直讀光譜儀維護(hù)作業(yè)指導(dǎo)書

1、上海騰中機(jī)電有限公司 直讀光譜儀維護(hù)手冊(cè)直讀光譜儀維護(hù)作業(yè)指導(dǎo)書上海騰中機(jī)電有限公司2008年度主題：4460擦透鏡編號(hào)：ZD4460-002工具：高純度酒精、脫脂棉、洗耳球LEVEL：3觸發(fā)條件：當(dāng)各元素強(qiáng)度降低，且客戶要求時(shí)清理透鏡，清理時(shí)客戶應(yīng)有人員在場(chǎng)。步驟：1 關(guān)閉光閘2 拔下透鏡加熱電纜插頭3 拔出透鏡4 觀察是否有劃痕，如發(fā)現(xiàn)應(yīng)先向客戶指出5 取兩塊脫脂棉蘸上酒精分別放在透鏡兩側(cè)，溶解污物約10分鐘；6 用脫脂棉輕輕擦拭透鏡表面，力度要輕，注意指甲不要觸及到透鏡；7 用洗耳球吹透鏡，防止透鏡上帶有脫脂棉纖維；8 對(duì)光源仔細(xì)觀察透鏡上是否有附著物；9 擦拭完畢將透鏡插入槽內(nèi)約一半；

2、10 接上透鏡加熱線纜，加熱10分鐘；11 完全插入透鏡；12 打開光閘；13 開始做標(biāo)準(zhǔn)化；14 完畢。主題：激 發(fā) 臺(tái) 清 灰編號(hào)：ZD4460001工具：螺絲刀、六棱扳手、洗耳球、壓縮空氣、吸塵器、手電觸發(fā)條件：激發(fā)臺(tái)內(nèi)部清灰在每月應(yīng)進(jìn)行一次，主要包括CCS母板，CCS電源板，CCS邏輯板和激發(fā)板的清灰。注：當(dāng)OE出現(xiàn)BITBUS報(bào)警，也可能是激發(fā)臺(tái)內(nèi)灰塵大引起。步驟：步驟如下，在操作時(shí)，特別應(yīng)注意線纜插頭的拔插，不能損壞插頭。1 進(jìn)入OE初始化菜單，打印儀器狀態(tài)。2 關(guān)閉OE軟件；3 關(guān)閉負(fù)高壓和電子箱電源；4 打開儀器左側(cè)面板，在關(guān)閉負(fù)高壓和電子箱電源關(guān)閉20S后拔下CCS電源插頭；

3、5 拆下激發(fā)臺(tái)DOOR，和側(cè)板；6 擰開激發(fā)臺(tái)罩固定螺絲，輕輕拆下激發(fā)臺(tái)罩；7 帶靜電環(huán)或觸摸機(jī)器外殼發(fā)掉身體靜電；8 拔下OF光纜；9 分別拆下CCS電源和邏輯板，用洗耳球或壓縮空氣清灰；10 用同樣方法清理CCS母板和臺(tái)罩內(nèi)各部分灰塵；11 裝好CCS電源板和邏輯板；12 拆下激發(fā)板外殼風(fēng)扇，先拔下風(fēng)扇電源拆下時(shí)注意不要損壞風(fēng)扇接地線，風(fēng)扇清灰；13 拔下激發(fā)板與母板連接的線纜插頭XE1，擰下激發(fā)板底部4個(gè)螺絲，拆下激發(fā)板；14 用同樣的方法清灰；15 安裝激發(fā)板，注意電極底部插頭，插入激發(fā)板高壓插座，擰上螺絲；16 插上OF電纜到CCS邏輯板和XE1到母板；17 插上CCS電源插頭，給上

4、負(fù)高壓和電子柜電源；18 打開OE軟件；19 激發(fā)廢樣看，激發(fā)是否正常；如不正常，檢查XE1和OF。以及激發(fā)板安裝位置。20 正常后，退出OE，關(guān)閉負(fù)高壓和電子柜電源，拔下CCS電源；21 安裝風(fēng)扇；22 安裝激發(fā)臺(tái)罩，安裝時(shí)兩人進(jìn)行，一人負(fù)責(zé)安裝，一人負(fù)責(zé)觀察是否壓到激發(fā)臺(tái)內(nèi)部線纜。；23 安裝激發(fā)臺(tái)DOOR和側(cè)板；24 重復(fù)16；25 重復(fù)17，18；26 正常后完畢。主題：真空泵換真空油編號(hào)：ZD4460003工具：螺絲刀、六棱扳手、真空泵油、吸塵器、紗布、酒精觸發(fā)條件：步驟：1 打印機(jī)器狀態(tài)；2 關(guān)OE軟件；3 關(guān)電子柜電源，關(guān)負(fù)高壓，關(guān)真空泵電源，關(guān)水泵電源；4 除去機(jī)柜上雜物；5

5、開機(jī)柜頂蓋；6 緩慢放掉真空后，擰緊真空閥；7 扣上機(jī)體上蓋；8 拔掉真空泵電源線；9 用吸塵器清除干凈機(jī)柜后殼內(nèi)灰塵，擦干凈真空泵；10 擦干凈油管及線纜；11 用扳手?jǐn)Q開真空泵與真空抽氣管之間的壓扣；12 清潔真空抽氣管的端口；13 拿下真空泵放在合適位置，清潔真空泵上的灰塵和污垢；14 用紗布和酒精清潔抽真空的氣口；15 拿下真空泵上的小端蓋，露出注油口；16 擰開頂部?jī)蓚€(gè)注油口；17 用容器在出油口接好，緩慢擰開排油口，將泵內(nèi)原有的真空油排除；18 向出油口方向傾斜真空泵將油全部排除；19 擰上出油口；20 將燒杯內(nèi)倒入少量真空油，倒入注油口中，輕輕搖動(dòng)真空泵，洗出污物；21 打開出油

6、口排出清洗用的真空油；22 擰上排油口；23 用燒杯向真空泵注油，油位到達(dá)油位指示窗口最上面兩道橫線的中間部位；24 擰上注油口螺絲；25 安裝好小端蓋；26 將真空泵在機(jī)柜內(nèi)擺好位置；27 裝好真空抽氣管，用扳手?jǐn)Q住，防止漏氣；28 插上真空泵電源線，檢查確認(rèn)無誤；29 送主電源開關(guān)，送水泵開關(guān)，送真空泵開關(guān)、送負(fù)高壓、送電子柜電源；30 開OE軟件，監(jiān)測(cè)真空狀態(tài)31 真空正常后，打點(diǎn)正常，工作完畢。主題：更換膜泵 V3膜泵換膜片編號(hào)：ZD4460001工具：螺絲刀、六棱扳手、洗耳球、吸塵器、鑷子、專用工具、紗布觸發(fā)條件：真空上不去 膜泵異響 年度維護(hù)一、主機(jī)拆膜泵步驟：1 進(jìn)OE軟件，打印

7、當(dāng)前機(jī)器狀態(tài)；2 關(guān)閉儀器后面泵電源開關(guān)；3 拿掉光譜儀頂蓋上的雜物；4 用六棱扳手?jǐn)Q開光譜儀頂蓋的緊固螺栓，向后掀起頂蓋；5 用螺絲刀緩緩擰松真空放氣閥螺絲，待聽到細(xì)微的放氣聲，停止旋動(dòng)，切忌不可一下完全擰松，防止光室受到?jīng)_擊；6 待真空室壓力完全到大氣壓后，旋緊放氣螺栓，至未放氣前狀態(tài)；7 扣上光譜儀頂蓋；8 用吸塵器清理儀器后面的灰塵，紗布把后面的線纜盡量清理干凈；9 拔下膜泵上的電源線；10 用平口螺絲刀或六棱扳手?jǐn)Q松膜泵與真空塑料管的鐵箍螺絲，使膜泵能夠取下；11 用塑料蓋或紗布堵住塑料管防止灰塵進(jìn)入，用紗布時(shí)注意不要落下布纖維；二、安裝膜泵步驟：1 檢查真空塑料管接口，注意有無雜物

8、，如塑料管口有較大變形，可用電工刀適當(dāng)切下一截，用偏口嗑絲鉗剪斷螺旋的鋼絲；注意應(yīng)保證真空塑料管仍有符合規(guī)定的長(zhǎng)度；2 將塑料管套上膜泵抽氣管，保證重疊部分的長(zhǎng)度；3 套上密封鐵箍并旋緊；4 放置好膜泵的位置，平穩(wěn)不能壓在線纜上；5 插上膜泵電源；6 檢查無誤后，打開膜泵開關(guān)，打開儀器泵電源開關(guān)；7 聽膜泵的運(yùn)轉(zhuǎn)聲音，應(yīng)為正常的突突聲，無異常雜音，有時(shí)剛送電膜泵會(huì)有異常聲音，通長(zhǎng)在20S內(nèi)正常，如異常，應(yīng)立即關(guān)閉儀器泵電源；8 OE軟件讀狀態(tài)，監(jiān)測(cè)真空情況，正常情況下在20分鐘左右，真空度達(dá)到30以下；三、更換膜片LEVEL：3觸發(fā)條件：舊膜泵膜片損壞后，如有膜片備件，應(yīng)及時(shí)更換膜片，恢復(fù)膜泵

9、正常功能；工作應(yīng)2人進(jìn)行，一人操作，一人配合和提醒，不可兩人同時(shí)上手。步驟：1 將膜泵外面擦拭干凈，抽氣口堵上原廠的防塵塑料帽，在桌子上放置平穩(wěn)；2 用活扳手?jǐn)Q下膜泵頂部壓蓋上的氣管螺栓，通常為很色的，與底部連接；3 用六棱扳手對(duì)角擰開膜泵方形壓蓋，小心取下，注意橡膠氣門可能粘在壓蓋上，不要弄丟；4 觀察并紀(jì)錄橡膠氣門的位置和方向，不能上錯(cuò)；5 用記號(hào)筆標(biāo)記2個(gè)膜片壓蓋的位置，防止在安裝的時(shí)候弄反，取下壓蓋放好；6 用吸塵器除去黑色粉末狀污物，并用紗布和酒精擦拭干凈；7 用標(biāo)記筆記下膜片夾緊裝置的位置；8 用專用工具擰下一個(gè)膜片，擰松后要小心，防止下面的薄金屬墊片掉入膜泵腔內(nèi)；9 注意觀察安裝

10、關(guān)系，放置號(hào)擰下的膜片、夾緊裝置和墊片；10 可觀察膜片損壞程度；11 用吸塵器清理膜泵腔內(nèi)的粉塵，用紗布和酒精擦拭干凈腔口；12 用紗布和酒精擦拭干凈取下的膜片夾持裝置，夾上一個(gè)新膜片；13 放置好金屬墊片，不要滑入膜泵腔內(nèi)；14 用專用工具夾持好膜片夾持裝置（將膜片向外側(cè)即工具側(cè)翹起，工具夾住膜片下部的六方形；15 對(duì)準(zhǔn)螺絲擰入，力度以擰緊為止；16 重復(fù)612換好另一個(gè)膜片；17 將膜片的壓蓋按標(biāo)記放到膜片上；18 把新的氣門按正確的方向放在膜片壓蓋上；19 把方形頂蓋輕輕放置在膜片壓蓋上，注意不能把氣門碰錯(cuò)位；20 用手帶上6個(gè)緊固螺絲，按對(duì)角方向，遞進(jìn)擰緊螺絲；21 擰上氣管氣路螺絲

11、，膜泵一側(cè)的膜片更換完畢；22 將膜泵反轉(zhuǎn)，底部朝上，重復(fù)220步驟，另一面2個(gè)膜片更換完畢；23 將換下的舊膜片4個(gè)，橡膠氣門4個(gè)以及專用工具交與客戶；24 換好后，在220V下，可開機(jī)試驗(yàn)，聽聲音如正常，條件允許可上機(jī)試驗(yàn)，不允許的話，入庫待有機(jī)會(huì)上機(jī)試驗(yàn)；25 如不正常，分析工作過程，重復(fù)上面的過程，切忌心急；26 如不正常，也有可能膜泵其他地方也有損壞，不要再動(dòng)，等高水平工程師指導(dǎo)。主題：更換分子泵 分子泵注油編號(hào)：ZD4460001工具：觸發(fā)條件：主題：描跡和標(biāo)準(zhǔn)化編號(hào)：ZD4460001工具：螺絲刀、六棱扳手、洗耳球、壓縮空氣、吸塵器、手電觸發(fā)條件：主題：布置光譜氬氣氣路編號(hào)：觸發(fā)

12、條件：光譜加凈化器 氣路重新布置工具：扳手、紗布步驟：1 氬氣凈化器上電，檢查正常；2 面對(duì)凈化器后面，左邊為出氣端，右邊為進(jìn)氣端，中間為反清洗時(shí)的廢氣端；3 布置凈化器與氬氣瓶連接銅管，并在連接處分別圈出圓形緩沖環(huán)；4 布置凈化器出氣端與光譜儀進(jìn)氣端銅管，在凈化器出氣端留出緩沖環(huán)；5 銅管與氣嘴的連接要仔細(xì)，可加一些密封帶，保證不漏氣；6 測(cè)試密封螺母和氣嘴是否能順利和氣瓶、凈化器、儀器連接；7 擰緊銅管與氣瓶的密封螺絲，必要時(shí)可以加密封帶；8 打開氣瓶二次壓，用氬氣吹出管路的灰塵約半分鐘，關(guān)閉二次壓；9 插入氣瓶出氣銅管嘴到凈化器的進(jìn)氣，同時(shí)在凈化器出氣口插入單個(gè)氣嘴，打開二次壓，開凈化器電源，吹洗半分鐘后，關(guān)閉二次壓；10 拔出氣嘴，接好凈化器出氣銅管，吹洗半分鐘；關(guān)二次壓；11 連接儀器與銅管的密封螺絲，緩緩開二次壓至0.25-0.3Mpa；12 用紗布醮肥皂水檢查銅管，以及各連接處是否漏氣；13 調(diào)整儀器激發(fā)電極位置；14 激發(fā)廢樣，觀察激發(fā)點(diǎn)形狀和顏色；15 正常情況下，激發(fā)1015個(gè)點(diǎn)后，激發(fā)點(diǎn)應(yīng)該正常，可以帶控樣或標(biāo)準(zhǔn)化；16 如不正常，懷疑氣路污染或凈化器不正常；注意：凈化器電源應(yīng)與儀器電源共地主題：換廢氣過濾油工具：真空油、紗布，記號(hào)筆觸發(fā)條件：三月維護(hù)步驟：1 從過濾器拔下廢氣排放管，并檢查是否完好，應(yīng)沒有漏氣或明顯的死褶，如