微機型數(shù)顯復(fù)合真空計使用說明書

1、內(nèi)容1.安全說明.12.技術(shù)參數(shù).23.工作原理.34.性能概述.45.使用概述.56.監(jiān)管績效概述.77.監(jiān)管形狀和安裝.108.真空計和調(diào)節(jié)器之間的連接.129.真空計啟動和顯示說明.1310.如何使用真空計.1310.1如何使用電阻器2裝置.1310.2使用電阻1和電離復(fù)合單元的方法。11、真空計脫氣.17*12。控制功能和設(shè)置方法.17*13、控制輸出.18*14。擴展函數(shù).20底盤規(guī)格.2215.附錄調(diào)節(jié)界面.24常見問題.27*內(nèi)容是可選的功能描述，只有該功能被選中且相應(yīng)的配置有效1.安全聲明為保證真空計的正常功能，使其具有高精度、穩(wěn)定性和長壽命，請按照本手冊規(guī)定的允許值和使用條件

2、進行操作和使用。要操作、維護和維修真空計時器，請遵守電氣設(shè)備的安全規(guī)范。避免在大氣壓下打開電離規(guī)燈絲，否則會灼傷電離規(guī)燈絲。當真空系統(tǒng)或管道中存在真空時，避免強行拆除管道。避免為具有“正壓”的真空系統(tǒng)安裝普通管道，而應(yīng)安裝具有“正壓”的管道。避免真空系統(tǒng)中的腐蝕性氣體腐蝕電阻計的傳感線和電離計的電極，以延長電離計的使用壽命。采取適當措施防止誤操作或不允許的損壞。如果我們沒有按照本手冊操作，我們將不承擔任何責任；真空計及其附件的保證條款也將無效。本手冊使用符號來解釋：注：表示必須遵循的信息。不遵守可能會導(dǎo)致人身傷害和真空計損壞。表示重要的附加信息和技能或建議。炫辰鈦保留改善和改變產(chǎn)品外觀和設(shè)計的

3、權(quán)利，恕不另行通知，產(chǎn)品和配件以實物為準。2.技術(shù)參數(shù)2.1阻力裝置的技術(shù)參數(shù)：配有：zj-52t型電阻表電阻表傳感線的冷阻值(86.5 1.7)真空度的測量范圍(干燥空氣或氮氣)1.0105 2.5103可測范圍。2.5103 5.010-1不超過顯示值的30%5.010-1 1.010-1可測量范圍。有效控制范圍為2.5103 5.010-1帕。2.2電離單元技術(shù)參數(shù)：測量范圍：51pa可測量范圍1 510-5 pa不超過顯示值的50%可測量范圍為510-5 110-5帕配備：zj-27型電離規(guī)調(diào)節(jié)靈敏度為：0.1515% pa-1。調(diào)節(jié)加速電極(柵極)地電位：225v3%測量陰極(燈絲)

4、中心點對地電位：25v5%。收集極到地電壓：0v。發(fā)射電流：100ua3% 5 110-1pa1ma3% 110-1110-5帕離子電流放大器指示誤差：5 110-4帕不大于5%110-4 110-5 pa不超過10%調(diào)節(jié)脫氣模式：焦耳脫氣。有效控制范圍：1 pa 510-5 pa2.3其他參數(shù)控制輸出模式：繼電器觸點接通和斷開輸出。每組輸出是一對常閉和一對常開?？刂曝撦d：交流220伏/1a(dc28v/5a)無電感負載。工作電源：ac220v10%/50hz。功率：最大功率約為40w。工作環(huán)境溫度：0 450工作相對濕度85%。底盤規(guī)格、開口尺寸和重量見附錄。3.工作原理3.1阻力裝置的工作

5、原理電阻單元采用導(dǎo)熱電阻真空計(也稱為皮拉尼真空計)，基于該真空計的火線通過電流的溫度隨真空(壓力)而變化。熱線的電阻因溫度的變化而變化。因此，真空度通過測量電阻的變化來測量。3.2電離計的工作原理電離單元采用熱陰極電離規(guī)?；谶@種規(guī)范，在低壓(真空)下，電離管的燈絲通過電流被“加熱”而發(fā)射電子，所以它被稱為熱陰極電離規(guī)范；同時，dc高壓被施加到電離規(guī)的加速電極，使得電子在規(guī)電極之間產(chǎn)生的電場中被加速，以轟擊氣體分子使其電離，電離產(chǎn)生的正離子被收集電極接收。離子流量與氣壓p的關(guān)系；i=kiepk是儀表靈敏度，i是離子電流，ie是發(fā)射電流，p是真空系統(tǒng)中的壓力(真空)。3.3復(fù)合真空計由電阻規(guī)管

6、、電離規(guī)管和電子電路組成。電阻單元電路完成電阻表熱線恒溫功率的調(diào)節(jié)、測量電橋隨真空度變化的電壓信號的采樣和放大、模數(shù)轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號。電離單元電路的一部分提供電離規(guī)管所需的工作電壓和發(fā)射電流的穩(wěn)定性；另一部分完成離子電流的檢測和放大，并通過模數(shù)轉(zhuǎn)換轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號一方面，以微處理器為核心的數(shù)字電路完成電阻單元真空數(shù)字信號的非線性處理和運算，最終送到顯示器顯示；一方面完成電離單元的數(shù)字信號采樣和計算，并送至顯示器顯示；同時，完成離子遷移和發(fā)射電流轉(zhuǎn)換之間的自動切換。另一方面，接收前面板的各按鍵指令或后面板的外部控制信號指令，并發(fā)出相應(yīng)的執(zhí)行指令；同時輸出真空控制信號、真空度模擬信號和計算機通信信號。

7、工作原理圖如下：電流抵抗規(guī)則2推測數(shù)量橋梁道路調(diào)節(jié)電路模數(shù)轉(zhuǎn)換系數(shù)轉(zhuǎn)動變化(a/d)調(diào)節(jié)電路測量橋梁道路電阻表1微處理器地方理由器官控制輸出模擬輸出計算機端口輸出外部控制信號按鍵輸入班長電源交流電模式數(shù)轉(zhuǎn)換(承兌交單)離子電流放大穩(wěn)定發(fā)射回路調(diào)節(jié)燈絲電流離開規(guī)則管收集桿dc高壓增加速度設(shè)置真空計電路工作原理框圖4.性能概述：復(fù)合真空計：采用特殊穩(wěn)定的處理工藝，用熱容量極小的金屬線作為真空敏感元件的阻值，從而在很大程度上降低了零點和滿度的漂移。采用特殊的恒溫工作模式，使其電阻單元具有更寬的測量范圍和更快的響應(yīng)時間。采用高穩(wěn)定性和高性能的dc高壓穩(wěn)壓和穩(wěn)定發(fā)射電路，保證電離規(guī)各項參數(shù)的穩(wěn)定運行。采

8、用獨特的真空離子流采樣放大電路和保護電路，保證了采集電路對瞬態(tài)電壓的強衰減，使真空測量更加穩(wěn)定可靠。全部采用進口微處理和數(shù)字接口芯片、模擬和數(shù)字分離技術(shù)、光電隔離技術(shù)、數(shù)字濾波等新技術(shù)，確保真空計具有較強的抗干擾能力。采用優(yōu)化的自動切換技術(shù)，確保真空計自動量程切換平穩(wěn)可靠。自動關(guān)閉技術(shù)電阻單元2是一個獨立的工作單元，顯示在真空計前面板的左窗口中。適用于泵機組前級管路或其他位置的粗、低真空測量和控制。電阻1和電離的組合是一個復(fù)合單元，顯示在真空計前面板的右窗口。在自動模式下，電阻1可以自動打開和關(guān)閉電離規(guī)，以實現(xiàn)對真相的連續(xù)測量和控制：(該模式要求電阻1和電離規(guī)的安裝位置之間沒有壓力(真空)差，

9、就像在同一個真空室中一樣。)。當該組合處于手動模式時，可以通過手動打開和關(guān)閉電離規(guī)來測量和控制電阻1和電離規(guī)，而不受安裝位置的限制(例如不在同一真空室中等)。)。在這種組合中，電離規(guī)也可以通過外部控制端口的可編程邏輯控制器信號關(guān)閉，從而實現(xiàn)真空系統(tǒng)在放氣和減壓前關(guān)閉電離規(guī)，避免點燃的電離規(guī)燈絲在低真空下氧化，延長規(guī)管的使用壽命；同時，在真空系統(tǒng)恢復(fù)抽真空后，它被設(shè)置為自動程序以自動打開電離計。控制點的設(shè)置和自動/手動模式測量的自由切換可通過前面板完成?？梢酝ㄟ^前面板的校正孔來校正電阻單元的零點(真空)和全度數(shù)(大氣壓力)。脫氣功能等操作可通過面板完成。真空計前/后面板功能圖：zdf-x-發(fā)光二

10、極管前面板zdf-x-發(fā)光二極管后面板zdf-x前面板zdf-x后面板6.監(jiān)管績效概述：復(fù)合真空計采用zj-52t電阻計和zj-27熱陰極電離計。6.1電阻表性能概述：zj-52t電阻表(又稱皮拉尼表)采用特殊的穩(wěn)定化工藝，以熱容量極小的金屬絲作為真空敏感元件，并在噴嘴處內(nèi)置環(huán)境溫度補償電路和防塵裝置。它具有量程寬、性能穩(wěn)定、響應(yīng)快、抗污染、抗氧化、漂移小、使用壽命長的特點。適用于粗真空和低真空測量，即測量1.0105帕至1.010-1帕的大氣壓力。電阻計(皮拉尼計)通過氣體分子熱傳導(dǎo)檢測真空。在低壓(真空)下，氣體的傳熱量與氣體摩爾質(zhì)量、氣體分子溫度、熱線表面等有關(guān)。因此，不同種類的氣體對電

11、阻計的靈敏度不同。電阻計被設(shè)計成使用干燥空氣(或氮氣)來校準工作曲線。因此，在真空環(huán)境中，其他氣體曲線和修正系數(shù)以及相對空氣(氮氣)的等效氮氣壓力公式如下：(僅供參考)peff(等效真空)=kp(顯示真空)6.2電離規(guī)性能概述在zj-27電離規(guī)(也稱為寬量程電離規(guī))中，陰極燈絲采用貴金屬氧化物來增強陰極的抗氧化能力，從而提高承受瞬間大氣沖擊的能力，延長電離規(guī)的使用壽命。熱陰極電離規(guī)的電離/電離與真空之間的關(guān)系曲線如下圖所示：如圖所示，當真空度進一步降低時，i /ie將在下午達到峰值，然后急劇下降。這種現(xiàn)象被稱為二元現(xiàn)象。zj-27電離規(guī)的峰點(或雙點)約為5.0帕因此，當打開電離規(guī)進行測量時，

12、真空度應(yīng)該高于該點。如果真空度低于該點，此時會發(fā)現(xiàn)真空度顯示異常。如果真空度變得更高，系數(shù)應(yīng)該降低，但它反而增加，或者真空度異常高。雖然zj-27電離規(guī)采用了抗氧化陰極燈絲，但高溫燈絲在低真空下長時間工作(氧分壓較高)時容易氧化，并逐漸降低發(fā)射能力，從而縮短了電離規(guī)的使用壽命。因此，應(yīng)采用最佳真空系統(tǒng)操作程序，以縮短在低真空區(qū)的停留時間。保持它在高真空區(qū)工作?；蛘咴诓恍枰獪y量時暫時關(guān)閉電離規(guī)安裝前，玻璃外殼電阻表可與電阻單元連接，確認零點是否正確或零點是否正確，然后啟封安裝。采用垂直安裝。水平安裝可能帶來測量偏差。7.2.2電離規(guī)的安裝說明應(yīng)首選垂直安裝。遠離有油氣的位置(如擴散泵回油處)，防

13、止油氣在遇到高溫燈絲時開裂，改變調(diào)節(jié)的靈敏度和特性，延長調(diào)節(jié)的使用壽命。遠離高能離子或電子的位置，或屏蔽衰減真空系統(tǒng)中的高能離子或電子進入儀表，轟擊儀表電極，加速儀表電極老化，縮短儀表壽命。在安裝調(diào)節(jié)管時，應(yīng)避免出現(xiàn)泄漏孔，否則，輕微的泄漏會導(dǎo)致調(diào)節(jié)管局部產(chǎn)生壓差，從而帶來較大的測量偏差。8.真空計和調(diào)節(jié)器之間的連接8.1真空計和電阻計的連接圖將電阻計電纜(五芯插頭)連接并擰緊到儀器后面板上電阻計的1/2插座上，并將電纜的另一端(八針插座)連接到電阻計的八針插頭上。8.2真空計和電離計的連接圖將電離規(guī)電纜(四芯插頭)連接并擰緊到儀器后面板上的電離規(guī)插座上，并將電纜的另一端(八針插座)連接到電離規(guī)八針插頭上。同時，將收集器電纜(bnc插頭)連接到儀器后面板上的收集器插座上，夾具的另一端連接到玻璃量規(guī)收集器管或金屬量規(guī)管第一腳的引出線上。9.真空計啟動和顯示說明：確保所有連接正確后，真空計可以通電，顯示屏顯示。電阻2單位電阻1和電離化合物單位2.00e2系數(shù)位表示10指數(shù)符號位 或-指數(shù)位例如，左側(cè)窗口顯示：表示真空度為2.0102帕=200帕“-”在指數(shù)符號為負時顯示，而“-”在指數(shù)符號為正時不顯示。10.真空計的使用方法10.1電阻器2的使用單位：電阻器2是一個獨立的單元。真空計打開后，此時應(yīng)設(shè)置電阻單元2(如果該功能可