等離子增強化學氣相沉積系統(tǒng)設備的主要技術參數(shù)

常熟理工學院第一章招標通告

光伏科技學院專業(yè)試驗室設備招標文件目 錄其次章技術標準及要求第一節(jié)總要求其次節(jié)技術標準及要求第三章投標人須知第一節(jié)總體說明其次節(jié)編制投標文件第三節(jié)投標保證金第四節(jié)投標文件的遞交第五節(jié)開標、評標附錄：一、投標書格式二、投標價格表格式三、設備及其參數(shù)第一章

招標通告常熟理工學院現(xiàn)對光伏科技學院專業(yè)試驗室試驗設備所包含的貨物及效勞進行競爭招標，邀請具備供給方案、設備、安裝等資質(zhì)和力量的制造商或經(jīng)銷商前來投標.招標貨物名稱、數(shù)量及主要技術規(guī)格詳見本招標文件附錄三.3.招標時間：202312月１820112３日0123日１１時之前,逾時恕不受理2０11120日前安裝調(diào)試完畢送標地點：常熟理工學院教務處設備科招標人：常熟理工學院招標辦公室、常熟理工學院教務處設備科招標人地址：常熟理工學院東湖校區(qū)常熟理工學院教務處設備科9.：2１55０010.:15２２５1１8511.：１10.聯(lián)系人：技術標的物理與電子工程學院學院:錢教師 3商務標的 招標辦：張教師３設備科：徐教師 1其次章技術標準及要求第一節(jié)

總體要求總則定，投標人應供給符合本技術和國家標準、行業(yè)標準的優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品。鑒定投標人產(chǎn)品能否到達要求，如投標人沒有在投標文件中提出異議，則視為投標人供給的產(chǎn)品完全符合要求。投標人必需按本招標文件所提出的貨物投標。技術要求規(guī)定以外的款項及標準的執(zhí)行技術要求，投標人應供給必要的證明文件以證明產(chǎn)品的技術性能、牢靠性及耐用性，能夠使招標人完全滿足.投標人供給的產(chǎn)品應標明所執(zhí)行的標準，假設同一標準已頒發(fā)標準,則按最標準執(zhí)行.假設同一標準同時有幾個標準〔如國際標準、國家標準、行業(yè)標準、企業(yè)標準等)則按最高層次的標準執(zhí)行。效勞承諾投標人應按招標文件對其投標貨物的效勞內(nèi)容要求作具體的描述。其次節(jié)

技術標準及要求1.光伏科技學院專業(yè)試驗室試驗設備購置，該工程具體要求詳見附錄三。第三章投標人須知第一節(jié) 總體說明本招標文件僅適用于本次招標中所表達工程的貨物及效勞選購。工學院教務處設備科.“投標人”系指向招標人提交投標文件的制造商或供貨商?！柏浳铩毕抵纲u方按招標文件規(guī)定,向買方供給的一切設備、備品備件及其它有關技術資料和材料。似的義務。商。無論投標結果如何，投標人自行擔當全部的參與投標有關的全部費用。要求

其次節(jié)

編制投標文件招標文件的要求，其投標書將被視為廢標。投標文件的組成投標文件應包括以下局部：投標書：分為商務標(投標價格表〕和技術標〔產(chǎn)品具體技術說明、數(shù)量、型號規(guī)格,生產(chǎn)廠家，必要的圖紙和圖片等)；其中商務標〔投標價格表〕必需有法人或托付代理人代表簽字并加蓋單位公章，并單獨密封；投標資質(zhì)證明文件復印件；招標文件規(guī)定應提交的其他資料和文件；投標人代表必需持有法人代表簽字的授權托付書,并加蓋單位公章.帖。投標文件應裝訂成冊,并列出投標文件名目。投標文件格式投標人應按招標文件供給的投標文件格式填寫投標書、投標價格表。3。2投標人可對本招標文件所列的全部貨物投標，也可只對其中一項或幾項貨物投標，但不得將一項中的內(nèi)容拆開投標.投標報價４．1投標人應在招標文件所附的投標價格表上寫明投標貨物的單價和投標總價。投標單價也包含各貨物安裝、調(diào)試、驗收直至正常交付使用等過程中的費用。投標總價為貨物安裝完畢及驗收合格后的最終標價.招標人不再另付運輸費、安裝費、調(diào)試費、培訓費等費用。能有任何選擇價。終總價分別以國內(nèi)貨物總價和國外貨物總價區(qū)分報價。４.4每一工程的報價應附有該工程的技術性能、材質(zhì)、主要附件的具體描述和材料分析表.投標人資格證明文件５。1投標人須供給其有資格進展投標和有力量履行合同的證明文件〔如營業(yè)執(zhí)照、生產(chǎn)許可證、資質(zhì)證書、質(zhì)量鑒定證書等的復印件〕。５.2如投標人供給貨物及效勞不是投標人生產(chǎn)或擁有的,則須供給貨物制造商和技術擁有者的正式授權書〔原件或復印件〕,否則投標人的投標書將視為廢標。5.3投標人具有履行合同所需的財務、技術和生產(chǎn)力量。投標貨物符合招標文件規(guī)定的技術響應文件６。１投標人須供給投標貨物的主要性能和構造的具體的描述。６。2供給必要的數(shù)據(jù)、圖紙和圖片。６．3供給投標貨物的執(zhí)行標準。供給ISO9０００質(zhì)量體系認證證書及相應產(chǎn)品的生產(chǎn)許可證、產(chǎn)品質(zhì)量合格證及產(chǎn)品技術說明。本招標文件對貨物的材質(zhì)、工藝、技術標準等要求僅系說明并非限制,投標人可供給替代產(chǎn)品,但替代產(chǎn)品的材質(zhì)、工藝、技術標準應相當于或優(yōu)于招標文件的要求.第三節(jié) 繳納投標保證金交人民幣貳萬元的投標保證金，作為其投標的一局部。投標保證金請按規(guī)定要求辦理(本地用本票、外地用銀行匯票,一律不承受現(xiàn)金、支票等方式〕。并注明收款人為：常熟理工學院 銀行帳號:322０１98６７開戶行：常熟建行城中支行未中標單位開標后退還保證金〔為便于準時退回投標保證金，請各投標〕，中標單位的投標保證金轉為質(zhì)量及履約保證金。２．在開標時，對于未按要求遞交投標保證金的投標,將視其為非響應性投標而予以拒絕。未中標人的投標保證金，將在投標有效期內(nèi)予以退還，不計利息。中標人的投標保證金，中標后轉為履約和質(zhì)量保證金，履行合同貨到驗收合格即退還履約和質(zhì)量保證金，不計利息。如發(fā)生以下狀況時,投標保證金不予退還：〔1〕。投標人在投標有效期內(nèi)撤回其投標；〔2〕．中標在規(guī)定期限內(nèi)未能:①依據(jù)規(guī)定簽訂合同;②依據(jù)規(guī)定繳納履約和質(zhì)量保證金。第四節(jié)

投標文件的遞交 投標文件一式二份，正本一份，副本一份,每一份投標文件上要明確注明“正本”或“副本”字樣,如正本和副本由差異時,以正本為準。 投標人應將招標文件用封套密封，并注明投標工程名稱及標段和投標人名稱及投標人代表姓名、聯(lián)系和號碼、通信地址、等.假設未按規(guī)定對投標文件進展密封，招標人不對投標文件負責. 截止時間前送交招標人,投標截止時間后,招標人不再受理任何投標文件。開標時間和地點

第五節(jié)

開標、評標開標的時間、地點由招標方安排進展。評標招標人將依據(jù)招標貨物的特點組成評標機構,評標機構對投標文件進展審查、質(zhì)疑、評估和比較。在對投標文件進展具體評估之前,招標人將依據(jù)投標文件審查投標人的技術、質(zhì)量保障和生產(chǎn)力量,假設確定投標人無力量履行合同，其投標書將認為是廢標。為了有助于對投標文件審查、評估和比較，招標人有權向投標人質(zhì)疑,請投標人澄清其投標內(nèi)容。評標時除考慮投標報價和技術效勞外,還將考慮貨物的技術水平、貨物的質(zhì)量以及滿足招標文件要求的程度。對全部投標人的投標評估，都將按一樣的程序和標準進展.標人為本次投標的中標人。招標人對落標的投標人不作任何解釋。附錄一:投標書參考格式

致:本投標人 (投標人名稱〕已具體批閱了招標編號關于 文件的全部內(nèi)容，現(xiàn)正式授權簽字人代表投標人 提交按招標文件規(guī)定編制的投標文件正本一份,副本一份,據(jù)此，授權簽字人聲明如下：投標貨物標段號為 (標段號)，投標金額為 〔大寫)，投標總報價為 〔大寫〕。要求，遵照招標文件的全部內(nèi)容,擔當招標文件規(guī)定的全部責任和義務。３〕本投標人情愿擔當直至合同簽訂時止為此項投標所開支的一切費用。4)本投標人理解招標人沒有承受最低投標報價的義務。投標人名稱：簽署時間： 年 月 投標人地址：標段標段貨物貨物計量每項數(shù)量 單價 總價號 名稱 描述 單位 總價附錄二：投標價格表參考格式投標價格表投標人標段號〔可續(xù)頁)單位蓋章：授權代表簽字年 月 日附錄三光伏科技學院專業(yè)試驗室選購設備技術指標見具體技術指標一套5源科技有限公司上海寰晟能見具體技術指標二套1源科技有限公司見具體技術指標三套1司套上海寰晟能見具體技術指標四１見具體技術指標五套5武漢眾友科技見具體技術指標六套1武漢眾友科技多功能物理性質(zhì)套測量系統(tǒng)〔ＰPＭS)見具體技術指標七1PＥCＶD-350雙套室等離子增加化見具體技術指標八１學氣相沉積設備超高真空多對靶套磁控濺射鍍膜設見具體技術指標九１備標段儀器設備名稱規(guī)格／型號/技術指標標段儀器設備名稱規(guī)格／型號/技術指標單位 數(shù)量推舉廠商備注１太陽能光伏發(fā)電系統(tǒng)教學平臺上海寰晟能2風光互補根本實〕３統(tǒng)〔室外〕456統(tǒng)試驗儀應用平臺7QｕantumＤｅsｉgn公司8限公司９沈陽科友真空技術一、太陽能光伏發(fā)電系統(tǒng)教學平臺主要技術指標：〔一)技術指標及要求：１．承受標準工業(yè)用太陽能電池板，可置于戶外和戶內(nèi)，角度可以調(diào)整。設備)。

具備光伏型和家用型兩種掌握方式.供給多種應用負載試驗:感性、阻性、功能性應用試驗〔手機等智能４．帶有蓄電池電源存儲系統(tǒng)，形成混合供電系統(tǒng)?！捕?根本組成:名稱名稱單晶硅太陽能電池板〔25W)太陽能光伏掌握器戶用太陽能掌握器數(shù)量１11閥控式密封鉛酸蓄電池閥控式密封鉛酸蓄電池１5組(三)可完成試驗工程:試驗１。太陽能電池發(fā)電原理試驗試驗１—1太陽能光伏板能量轉換試驗試驗１－2 環(huán)境對光伏轉換影響試驗試驗2．太陽能電池光伏系統(tǒng)直接負載試驗試驗3。光伏掌握型太陽能系統(tǒng)發(fā)電試驗試驗3—１光伏型掌握器工作原理試驗試驗3—2 掌握器充放電保護試驗試驗4-1戶用型掌握器工作原理試驗4—試驗5。太陽能系統(tǒng)電器負載試驗試驗6．綜合試驗標段２：具體技術指標二：一、風光互補根本試驗平臺〔室內(nèi))主要技術指標:〔一〕根本組成及性能指標:組成局部

性能指標風向儀、風輪機及支撐系統(tǒng)太陽能板、模擬光源及掌握系統(tǒng)風源模擬及掌握風光互補掌握器負載局部、蓄電池擴展功能檢測及掌握軟件(二〕可完成試驗工程：

400W，啟動風速3。１4m／s；額定風速13m/s；偏航風速5ms;最大設計風速15m/s；傳動方式:風輪直接驅(qū)動發(fā)電機;40~太陽能板：３0W,有效掌握功率：０~2０Ｗ；調(diào)整距離：0~7０ｃm;30０0W風源模擬、風源模擬軟件；鼓風機:功率30０0W,軸流風扇，承受可調(diào)速掌握器,風速調(diào)整范圍：０～１3m／ｓ;風速掌握精度：0.1m／s；；風向掌握精度:0．1度電力電子模塊:穩(wěn)壓模塊、掌握模塊、逆變模塊。掌握面板：風速、風向掌握面板、數(shù)據(jù)顯示面板，液晶顯示屏與掌握系統(tǒng)。24V，50AＨ,DI/DO擴展，負載包括感性負載、阻性負載,供給常用+１2V、+5V 用戶擴展接口；系統(tǒng)配置20ＡH蓄電池。電流、電壓、功率顯示與檢測，軟件測試數(shù)據(jù)圖形顯示。試驗1.風力發(fā)電根底理論原理性試驗試驗2.風力發(fā)電系統(tǒng)設計試驗試驗3。風力發(fā)電根底理論與應用技術仿真試驗試驗４.風力發(fā)電相關測量技術試驗試驗5．風力發(fā)電掌握技術試驗試驗6.太陽能根本理論試驗試驗7。太陽能發(fā)電根底理論及應用技術試驗試驗8．太陽能風力發(fā)電測量技術試驗試驗１0。風光互補發(fā)電試驗3：具體技術指標三:一、風光互補發(fā)電系統(tǒng)(室外)主要技術指標：名稱參數(shù)2名稱參數(shù)2００Wp單位塊數(shù)量４要求光伏電池光伏電池支架套１防腐支架連接導線套1防腐、防紫外線風機１．5kＷ臺1設計壽命20年并網(wǎng)型逆變器臺1設計壽命１5年風機塔架米1２斜拉塔架蓄電池１2V只２閥控，免維護(設計壽命3～５年逆變器10０ＡH額定輸出功臺1一體機設計壽５~8年,正弦波輸出連接導線率1。5kW套1防腐、防紫外線儀表掌握柜套1安裝傳感器、掌握器、顯示儀表計算機數(shù)據(jù)采集終端及軟件套1(二〕其他性能:具有蓄電池充放電掌握和容量顯示動功能和特別保護功能.連續(xù)過載力量１1０％瞬時過載力量１５０%，10 秒７０～４00V〔三〕可完成試驗工程：風力發(fā)電、太陽能發(fā)電相關測量技術試驗風力發(fā)電、太陽能發(fā)電相關變流技術試驗太陽能發(fā)電根底理論原理性試驗太陽能發(fā)電系統(tǒng)設計試驗太陽能發(fā)電相關應用技術與工程試驗風力發(fā)電根底理論與應用技術仿真試驗4:具體技術指標四:一、太陽能綜合測試平臺主要技術指標：〔一〕 根本組成與參數(shù)指標：名稱名稱規(guī)格說明發(fā) 太陽光模擬器電 太陽能陣列單元 鉛酸蓄電池光伏型太陽能掌握器戶用型太陽能控檢 制器測 數(shù)據(jù)接口控制 溫度傳感器單元光強傳感器轉換 ＤＣ／DＣ電源單 模塊元電源輸出電流表電源輸出電壓表顯

1５０Ｗ氙燈20Ｗ～100W2０AH~１0０AHＲS２32串口輸出－１0℃~100℃1２VＤC24ＶDC電源２0０—20230０l(fā)uｘ,０-1０00Ｗ／m２４-20ｍA/0-5V輸出９V－1８V輸入、5Ｖ/１２Ｖ/24Ｖ輸出９V供電0-20Ａ〔50A)

風冷、光強調(diào)整太陽能發(fā)電蓄電發(fā)電路燈方式發(fā)電供電隨用隨有方式發(fā)電供電有線、無線方式與上位機之間的數(shù)據(jù)傳輸環(huán)境溫度信號檢測光照度/光輻射度檢測〔可選〕顯示儀表供電、掌握器供電電源輸出功率表示負載消耗電流表單元 負載消耗電壓表負載消耗功率表計時器

9V供電0-２0V(5０V〕 掌握過程關鍵參數(shù)顯示９V供電0－125W〔1０00W)系統(tǒng)運行時間累計線性電阻負載燈泡負載負 演示負載載 外接負載單元電子負載

0.1Ω~100Ω０W~2１W蜂鳴器、電機、交通燈V、５Ｖ、12Ｖ輸入:0-1２0Ｖ,0－６0Ａ,０－３00Ｗ

定電阻模式試驗定功率模式試驗手機充電、玩具車電源定電流模式試驗定電壓模式試驗〔選〕定功率模式試驗〔二〕 可完成試驗工程：試驗1。太陽能光伏系統(tǒng)試驗試驗2.太陽能光伏電池發(fā)電原理試驗試驗3.太陽能掌握器原理試驗試驗4．太陽能光伏發(fā)電直接負載試驗試驗5．太陽能光伏發(fā)電間接負載試驗試驗6.太陽能光伏發(fā)電的環(huán)溫影響試驗試驗7．太陽能光伏發(fā)電的光強影響試驗試驗8．太陽能光伏輸出特性建仿照真試驗〔拓展試驗)試驗９．光伏發(fā)電最大功率點跟蹤試驗〔拓展試驗〕試驗１０.太陽能光伏陣列尋日試驗〔拓展試驗)5：具體技術指標五：一、太陽能電池綜合試驗儀主要技術指標:〔一〕參數(shù)指標：1、電壓表DC2０0mV、DC2V、DＣ20V、DC20０V四檔手動切換，電壓表最小區(qū)分率：0。1mＶ２、電流表DC２00μＡ、DC2ｍA、DC20mAD200mA四檔手動切換,電流表最小區(qū)分率:０。１ｕA3、照度計量程２０Lｘ、２00Lx2００0Ｌｘ三檔手動切換照度計最小區(qū)分率:0.01Ｌx光源:投光燈太陽能電池:398*３2５ｍm,10W4、工作參數(shù):電源:22０V／５0Hｚ〔二〕 可完成試驗工程：1、伏安特性測試試驗；２、短路電流測試試驗;3、開路電壓測試試驗;性測試試驗；5、最大輸出功率測試試驗；6、短路電流、開路試驗;７、電壓與相對光強的函數(shù)關系試驗;8、太陽能轉換效率測量試驗；9、太陽能電池串、并聯(lián)試驗;１0、太陽能電池光譜響應特性測試試驗；１１、太陽能電池溫度特性測試試驗;12、太陽能電池風扇試驗;１3、太陽能音樂聲響器設計試驗；14、太陽能節(jié)電照明燈設計試驗；15、太陽能草坪燈設計試驗;16、太陽能電池充電器設計試驗；1７、太陽能電池電源電路試驗；１8、蓄電池掌握試驗。標段６：具體技術指標六:一、太陽能光伏發(fā)電應用平臺主要技術指標：〔一〕 參數(shù)指標：數(shù)量：４塊光敏面積：４＊７0０ｃm2最大輸出功率：４*1０Ｗ開路電壓:21.5Ｖ(并聯(lián)),4*２1．5Ｖ〔串聯(lián)〕短路電流：4＊0．7２A〔并聯(lián)〕，0。７２A〔串聯(lián))２、自動跟蹤單元跟蹤方式：雙軸全自動跟蹤精度:±0．５°水平回轉角度：36０°俯仰角度:180°電機供電電源:D系統(tǒng)日平均耗電量:＜1W抗風等級:1０級3、照度計量程：200Lx、2０00Ｌx、20KLｘ(200０0Lx)和200KLｘ〔20０0０0Lx〕自動換擋。照度計最小區(qū)分率：0．１Lx４、電壓表量程:ＤC１Ｖ、DＣ５Ｖ、ＤC10Ｖ、ＤC１０0Ｖ電壓表最小區(qū)分率：1mV５、電流表量程:ＤＣ1A、DC5A電流表最小區(qū)分率:1mＡ6、溫度表及濕度表溫度表區(qū)分率：0．1℃(１6位〕精度:±1℃量程范圍：﹣40℃～+8０℃〔２〕濕度表區(qū)分率:0。１％RH(16位)精度：±3%RH〔25℃)，±5%RH〔0～5０℃〕,長期穩(wěn)定性：±3％ＲH/ｙr〔典型值〕７、負載單元可調(diào)阻性負載:1Ω、2Ω、…9Ω九檔10Ω、20Ω、…90Ω九檔１０0Ω、20０Ω、…９0０Ω九檔10０0Ω、20０0Ω、…9000Ω九檔電壓調(diào)整范圍：０－3０V電流調(diào)整范圍:０—10Ａ功率調(diào)整范圍：0-１00W8、蓄電池標稱電壓：１2Ｖ標稱容量:７.２Aｈ內(nèi)阻：2１mΩ(完全充電〕9、太陽能蓄電池掌握器系統(tǒng)額定電壓系統(tǒng)額定電壓最大輸入功率12V電流充電過放過壓放電充電均充／浮充恢復溫度補償啟動電壓斷開恢復切斷恢復空載電流光控開電壓60W5A5A120W10A１0A最大開路電壓１4.4/1３．8V±1％１3．3/13.5V±1％－18mＶ/℃１2。３±1％1１。１V±１％13.2V±１％1６。５Ｖ±1％１5V±1％≤５ｍA≤２Ｖ±１％≥７Ｖ±１％25V10、太陽能充電器單元輸入電壓：1２V～２４V充電電壓：１.５V、３.0V充電方式：恒流、恒壓11、離網(wǎng)逆變器輸入電壓:ＤＣ1０－15.５V,DC20—30V輸出電壓:AC22０±5％輸出頻率:５０HZ±１HZ無負載損耗：＜8W轉換效率：＞86%持續(xù)輸出功率：１２0Ｗ最大瞬間功率：4０0W輸出波形：純粹弦波１2、頻率表頻率范圍:４５-600Hz電源電壓：ＡC２２０V〔二〕 可完成試驗工程：1、太陽能電池板Ｖ-I特性測試試驗2、太陽能電池板負載特性測試試驗3、太陽能電池板工作環(huán)境4、掌握器工作原理試驗5、掌握器接線實訓6、蓄電池過充保護7、蓄電池過放保護8、蓄電池維護9、太陽能光伏系統(tǒng)電器負載實訓101112131415161718192021標段７:具體技術指標七:一、多功能物理性質(zhì)測量系統(tǒng)〔PPMS〕主要技術指標：立于計算機之外的中心掌握柜〔CPU〕12針腳樣品插座和連線的樣品腔、樣品操作桿、樣品初連線檢測臺、Windoｗs操作系統(tǒng)下的掌握軟件〔自動化程度高),液晶顯示器、真空泵等?？蛇M展遠程掌握和診斷。樣品腔尺寸：凈內(nèi)徑不小于２５mｍ系統(tǒng)磁場強度:縱向磁體:±９ T場均勻性:±0．０１％磁場穩(wěn)定性:1 ｐpm／小時掃描速度:１-200高斯/秒.磁場區(qū)分率：０。02ｍＴ 0〈Ｈ＜1T, ０．2 mＴ 1<H＜９ T溫度掌握范圍:1.9-４０0K〔假設增加選件可拓展到5０mk~10００Ｋ),在４.2Ｋ以下可維持長時間低溫測量〔不小于20230小時〕溫控準確度：±１％〔從零場—9Tｅsｌa〕;溫度掃描速度：0.０1 －１2K／miｎ，4.２K；多種溫度掌握模式:非過沖模式，快速穩(wěn)定模式和溫度掃描模式溫度穩(wěn)定性：±0.2％fｏr溫度＜10K (typ〕，±０.02% ｆor溫度〉１0 K(ｔyp.〕樣品室溫度計分布:不少于３個高精度溫度計分布在底部、頸部等不同位置使用氦氣啟動和運行,能夠全自動實現(xiàn)杜瓦中液氦的自循環(huán)，可將氣化的液氦液化，使其重回到杜瓦中,保持杜瓦瓶中的液氦面處于最優(yōu)位置。杜瓦液氦容量：6升；正常使用需要杜瓦內(nèi)液氦量:4 升;正常運行時杜瓦內(nèi)的壓力：7-１４Ｋpa；壓縮機功率：８。６Kｗ;壓縮機冷卻方式：風冷ACＭＳ選件技術參數(shù)：溝通驅(qū)動頻率：1０-10kHｚ；溝通場幅值:0。002-1５Oｅ;提拉法測量樣品時樣品移動速度：100ｃm/10次諧波;靈敏度:2×1０－8emｕ.５×1０—５emu8：具體技術指標八:一、PECVD－３50雙室等離子增加化學氣相沉積設備主要技術指標:真空系統(tǒng)

門構造；高”數(shù)顯復合真空計；配薄膜規(guī)壓力監(jiān)控及限流閥調(diào)整系統(tǒng)；真空極限

≤６.67x10－５

Pa〔經(jīng)烘烤除氣后〕；極襯底加熱:掌握方式占地面積

系統(tǒng)真空檢漏漏率：≤5。0x１0—7Pa。l／Ｓ;停泵關機１2小時后真空度：≤５Ｐａ；工作真空度:１~1０00Ｐa；:Φ１2５mm;基片與勻氣盤可在２0～8０mｍ之間可手動升降調(diào)整；膜厚不均勻性：≤±5％(￠４英吋內(nèi))；ｔ≤4０0±１℃，PIＤ智能溫控儀調(diào)整控溫；m頻率 １3。56MHｚ,功率５０0W；一臺手動及模擬〔氣路)規(guī)律掌握;報警并執(zhí)行相應保護措施；長×寬：２０００×200０mm;〔含關心設施)標段９:具體技術指標九:一、超高真空多對靶磁控濺射鍍膜設備主要技術指標:1、本設備的試驗目的為用于制備太陽能薄膜，無機半導體透亮薄膜及金屬氧化物薄膜，用于薄膜太陽能電池光電效應的爭論.工作方式為單靶獨立工作、雙靶共濺射、三靶共濺射和四靶共濺射.２、設備的組成：由超高真空磁控濺射鍍膜室、進樣室