段，要求學(xué)生有著一套科學(xué)而高效的學(xué)習(xí)方法，但應(yīng)試教育使得高中的學(xué)習(xí)出現(xiàn)了一系列的問(wèn)題?；诂F(xiàn)在高中階段所出現(xiàn)的一些問(wèn)題和社會(huì)的各種便利的信息技術(shù)手段，根據(jù)我國(guó)普通高中教育所確定的培養(yǎng)目標(biāo)“具備初步的科學(xué)與人文素養(yǎng)、環(huán)境意識(shí)、創(chuàng)新精神與實(shí)踐能力”的要求，鄭州二中大膽嘗試，使用混合學(xué)習(xí)方式，利用便利的移動(dòng)互聯(lián)技術(shù)、信息化工具，制定了一套“創(chuàng)新型人才培養(yǎng)模型”，如圖1。本模型共分為六個(gè)階段，第一階段：移動(dòng)自主學(xué)堂；第二階段：專(zhuān)家診斷系統(tǒng)+職業(yè)指導(dǎo)；第三階段：多樣的課程選擇；第四階段：多方向功能實(shí)驗(yàn)室+體驗(yàn)式實(shí)踐活動(dòng)；第五階段：科技成果+實(shí)驗(yàn)報(bào)告+種子風(fēng)投；第六階段：綠色人生之路。第一階段的移動(dòng)自主學(xué)堂，主要解決學(xué)生自主學(xué)習(xí)的習(xí)慣、資源的配置、效率的提高和數(shù)據(jù)的積累等問(wèn)題，減輕學(xué)業(yè)負(fù)擔(dān)和提高學(xué)習(xí)效率是首要解決的問(wèn)題，也是驗(yàn)證整個(gè)創(chuàng)新型人才培養(yǎng)模型是否有生命力的前提，是整個(gè)模型的根基所在。伴隨著數(shù)據(jù)的形成，資源的進(jìn)一步豐富，教師教和學(xué)生學(xué)的行為的轉(zhuǎn)變，將逐步進(jìn)入到個(gè)性化教學(xué)的階段，這就為創(chuàng)新人才培養(yǎng)創(chuàng)造了更多的條件。我們第一階段構(gòu)建移動(dòng)自主學(xué)堂的工作已經(jīng)取得了顯著成效，教學(xué)成果“構(gòu)建數(shù)字化學(xué)習(xí)環(huán)境下的移動(dòng)自主學(xué)堂”榮獲國(guó)家基礎(chǔ)教育教學(xué)成果二等獎(jiǎng)。迄今為止，鄭州二中實(shí)施移動(dòng)自主學(xué)堂已有5年，涵蓋了整個(gè)高中階段，已經(jīng)在3個(gè)年級(jí)開(kāi)設(shè)了12個(gè)創(chuàng)新班，學(xué)生共550人。移動(dòng)自主學(xué)堂帶來(lái)了很多的變化，如學(xué)生學(xué)習(xí)輕松了，成績(jī)提高了，眼界開(kāi)闊了，思維活躍了，創(chuàng)新能力增強(qiáng)了，且沒(méi)有沉迷網(wǎng)絡(luò)游戲的現(xiàn)象，沒(méi)有出現(xiàn)曾擔(dān)心的視力下降問(wèn)題。在成長(zhǎng)空間、時(shí)間、思想自由度上將高中生們從高考制度的模式中解放出來(lái)。在此基礎(chǔ)上，從2015年起，學(xué)校開(kāi)始進(jìn)入第二、三、四階段的實(shí)踐探索。主要形式是開(kāi)設(shè)生涯教育、創(chuàng)客教育等課程，建立創(chuàng)客空間、多功能實(shí)驗(yàn)室，進(jìn)行基于項(xiàng)目的學(xué)習(xí)。學(xué)生將學(xué)習(xí)場(chǎng)所拓展到傳統(tǒng)學(xué)習(xí)場(chǎng)所以外的空間――創(chuàng)客空間。學(xué)生通過(guò)項(xiàng)目式學(xué)習(xí)來(lái)完成學(xué)業(yè)，獲得知識(shí)與技能，期間同時(shí)得到創(chuàng)新能力的培養(yǎng)。開(kāi)展創(chuàng)客教育新一代信息技術(shù)引領(lǐng)的教育變革正在全球展開(kāi)，新一輪教育信息化的顯著特點(diǎn)是：不再局限于個(gè)別技術(shù)在教育中的應(yīng)用，而是集結(jié)成組的技術(shù)構(gòu)建全新的學(xué)習(xí)生態(tài)系統(tǒng)；不再以“物”為中心（關(guān)注技術(shù)、計(jì)算機(jī)、網(wǎng)絡(luò)、軟件、資源庫(kù)等等），而是轉(zhuǎn)移到以“人”為中心，創(chuàng)新人才培養(yǎng)方式。鄭州二中創(chuàng)客教育項(xiàng)目是以創(chuàng)新人才培養(yǎng)為最終目標(biāo)，旨在“以學(xué)帶用、以用促學(xué)”，即以應(yīng)用創(chuàng)造激發(fā)學(xué)生的學(xué)習(xí)興趣，用所學(xué)知識(shí)解決創(chuàng)造過(guò)程中的難題。主要內(nèi)容包括：1.引進(jìn)與建設(shè)創(chuàng)新校本化課程體系，以課程引領(lǐng)應(yīng)用。2.配備基于課程設(shè)計(jì)的創(chuàng)客工具與空間，以建設(shè)保障應(yīng)用。3.加強(qiáng)教師培訓(xùn)，促進(jìn)教師專(zhuān)業(yè)化發(fā)展，以成長(zhǎng)促進(jìn)應(yīng)用。4.引導(dǎo)學(xué)生開(kāi)展協(xié)同、合作學(xué)習(xí)，激發(fā)學(xué)生創(chuàng)新思維，關(guān)注學(xué)生分享與展示。項(xiàng)目式學(xué)習(xí)的實(shí)施策略項(xiàng)目式學(xué)習(xí)在教育界引起了熱烈的討論，它被認(rèn)為是被動(dòng)學(xué)習(xí)和機(jī)械背誦之外的一種學(xué)習(xí)方式。在項(xiàng)目式學(xué)習(xí)的課堂里，教師給出的問(wèn)題必須由學(xué)生組成小組來(lái)解決。學(xué)生不需要背誦知識(shí)點(diǎn)，使之在記憶中存留，教師會(huì)為學(xué)生提供他們?cè)谔剿鞲鞣N概念以及將這些概念應(yīng)用到實(shí)際的過(guò)程中所需的資源。在學(xué)習(xí)的過(guò)程中，學(xué)生是被允許甚至是被期待去犯錯(cuò)的。由此，他們變成了主動(dòng)的學(xué)習(xí)者，并且得以培養(yǎng)一些現(xiàn)場(chǎng)技能。當(dāng)然，要想實(shí)現(xiàn)這一切，需要完善的計(jì)劃、足夠的靈活度和一個(gè)可以開(kāi)展團(tuán)隊(duì)協(xié)作的環(huán)境。1.創(chuàng)客課程的設(shè)計(jì)理念（1）培養(yǎng)學(xué)生的核心素養(yǎng)和21世紀(jì)技能。批判性思維、團(tuán)隊(duì)協(xié)作和領(lǐng)導(dǎo)才能、ICT素養(yǎng)、溝通交流和媒體素養(yǎng)等。（2）推動(dòng)課程改革，從“育分”走向育人。（3）深度學(xué)習(xí)的需求。跨學(xué)科學(xué)習(xí)是深度學(xué)習(xí)的必由之路，也是進(jìn)行創(chuàng)客教育的常態(tài)學(xué)習(xí)模式。2.課程實(shí)施策略（1）課堂模式：基于項(xiàng)目式的學(xué)習(xí)（Project-BasedLearning）?創(chuàng)客項(xiàng)目主題的開(kāi)放性：不做限制性要求，鼓勵(lì)學(xué)生的奇思妙想，將創(chuàng)意和點(diǎn)子變成現(xiàn)實(shí)。?評(píng)價(jià)量規(guī)主要標(biāo)準(zhǔn)：學(xué)科內(nèi)容、21世紀(jì)技能、深度學(xué)習(xí)、驅(qū)動(dòng)問(wèn)題、反思修訂、展示分享等。（2）基本學(xué)習(xí)和思考工具：創(chuàng)客手冊(cè)（以小組為單位）（3）實(shí)施過(guò)程?成立創(chuàng)客項(xiàng)目小組：興趣一致的伙伴，團(tuán)隊(duì)協(xié)作，學(xué)生領(lǐng)導(dǎo)力。?選題并制定計(jì)劃：開(kāi)放性的主題、時(shí)間管理、事件管理。?導(dǎo)師指導(dǎo)和激勵(lì)機(jī)制。?創(chuàng)客項(xiàng)目執(zhí)行：主要在課下完成。?創(chuàng)客項(xiàng)目分享和評(píng)價(jià)：依據(jù)為PBL評(píng)價(jià)量規(guī)；展示分享評(píng)價(jià)主要在課上進(jìn)行。（4）評(píng)價(jià)方式?初期作品展示分享評(píng)價(jià)：為什么和做什么（WHY&WHAT）。?中期作品展示分享評(píng)價(jià)：如何做（HOW）。?最終成果展示分享評(píng)價(jià)：下一步該如何做（WHAT'SNEXT）。?創(chuàng)客項(xiàng)目（作品）評(píng)價(jià)方法：課堂全員評(píng)價(jià)，課下導(dǎo)師評(píng)價(jià)，專(zhuān)家總結(jié)評(píng)審。?創(chuàng)客作品轉(zhuǎn)化：商品化推介和運(yùn)營(yíng)（校園公司的成立和運(yùn)用模式@互聯(lián)網(wǎng)）。3.創(chuàng)客課程管理和運(yùn)行（1）硬件部分?空間：整合通用技術(shù)教室、計(jì)算機(jī)教室、傳統(tǒng)實(shí)驗(yàn)室、創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)室，不搞重復(fù)建設(shè)。根據(jù)學(xué)生的實(shí)際需求進(jìn)行創(chuàng)客空間的局部微調(diào)。?器材及耗材：基本原則是利用已有物資進(jìn)行創(chuàng)客活動(dòng)，根據(jù)創(chuàng)客手冊(cè)統(tǒng)計(jì)學(xué)生的特殊需求，導(dǎo)師審核提出申購(gòu)特殊器材和材料。（2）軟件部分?課程開(kāi)發(fā)：創(chuàng)客活動(dòng)常態(tài)化，不限定具體的課程和實(shí)施時(shí)間，通過(guò)全學(xué)科課程推動(dòng)活動(dòng)，包括跨學(xué)科課程開(kāi)發(fā)和實(shí)踐，特色創(chuàng)客課程開(kāi)發(fā)和實(shí)踐。?管理和運(yùn)營(yíng)：培養(yǎng)學(xué)生管理的能力，在導(dǎo)師的指導(dǎo)和引領(lǐng)下，由領(lǐng)袖學(xué)生管理功能教室。?職位設(shè)立：基礎(chǔ)管理組（衛(wèi)生、安全評(píng)價(jià)督導(dǎo)、器材耗材申購(gòu)）；項(xiàng)目管理組（項(xiàng)目學(xué)習(xí)任務(wù)的評(píng)價(jià)督導(dǎo)）；?出入許可：各年級(jí)各班應(yīng)征、考核后方可進(jìn)入管理小組；面試合格后簽署“勞務(wù)合同”（模擬真實(shí)社會(huì)）。?權(quán)利義務(wù)：管理人員制定功能教室使用的約定制度，監(jiān)督管理各個(gè)功能教室的使用；對(duì)功能教室的衛(wèi)生、安全、項(xiàng)目學(xué)習(xí)等進(jìn)行評(píng)價(jià)和督導(dǎo)；有優(yōu)先使用該教室的權(quán)利；有權(quán)利申購(gòu)器材和耗材（須有負(fù)責(zé)教師的審核）。項(xiàng)目式學(xué)習(xí)的具體操作（1）項(xiàng)目式學(xué)習(xí)啟動(dòng)發(fā)布會(huì)。在此環(huán)節(jié)中，教師發(fā)布項(xiàng)目式學(xué)習(xí)的主要內(nèi)容，學(xué)生可以通過(guò)技術(shù)工具獲得項(xiàng)目式學(xué)習(xí)的資源、指導(dǎo)手冊(cè)等。學(xué)生明晰項(xiàng)目學(xué)習(xí)的各個(gè)時(shí)間節(jié)點(diǎn)和任務(wù)。（2）組建小組和確定項(xiàng)目主題。小組的組建是為了合作學(xué)習(xí)，通過(guò)分工合作共同完成項(xiàng)目學(xué)習(xí)。主題確定是在小組之間的思想碰撞中產(chǎn)生的，應(yīng)該是小組每位成員的共識(shí)和興趣。（3）管理項(xiàng)目學(xué)習(xí)。導(dǎo)師對(duì)項(xiàng)目的督導(dǎo)需要有一些文稿參考，包括小組之間的評(píng)價(jià)表、導(dǎo)師督導(dǎo)表，也可以通過(guò)技術(shù)工具實(shí)現(xiàn)管理，比如Teambition、iTunesU、Edmodo等。在這些應(yīng)用中可以實(shí)現(xiàn)評(píng)價(jià)和反饋。（4）課下活動(dòng)課上分享。項(xiàng)目學(xué)習(xí)的主題是開(kāi)放的，學(xué)習(xí)也不是傳統(tǒng)的正式學(xué)習(xí)。社會(huì)上更多關(guān)注的是一些正式的學(xué)習(xí)，將學(xué)生禁錮在書(shū)本上。不過(guò)，在追求正式學(xué)習(xí)的同時(shí)我們明白，那些所謂自己研究、探討的非正式學(xué)習(xí)更為重要，不要讓傳統(tǒng)教育扼殺了學(xué)生的創(chuàng)新思維。課下的項(xiàng)目活動(dòng)是非正式學(xué)習(xí)，學(xué)生主動(dòng)學(xué)習(xí)的潛能得到激發(fā)和發(fā)展。分享是進(jìn)行項(xiàng)目式學(xué)習(xí)的重要部分，因?yàn)榇蠹乙黄鸱窒淼臅r(shí)間，可以從對(duì)方那里學(xué)習(xí)不同的知識(shí)、智慧和經(jīng)驗(yàn)。（5）展示和發(fā)布。在基于項(xiàng)目式學(xué)習(xí)的課程計(jì)劃中，有學(xué)期中或?qū)W期末的集中展示和發(fā)布的時(shí)間。在這個(gè)時(shí)間里，每個(gè)班級(jí)選出能夠代表本班水平的優(yōu)秀項(xiàng)目進(jìn)行展示和發(fā)布。同時(shí)，有專(zhuān)家、家長(zhǎng)和社區(qū)的人員作為評(píng)委對(duì)項(xiàng)目進(jìn)行評(píng)審。小結(jié)創(chuàng)客教育雖然還沒(méi)有形成既定的教育形式，也沒(méi)有更多成熟的可供參考的理論與實(shí)踐，但是創(chuàng)客因其新穎性、突出創(chuàng)新創(chuàng)造的特點(diǎn)，在教育全球多元化發(fā)展的今天，終將是各個(gè)國(guó)家、民族的重要舉措。項(xiàng)目式學(xué)習(xí)的創(chuàng)客教育也會(huì)有越來(lái)越多的豐碩成果，去優(yōu)化教育與教學(xué)。隨著21世紀(jì)新時(shí)代的到來(lái)，我國(guó)已經(jīng)將越來(lái)越多的學(xué)者的研究注意力集中到教育上面。除此之外，對(duì)于新時(shí)代英語(yǔ)學(xué)習(xí)的標(biāo)準(zhǔn)也預(yù)示著，在英語(yǔ)的語(yǔ)言教學(xué)中將會(huì)越來(lái)越注重學(xué)習(xí)者的自身學(xué)習(xí)能力的培養(yǎng)與自我學(xué)習(xí)方向的制定。傳統(tǒng)的英語(yǔ)教學(xué)主要是以教師為主，學(xué)生聆聽(tīng)教師講授的方式，在這樣的模式中，教師為了滿(mǎn)足學(xué)生的學(xué)習(xí)需求需要付出極大的精力與時(shí)間，長(zhǎng)此以往不僅造成了教師教學(xué)精力的不足與浪費(fèi)，而且從學(xué)生的學(xué)習(xí)需求上也不一定能夠得到最大程度的滿(mǎn)足，與現(xiàn)代英語(yǔ)教學(xué)所要求的自主學(xué)習(xí)、創(chuàng)新性學(xué)習(xí)的要求相去甚遠(yuǎn)。因此傳統(tǒng)的教學(xué)只能教會(huì)學(xué)生課業(yè)的內(nèi)容，并不能夠教會(huì)學(xué)生如何進(jìn)行創(chuàng)新性的自我學(xué)習(xí)，教學(xué)資源也不能夠最大化地利用。如何更加有效地根據(jù)學(xué)生的需求制定高效的教學(xué)模式成了當(dāng)今英語(yǔ)教學(xué)研究的重點(diǎn)問(wèn)題。本文將從現(xiàn)代英語(yǔ)教學(xué)的背景出發(fā)，分析當(dāng)前形勢(shì)，總結(jié)當(dāng)今英語(yǔ)教學(xué)中教師與教學(xué)模式所存在的創(chuàng)新性缺失問(wèn)題，并進(jìn)一步從創(chuàng)新型教育的本身意義出發(fā)，對(duì)創(chuàng)新型教師的培養(yǎng)與創(chuàng)新型英語(yǔ)教學(xué)模式的建立提出一定的建議，以期能夠?qū)Ξ?dāng)今的英語(yǔ)教師與教學(xué)向創(chuàng)新型風(fēng)格轉(zhuǎn)變研究提供一定的交流與參考。一、研究提出的背景分析根據(jù)新華社的一項(xiàng)報(bào)道顯示，美國(guó)加州的中學(xué)生的考試成績(jī)相對(duì)其它州而言并不高，但是其技術(shù)人員與技術(shù)科專(zhuān)業(yè)的學(xué)生水平卻在美國(guó)名列前茅。其主要的原因在于加州對(duì)學(xué)生的創(chuàng)造性思維的培養(yǎng)做了非常多的工作，美國(guó)社會(huì)鼓勵(lì)人們互相討論、爭(zhēng)論甚至是爭(zhēng)辯，這樣的方式對(duì)于學(xué)生的創(chuàng)造型思維非常有益，然而相對(duì)而言我國(guó)的中學(xué)生對(duì)于英語(yǔ)學(xué)習(xí)仍然停留在傳統(tǒng)的尊重老師悉心聆聽(tīng)的階段，比如在英語(yǔ)字母的教學(xué)中，西方學(xué)生很容易將字母O與生活中圓形的物體結(jié)合起來(lái)記憶，但是中國(guó)學(xué)生只能聯(lián)想到數(shù)字0，這就是創(chuàng)造型思維的缺失，也是我國(guó)的英語(yǔ)教學(xué)需要改進(jìn)的方向。創(chuàng)造型教師和英語(yǔ)教學(xué)的培養(yǎng)將讓學(xué)生成為獨(dú)立的思考著與問(wèn)題的獨(dú)立解決者，無(wú)論是學(xué)習(xí)效率的提高還是個(gè)人人格的培養(yǎng)，創(chuàng)造型的培養(yǎng)模式都將極大地推動(dòng)我國(guó)當(dāng)今的英語(yǔ)教師與教學(xué)。二、我國(guó)英語(yǔ)教師和英語(yǔ)教學(xué)的創(chuàng)造性缺失問(wèn)題探究為了研究我國(guó)英語(yǔ)教師的教學(xué)過(guò)程中存在的問(wèn)題與其本身的不足，筆者進(jìn)行了問(wèn)卷和口頭采訪(fǎng)的形式，根據(jù)調(diào)查的結(jié)果顯示，創(chuàng)造型缺失的問(wèn)題癥結(jié)主要?dú)w結(jié)于傳統(tǒng)的教學(xué)理念對(duì)教師的影響，教學(xué)風(fēng)格與教師綜合素質(zhì)，教學(xué)的評(píng)價(jià)反饋問(wèn)題。1.傳統(tǒng)教育理念仍有影響從當(dāng)前的教育模式來(lái)講，對(duì)于教師的教學(xué)成果進(jìn)行檢驗(yàn)的標(biāo)準(zhǔn)很大程度上由考試成績(jī)決定，這就影響了我國(guó)英語(yǔ)教學(xué)的主要時(shí)間被安排在學(xué)生的書(shū)面練習(xí)上，尤其是初中英語(yǔ)教學(xué)更是集中在課后作業(yè)與課外練習(xí)上，熟能生巧的思想深深地扎根在當(dāng)今的英語(yǔ)教學(xué)活動(dòng)中。對(duì)于初中英語(yǔ)許多教師都會(huì)采取聽(tīng)寫(xiě)的方式，上課之后列出單詞及詞組，學(xué)生課后進(jìn)行背誦，上課聽(tīng)寫(xiě)檢查，完全是一種啞巴式英語(yǔ)。舉個(gè)簡(jiǎn)單的例子，對(duì)于牛津初中英語(yǔ)9AUnit5中“Shewantedtoremindusthatweshouldprotecttheenvironment.”教師往往可能注重句中remind的用法，以及“protect”與“environment”的拼寫(xiě)，從而忽略了學(xué)生是否能夠熟練地運(yùn)用這一句式進(jìn)行口語(yǔ)交際或是寫(xiě)作。2.教學(xué)風(fēng)格與教師綜合素質(zhì)亟待提高對(duì)于現(xiàn)今的英語(yǔ)教師而言，如何改變他們的教學(xué)理念是一個(gè)困難的問(wèn)題，如何改變所有教師的常態(tài)化教學(xué)習(xí)慣更是任重而道遠(yuǎn)。在傳統(tǒng)的教學(xué)模式引導(dǎo)下，老師能夠直接表達(dá)出自己準(zhǔn)備的課堂內(nèi)容，學(xué)生只需聆聽(tīng)記筆記，課后認(rèn)真復(fù)習(xí)背誦，在考試中獲得優(yōu)異的成績(jī)，這樣的生活存在于如今大部分學(xué)校的英語(yǔ)教學(xué)中。如往往教師要求學(xué)生進(jìn)行課文背誦，于是學(xué)生對(duì)于課文中的問(wèn)答很熟悉，自己卻不會(huì)變通，簡(jiǎn)單的舉個(gè)例子，學(xué)生接觸“Iwanttodosth.”的時(shí)候老師一般要求背誦課文，于是學(xué)生對(duì)于“我想要做什么”都會(huì)采用這一句式，而不會(huì)考慮其他的，比如“Iwouldliketodosth.”等等其他句式。封閉的教室環(huán)境也決定了學(xué)生和教師無(wú)法過(guò)多地考慮關(guān)于學(xué)生能力的培養(yǎng)與人格的塑造，考試成績(jī)才是主要的行動(dòng)目標(biāo)。3.教學(xué)的評(píng)價(jià)反饋需要改進(jìn)如何評(píng)價(jià)教師的教學(xué)成果，這樣的問(wèn)題如此艱巨，因?yàn)樗粌H僅局限于學(xué)生的考試成績(jī)的問(wèn)題，教學(xué)的評(píng)價(jià)涉及到教授的科目，每一個(gè)科目都涉及到任課教師、學(xué)生和學(xué)校。社會(huì)對(duì)于教學(xué)的評(píng)價(jià)主要還是停留在學(xué)校的入學(xué)考試成績(jī)，除此之外還有各種名目的排名。還有，在教師的評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)中，一個(gè)重要的方面是教師的課教的好不好，那么什么樣才是一堂好的課呢？傳統(tǒng)的公開(kāi)課是經(jīng)過(guò)精心準(zhǔn)備的，只要準(zhǔn)備充分基本都不會(huì)有問(wèn)題，但是實(shí)際的課堂肯定不會(huì)像公開(kāi)課那么完美，很少將創(chuàng)造型作為評(píng)判標(biāo)準(zhǔn)。因此，將創(chuàng)新的精神融入到教學(xué)評(píng)價(jià)中去，讓教師能夠逐步轉(zhuǎn)變教學(xué)模式，逐步建立能力培養(yǎng)的機(jī)制基礎(chǔ)，這才是當(dāng)前改革最亟待解決的問(wèn)題。三、創(chuàng)造型教師和英語(yǔ)教學(xué)的反思一個(gè)創(chuàng)造型的行為必須經(jīng)歷以下幾個(gè)過(guò)程：準(zhǔn)備活動(dòng)，集中精力，孵化期，錦上添花期和反饋?zhàn)C明期。筆者在此將從以下三個(gè)方面對(duì)創(chuàng)造型教師和英語(yǔ)教學(xué)給予一些建議：1.創(chuàng)造型英語(yǔ)教學(xué)須進(jìn)行充分的前期準(zhǔn)備為了能夠進(jìn)行創(chuàng)造型教學(xué)，英語(yǔ)教師必須進(jìn)行先期的準(zhǔn)備，這樣的準(zhǔn)備主要可以從調(diào)查創(chuàng)造型的教師需要哪些特質(zhì)，比如創(chuàng)造型的教師必須是讓課堂生動(dòng)有趣、直接熱情的性格、廣闊的知識(shí)面、積極的人生態(tài)度以及善于解決問(wèn)題等等。具體我們以牛津初中英語(yǔ)8AUnit1為例，如果只是介紹課文中的朋友等等的知識(shí)就顯得十分枯燥了，創(chuàng)新性教師可以在上課之前讓學(xué)生用英語(yǔ)講述對(duì)于friends的看法，教師可以進(jìn)行記憶，上課之后再問(wèn)學(xué)生這個(gè)問(wèn)題，同樣希望每個(gè)學(xué)生能夠用英語(yǔ)表達(dá)，這樣學(xué)生會(huì)發(fā)現(xiàn)自己在Unit1里面學(xué)到的很多詞匯便可以應(yīng)用了，如形容外表的“SheisasslimasIam.Shehasshorthair.”；形容兩人之間關(guān)系或友誼的“Shehelpsmewithmyhomework.”；介紹朋友將來(lái)愿望的“Shewouldliketobeateacherwhenshegrowsup.”等等。2.提高教師的創(chuàng)造型意識(shí)傳統(tǒng)的教育方式是逐步灌輸，現(xiàn)代技術(shù)要求教師將自身的熱情與教學(xué)地位向?qū)W生傾斜，這樣能利用學(xué)生的自身學(xué)習(xí)能力進(jìn)行教學(xué)，古語(yǔ)有云：“授人以魚(yú)不如授之以漁。”說(shuō)的就是這個(gè)道理。首先，教師需要了解自身在教學(xué)訓(xùn)練學(xué)生的活動(dòng)中的角色，教師應(yīng)該懂得激發(fā)學(xué)生的興趣，提出問(wèn)題鼓勵(lì)思考提出新的問(wèn)題，鼓勵(lì)團(tuán)隊(duì)合作，鼓勵(lì)深入討論。其次，將自身的傳統(tǒng)地位轉(zhuǎn)移出來(lái)，讓學(xué)生真正成為教學(xué)活動(dòng)的主角。比如在英語(yǔ)寫(xiě)作教學(xué)方面完全可以采用小組合作的方式，以牛津初中英語(yǔ)9AUnit5為例，在學(xué)完這一單元之后，創(chuàng)新型教師可以趁熱打鐵，提出話(huà)題如“Yourfavouritefilm”，從”Whichfilmdoyoulike”、“Whydoyoulikethefilm”等角度入手，讓學(xué)生進(jìn)行小組交流討論，在提高學(xué)生寫(xiě)作能力的同時(shí)，也提高了學(xué)生語(yǔ)言綜合應(yīng)用的能力。3.通過(guò)創(chuàng)造型教學(xué)提高學(xué)生的創(chuàng)造力教師的創(chuàng)造力密切聯(lián)系著學(xué)生的創(chuàng)造力，因此首先教師需要訓(xùn)練學(xué)生創(chuàng)造性的思考問(wèn)題，然后通過(guò)大量教學(xué)改變學(xué)生的學(xué)習(xí)習(xí)慣，學(xué)習(xí)風(fēng)格，最后影響到他們以后終生的學(xué)習(xí)過(guò)程。提高學(xué)生的創(chuàng)造力，首先可以通過(guò)以下幾個(gè)方面來(lái)訓(xùn)練學(xué)生的創(chuàng)新型思維能力，比如玩游戲、搞競(jìng)賽、做表演、多重意思表達(dá)、情景對(duì)話(huà)、語(yǔ)言辨析、知識(shí)拓展、公開(kāi)問(wèn)答和開(kāi)放作文表達(dá)等等。比如我們?cè)谂＝虺踔杏⒄Z(yǔ)7BUnit1中學(xué)習(xí)“dreamhomes”這一主題，教師可以根據(jù)這一單元的學(xué)習(xí)，讓學(xué)生設(shè)計(jì)自己的“dreamhome”然后請(qǐng)學(xué)生帶來(lái)一件物品進(jìn)行展示符合其“dreamhome”的想法，這樣在使得學(xué)生有了學(xué)習(xí)英語(yǔ)熱情的同時(shí)，提高了其創(chuàng)造力。四、結(jié)論創(chuàng)造型教師和英語(yǔ)教學(xué)需要是我國(guó)英語(yǔ)教學(xué)未來(lái)工作的一大挑戰(zhàn)，但是也是十分有必要的，我國(guó)的英語(yǔ)教學(xué)活動(dòng)模式多數(shù)仍然停留在傳統(tǒng)的老師教學(xué)生學(xué)的單一狀態(tài)，在新的創(chuàng)新型教學(xué)模式的探討與研究中，通過(guò)教師的自我學(xué)習(xí)和自我提高，然后在教學(xué)過(guò)程中影響學(xué)生，教會(huì)學(xué)生創(chuàng)造型的學(xué)習(xí)，最終達(dá)到會(huì)學(xué)習(xí)，自主學(xué)習(xí)的狀態(tài)，從而使英語(yǔ)教學(xué)效果與效率得到進(jìn)一步提高，我國(guó)的英語(yǔ)教育事業(yè)也會(huì)登上一個(gè)新的臺(tái)階?！景雽?dǎo)體器件與工藝第八章光刻哈爾濱工程大學(xué)微電子學(xué)引言光刻工藝是半導(dǎo)體工藝過(guò)程中非常重要的一道工序,它是用來(lái)在晶圓表面建立圖形的工藝過(guò)程。這個(gè)工藝過(guò)程的目標(biāo)有兩個(gè)。首先是在晶圓表面建立盡可能接近設(shè)計(jì)規(guī)則中所要求尺寸的圖形;第二個(gè)目標(biāo)是在晶圓表面正確定位圖形。整個(gè)電路圖形必須被正確地定位于晶圓表面,電路圖形上單獨(dú)的每一部分之間的相對(duì)位置也必須是正確的。最終的圖形是用多個(gè)掩膜版按照特定的順序在晶圓表面一層一層疊加建立起來(lái)的。因?yàn)樵诠饪坦に囘^(guò)程中的每一步都會(huì)有變化,所以對(duì)特征圖形尺寸和缺陷水平的控制是很難的。光刻操作步驟的數(shù)目之多和光刻工藝層的數(shù)量之大,可看出光刻工藝在半導(dǎo)體工藝過(guò)程中是個(gè)主要的缺陷來(lái)源。引言畫(huà)區(qū)sT笆2.p阱注入3.m阱注入4.多品硨櫥刻蝕畫(huà)圖咄6.p+Sm注入8.金屬刻蝕最終層圖14.2投影掩版圖的設(shè)計(jì)和尺寸光刻工藝概述光刻工藝是一種多步驟的圖形轉(zhuǎn)移過(guò)程。首先是在掩膜版上形成所需要的圖形,之后通過(guò)光刻工藝把所需要的圖形轉(zhuǎn)移到晶圓表面的每一層圖形轉(zhuǎn)移是通過(guò)兩步來(lái)完成的。首先,圖形被轉(zhuǎn)移到光刻膠層。光刻膠是一種感光物質(zhì)。曝光后會(huì)導(dǎo)致它自身性質(zhì)和結(jié)構(gòu)的變化。光刻膠被曝光的部分由可溶性物質(zhì)變成了非溶性物