北京大學(xué)反應(yīng)離子刻蝕機

1、北京大學(xué)反應(yīng)離子刻蝕機招標采購項目招標文件編號： 200819北京大學(xué)實驗室與設(shè)備管理部二八年五月十九日招標編號： 200819北京大學(xué)實驗室與設(shè)備管理部目錄第一部分投 標 邀 請2第二部分招標說明4第三部分技術(shù)要求8第四部分設(shè)備明細表12第五部分技術(shù)規(guī)格偏離表13第六部分原廠授權(quán)14開標一覽表15.1.招標編號： 200819北京大學(xué)實驗室與設(shè)備管理部第一部分投標邀請公告日期： 2008 年 5 月 19 日項目名稱： 北京大學(xué)反應(yīng)離子刻蝕機招標編號 : 200819招標機構(gòu)名稱:北京大學(xué)實驗室與設(shè)備管理部地址：北京市海淀區(qū)頤和園路5 號北京大學(xué)（紅1 樓、紅 2 樓之間的橫樓二層5225室

2、）郵編： 100871電話： 62751412 ；傳真： 62765115聯(lián) 系 人：石鑠張宇波張潔北京大學(xué)實驗室與設(shè)備管理部（以下簡稱“招標機構(gòu)” ）具體承辦“北京大學(xué)高性能機房核心交換機設(shè)備” 的招標采購事宜， 邀請合格投標人就下列貨物和有關(guān)服務(wù)提交密封投標。凡合格投標人均可在招標機構(gòu)得到進一步的信息和查閱招標文件。1. 招標內(nèi)容1) 招標貨物名稱： 北京大學(xué)反應(yīng)離子刻蝕機2) 數(shù)量及技術(shù)規(guī)格要求：詳見標書3) 交貨地點： CIP 北京首都機場2. 合格投標人必須符合中華人民共和國政府采購法第二十二條之規(guī)定。3. 招標文件購買時間和辦法： 2008 年 5 月 27 日 9:00 至 16

3、:30 時在招標機構(gòu)（北京大學(xué)西門內(nèi)紅 1 樓、紅 2 樓之間橫樓二層 5225 室）購買招標文件。 標書售價 200 元人民幣，售后不退。4. 投標人可從北京大學(xué)招標公告欄或?qū)嶒炇遗c設(shè)備管理部網(wǎng)站下載本次招標的電子版標書（ ），以供參考。5.接受投標時間、投標截止時間及開標時間1)接受投標及投標截止時間：所有投標書應(yīng)于2008 年 6 月 12 日上午 9:00 前遞交到上述購買標書地址，逾期恕不接受。2) 開標時間：茲定于 2008 年 6 月 12 上午 9:00 整在北京大學(xué)實驗室與設(shè)備管理部進行評標工作。6. 投標細則.2.招標編號： 200819北京大學(xué)實驗室與設(shè)備管理部i.投標內(nèi)

4、容最終用戶：北京大學(xué)微納平臺設(shè)備名稱： 北京大學(xué)反應(yīng)離子刻蝕機投標語言：第四部分- Summary Sheet of Goods Description（設(shè)備明細表）及第五部分 -Specification and Deviation Form（技術(shù)規(guī)格偏離表）以中英文對照應(yīng)標，其余相關(guān)投標文件以中文應(yīng)標投標報價應(yīng)為CIP 北京首都機場投標貨幣：美元交貨時間：合同簽訂后的120 天內(nèi)ii. 付款條件投標機構(gòu)接受以下付款方式： 100%不可撤消即期信用證，其中 90%貨款憑裝運單據(jù)支付， 10%尾款憑用戶簽字確認且加蓋單位公章的驗收報告支付。iii. 編制遞交投標文件有效期為自開標之日起的60

5、天文件要求投標設(shè)備及價格明細表(Summary Sheet of Goods Description)技術(shù)規(guī)格應(yīng)答及偏離表（Specification and Deviation Form）（請對技術(shù)標書內(nèi)容逐項應(yīng)答并填充具體指標）技術(shù)資料及樣本原件原廠商委托書 (Letter of Authority from Manufacturer) 原件（適用于投標人為貿(mào)易公司者）文件數(shù)量：一式陸份（一份正本五份副本）開標一覽表（ SUMMARY SHEET FOR BID OPENING）正本壹份（請單獨放在壹小信封內(nèi)供開標用）7. 投標地點和開標地點：北京大學(xué)實驗室與設(shè)備管理部后院大會議室8. 中

6、標結(jié)果將在評標結(jié)束后以書面形式通知中標商。9. 中標服務(wù)費按差額定律累進法計算收取，具體為：1) 30 100 萬元人民幣部分按 1收??；2)100 500 萬元人民幣部分按0.8 收??；3)500 萬元以上人民幣部分按0.6 收取。.3.招標編號： 200819北京大學(xué)實驗室與設(shè)備管理部10. 條款解釋：本招標文件內(nèi)容的解釋權(quán)屬于北京大學(xué)實驗室與設(shè)備管理部。第二部分招標說明一 招標要求1. 北京大學(xué)實驗室與設(shè)備管理部（以下簡稱“招標機構(gòu)” ）具體承辦 “北京大學(xué)反應(yīng)離子刻蝕機 ”的招標采購事宜 (Bid No. 200819 )。2. 投標人應(yīng)仔細閱讀招標文件（包括技術(shù)規(guī)格）的全部條文。3.

7、投標人所提供貨物的技術(shù)規(guī)格應(yīng)符合標書中技術(shù)規(guī)格的要求。如果投標人不提供技術(shù)規(guī)格偏離表說明偏離情況，則將認為提供的貨物完全符合招標文件的要求。4.投標產(chǎn)品是用新技術(shù)制造的，應(yīng)相當或超過招標文件規(guī)定的技術(shù)規(guī)格，投標產(chǎn)品應(yīng)具有相當或更好的性能、可靠性和耐用性。5. 投標時提交的產(chǎn)品樣本必須是“原件” ，而不是“復(fù)制件” 。6. 目的港為中華人民共和國北京首都機場。7. 交貨時間在標書的技術(shù)規(guī)格部分中已注明。 在投標文件中， 投標人必須說明在授標以后完成交貨的時間，經(jīng)雙方同意的交貨期從合同生效之日算起。8.除了在技術(shù)規(guī)格中提出的要求外，在合同生效后60 天之內(nèi)，為使用戶作好準備工作，賣方應(yīng)給最終用戶郵

8、寄一套所供產(chǎn)品的全套技術(shù)資料，其中包括操作手冊（或應(yīng)用指南）、維修手冊等，另一套完整技術(shù)資料應(yīng)隨貨物包裝發(fā)運，這些費用應(yīng)包括在該品目的基本報價中。9. 在合同生效后 30 天內(nèi)應(yīng)將儀器安裝前對實驗室的具體要求郵寄給最終用戶。10. 儀器應(yīng)包括一套標準附件和專用工具，投標人按常規(guī)提供的標準附件和工具的數(shù)量，應(yīng)在投標中說明，并報單價。這些費用應(yīng)包括在該品目的基本價格之內(nèi)。11. 對招標品目，除了標準附件外投標人還可提供保證儀器正常運行的附件，專用工具，它們是該品目的補充部分，需分別報單價和總價，在評標時其總價應(yīng)計入該品目的基本價格之內(nèi)。12. 在技術(shù)規(guī)格中提出了詢問的附件、備件、專用工具和消耗品，

9、需分別報單價和總價，一旦接受，其費用將記入合同。13. 除了技術(shù)規(guī)格中買方提出的要求之外，投標人可以推薦某些附件、備件和消耗品，它們是供選購的，應(yīng)分別報單價和總價，一旦接受，其費用將計入合同。.4.招標編號： 200819北京大學(xué)實驗室與設(shè)備管理部14. 除了在技術(shù)規(guī)格中明確指出對招標品目提出的附加評標準則、“加權(quán)”和評標方法所給予的“評估優(yōu)惠”之外，評標和選擇中標以價格為依據(jù)。15. 如果在開標前， 在中華人民共和國設(shè)立了服務(wù)中心， 對投標品目的維修服務(wù)能得到保證，在評標時該投標人享有上限為 2.5% 的優(yōu)惠。16. 設(shè)備的保修及售后服務(wù)詳見標書第三部“技術(shù)要求”中的相關(guān)內(nèi)容。17. 投標文

10、件一式六份 (一正五副 )，包括以下文件：A 投標設(shè)備及價格明細表 (Summary Sheet of Goods Description)B 技術(shù)規(guī)格應(yīng)答及偏離表 (Specification and Deviation Form) （請對技術(shù)標書內(nèi)容逐項應(yīng)答并填充具體指標）C 技術(shù)資料包括樣本原件D 原廠商委托書（ Letter of Authority from Manufacturer ）原件 (適用于投標人為貿(mào)易公司者 )18. 投標文件有效期為自開標之日起的60 天。投標語言為英文及部分中英文對照（附件一、附件二）。投標貨幣為美元。接收投標文件截止時間為2008 年 6 月 12

11、日上午 9：00 時。投標商務(wù)必在此時間前把密封投標文件送達，逾期恕不接受。郵編： 100871 ；電話：；傳真：系人：石鑠、張宇波、張潔。二評標原則1. 初步審查及確定標是否基本響應(yīng)：1） 審查投標人所投的標是否完整無誤，如單價和總價間有出入，則以單價為準，修正總價；如文字與數(shù)字間有出入，則以文字金額為準；2） 確定標書是否對招標文件作出了基本響應(yīng)，即是否符合招標文件的所有條款，有沒有重大偏離。重大偏離系指實質(zhì)上影響投標人提供貨物數(shù)量、質(zhì)量或交付期，或者指實質(zhì)性地與招標文件不一致，限制了合同項下我方的權(quán)利或投標人的義務(wù)；3） 對標的響應(yīng)

12、性的確定是依據(jù)標本身的內(nèi)容，而不受外因的影響；4） 確定為未作出基本響應(yīng)的標將予排除，投標人不能在開標之后，通過改正不符之處而使其投標變?yōu)槟茼憫?yīng)。但是對于投標中并不構(gòu)成重大偏離的任何細小的不正規(guī)、不一致或參差不齊，我們可以放棄不作計較。2. 投標的評價和比較：.5.招標編號： 200819北京大學(xué)實驗室與設(shè)備管理部1） 我們僅對通過以上確定為能基本響應(yīng)的標書進行評價比較；2） 為便于評價和比較，將把所有標的各種應(yīng)付的投標貨幣換算成美元。提供的貨物均按 CIP 目的港報價進行比較；3） 評標時，除考慮投標價格這一主要因素外，還將按標書中說明的程度考慮技術(shù)規(guī)格中列明的因素和標準進行評價。3. 標的

13、澄清：為有助于對標進行審查、評價和比較，我們可以請投標人澄清其投標內(nèi)容。提出澄清的要求與答復(fù)均應(yīng)是書面的，并不得改變投標價格或?qū)嵸|(zhì)內(nèi)容。4. 資格后審：1） 這次評標中，我們將對最低評估價投標人和緊接其后的具有評估價的另一投標人進行重點資格后審；2） 確定所選擇的投標人是否有資格滿意地履行合同，同時對緊接其后的具有評估價的另一投標人也要求作出類似的確定；3） 作出確定時將考慮投標人的財務(wù)、技術(shù)、服務(wù)和生產(chǎn)能力。審查是以投標人提交的投標人資格證明文件及我們認為必要的其它資料為基礎(chǔ)進行的；4） 如果確定最低評估價的投標人不符合履行合同資格，其標將被排除，隨即考慮第二家。5. 授予合同的準則：招標機

14、構(gòu)不承諾最低價中標，將把合同授予成功的投標人，即所投的標被認定是能基本響應(yīng)、是最低評估價標、并且是經(jīng)資格后審后認為能滿意地履行合同的投標人。6. 廢標：遇到下列情況之一時，可以廢標：1） 全部投標廠商均不具備投標資格；2） 全部投標實質(zhì)上都有不符合招標文件要求；3） 缺乏有效的競爭；4） 投標價格超過預(yù)算，招標人無力支付。三評標程序1. 從開標到批準授予合同為止，這一段工作稱為評標。2. 開標后，業(yè)務(wù)組整理投標文件及有關(guān)商務(wù)資料，登記分發(fā)給評標人進行評標。.6.招標編號： 200819北京大學(xué)實驗室與設(shè)備管理部3. 評標人檢查投標文件的完整性。投標文件應(yīng)包括以下文件：A. 投標設(shè)備及價格明細表

15、 (Summary Sheet of Goods Description)B. 技術(shù)規(guī)格應(yīng)答及偏離表 (Specification and Deviation Form)C. 技術(shù)資料包括樣本原件D. 原廠商委托書（ Letter of Authority from Manufacturer ）原件 (適用于投標人為貿(mào)易公司者 ).7.招標編號： 200819北京大學(xué)實驗室與設(shè)備管理部第三部分技術(shù)要求1. 設(shè)備名稱：反應(yīng)離子刻蝕機2. 數(shù)量： 一套3. 設(shè)備用途說明反應(yīng)離子刻蝕機是微米納米器件制備的必備設(shè)備。反應(yīng)離子刻蝕機通過交變的電磁場在有反應(yīng)氣體的腔室內(nèi)激發(fā)等離子體， 通過等離子體中的氣體

16、離子和化學(xué)活性的自由基與材料表面的化學(xué)反應(yīng)和離子轟擊材料表面的物理過程刻蝕材料。本次購買的反應(yīng)離子刻蝕機主要用于納米和微米器件的精細加工， 用于介電材料刻蝕、多晶硅刻蝕、 III- 族化合物以及金屬薄膜刻蝕。4. 規(guī)格、技術(shù)要求及參數(shù) （包括提供技術(shù)文件或圖紙、設(shè)備工作條件及環(huán)境要求）主機主要由以下幾部分構(gòu)成：反應(yīng)腔室、基板電極、真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、等離子源、射頻電源、預(yù)真空室。(1) 反應(yīng)腔室由整塊鋁錠制造，無焊縫結(jié)構(gòu)，配有互鎖進樣裝置。要求內(nèi)徑大于300毫米。樣品尺寸： 4英寸靜電吸盤(2) 基板電極基板電極尺寸：大于200毫米帶有加熱和冷卻裝置(3) 真空系統(tǒng) （最高防腐級別）進口渦輪分

17、子泵（要求注明品牌和型號）。防腐蝕設(shè)計，抽速大于或等于1000 公升 / 秒進口初級抽氣泵（要求注明是油泵或是干泵及品牌）。防腐蝕設(shè)計，抽速大于：360米 /小時100mT薄膜電容真空計（1.33 x 10 to 1.33 x 10-6 Pa）-4Pa20分鐘內(nèi)壓強 10自動壓力控制(4) 供氣系統(tǒng)氣體控制面板由 8個氣路組成，每個氣路都由質(zhì)量流量控制器（MFC）控制。刻蝕氣體 8路： CF4, Cl 2, N 2, Ar, BCl3, O 2, HBr ， SF6質(zhì)量流量控制器精度：優(yōu)于 1%BCl 3, HBr ， Cl 2氣路需要抗腐蝕質(zhì)量流量控制器，對腐蝕性氣體要有PURGE回路。.8

18、.招標編號： 200819北京大學(xué)實驗室與設(shè)備管理部(5) 感應(yīng)耦合等離子（ ICP）源為保證高的反應(yīng)離子或自由基密度， 同時有較低的離子能量以減小對基片的損傷并有好的刻蝕速率和可控性，必須配感應(yīng)耦合等離子源。(6) 射頻電源(a) 偏壓發(fā)生器功率： 13.56 兆赫茲，不小于300瓦。(b) 感應(yīng)耦合等離子（ ICP）發(fā)生器功率： 13.56 兆赫茲，不小于 1000瓦。(7) 預(yù)抽室 (Load Lock Chamber)真空：油泵（要求注明品牌和型號）抽速3 12m/ h(8) 控制系統(tǒng)(a) 硬件具有分布式控制系統(tǒng)。每個反應(yīng)腔都具備獨立的控制軟件和硬件，能對全部組件進行實時監(jiān)控?？刂朴?/p>

19、算機：主流硬件配置， 19寸液晶顯示器，配置 Windows XP操作系統(tǒng)及操作軟件。系統(tǒng)采用 Windows XP操作系統(tǒng)的 PC機對加工進行控制、防止誤操作和觀察加工過程以及提供多種便利的操作工具。(b) 軟件有使用方便的用戶界面(9) 常用配件一套（含真空密封圈，特殊工具等）5 技術(shù)指標(a) Si 的刻蝕工藝要求：ProcessIIIDepth m0.05 m to 1 m1m to 10 mFeature size m25nm 25nmAspect ratio5:1 5:1Etch rate nm/min100 500Uniformity (4 ”)<±5%<&

20、#177; 5%Selectivity Si : oxide>100:1>10:1Selectivity Si : resist>3:1>5:1Profile80-92 °88-92°Sidewall roughness<5nm<5nm(b) SiO2 的刻蝕工藝要求 :ProcessDepth m0.05 m to 1mFeature size m25nmAspect ratio5:1Etch rate nm/min100Uniformity(4 ”)<±5%Selectivity SiO2 : Si>100:1.

21、9.招標編號： 200819北京大學(xué)實驗室與設(shè)備管理部Selectivity SiO2 : resist>3:1Profile88-92 °Sidewall roughness<5nm(c)Si3N 4 的刻蝕工藝要求 :ProcessDepth m0.05 m to 1 mFeature size m25nmAspect ratio5:1Etch rate nm/min100Uniformity (4 ”)<±5%Selectivity Si3 N4: Si>10:1Selectivity Si 3N 4: resist>2:1Profile

22、80-92 °Sidewall roughness<5nm(d) 氧化鉿 HfO 2 的刻蝕：ProcessDepth m0.005 m to 0.03 mFeature size m25nmAspect ratio5:1Etch rate nm/min5nm/min 50nm/minUniformity (4 ”)<±5%Selectivity HfO2 : Si>1:1Selectivity HfO2 : resist>1:1Profile80-92 °Sidewall roughness<5nm所有重要技術(shù)指標應(yīng)有相應(yīng)的證明材料

23、，應(yīng)對驗收指標和檢測條件進行書面承諾。6. 技術(shù)服務(wù)條款儀器到達用戶所在地后，在接到用戶通知后一周內(nèi)執(zhí)行安裝調(diào)試直至達到驗收指標。免費保修期一年以上。在保修期內(nèi)，任何由制造商選材和制造不當引起的質(zhì)量問題，廠家負責(zé)免費維修。保修期自驗收簽字之日起計算。保修期滿前 1 個月內(nèi)賣方應(yīng)負責(zé)一次免費全面檢查，并寫出正式報告，如發(fā)現(xiàn)潛在問題，應(yīng)負責(zé)排除。廠家提供終身維修，并保證零配件的供應(yīng)。技術(shù)培訓(xùn)：由專業(yè)工程師現(xiàn)場安裝培訓(xùn)，培訓(xùn)時間應(yīng)在4 個工作日以上。維修響應(yīng)時間：賣方應(yīng)在24 小時內(nèi)對用戶的服務(wù)要求做出響應(yīng)，一般問題在48 小時內(nèi)解決，重大問題.10.招標編號： 200819北京大學(xué)實驗室與設(shè)備管理

24、部或其它無法立刻解決的問題應(yīng)在一周內(nèi)解決或提出明確的解決方案，否則賣方應(yīng)賠償相應(yīng)的損失。軟件升級： 賣方應(yīng)免費向用戶提供自驗收之后的所有的儀器軟件升級服務(wù)以及新的刻蝕工藝。7包裝要求及運輸方式包裝要求：投標商應(yīng)對任何由于不當包裝或防護措施不利而導(dǎo)致的商品損壞、損失、銹蝕、費用增長等后果負責(zé)。8. 交貨日期合同簽訂后 120 天內(nèi)交貨9. 交貨地點北京首都機場10. 驗收標準按標書及合同規(guī)定的技術(shù)標準及相關(guān)條款驗收。.11.招標編號： 200819北京大學(xué)實驗室與設(shè)備管理部第四部分設(shè)備明細表Summary Sheet of Goods DescriptionBid No. 200819ItemC

25、ommoditySpecificationsQtyUnitUnit PriceAmountNo.Signature of Bidder: _.12.招標編號： 200819北京大學(xué)實驗室與設(shè)備管理部第五部分技術(shù)規(guī)格偏離表Specification and Deviation FormBid No. 200819Item No.SpecificationsSpecificationsDeviationRemarksrequiredofferedSignature of Bidder: _.13.招標編號： 200819北京大學(xué)實驗室與設(shè)備管理部第六部分原廠授權(quán)LETTER OF AUTHORIT

26、Y FROM MANUFACTURER_(Name of Manufacturer)To Whom it May Concern:We _ (Name of Manufacturer),a manufacturer duly organized under thelaws of _ (Name ofCountry)and havingitsprincipalplaceofbusiness at_(Address of Manufacturer),herebymake, constitute andappoint, a company duly organized under thelawsof

27、andhavingitsprincipalplaceofbusinessat, to be our true and lawful attorney in fact to do thefollowing:(1) To represent and bind us in the P. R. China for the Buyer's Invitation forBidNo.200819for supply of the Goods proposed in the bid which wemanufacture or produce.(2)That, as a manufacturer, we bind ourselves as co-maker of the bid and are jointly and severallyresponsible for the compliance of the said bid.(3)That