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生產(chǎn)名詞與常識(shí)介紹 Feb 2009 生產(chǎn)效率課 1 Index 半導(dǎo)體工廠基礎(chǔ)生產(chǎn)名詞生產(chǎn)流通名次產(chǎn)能相關(guān)的名詞Capacity計(jì)算原理產(chǎn)能的影響因素生產(chǎn)與生產(chǎn)管理系統(tǒng) 生產(chǎn)指標(biāo)的定義及管控生產(chǎn)的概念生產(chǎn)管理系統(tǒng)及生產(chǎn)指標(biāo)CVP OTD CT的定義CVP CT的管控CT output與WIP Capacity的關(guān)系OEE優(yōu)先級(jí)yield 2 第一章半導(dǎo)體廠基礎(chǔ)生產(chǎn)類(lèi)名詞 3 1 1生產(chǎn)流通名詞 WIP 在制品 waferinprocess的縮寫(xiě)EffectiveWIP 在線 不含customerhold 圓片中產(chǎn)出標(biāo)記不為P和FILLER的圓片BUFFER 某設(shè)備大類(lèi)前等待加工產(chǎn)品的數(shù)量 不含RUN的產(chǎn)品 不含HOLD MOVE 圓片的制程步驟移動(dòng)數(shù)量 一個(gè)圓片在PROMIS流程中每移動(dòng)一步為一個(gè)MOVE有效MOVE 在線 不含customerhold 圓片中產(chǎn)出標(biāo)記不為P和FILLER的圓片產(chǎn)生的MOVEStage 同一制程目的的step合起來(lái)稱(chēng)為一個(gè)stage Turnratio 周轉(zhuǎn)率 Move與WIP的比值 衡量流通速度的指標(biāo) Move WIPREPSTAGE 基本按光刻層次劃分 一層光刻表示一個(gè)REPSTAGE 部分特殊 WAITTIME 指當(dāng)前步驟前等待時(shí)間 不含HOLDHOLDTIME 最近一次發(fā)生HOLD后的時(shí)間FABOUT 入B ship的外部訂單數(shù)量 流程單 也稱(chēng)RUNCARD 記錄圓片的加工步驟和要求 在流片過(guò)程中要嚴(yán)格遵循流程單上的工藝步驟和要求 4 1 2產(chǎn)能相關(guān)名詞 SOP StandardOperationProcedure 標(biāo)準(zhǔn)操作程序SPT standardprocesstime 在適宜的操作條件下 采用標(biāo)準(zhǔn)操作方法 以普通熟練工人的正常速度完成標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)所需的時(shí)間 一般指作業(yè)一個(gè)Batch需要的時(shí)間 BATCH 一次生產(chǎn)量 一次操作所生產(chǎn)的數(shù)量 設(shè)備每個(gè)RUN的圓片數(shù)量 WPH waferperhour 機(jī)臺(tái)每小時(shí)之圓片產(chǎn)出量 用來(lái)衡量設(shè)備的產(chǎn)出速率WPH BATCH SPTCapacity 產(chǎn)能 設(shè)備目標(biāo)OEE條件下按照SPT計(jì)算單位時(shí)間內(nèi)的理論產(chǎn)出數(shù)量Capacity day WPH 24 OEEtarget 5 1 3Capacity 計(jì)算原理 Loading最高的設(shè)備組為工廠的瓶頸設(shè)備組 FABCapacity一般用光刻層數(shù) layer數(shù) 表示 6 1 4Capacity 影響產(chǎn)能的因素 F x Equipment Uptime Available Set Efficiency ProcessType Recipe SPT WPH Frequency Productmix TotalFrequency Capacity Yield FABYield97 PhotoReworkrate95 7 第二章生產(chǎn)與生產(chǎn)管理系統(tǒng) 生產(chǎn)指標(biāo)定義及管控 8 index 生產(chǎn)的概念生產(chǎn)管理系統(tǒng)與生產(chǎn)指標(biāo)CVP OTD CT定義CVP CT管控CT output與WIP Capacity的關(guān)系及管控OEE優(yōu)先級(jí)系統(tǒng)Yield 9 1 1生產(chǎn)的概念 生產(chǎn)定義 狹義 投入一定的資源 經(jīng)過(guò)一系列 多種形式的變換 使其價(jià)值增值 最后產(chǎn)出消費(fèi)產(chǎn)品的過(guò)程廣義 系統(tǒng)論的發(fā)展使人們能夠從更抽象 更高的角度來(lái)認(rèn)識(shí)和把握各種現(xiàn)象的共性 把有形產(chǎn)品的生產(chǎn)過(guò)程和無(wú)形產(chǎn)品服務(wù)的提供過(guò)程都看作一種 投入 變換 產(chǎn)出 的過(guò)程 作為一種具有共性的問(wèn)題來(lái)研究 10 2 1生產(chǎn)管理系統(tǒng) 生產(chǎn)管理 對(duì)生產(chǎn)運(yùn)作過(guò)程進(jìn)行計(jì)劃 組織 指揮 協(xié)調(diào) 控制和考核的一系列管理活動(dòng) 生產(chǎn)管理現(xiàn)場(chǎng)管理工程技術(shù)管理任務(wù) 對(duì)生產(chǎn)管理活動(dòng)按職能分類(lèi) 現(xiàn)場(chǎng)管理 最大限度地激活人 物 設(shè)備的作用 在每道工序保證完美質(zhì)量的前提下追求高效率化狹義生產(chǎn)管理 為了達(dá)到按用戶(hù)要求 采用合適 不浪費(fèi) 經(jīng)濟(jì)的方式 生產(chǎn)已開(kāi)發(fā) 設(shè)計(jì)的產(chǎn)品并提供給用戶(hù)這一目的所做的各項(xiàng)計(jì)劃 管理工作 工程技術(shù)管理 為了完成效率良好的Q D C而進(jìn)行的產(chǎn)品設(shè)計(jì) 工程設(shè)計(jì)和生產(chǎn)設(shè)備管理 生產(chǎn)管理的任務(wù)與目標(biāo) 實(shí)現(xiàn)企業(yè)的總體經(jīng)營(yíng)目標(biāo)Q Quality 質(zhì)量 D Delivery 進(jìn)度 C Cost 成本 保證與提高質(zhì)量 適時(shí)適量將產(chǎn)品投放市場(chǎng) 降低產(chǎn)品成本 D Delivery 進(jìn)度 包含產(chǎn)量 速度兩層含義 生產(chǎn)運(yùn)作管理的作用與意義 生產(chǎn)運(yùn)作過(guò)程是企業(yè)創(chuàng)造價(jià)值與利潤(rùn)的主要環(huán)節(jié) 生產(chǎn)運(yùn)作管理是企業(yè)經(jīng)營(yíng)的基本職能 生產(chǎn)運(yùn)作管理是企業(yè)增強(qiáng)竟?fàn)幜Φ脑慈?11 2 2生產(chǎn)管理系統(tǒng)與生產(chǎn)指標(biāo) 生產(chǎn)管理系統(tǒng) 生產(chǎn)管理 現(xiàn)場(chǎng)管理 工程技術(shù)管理 指標(biāo) OTD CVPCTOUTPUTYield 生產(chǎn)計(jì)劃生產(chǎn)控制成本物料管理產(chǎn)能管理 工作標(biāo)準(zhǔn)化 PDCA循環(huán)管理模式 OEE 實(shí)踐活動(dòng) 優(yōu)先級(jí)系統(tǒng) 12 3 1OTD CVP CT定義 OTD 準(zhǔn)時(shí)交貨率 OnTimeDeliver CVP 定單數(shù)量的準(zhǔn)時(shí)交付 入庫(kù) 率 ConfirmVolumePerformance CVP 實(shí)際準(zhǔn)時(shí)入庫(kù)數(shù)量 定單要求入庫(kù)數(shù)量 100 CT 流通周期 CycleTime 即自投料到入庫(kù)的時(shí)間CT 入庫(kù)時(shí)間 CustomerHold時(shí)間 投料時(shí)間CT layer 自投料到入庫(kù)的實(shí)際流通時(shí)間 layer數(shù) 13 3 2OTD CVP CT管控 OTD運(yùn)作控制工具 Dailyreview OTD CT控制工具 WAFERIN WAFERSTARTPOLICY WAFEROUT交期控制 WAFEROUT 生產(chǎn)目標(biāo)達(dá)成 LONGSTAYCONTROL 派貨 1 CapacityImprove2 優(yōu)先級(jí)系統(tǒng) 1 WIP數(shù)量及WIP分布的管控2 產(chǎn)能大小及穩(wěn)定性管控 14 3 3CT output與WIP Capacity的關(guān)系及管控 Output layer day WIP CT layer 當(dāng)WIP大于某個(gè)值時(shí) Output layer day Capacity layer day 此時(shí)CT layer WIP Capacity layer day CT output改善 1 控制WIP在合理水平2 努力提升靜態(tài)瓶頸設(shè)備產(chǎn)能3 保證設(shè)備穩(wěn)定性 減少工藝限制 以減少動(dòng)態(tài)瓶頸 15 OEE OverallEquipmentEffectiveness 即總體設(shè)備效率 OEE是一個(gè)全面衡量半導(dǎo)體設(shè)備性能和產(chǎn)能的指標(biāo) 4 1OEE 定義 16 Unworrieddays holidays Installation rebuildorupgrade Processexperiments Repair PM Changeofconsumable Regularproduction Noproduct Rework Nooperator 02state EngineeringLots TotalTime Non Scheduled Time Working Time Uptime Downtime Engineering Time Available Time Productive Time Idle Time Unscheduled Downtime DOWN Scheduled Downtime PM QC Time 4 2基本概念 OEE 時(shí)間組成 17 4 3基本概念 OEE 計(jì)算公式 OEE Available Efficiency Usedofavailable 注 1 按照TOC 約束理論 提高瓶頸設(shè)備的Usedofavailable 就是提高生產(chǎn)率 2 由于每個(gè)時(shí)期過(guò)片需求不同 導(dǎo)致Usedofavailable 數(shù)值不同 因此 我們也會(huì)把Usedofavailable 當(dāng)100 的OEE數(shù)值 定為設(shè)備的目標(biāo)OEE 3 Usedofavailable 相當(dāng)于機(jī)臺(tái)Loading 即機(jī)臺(tái)負(fù)載 因此計(jì)算設(shè)備產(chǎn)能時(shí) 會(huì)將設(shè)備OEE中的Usedofavailable 100 來(lái)反推機(jī)臺(tái)的Loading 18 確定當(dāng)前的瓶頸設(shè)備要搜集足夠的數(shù)據(jù) 尤其需要實(shí)時(shí)的 精確的數(shù)據(jù)成立一個(gè)跨部門(mén)的OEE專(zhuān)案小組分析數(shù)據(jù) 找出根本原因 提出改進(jìn)措施 達(dá)成效果分析 推動(dòng)Action執(zhí)行 鼓勵(lì)設(shè)備供應(yīng)商的參加 4 4OEE實(shí)施 19 5 1優(yōu)先級(jí)系統(tǒng) 優(yōu)先等級(jí) 按理論剩余流通周期 加調(diào)整天數(shù) 與剩余交貨時(shí)間差數(shù)大小 或者市場(chǎng)定單需求緊急程度 對(duì)園片加工先后順序給予的等級(jí) 優(yōu)先等級(jí) 資源有限的前提下 為更有效的完成生產(chǎn)目標(biāo) OTD output linebalance keycustomer等 對(duì)圓片的加工順序給予的等級(jí) 是一個(gè)資

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