EDS能譜檢測(cè)ppt課件

1、EDS分析技術(shù),TS14180002 顏晨星,EDS,EDS可以與SEM，TEM等組合，其中SEMEDS組合是應(yīng)用最廣的顯微分析儀器，EDS的發(fā)展，幾乎成為SEM的標(biāo)配。是微區(qū)成份分析的主要手段之一。,能譜儀：EDS (Energy Dispersive Spectrometer),能快速、同時(shí)對(duì)各種試樣的微區(qū)內(nèi)Be-U的所有元素，元素定性、定量分析，幾分鐘即可完成。 對(duì)試樣與探測(cè)器的幾何位置要求低，可以在低倍率下獲得X射線掃描、面分布結(jié)果。 能譜所需探針電流?。簩?duì)電子束照射后易損傷的試樣，例如生物試樣、快離子導(dǎo)體試樣、玻璃等損傷小。 檢測(cè)限一般為0.1%0.5%，中等原子序數(shù)的無(wú)重疊峰主元素

2、的定量相誤差約為2%。,能譜的特點(diǎn),定性分析,X射線的能量為Eh h為普朗克常數(shù)，為光子振動(dòng)頻率。 不同元素發(fā)出的特征X射線具有不同頻率，即具有不同能量，只要檢測(cè)不同光子的能量（頻率）, 即可確定元素定性分析。,能譜定性分析原理,定量分析,分析方法 有標(biāo)樣定量分析：在相同條件下，同時(shí)測(cè)量標(biāo)樣和試樣中各元素的X射線強(qiáng)度，通過強(qiáng)度比，再經(jīng)過修正后可求出各元素的百分含量。有標(biāo)樣分析準(zhǔn)確度高。 2. 無(wú)標(biāo)樣定量分析：標(biāo)樣X射線強(qiáng)度是通過理論計(jì)算或者數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行定量計(jì)算。,試樣中A元素特征X射線的強(qiáng)度IA與試樣中A元素的含量成比例，所以只要在相同條件下，測(cè)出試樣中A元素的X射線強(qiáng)度IA與標(biāo)樣中A元素的X射

3、線強(qiáng)度I(A)比，近似等于濃度比： KA=IA/I(A)CA/C(A) 當(dāng)試樣與標(biāo)樣的元素及含量相近時(shí)，上式基本成立，一般情況下必須進(jìn)行修正才能獲得試樣中元素的濃度。 KA=CA/C(A)(ZAF)A/(ZAF)(A) (ZAF)A和(ZAF)(A)分別為試樣和標(biāo)樣的修正系數(shù),EDS定量分析原理,ZAF定量修正 ZAF定量修正方法是最常用的一種理論修正法，一般EPMA或能譜都有ZAF定量分析程序。 Z：原子序數(shù)修正因子。（電子束散射與Z有關(guān)） A：吸收修正因子。（試樣對(duì)X射線的吸收） F：熒光修正因子。（特征X射線產(chǎn)生二次熒光）,EDS定量分析原理,半定量分析,無(wú)標(biāo)樣定量分析 無(wú)標(biāo)樣定量分析是

4、X射線顯微分析的一種快速定量方法。強(qiáng)度比KIS/IStd。 表達(dá)式中IStd是標(biāo)樣強(qiáng)度，它是由純物理計(jì)算，或用標(biāo)樣數(shù)據(jù)庫(kù)給定的，適應(yīng)于不同的實(shí)驗(yàn)條件。其計(jì)算精度不如有標(biāo)樣定量分析。,EDS的分析方法點(diǎn)分析,電子束（探針）固定在試樣感興趣的點(diǎn)上，進(jìn)行定性或定量分析。該方法準(zhǔn)確度高，用于顯微結(jié)構(gòu)的成份分析，對(duì)低含量元素定量的試樣，只能用點(diǎn)分析。,EDS的分析方法線掃描分析,電子束沿一條分析線進(jìn)行掃描時(shí)，能獲得元素含量變化的線分布曲線。結(jié)果和試樣形貌像對(duì)照分析，能直觀地獲得元素在不同相或區(qū)域內(nèi)的分布。,EDS的分析方法面分布,電子束在試樣表面掃描時(shí)，元素在試樣表面的分布能在屏幕上以亮度（或彩色）分布顯示出來(lái)（定性分析），亮度越亮，說(shuō)明元素含量越高。研究材料中雜質(zhì)、相的分布和元素偏析常用此