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考試題型:一:填空題〔7個(gè)題目,30分〕二:簡(jiǎn)答題〔4624分〕三:分析設(shè)計(jì)題〔4個(gè)題目,10+12+12+12=46分〕復(fù)習(xí)題目及參考答案:填空題1.按規(guī)模分類集成電路主要有哪些?小規(guī)模集成電路SS,中規(guī)模集成電路MS,大規(guī)模集成電路LS,超大規(guī)模集成電路VLS,特大規(guī)模集成電路ULS成電路GS。什么是摩爾定律?參看教材第4頁。光刻的工藝過程有哪些?什么是Scaling-down?Scaling-down是指集成電路中的器件尺寸等比例縮小器件性能不變差,襯底摻雜濃度要相應(yīng)增大。影響閾值電壓的因素有哪些?CMOSNMOS增加型,PMOS增加型;NMOS地,PMOS管的體端接V 。 DDCMOS規(guī)律電路的功耗由3局部組成,分別是動(dòng)態(tài)功耗、開關(guān)過程中的短路功耗和靜態(tài)功耗;增大器件的閾值電壓有利于減小短路功耗和靜態(tài)飽和負(fù)載NMOS3個(gè)主要缺點(diǎn)是:輸出高電平有閾值損失,輸出低電平不是0,Kr,輸出低電尋常有靜態(tài)功耗。3高電平、低電平和高阻態(tài)。什么是襯偏效應(yīng)?什么是上升時(shí)間和下降時(shí)間,什么是傳輸延遲時(shí)間?簡(jiǎn)答題MOS18什么是閂鎖效應(yīng)?其防護(hù)措施是什么?答:閂鎖效應(yīng)是CMOS工藝所特有的寄生效應(yīng),嚴(yán)峻會(huì)導(dǎo)致電路的失效,甚至燒毀芯片。閂NMOSPNPMOSn-p-n-p降低寄生雙極晶體管的增益;使襯底加反向偏壓;加保護(hù)環(huán);用外延襯底;承受SOICMOS技術(shù)。深亞微米CMOS工藝的主要改進(jìn)是什么?答:淺溝槽隔離代替LOCOS隔離;外延雙阱工藝代替單阱工藝;逆向摻雜和圍繞摻雜代替均勻的溝道摻雜;NMOS、PMOS分別承受n+、p+硅柵;在溝道兩端形成很淺的源、漏延長(zhǎng)區(qū);硅化物自對(duì)準(zhǔn)構(gòu)造;銅互聯(lián)代替鋁互聯(lián)。作用。答:1.薄膜制備工藝:包括氧化工藝和薄膜淀積工藝。該工藝通過生長(zhǎng)或淀積的方法集成電路制作過程中所需的各種材料的薄膜,如金屬層、絕緣層等。上。到晶圓片的特定位置上,形成晶體管的源漏端以及歐姆接觸等。SOICMOSCMOS12.減小了pn34.極大減小了源、pn結(jié)面積,從而減小了pn5.有利于抑制短溝效應(yīng);6.有很好的抗幅照性能;7.實(shí)現(xiàn)三維立體集成。簡(jiǎn)述動(dòng)態(tài)電路的優(yōu)點(diǎn)和存在的問題。答:優(yōu)點(diǎn):1.削減了MOS管,有利于減小面積;2.減小了電容,有利于提高速度;3.保持了無比電路的特點(diǎn)。存在的問題:靠電荷存儲(chǔ)效應(yīng)保存信息,影響電路的牢靠性;存在電荷共享、級(jí)聯(lián)、電荷泄漏等問題;需要時(shí)鐘信號(hào)掌握,增加設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單性。CMOS答:1.無比電路,具有最大的規(guī)律擺幅;在低電平狀態(tài)不存在直流導(dǎo)通電流;靜態(tài)功耗低;直流噪聲容限大;承受對(duì)稱設(shè)計(jì)獲得最正確性能。什么是LOCOS工藝,它有什么優(yōu)缺點(diǎn)?答:LOCOS工藝是指硅的局部氧化,是一種隔離技術(shù),即是在器件之間進(jìn)展氧化實(shí)現(xiàn)隔離以免它們相互影響;優(yōu)點(diǎn):避開了過大的氧化層臺(tái)階影響硅片的平坦度、進(jìn)而影響了金屬連線的牢靠性;缺點(diǎn):鳥嘴的形成,使有源區(qū)面積比幅員設(shè)計(jì)的小。假設(shè)要求的氧化層很厚,外表仍舊有較0.54Tox。分析設(shè)計(jì)題MOS晶體管各是什么類型,標(biāo)明每個(gè)MOS作狀態(tài),設(shè)全部晶體管的閾值電壓確實(shí)定值都是1V。2V 5V 5V5V5V 2V0.4V 0V
1V 4V(b)解:
(c)
(d)增加型NMOSFET,VT
1V, V VGS
V 0,工作于線性區(qū)。DS增加型NMOSFET,VT
1V, VDS
V VGS
0,工作于飽和區(qū)。耗盡型NMOSFET,VT
VDS
V VGS
0,工作于飽和區(qū)。增加型PMOSFET,VT己標(biāo)出)
V VGS
V 0,工作于線性區(qū)。(柵、源、漏極自DS如下圖,M1和M2VB
V VG
V ,A假設(shè)都是NMOS,它們各工作在什么狀態(tài)?假設(shè)都是PMOS,它們各工作在什么狀態(tài)?證明兩管串聯(lián)的等效導(dǎo)電因子是K
effKK /(K1 2 解:
K )。2CV<V-V<VM1B G T AM2于是對(duì)M1而言,有V V 0,即Vc<V-V。又V-V<V,即V V V ,GS T G T G T A DS GS TM1而對(duì)M2而言,有V VGS T
V M2DSNMOSFETPMOSFETPMOSFET,則M1區(qū),M2取一例證明。以此題中的NMOSFET和給定的偏壓為例,兩個(gè)NMOS管等效為一個(gè)NMOS管后,依V<V-V<VM1、M2和等效管MeffB G T AI K(V V D1 1 G
V )2CI KD2
[(V V V 2 G T B(V VG
V )2]CI K (V V V )2Deff eff G T BI I 則有D1 D2
I
由I =I
知: 1 1 1K K 1 2
eff
D1
K K 1 2
eff即K =KK/(K+K)eff 1 2 1 2設(shè)計(jì)一個(gè)CMOS反相器,VTP
=–0.7V,VTN
=0.6V,VDD
=3.3V,K=60μA/V2,NK=25μA/V2,L=0.6μm,P要求Vit
=1.6V,計(jì)算WN
/W;P10VTPVTN有±15%的變化,考慮最壞狀況反相器的規(guī)律閾值將如何變化。解:利用規(guī)律閾值公式V it
代入數(shù)值得到K=1。V V 1K (V V )TNr DD1KTP1rN而比例因子K K Nr KP
K”W /LN N K”W /LP P
K” W N N,K” WP P故而有W/W=K×K’/K’=5/12=0.42。N P r P N依V公式有itV TN1K (V TN1K (VrV )DDTP1 1KV it
TN DD TP2r最壞狀況下,V =15%×0.6V=0.09V,TNV =-15%×〔-0.7V〕=0.105V,TPV =10%×3.3V=0.33VDD則Vit
=0.2625V,相對(duì)誤差為
V 100%16.4%,itVitit即規(guī)律閾值變化范圍為1.6×1±16.%4.230畫出一個(gè)2輸入的類NMOS與非門,假設(shè)V=5V,V=0.8V,V=-1V, =2,DD TN TP n pNMOS8,PMOS2,電路的輸出高、低電平是多少。解:NMOSVddFAB輸出高電尋常,A、B管至少有一個(gè)截止,此時(shí)PMOS導(dǎo)通,故而VOH
5V;輸出低電尋常,V V VA B IH
5VNMOSNMOS管,由于下拉力量很強(qiáng),此時(shí)N管處于線性區(qū),P管處于飽和區(qū),依I I 有:DP DNK (VP G
V V TP S
K [(V VN G
V S
(V VG
V )2]DK 而N
W /2 N
4 代入數(shù)據(jù),有V
0.51VK W OLP P P分析下面2個(gè)電路的規(guī)律功能,假設(shè)全部輸入高電平都是5V0V,電源電5V,全部MOS0.8V2優(yōu)缺點(diǎn)?!?〕 〔2〕解:電路〔1〕YABAB,Vol
0,AB0V
5V;規(guī)律功能掌握信號(hào)S1~S4FAB1000AB規(guī)律功能掌握信號(hào)S1~S4FAB1000oh電路〔2〕YABABABAB,低電平0V,高電平4.2V。主要優(yōu)缺點(diǎn):電路〔1〕構(gòu)造簡(jiǎn)潔,節(jié)約面積,規(guī)律電平與輸入狀態(tài)相關(guān),驅(qū)動(dòng)力量差,噪聲容限小。電路〔2〕構(gòu)造規(guī)整,規(guī)律敏捷,轉(zhuǎn)變輸入信號(hào)可以實(shí)現(xiàn)對(duì)AB有閾值損失,驅(qū)動(dòng)力量差,噪聲容限小。一個(gè)NMOSS1~S4A、BYA、BYS1~S4分別為1、B的掌握信號(hào)表達(dá)式。ABS4 ABS3S2S1解:Y = ABS1 + ABS2 + ABS3 +ABS4FFAB0111FAB0001FAB0110FAB10018.〔10〕以下圖是一個(gè)由MOSCoS算此電路圖中PMOSNMOSVDDVDDCiVDDA BABABCBiVDDAXCiCiACiBBVDDABCiACoBA解:此電路圖實(shí)現(xiàn)一個(gè)全加器的功能,其中S代表全加器的輸出和,Co代表全加器的輸出進(jìn)位。它們的規(guī)律關(guān)系達(dá)表示如下所示:CoAB(AB)CiS(ABCi
)CoABCi14PMOS14NMOS7.畫出實(shí)現(xiàn)YABCDABC的靜態(tài)CMOSMOSK,分析幾個(gè)輸入同步變化的等效反相器的導(dǎo)電因子〔K電路有最小的低電平噪聲容限。
KPe
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