《鈣鈦礦電池用激光刻蝕機技術要求》征求意見稿

1鈣鈦礦電池用激光刻蝕機技術要求下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)GB1958形狀和位置公差檢測規(guī)定GB/T4025人機界面標志標識的基本和安全規(guī)則指示器和操作器的編碼規(guī)則GB/T5226.1機械電氣安全機械電氣設備第1部分：通用技術條件GB/T15945電能質量電力系統(tǒng)頻率偏差GB/T19804焊接結構的一般尺寸公差和形位公差GB/T23156包裝包裝與環(huán)境術語GB/T25915.1潔凈室及相關受控環(huán)境第1部分：空氣潔凈度等級GB/T29845半導體制造設備的最終裝配、包裝、運輸、拆包及安放導則JJF(電子)0013電力電子器件參數(shù)測試設備校準規(guī)范3.1鈣鈦礦電池用激光刻蝕機Laseretchingmachineforperovskitebatteries通過使用高能激光束對鈣鈦礦材料進行精確的刻蝕，以形成所需的電池結構，提高電池的光電轉換效率、優(yōu)化電池的光學性能、實現(xiàn)電池的規(guī)?；a(chǎn)等，專門用于制造鈣鈦礦太陽能電池的刻2作為鈣鈦礦電池用激光劃線設備的核心部件，其輸出的激光束經(jīng)過準直系統(tǒng)和掃描系統(tǒng)后，可在鈣鈦礦電池表面進行劃線作業(yè)。3.3鈣鈦礦電池用激光刻蝕機控制系統(tǒng)Controlsystemoflaseretchingmachinefor控制系統(tǒng)主要包括計算機、控制卡和運動控制器等，可實現(xiàn)激光頭沿預設的路徑進行劃線。3.4鈣鈦礦電池用激光刻蝕機劃線平臺Laseretchingmachinemarkingplatformforperovskite劃線平臺是支撐鈣鈦礦電池的平臺，通過精密的運動控制可實現(xiàn)鈣鈦礦電池的精確定位和劃線。3.5鈣鈦礦電池用激光刻蝕機輔助部件Laseretchingmachineauxiliarycomponentsfor鈣鈦礦電池用激光刻蝕機輔助用部件，主要包括準直系統(tǒng)、光路系統(tǒng)、抽塵系統(tǒng)、真空吸附系統(tǒng)、大理石XY直線電機機構、機架護罩等。4技術要求4.1技術定義利用激光技術對鈣鈦礦太陽能電池進行精確刻蝕的設備，主要用于制造鈣鈦礦太陽能電池的電極和導電膜。4.2功能性要求4.2.1刻蝕精度設備應具有高精度的刻蝕能力，能夠實現(xiàn)微米級或納米級的刻蝕精度。4.2.2刻蝕深度控制設備應能夠精確控制刻蝕深度，以滿足不同類型鈣鈦礦電池的制造需求。4.2.3刻蝕速度設備應具有高速的刻蝕能力，以提高生產(chǎn)效率。4.2.4刻蝕質量設備應能夠保證刻蝕質量，避免在刻蝕過程中產(chǎn)生裂紋、碎片等缺陷。4.2.5設備穩(wěn)定性設備應具有良好的穩(wěn)定性，能夠在長時間運行中保持刻蝕性能的穩(wěn)定。4.2.6安全性設備應具有良好的安全性能，能夠在操作過程中防止激光傷害和材料飛濺。4.3激光劃線工藝在透明玻璃上制作ITO層后，使用激光分割ITO層。如圖1工序的示意圖所示，不傷及透明玻璃，形成相互獨立的ITO襯底。經(jīng)過P1工序，依次制作電子傳輸層、鈣鈦礦層和空穴傳輸層，使用激光劃開上述三層，暴露出ITO層，使得P3工藝金電極蒸鍍過程中能夠讓子電池之間的正負極相互連接。3經(jīng)過P2工序，鍍金電極，使用激光劃開金電極層、電子傳輸層、鈣鈦礦層和空穴傳輸層，不傷激光金電極(Au)空穴傳輸層(HTL)電子傳輸層(ETL)透明玻璃P1功率≤1.5M因子脈沖寬度單頭/6頭/12頭工作臺平整度電池片尺寸300*400/500*500/600/600*電機定位精度電機最高速度最小刻蝕線寬最小公差最小線間距熱效應區(qū)圖形重復精度直線度除塵率20m/min(可調(diào))4項目危險因素安全措施安全狀況點檢具體說明機械裝置傷和夾傷人員易造成夾傷部位(氣缸等)加裝防護或者安全標志必須護罩，張貼明顯安全標志安裝急停開關，人機交互設必須機臺前后面安裝明顯的急停開關，人工啟動作業(yè)需按鈕啟動電氣控制1.設備發(fā)生漏電會造成人員觸電傷害設備漏電保護開關必須電控箱內(nèi)設有漏電保護電氣系統(tǒng)必須接地必須電控系統(tǒng)可靠接地載保護必須電控箱內(nèi)設有漏電保護3.控制程序中在安全隱患必須5d)其他有關標志標準。6.4運輸6.4.1運輸工具應清潔、衛(wèi)生。產(chǎn)品不得與有毒、有害、有腐蝕性、易揮發(fā)或有異味的物品混裝運輸。6.4.2搬運時應輕拿輕放，嚴禁扔摔撞擊、擠壓。6.4.3運輸過程中不得曝曬、雨淋、受潮。6.5貯存6.5.1產(chǎn)品不得與有毒、有害、有腐蝕性、易揮發(fā)或有異味的物品同庫貯存。6.5.2產(chǎn)品應貯存在陰涼、干燥、通風的庫房中；嚴禁露天堆放、日曬、雨淋或靠近熱源；包裝箱6.5.3在攝氏零度以下運輸與貯存時，應有防凍措施。7安裝、交付技術標準7.1概述安裝、交付技術標準系指為滿足和保證產(chǎn)品質量要求，對產(chǎn)品安裝和交付的要求所制定的標準。7.2安裝、交付技術標準內(nèi)容a)現(xiàn)場安裝程序、方法、要求和注意事項；b)安裝驗收技術條件，即對安裝完工后的試運行技術要求和方法做出的規(guī)定；c)交付驗收程序、抽樣及試驗方法；d)安裝、交付技術文件的完整性要求。7.3安裝、交付技術標準制定要求7.3.1制定安裝技術標準時，應包括防止由于安裝不當而引起降低