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電容屏前段制程菱形架橋流程說明 素基板ito鍍膜微影制程ito蝕刻剝膜微影制程(架橋)鍍金屬(鉬-鋁-鉬)微影制程金屬蝕刻 剝膜o/c保護(hù)層fqc前段完成交后段素機(jī)板濺渡過程dc-500v3x10-3torrarito基板微影流程 投片uv清洗藥洗水洗ir加熱涂怖軟烤露光顯影收片微影制程1蝕刻製程1剝膜制程1微影制程2(架橋)鍍金屬(鉬鋁鉬)微影制程3蝕刻制程2剝膜制程2微影制程4(保護(hù)膜)電容屏制程關(guān)鍵1.設(shè)備因素(要能穩(wěn)定的控制參數(shù),精度能達(dá)到產(chǎn)品的要求,不因?yàn)椴牧咸匦杂绊懝δ?2.材料因素 (玻璃,光阻,靶材,藥液)3.人員因素(對(duì)設(shè)備了解,問題的判斷,參數(shù)的控制)

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