基板與柔性顯示

1、1,顯示技術(shù)進(jìn)展,第八章 玻璃基板的種類、特性、製程技術(shù)及其應(yīng)用,參考資料： 1.平面面板顯示器 基本概論 二版 顧鴻壽/周本達(dá)/陳密 /張德安/樊雨心/周宜衡 編著 出版者：高立 書號：232526 發(fā)行日期：2005年8月 2.顯示器原理與技術(shù) 趙中興 編著 出版者：全華 書號：03185-01 發(fā)行日期：1999,2,顯示技術(shù)進(jìn)展,8-1 前言 8-2 液晶顯示器用之玻璃基板的材料、種類及其特性 1.玻璃基板的材料及其種類 2.玻璃基板的材料及其特性 8-3 液晶顯示器用之玻璃基板的製作技術(shù) 1.玻璃基板的製造流程技術(shù) 2.玻璃基板的後段加工技術(shù)及其特性 8-4 玻璃基板的應(yīng)用領(lǐng)域與未來

2、展望,3,顯示技術(shù)進(jìn)展,*玻璃是一種非晶的無機(jī)材料，無機(jī)材料、金屬材料、有機(jī)材料並列為自然界三大主要材料 無機(jī)材料(Inorganic)是所謂金屬的氧化物、碳化物、氮化物以及氫化物等 有機(jī)材料是由碳、氫、氧、氮和鹵元素等所聚合 鈉玻璃是一般日常生活中最普通的玻璃材料，由碳酸鈉加石灰以及矽沙所製成，色帶微綠而所見之平板和瓶管類產(chǎn)品均之。 硼玻璃由三氧化硼加石灰及矽砂所製成，質(zhì)堅(jiān)難溶、澎賬係數(shù)低，適用於製作化學(xué)儀器等實(shí)驗(yàn)性物品 鉛玻璃是由氧話鉛、碳酸鈉加石灰及矽砂所製成，折光性極強(qiáng)而適用製作光學(xué)儀器 石英玻璃含二氧化矽96%以上，軟化點(diǎn)極高，耐磨、子外線透光極高，融製困難，價格昂貴,8-1 前言,

3、4,顯示技術(shù)進(jìn)展,*世界生產(chǎn)平面面板顯示器的主要知名廠商有美國康寧公司(Corning, 1970年代進(jìn)入市場)、日本電氣硝子(NEG, 1992年進(jìn)入市場)、日本旭硝子(AGC)和日本NH-Techno(1993年進(jìn)入市場)。 *美國康寧公司的市場佔(zhàn)有率是60-65%且位居世界第一位。世界第一大玻璃生產(chǎn)公司為美國康寧公司於日本及韓國均有玻璃溶融爐和切割加工等工廠，該公司隨著臺灣TFT-LCD產(chǎn)業(yè)的數(shù)千億臺幣的投資而於1999年在臺南科學(xué)園區(qū)投資7-8千萬美金而設(shè)立兩座玻璃溶融爐和16條後段切割加工生產(chǎn)線等工廠。 *日本旭硝子株式會社在臺灣雲(yún)林科技工業(yè)區(qū)投資100億元並設(shè)立臺灣旭硝子發(fā)殷科技股

4、份有限公司(AFT)，以浮動式融爐法為主並生產(chǎn)大面積的玻璃基板如550mmX650mm(第3代)、680mmX880m(第3.75代)m和730mmX920mm，其厚度規(guī)格為1.1mm, 0.7mm, 0.6mm, 0.5mm和0.4mm。,8-1 前言,5,顯示技術(shù)進(jìn)展,*液晶平面顯示器所使用的玻璃基板之材料，有主要成份為二氧化矽(SiO2)、氧化硼(B2O3)和氧化鋁(Al2O3)中含鹼土類金屬氧化物RO，以及含鹼金屬氧化物R2O等兩大類 *因液晶平面顯示器的種類，應(yīng)用領(lǐng)域和驅(qū)動方式不同，而使用不同尺寸的玻璃基板材料，分格式或格子式(Segment)的扭曲向列型(TN)面板)的蘇打石灰玻璃

5、 簡單矩陣式的扭曲向型和超扭曲向列型(STN)之面板的玻璃材料是蘇打石灰玻璃和中性硼矽酸玻璃(Neutral Borosilicate Glass),8-2.1玻璃基板的材料及其種類,6,顯示技術(shù)進(jìn)展,*不同的材料玻璃一些基本特性,8-2.1玻璃基板的材料及其種類,7,顯示技術(shù)進(jìn)展,*就基板之熱特性而言，有耐色性、耐熱衝擊性、熱伸縮性 、熱膨脹係數(shù)。耐熱性乃指玻璃材料所能忍受之最高溫度 ，即所謂的歪點(diǎn)溫度。其容許溫度差值如下: T= ()/ E T:容許溫度差 :彎曲強(qiáng)度 :Poisson比值 :黏度 :楊式係數(shù) E:熱膨脹係數(shù) *此玻璃材料在加熱後的尺寸，比加熱前來的小呈熱收縮現(xiàn)象 稱為緊縮

6、效應(yīng)(Compaction) *目前的對策有使用高耐熱性的玻璃材料或預(yù)先退火熱處理， 以得高的尺寸安定性玻璃基板,8-2.2玻璃基板的材料及其特性,8,顯示技術(shù)進(jìn)展,*玻璃的溫度以及尺寸的關(guān)係: 若玻璃基板加熱於成膜溫度， 則因因熱收縮效應(yīng)而產(chǎn)生尺寸 減小，薄膜元件因成膜製程和 圖案化製程來1回反覆操作，而 使機(jī)板發(fā)生熱收縮，並影響圖 案的精密度，也影響到元件的 特性。,8-2.2玻璃基板的材料及其特性,9,顯示技術(shù)進(jìn)展,*熱處理玻璃機(jī)板和未熱處理玻璃基板熱收縮變化圖: 目前改善熱收縮的對策有使用高耐熱性的玻璃材料或預(yù)先退火熱處理，以得高的尺寸安定性玻璃基板,8-2.2玻璃基板的材料及其特性,

7、10,顯示技術(shù)進(jìn)展,8-2.2玻璃基板的材料及其特性,*玻璃機(jī)板材料的種類不同有所差異： 1.蘇打石灰玻璃：成長鹼金屬溶出防止膜於基板表面，利用化學(xué)氣相沉積法或化學(xué)液相沉積法。 2.非鹼金屬硼矽酸玻璃和非鹼金屬鋁硼矽酸玻璃：此類玻璃的 鹼性金屬成份的含有量少0.1%的重量百分比，扭曲向列型和扭曲向列型，其玻璃基板鹼性金屬成份溶出量的容許是0.3%，高信瀨度的要求值在0.2%以下。 3.中性硼矽酸玻璃：一般指玻璃基板中鹼金屬含有量小於蘇打石灰中的50%，調(diào)節(jié)其成份並使其成中性化，則可大幅地減少鹼金屬離子的溶出。,11,顯示技術(shù)進(jìn)展,8-2.2玻璃基板的材料及其特性,*在TFT-LCD製程中，因?yàn)?/p>

8、金屬或氧化物的薄膜在進(jìn)行蝕刻工程 時，均會使用到不同的酸性和鹼性的溶液，故玻璃基板材需考 慮到其對各種蝕刻液的化學(xué)藥品耐久性。 *玻璃化學(xué)藥品耐久性則有耐水性、耐酸性和耐鹼性等三大項(xiàng)目。 1.耐水性意指基板置於90度c之離子交換水中保持40小時，並測量 其前後單位面積之重量變化的特性，依玻璃種類的蘇打石灰、 非鹼性金屬和中性硼矽酸之順序。 2.耐酸性是把基板置於95度c而濃度為0.01N的硝酸水溶液中保 持20小時，並測量其前後單位面積之重量變化的特性，依玻璃 種類的蘇打石灰、非鹼金屬和中性硼矽酸之順序。,12,顯示技術(shù)進(jìn)展,3.耐鹼性是把基板置於80度c的鹼性蘇打水溶液中保持1小時，並測量其

9、前後單位面積之重量變化的特性，依玻璃種類的蘇打石灰、非鹼金屬和中性硼矽酸之順序。 *下頁表代表性玻璃基板在各種藥品中浸泡時，單位面積的重量減少之化學(xué)耐藥性或耐久性比較。 *一般製程中在基板上均會成長SiO2、ITO、SiN和Cr等功能性或結(jié)構(gòu)性的薄膜，這些薄膜都應(yīng)有良好的和強(qiáng)固的附額著力，在簡單矩陣式液晶面板之材質(zhì)，為鍍有SiO2膜的蘇打石灰玻璃，在主動式矩陣式液晶面板之材質(zhì)，為鍍有ITO膜的非鹼金屬玻璃和中性硼矽酸玻璃。,8-2.2玻璃基板的材料及其特性,13,顯示技術(shù)進(jìn)展,*在TFT-LCD整個製程中，因?yàn)榻饘倩蜓趸锏谋∧ぴ谶M(jìn)行蝕刻工程時，均會使用不同的酸性和鹼性的溶液，故在玻璃基板材料

10、需要考慮到其對各種蝕刻液的話學(xué)藥品耐久度,8-2.2玻璃基板的材料及其特性,14,顯示技術(shù)進(jìn)展,*液晶平面顯示器用之玻璃基板的製作技術(shù)，因?yàn)槠洳牧系某煞莺鸵话悴ＡУ醚u造過程以及其要求項(xiàng)目是有些不同的。 *其製造方法為直接吹氣成型或吹玻璃法、模型成型法和裝飾法。 *目前平面面板顯示器用之玻璃基板的製造方法，有流動床法、溶融向下曳引法、化學(xué)氣相反應(yīng)法、在曳引法 其中流動床法因具有低成本的量產(chǎn)型成形而占有優(yōu)勢。,8-3 液晶顯示器用之玻璃基板的製作技術(shù),15,顯示技術(shù)進(jìn)展,8-3 液晶顯示器用之玻璃基板的製作技術(shù),*如下圖所示，流動床法適用於製作蘇打石灰玻璃、低鹼金屬 玻璃和非鹼金屬玻璃，溶融法以非

11、鹼金屬玻璃為主，向下曳引 法則是以鋁硼矽玻璃為主，化學(xué)氣相反應(yīng)法應(yīng)用於合成石英， 而在曳引法則是用於製作低鹼金屬玻璃和非鹼金屬玻璃。 *流動床法為英國畢盧金頓布拉扎斯公司所開發(fā)的方法，乃 是在溶融錫表面上將溶融玻璃水平式拉曳成板狀基板，一般適 用於大板型量產(chǎn)之蘇打石灰玻璃板的製造。 *溝漕式向下曳引法是將溶融玻璃垂直式向下拉曳成平板狀基 板，孔口端的表面成凹凸?fàn)钣绊懟迤教剐?，而需要再進(jìn)行研 磨工程。 *溶融向下曳引法為美國康寧公司所開發(fā)的方法，其方法是由 溶融之兩測垂直方向流下，而形成平坦?fàn)畈ＡЩ濉?16,顯示技術(shù)進(jìn)展,*在曳引法為日本Hoya& Nippon Sheet所開發(fā)的技術(shù)，其方

12、法 是將溶融玻璃製作成母板玻璃，再將母板玻璃送到加熱爐， 使其呈軟化玻璃，並延壓成型為薄狀玻璃基板，此一方法容易 進(jìn)行玻璃的替換，可適用於連續(xù)性的生產(chǎn)規(guī)模。 *化學(xué)氣相反應(yīng)法則應(yīng)用於石英玻璃基板，其方法為四氯化矽 、氧氣和氫氣等反應(yīng)性氣體，進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)後形成玻璃錠， 再將此一玻璃定進(jìn)行刀切割加工成需厚度的基板材。 *在玻璃量產(chǎn)化技術(shù)擴(kuò)大時，所可能面臨到的問題有槽窯爐及 引出量方式的設(shè)計(jì)、成形槽放大比例而槽體受力大，機(jī)械其 需維持、白金倒槽的設(shè)計(jì)、垂直退火距離增加而廠房設(shè)計(jì)高度 也增加而廠房設(shè)計(jì)高度也增加、熔爐高度增加造成操作和維護(hù) 上不易、玻璃寬度增加而退火爐寬度也增加。,8-3 液晶顯示器用

13、之玻璃基板的製作技術(shù),17,顯示技術(shù)進(jìn)展,*玻璃基板的各種製作方法,8-3.1玻璃基板的製造流程技術(shù),18,顯示技術(shù)進(jìn)展,*流動床法為英國畢盧金頓布拉扎斯公司所開發(fā)的方法，乃是在溶融錫表面上將溶融玻璃水平式拉曳成板狀基板，一般適用於大板型量產(chǎn)之蘇打石灰玻璃板的製造 *溝漕式向下曳引法是將溶融玻璃重直式向下拉曳成平板. *溶融向下曳引法為美國康寧公司所開發(fā)的方法，其方法是由溶融之兩個垂直方向流下，而形成平板狀的玻璃基板. *再曳引法為日本Hoya&Nippon sheet所開發(fā)的技術(shù)，其方法是將溶融玻璃製作成母板玻璃，再將母板玻璃送至加熱爐，使其程軟化玻璃，再將其壓成薄板 *化學(xué)氣相反應(yīng)法應(yīng)用於

14、製造多晶矽用的石英玻璃基板，其方法為CCl4、O2、H2，等氣體，進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)後形成玻離錠，再將其切割形成基板,8-3.1玻璃基板的製造流程技術(shù),19,顯示技術(shù)進(jìn)展,*玻璃基板的製造流程，可分為溶融成形工程和就客戶 要求尺寸之後段加工工程，前段工程是製成母片玻璃， 而後段工程則是切割和表面研磨等母片玻璃的後續(xù)處理 *液晶平面顯示器的玻璃基板的特性要求有: 1.輕、薄、平坦、大型化 2.化學(xué)耐久性 3.熱穩(wěn)定性 4.玻璃品質(zhì)好,8-3.2玻璃基板的後段加工技術(shù)及其特性,20,顯示技術(shù)進(jìn)展,*玻璃基板形狀而言，其厚度由最初的1.1mm逐次地演變 為0.7mm、0.5mm、乃至於0.4mm的極薄限度

15、值，其從外形尺寸 則以300mm對角的形狀較多，一般所用的玻璃基板厚度，因顯 示面積的大小、機(jī)械的強(qiáng)度和規(guī)格需求等因素有所變化。 *在TFT-LCD整個製程中，因?yàn)椴ＡC(jī)板上要製作微細(xì)的圖案之 薄膜元件，而其表面之缺陷是必需避免的，在玻璃表面上，若 存在有刮痕、污物、凹凸和異物附著等缺陷的話，則薄膜的密 著性列化和電極配線的斷線等問題將會產(chǎn)生。 *就玻璃基板表面所容許的凹凸質(zhì)而言，其表面粗糙度的容許 值，隨主動式矩陣型、扭曲向列型、超扭曲向列型和鐵電液晶 型，分別地是100150A、200300A、200300A和200300A。,8-3.2玻璃基板的後段加工技術(shù)及其特性,21,顯示技術(shù)進(jìn)展,

16、*玻璃基板製造流程圖,8-3.2玻璃基板的後段加工技術(shù)及其特性,22,顯示技術(shù)進(jìn)展,*玻璃基板材料技術(shù)發(fā)展趨勢，為基板大型化、輕量化 、低成本化以及高自動撿查高效率化。 *為求大量生產(chǎn)以便求降低成本，而有不同世代的玻璃尺 寸被設(shè)計(jì)而出來，玻璃基板尺寸的大小會影響到可截取玻 璃的片數(shù)，而尺寸標(biāo)準(zhǔn)化成為一種重要的課題。 *因筆記型電腦和攜帶式資訊用之LCD面板對輕量化有強(qiáng)列 的要求，輕量而有強(qiáng)度的玻璃基板成為重要的項(xiàng)目 *因LCD面板製造廠商的成本控制和考量，而要求低價格化 零組件，因而玻璃製造商因應(yīng)這一個趨勢，未來若能開發(fā) 出不需要在經(jīng)過熱處理和研磨工程的素玻璃和母片玻璃， 直接進(jìn)行TFT階段的

17、生產(chǎn)則有效達(dá)到低價格化。,8-4 玻璃基板的應(yīng)用領(lǐng)域與未來展望,23,顯示技術(shù)進(jìn)展,8-4 玻璃基板的應(yīng)用領(lǐng)域與未來展望,*臺灣在平面顯示器產(chǎn)業(yè)已成為世界三大產(chǎn)國之一，在產(chǎn) 能和產(chǎn)量上的經(jīng)濟(jì)規(guī)模是頗坐三望二之勢，因而相關(guān)零件組 和材料如玻璃機(jī)板所需之市場量非常地大，2000年TFT-LCD 玻璃的需求量是6001000萬片，而相當(dāng)於5060億新臺幣，2001 年和2002年隨著臺灣各TFT-LCD產(chǎn)能的產(chǎn)出而所預(yù)測需求的玻璃 片數(shù)將大幅增加，薄型玻璃基板製造廠素有顯示器產(chǎn)業(yè)的晶 圓廠之稱。 *目前世界前四大玻璃基板生產(chǎn)廠家，均策略性在臺灣設(shè)立熔爐 成形製程和後段加工等一係列生產(chǎn)作業(yè)，另外三加國

18、內(nèi)廠商也 策略性聯(lián)盟的找到國外技術(shù)來源和經(jīng)營團(tuán)隊(duì)，進(jìn)行玻璃基板的 販?zhǔn)邸?24,顯示技術(shù)進(jìn)展,*不同世代玻璃面板之切割率,8-4 玻璃基板的應(yīng)用領(lǐng)域與未來展望,25,顯示技術(shù)進(jìn)展,*不同世代玻璃面板之切割率,8-4 玻璃基板的應(yīng)用領(lǐng)域與未來展望,26,顯示技術(shù)進(jìn)展,*第三代玻璃面板(550 x650) 3.5代世代玻璃基板(650X830) 切割片數(shù),8-4 玻璃基板的應(yīng)用領(lǐng)域與未來展望,27,顯示技術(shù)進(jìn)展,附錄:,參考網(wǎng)站:玻璃基板簡介.ppt,上偏光板,上玻璃,顏色區(qū),保護(hù)膜,ITO共用極,ITO顯示電極,液晶,補(bǔ)價電容,下偏光板,反射板,棱鏡板,導(dǎo)光板,光擴(kuò)散板,間隙粒子,電晶體,框膠區(qū)

19、,異方性導(dǎo)電膜,驅(qū)動IC,TAB,印刷電路板,黑 色框罩,背光燈管,玻璃基板由CF和TFT兩部分組成,28,顯示技術(shù)進(jìn)展,附錄:,參考網(wǎng)站:玻璃基板簡介.ppt,薄膜制程 RGB膜涂布 鍍BM膜 黃光制程 RGB 圖樣 黃光制程 蝕刻制程 RGB顯影 蝕刻制程 TFT測試 檢 視,配向膜涂布及刷磨,TFT及CF封準(zhǔn)組合,切割裂片,液晶注入,上下偏光板貼合,LCD電測目檢,LCD製程,PC壓著,封膠,機(jī)殼及背光源組裝,LCM檢測,LCM製程,TFT製程,57道光罩,CF製程,29,顯示技術(shù)進(jìn)展,附錄:,參考網(wǎng)站:Glass Substrate玻璃基板-.tw/wwwme/lab/precision/special/TM1-2.ppt,AMLCD Glass Substrate is the foundation of so called “High-Tech Displays”,AMLCD Gla