特種加工及其發(fā)展概述

1、.模塊一特種加工及其發(fā)展概述【學(xué)習(xí)目標(biāo)】：1. 了解特種加工在制造業(yè)中的發(fā)展過程及應(yīng)用2、掌握特種加工的原理、特點(diǎn)及分類【知識點(diǎn)】：項(xiàng)目一特種加工概述一、特種加工的發(fā)展背景：特種加工是20世紀(jì)40年代發(fā)展起來的，由于材料科學(xué)、高新技術(shù)的發(fā)展和激烈的市場競爭、發(fā)展尖端國防及科學(xué)研究的急需，不僅新產(chǎn)品更新?lián)Q代日益加快，而且產(chǎn)品要求具有很高的強(qiáng)度重量比和性能價格比，并正朝著高速度、高精度、高可靠性、耐腐蝕、高溫高壓、大功率、尺寸大小兩極分化的方向發(fā)展。為此，各種新材料、新結(jié)構(gòu)、形狀復(fù)雜的精密機(jī)械零件大量涌現(xiàn)，對機(jī)械制造業(yè)提出了一系列迫切需要解決的新問題。例如，各種難切削材料的加工；各種結(jié)構(gòu)形狀復(fù)雜、

2、尺寸或微小或特大、精密零件的加工；薄壁、彈性元件等剛度、特殊零件的加工等。 對此，采用傳統(tǒng)加工方法十分困難，甚至無法加工。于是，人們一方面通過研究高效加工的刀具和刀具材料、自動優(yōu)化切削參數(shù)、提高刀具可靠性和在線刀具監(jiān)控系統(tǒng)、開發(fā)新型切削液、研制新型自動機(jī)床等途徑，進(jìn)一步改善切削狀態(tài)，提高切削加工水平，并解決了一些問題；另一方面，則沖破傳統(tǒng)加工方法的束縛，不斷地探索、尋求新的加工方法，于是一種本質(zhì)上區(qū)別于傳統(tǒng)加工的特種加工便應(yīng)運(yùn)而生，并不斷獲得發(fā)展。后來，由于新穎制造技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展，人們就從廣義上來定義特種加工，即 將電、磁、聲、光、化學(xué)等能量或其組合施加在工件的被加工部位上，從而實(shí)現(xiàn)材料被去

3、除、變形、改變性能或被鍍覆等的非傳統(tǒng)加工方法統(tǒng)稱為特種加工。二、特種加工的特點(diǎn)：1、不用機(jī)械能 ，與加工對象的機(jī)械性能無關(guān)，有些加工方法，如激光加工、電火花加工、等離子弧加工、電化學(xué)加工等，是利用熱能、化學(xué)能、電化學(xué)能等，這些加工方法與工件的硬度強(qiáng)度等機(jī)械性能無關(guān)，故可加工各種硬、軟、脆、熱敏、耐腐蝕、高熔點(diǎn)、高強(qiáng)度、特殊性能的金屬和非金屬材料。 2、非接觸加工，不一定需要工具，有的雖使用工具，但與工件不接觸，因此，工件不承受大的作用力，工具硬度可低于工件硬度，故使剛性極低元件及彈性元件得以加工。 3、微細(xì)加工 ，工件表面質(zhì)量高，有些特種加工，如超聲、電化學(xué)、水噴射、磨料流等，加工余量都是微細(xì)

4、進(jìn)行，故不僅可加工尺寸微小的孔或狹縫，還能獲得高精度、極低粗糙度的加工表面。 4、不存在加工中的機(jī)械應(yīng)變或大面積的熱應(yīng)變， 可獲得較低的表面粗糙度，其熱應(yīng)力、殘余應(yīng)力、冷作硬化等均比較小，尺寸穩(wěn)定性好。 5、兩種或兩種以上的不同類型的能量可相互組合形成新的復(fù)合加工 ，其綜合加工效果明顯，且便于推廣使用。 6、特種加工對簡化加工工藝、變革新產(chǎn)品的設(shè)計(jì)及零件結(jié)構(gòu)工藝性等產(chǎn)生積極的影響。 7、特種加工技術(shù)是先進(jìn)制造技術(shù)的重要組成部分 隨著特種加工技術(shù)的發(fā)展，一方面計(jì)算機(jī)技術(shù)、信息技術(shù)、自動化技術(shù)等在特種加工中已獲得廣泛應(yīng)用，逐步實(shí)現(xiàn)了加工工藝及加工過程的系統(tǒng)化集成；另一方面，特種加工能充分體現(xiàn)學(xué)科的

5、綜合性，學(xué)科(聲、光、電、熱、化學(xué)等)和專業(yè)之間不斷滲透、交叉、融合，因此，特種加工技術(shù)本身同樣趨于系統(tǒng)化集成的發(fā)展方向。這二方面說明，特種加工技術(shù)已成為先進(jìn)制造技術(shù)的重要組成部分。一些發(fā)達(dá)國家也非常重視特種加工技術(shù)的發(fā)展，如日本把特種加工技術(shù)和數(shù)控技術(shù)作為跨世紀(jì)發(fā)展先進(jìn)制造技術(shù)的二大支柱。特種加工技術(shù)已成為衡量一個國家先進(jìn)制造技術(shù)水平和能力的重要標(biāo)志。這是特點(diǎn)之一。 8、特種加工具有獨(dú)特的加工機(jī)理 特種加工不是依靠刀具、磨具等進(jìn)行加工，而主要依靠電能、熱能、光能、聲能、磁能、化學(xué)能及液動力能等進(jìn)行加工，其加工機(jī)理與金屬切削機(jī)床完全不同。能量的發(fā)生與轉(zhuǎn)換、使能過程的控制是特種加工高新技術(shù)的重要

6、部分。這是特點(diǎn)之二。 9、 增材加工是特種加工的重要發(fā)展方向 金屬切削機(jī)床、特種加工機(jī)床一大部分是減材加工。我國從二十世紀(jì)八十年代末發(fā)展起來的快速成形(RP)加工技術(shù)是屬于特種加工技術(shù)的一種增材加工的新領(lǐng)域。它利用分層制造原理(離散堆積)及分層處理軟件，理論上可以制造任意復(fù)雜形狀的零、部件，能適應(yīng)高科技、個性化、小批量生產(chǎn)的需要，增材加工的RP加工技術(shù)已成為特種加工的特點(diǎn)之三。 10、 特種加工可以進(jìn)行二種或二種以上能量的復(fù)合加工 一般來說，“組合加工”是指在一臺機(jī)床上二種不同加工形式(能量)在加工過程中交替使用的加工方式；“復(fù)合加工”是指在一臺機(jī)床上實(shí)現(xiàn)二種或二種以上能量(形式)在加工過程中

7、同時作用的加工方式，例如，電能和聲能、化學(xué)能和電能、光能和化學(xué)能、化學(xué)能和電能及機(jī)械能等復(fù)合，以獲得高效或精密加工的效果，這是特點(diǎn)之四。 11、特種加工技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域的重要性和特殊性 特種加工適用于各種高硬度、高強(qiáng)度、高韌性、高脆性、微細(xì)等金屬和非金屬材料的加工，以及各種新型、特殊材料的加工，在航空航天、軍工、汽車、模具、冶金、機(jī)械、電子、輕紡、交通等工業(yè)中解決了大量傳統(tǒng)機(jī)械加工難于解決的關(guān)鍵、特殊的加工難題。所以在國民經(jīng)濟(jì)的眾多關(guān)鍵制造工業(yè)中發(fā)揮著極其重要的不可替代的作用。例如，在航空航天工業(yè)中各類復(fù)雜深小孔加工、發(fā)動機(jī)蜂窩環(huán)、葉片、整體葉輪加工、特殊材料的切割加工、鈦合金加工等等。在軍事工業(yè)

8、中，例如核武器及高新技術(shù)武器幾乎全是特殊材料和高新技術(shù)材料，各種零件的成形加工、各種孔加工、精密薄材加工等特種加工發(fā)揮著特殊重要的作用。這是特點(diǎn)之五。 12、 特種加工機(jī)床產(chǎn)量世界第一 由于特種加工機(jī)床應(yīng)用領(lǐng)域的廣泛性和重要性，在我國已形成由生產(chǎn)企業(yè)、大專院校、研究院所200多個單位組成的特種加工機(jī)床行業(yè)，其電火花加工機(jī)床的年產(chǎn)量就約達(dá)30000臺之多，其產(chǎn)量為世界第一。是名副其實(shí)的生產(chǎn)大國(但不是生產(chǎn)強(qiáng)國)這是特點(diǎn)之六。項(xiàng)目二 特種加工設(shè)備的分類一、特種加工的基本分類：特種加工機(jī)床范圍較廣，有幾十個門類。其中主要有：1. 電火花加工（EDM）；2. 電化學(xué)加工（ECM）；3. 電解磨削加工（

9、ECG）；4. 化學(xué)加工（CHM）；5. 電弧加工（EAM）；6. 激光加工（LBM）；7；超聲加工（USM）；8. 離子束加工（IBM）；9. 電子束加工（EBM）；10. 等離子弧加工（PAM）；11. 快速成型加工（RPM）；12；磨料射流加工（AJM）等等。特種加工機(jī)床原屬金屬切削加工機(jī)床范疇，但由于特種加工機(jī)床與金屬切削加工機(jī)床機(jī)理完全不同，機(jī)床功能部件的性能不同，以及它在國民經(jīng)濟(jì)中重要地位和作用等原因，2003年國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會明確為與金切機(jī)床并行的獨(dú)立的機(jī)床體系。與其他先進(jìn)制造技術(shù)一樣，特種加工正在研究、開發(fā)推廣和應(yīng)用之中，具有很好的發(fā)展?jié)摿蛻?yīng)用前景。依據(jù)加工能量的來源及作

10、用形式列舉各種常用的特種加工方法。 項(xiàng)目三 特種加工的基本原理一、電火花加工（1）.電火花加工基本原理電火花加工又稱放電加工，也有稱為電脈沖加工的，它是一種直接利用熱能和電能進(jìn)行加工的工藝。電火花加工與金屬切削加工的原理完全不同，在加工過程中，工具和工件不接觸，而是靠工具和工件之間的脈沖性火花放電，產(chǎn)生局部、瞬時的高溫把金屬材料逐步蝕除掉。由于放電過程可見到火花，所以稱為電火花加工。工件與工具電極分別連接到脈沖電源的兩個不同極性的電極上。當(dāng)兩電極間加上脈沖電壓后，當(dāng)工件和電極間保持適當(dāng)?shù)拈g隙，就會把工件與工具電極之間的工作液介質(zhì)擊穿，形成放電通道。放電通道中產(chǎn)生瞬時高溫，使工件表面材料熔化甚至

11、氣化，同時也使工作液介質(zhì)氣化，在放電間隙處迅速熱膨脹并產(chǎn)生爆炸，工件表面一小部分材料被蝕除拋，形成微小的電蝕坑。脈沖放電結(jié)束后，經(jīng)過一段時間間隔，使工作液恢復(fù)絕緣。脈沖電壓反復(fù)作用在工件和工具電極上，上述過程不斷重復(fù)進(jìn)行，工件材料就逐漸被蝕除掉。伺服系統(tǒng)不斷地調(diào)整工具電極與工件的相對位置，自動進(jìn)給，保證脈沖放電正常進(jìn)行。即加工原理為：兩極之間 + 火花放電 + 電腐蝕 + 去除材料 創(chuàng)造條件：（1）.工具與工件之間保持適當(dāng)間隙（自動進(jìn)給調(diào)節(jié)系統(tǒng)）。（2）.火花放電必須是脈沖性放電（采用脈沖電源）。（3）.在有一定絕緣性能的介質(zhì)中放電（液體絕緣介質(zhì)）。1工件2脈沖電源3自動進(jìn)給調(diào)節(jié)系統(tǒng) 4工具5

12、工作液 6過濾器 7工作液泵圖C1-1 電火花加工原理示意圖加工條件：（1）.必須使接在不同極性上的工具和工件之間保持一定的距離以形成放電間隙；（2）.放電必須在具有一定絕緣性的液體介質(zhì)中進(jìn)行；（3）.脈沖波形基本是單向的；（4）.有足夠的脈沖放電能量，以保證放電部位的金屬熔化或氣化。（2）.電火花加工過程 （1）、放電通道的形成。極間介質(zhì)的電離、擊穿，形成放電通道；（2）、能量的轉(zhuǎn)換和傳遞。介質(zhì)熱分解、電極材料熔化、氣化熱膨脹； （3）、電蝕屑的拋出。電極材料的拋出；（4）、間隙介質(zhì)的消電離。極間介質(zhì)的電離消除。 （3）. 電火花加工工藝方法分類（見下表）表C1-1類別工藝方法特 點(diǎn)用 途備

13、 注1穿孔成形加工工具為成形電極主要一個進(jìn)給運(yùn)動型腔加工、沖模擠壓模、異形孔約占電機(jī)床總數(shù)30%2電火花線切割加工工具為線狀電極兩個進(jìn)給運(yùn)動沖模、直紋面、窄縫、下料占總數(shù)60%3內(nèi)孔、外圓成形磨相對旋轉(zhuǎn)運(yùn)動、徑向軸向進(jìn)給運(yùn)動精密小孔、外圓小模數(shù)滾刀占總數(shù)3%4同步共軛回轉(zhuǎn)加工均作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動且縱橫進(jìn)給精密螺紋、異形齒輪、回轉(zhuǎn)表面占總數(shù)1%5高速小孔加工細(xì)管電極旋轉(zhuǎn)、穿孔速度極高深小孔、噴嘴、穿絲孔占總數(shù)2%6表面強(qiáng)化、刻字工具在工件上振動工具相對工件移動工具刃口強(qiáng)化、刻字占總數(shù)2%3%（4）.電火花加工的特點(diǎn)：（1）、適合于用傳統(tǒng)機(jī)械加工方法難以加工的材料 加工，表現(xiàn)出“以柔克剛”的特點(diǎn)。（2）、

14、可加工特殊及復(fù)雜形狀的零件。（3）、可實(shí)現(xiàn)加工過程自動化。（4）、可以改進(jìn)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，改善結(jié)構(gòu)的工藝性。（5）、可以改變零件的工藝路線。（5）.電火花加工的局限性（1）、主要用于金屬材料的加工。即導(dǎo)電體（2）、加工效率比較低。（3）、加工精度受限制。（4）、加工表面有變質(zhì)層甚至微裂紋。（5）、最小角部半徑的限制。（6）、外部加工條件的限制。（7）、加工表面的“光澤”問題。（6）.電火花加工機(jī)床電火花加工機(jī)床可分為：線切割機(jī)床、電火花成型機(jī)機(jī)床（如圖C1-2、圖C1-3所示）。圖C1-2線切割機(jī)床 圖C1-3電火花成型機(jī)機(jī)床（7）.線切割機(jī)床作品展示（如圖C1-4所示）：圖C1-4 線切割機(jī)床作品

15、（8）.電火花成型機(jī)機(jī)床作品展示（如圖C1-5所示）：圖C1-5 電火花成型機(jī)機(jī)床作品展示二、超聲加工超聲加工（USM，Ultrasonic Machining）是利用超聲振動的工具在有磨料的液體介質(zhì)中或干磨料中，產(chǎn)生磨料的沖擊、拋磨、液壓沖擊及由此產(chǎn)生的氣蝕作用來去除材料，以及利用超聲振動使工件相互結(jié)合的加工方法。 早期的超聲加工主要依靠工具作超聲頻振動，使懸浮液中的磨料獲得沖擊能量，從而去除工件材料達(dá)到加工目的。但加工效率低，并隨著加工深度的增加而顯著降低。后來，隨著新型加工設(shè)備及系統(tǒng)的發(fā)展和超聲加工工藝的不斷完善，人們采用從中空工具內(nèi)部向外抽吸式向內(nèi)壓人磨料懸浮液的超聲加工方式，不僅大幅

16、度地提高了生產(chǎn)率，而且擴(kuò)大了超聲加工孔的直徑及孔深的范圍。  近20多年來，國外采用燒結(jié)或鍍金剛石的先進(jìn)工具，既作超聲頻振動，同時又繞本身軸線以10005000r/min的高速旋轉(zhuǎn)的超聲旋轉(zhuǎn)加工，比一般超聲波加工具有更高的生產(chǎn)效率和孔加工的深度，同時直線性好、尺寸精度高、工具磨損小，除可加工硬脆材料外，還可加工碳化鋼、二氧化鋼、二氧化鐵和硼環(huán)氧復(fù)合材料，以及不銹鋼與鈦合金疊層的材料等。目前，已用于航空、原子能工業(yè)，效果良好。 1、超聲波的特性  聲波是人耳能感受到的一種縱波，其頻率范圍為1616000Hz。當(dāng)聲波的頻率低于16Hz時就叫做次聲波， 高于16000Hz則稱為超

17、聲波。具有如下特性： 、超聲波可在氣體、液體和固體介質(zhì)中傳播，其傳播速度與頻率、波長、介質(zhì)密度等有關(guān)，可用公式表示  C=f （51） 式中 C-超聲波傳播速度（mS）； -波長（m）； f-頻率（HZ）。 、超聲波在各種介質(zhì)中傳播，其運(yùn)動軌跡都按余弦函數(shù)規(guī)律變化，其位移為 xA*cos（*t + ） （52） 式中 x-質(zhì)點(diǎn)運(yùn)動的位移（m）； A-振幅（m）； -圓頻率（radS）； t-時間（s）； -振動的相位角（rad）。  、超聲波可傳遞很強(qiáng)的能量，其能量強(qiáng)度可用垂直于波的傳播方向單位面積的能量來表示，超聲加工中的能量強(qiáng)度高達(dá)幾百瓦平方厘米，且90作用于工件表面。

18、 、超聲波會產(chǎn)生反射、干涉和共振現(xiàn)象。出現(xiàn)波的疊加作用，使彈性桿中某處質(zhì)點(diǎn)始終不動，而某處質(zhì)點(diǎn)的振幅則大大增加，從而獲得更大的超聲加工能量。這是因?yàn)?，超聲波在同一彈性桿的一端向另一端傳播時，在不同介質(zhì)的介面上會產(chǎn)生一次或多次波的反射，結(jié)果在有限長彈性桿，將存在若干個周期相同、振幅相等、傳播方向相同或相反的波。于是在彈性桿傳播的波，會出現(xiàn)波疊加，致使某處振動始終加強(qiáng)，或某處振動始終減弱，產(chǎn)生波的干涉現(xiàn)象。 、超聲波在液體介質(zhì)中傳播時，可在界面上產(chǎn)生強(qiáng)烈的沖擊和空化現(xiàn)象，強(qiáng)化了加工過程的進(jìn)行。因超聲波通過懸浮磨粒的液體介質(zhì)時，會使液體介質(zhì)連續(xù)地產(chǎn)生壓縮和稀疏區(qū)域，由于壓力差而形成氣體的空腔，并隨著

19、稀疏區(qū)的擴(kuò)展而增大，內(nèi)部壓力下降，與此同時，受周圍液體壓力及磨粒傳遞的沖擊力作用，又使氣體空腔壓縮而提高壓力，于是，轉(zhuǎn)人壓縮區(qū)狀態(tài)時，迫使其破裂產(chǎn)生沖擊波。由于進(jìn)行的時間極短，因此，會產(chǎn)生更大的沖擊力作用于工件表面，從而加速磨粒的切蝕過程。 2、超聲加工的基本原理 超聲加工時，高頻電源聯(lián)接超聲換能器，由此將電振蕩轉(zhuǎn)換為同一頻率、垂直于工件表面的超聲機(jī)械振動，其根幅僅0005001mm，再經(jīng)變幅桿放大至0050lmm，以驅(qū)動工具端面作超聲振動。此時，磨料懸浮液（磨料、水或煤油等贓工具的超聲振動和一定壓力下，高速不停地沖擊懸浮液中的磨粒，并作用于加工區(qū)，使該處材料變形，直至擊碎成微粒和粉末。同時，

20、由于磨料懸浮液的不斷攪動，促使磨料高速拋磨工件表面，又由于超聲振動產(chǎn)生的空化現(xiàn)象，在工件表面形成液體空腔，促使混合液滲入工件材料的縫隙里，而空腔的瞬時閉合產(chǎn)生強(qiáng)烈的液壓沖擊，強(qiáng)化了機(jī)械拋磨工件材料的作用，并有利于加工區(qū)磨料懸浮液的均勻攪拌和加工產(chǎn)物的排除。隨著磨料懸浮液不斷地循環(huán)。磨粒的不斷更新。加工產(chǎn)物的不斷排除，實(shí)現(xiàn)了超聲加工的目的?？傊暭庸な悄チ蠎腋∫褐械哪チ?，在超聲振動下的沖擊、拋磨和空化現(xiàn)象綜合切蝕作用的結(jié)果。其中，以磨粒不斷沖擊為主。由此可見，脆硬的材料，受沖擊作用愈容易被破壞，故尤其適于超聲加工 3、超聲加工的特點(diǎn) 、適合加工各種硬脆材料，尤其是玻璃、陶瓷、寶石、石英、鍺、

21、硅、石墨等不導(dǎo)電的非金屬材料。也可加工淬火鋼、硬質(zhì)合金、不銹鋼、鈦合金等硬質(zhì)或耐熱導(dǎo)電的金屬材料，但加工效率較低。 、由于去除工件材料主要依靠磨粒瞬時局部的沖擊作用，故工件表面的宏觀切削力很小，切削應(yīng)力、切削熱更小，不會產(chǎn)生變形及燒傷，表面粗糙度也較低，可達(dá)Ra063008um，尺寸精度可達(dá)正負(fù)003mm，也適于加工薄壁、窄縫、低剛度零件。 、工具可用較軟的材料、做成較復(fù)雜的形狀，且不需要工具和工件作比較復(fù)雜的相對運(yùn)動，便可加工各種復(fù)雜的型腔和型面。一般，超聲加工機(jī)床的結(jié)構(gòu)比較簡單，操作、維修也比較方便。 、超聲加工的面積不夠大，而且工具頭磨損較大，故生產(chǎn)率較低4、超聲加工的應(yīng)用、加工型孔、型

22、腔主要用于對脆硬材料加工圓孔、型孔、型腔、套料、微細(xì)孔等（如圖C1-6所示）。圖C1-6、加工型孔、型腔加工異形孔、套料加工、加工微細(xì)孔（如圖C1-7所示）。圖C1-7、切割加工用普通機(jī)械加工切割脆硬的半導(dǎo)體材料很困難，采用超聲切割較為有效（如圖C1-8、9、10、11所示）。圖C1-8超聲切割單晶硅片圖C1-9 超聲波切割金剛石1-換能器；2-變幅桿；3-工具頭；4-金剛石；5-切割工具；6-重錘圖C1-10成批切槽刀具圖C1-11切割成的陶瓷模塊三、電子束離子束加工1、 電子束離子束加工概述：電子束加工技術(shù)在國際上日趨成熟，應(yīng)用范圍廣。國外定型生產(chǎn)的 40kV300kV的電子槍(以60kV

23、、150kV為主)，已普遍采用CNC控制，多坐標(biāo)聯(lián)動，自動化程度高。電子束焊接已成功地應(yīng)用在特種材料、異種材料、空間復(fù)雜曲線、變截面焊接等方面。目前正在研究焊縫自動跟蹤、填絲焊接、非真空焊接等，最大焊接熔深可達(dá)300mm，焊縫深寬比20：1。電子束焊已用于運(yùn)載火箭、航天飛機(jī)等主承力構(gòu)件大型結(jié)構(gòu)的組合焊接，以及飛機(jī)梁、框、起落架部件、發(fā)動機(jī)整體轉(zhuǎn)子、機(jī)匣、功率軸等重要結(jié)構(gòu)件和核動力裝置壓力容器的制造。如：F-22戰(zhàn)斗機(jī)采用先進(jìn)的電子束焊接，減輕了飛機(jī)重量，提高了整機(jī)的性能； “ -27 ” 及其它系列飛機(jī)中的大量承力構(gòu)件，如起落架、承力隔框等，均采用了高壓電子束焊接技術(shù)。 國內(nèi)多種型號的飛機(jī)及發(fā)

24、動機(jī)和多種型號的導(dǎo)彈殼體、油箱、尾噴管等結(jié)構(gòu)件均已采用了電子束焊接。因此，電子束焊接技術(shù)的應(yīng)用越來越廣泛，對電子束焊接設(shè)備的需求量也越來越大。國外的電子束焊機(jī)，以德國、美國、法國、烏克蘭等為代表，已達(dá)到了工程化生產(chǎn)。其特點(diǎn)是采用變頻電源，設(shè)備的體積、噪聲、高壓性能等方面都有很大提高；在控制系統(tǒng)方面，運(yùn)用了先進(jìn)的計(jì)算機(jī)技術(shù)，采用了先進(jìn)的 CNC及PLC技術(shù)，使設(shè)備的控制更可靠，操作更簡便、直觀。國外真空電子束物理氣相沉積技術(shù)，已用于航空發(fā)動機(jī)渦輪葉片高溫防腐隔熱陶瓷涂層，提高了涂層的抗熱沖擊性能及壽命。電子束刻蝕、電子束輻照固化樹脂基復(fù)合材料技術(shù)正處于研究階段。電子束加工技術(shù)今后應(yīng)積極拓展專業(yè)領(lǐng)

25、域，緊密跟蹤國際先進(jìn)技術(shù)的發(fā)展，針對需求，重點(diǎn)開展電子束物理氣相沉積關(guān)鍵技術(shù)研究、主承力結(jié)構(gòu)件電子束焊接研究、電子束輻照固化技術(shù)研究、電子束焊機(jī)關(guān)鍵技術(shù)研究等。2、電子束加工原理經(jīng)電磁透鏡聚焦的高能電子束流在真空條件下直接轟擊工件表面，使加工區(qū)域材料熔化和氣化從而實(shí)現(xiàn)加工3、電子束加工應(yīng)用、窄縫加工（如圖C1-12所示）圖C1-12、曲面加工（如圖C1-13所示）圖C1-13、刻蝕（如圖C1-14所示）、焊接（如圖C1-15所示）圖C1-14圖C1-154、離子束加工、表面功能涂層具有高硬度、耐磨、抗蝕功能，可顯著提高零件的壽命，在工業(yè)上具有廣泛用途。 美國及歐洲國家目前多數(shù)用微波 ECR等離子體源來制備各種功能涂層。等離