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1、二流體去膜段二流體去膜段藥水添加方式報告藥水添加方式報告報告人:李報告人:李 鑫鑫去膜藥水添加流程基本為:去膜藥水添加流程基本為:中央供藥中央供藥 混合槽混合槽添加槽添加槽剝膜槽剝膜槽濾渣槽濾渣槽排廢排廢本次報告將介紹線路蝕刻二流體去膜段藥水添加的方式,先簡單介紹一下去本次報告將介紹線路蝕刻二流體去膜段藥水添加的方式,先簡單介紹一下去膜線藥水添加流程:膜線藥水添加流程: 下面將詳細(xì)介紹去膜段藥水添加的流程下面將詳細(xì)介紹去膜段藥水添加的流程當(dāng)混合槽液位感應(yīng)到低位L(X08D)時,由中央供藥系統(tǒng)向混合槽內(nèi)打原液,當(dāng)加到M位置時(X08C),原液停止添加,開始加入DI水,當(dāng)加到H (X08B)位置時
2、,DI水停止添加,此時剝膜混合槽循環(huán)移送泵浦(M37)啟動,剝膜混合槽循環(huán)電磁閥(MV7)開啟,開始循環(huán)藥液1.配藥配藥2.移送移送藥水循環(huán)一定時間(可設(shè)定)后,剝膜混合槽移送電磁閥(MV8)開啟,藥水向添加槽加藥3.循環(huán)配藥循環(huán)配藥因混合槽體積小于添加槽,一次配好的藥水不能滿足添加槽的需要;當(dāng)混合槽再次到低位L時,M37泵浦停止,開始再次配藥的過程;當(dāng)添加槽液位到達(dá)H(X090)高位時,循環(huán)配藥過程停止,當(dāng)添加槽液位到達(dá)L(X091)低位時,循環(huán)配藥過程再次啟動。4.添加添加當(dāng)添加槽液位到達(dá)L(X091)時,剝膜添加槽循環(huán)移送泵浦(M38)啟動,剝膜添加槽循環(huán)電磁閥(MV9)開啟,開始循環(huán)藥
3、液,防止藥水出現(xiàn)沉淀分層現(xiàn)象;此時剝膜添加槽移送電磁閥(MV10)也會開啟,開始向去膜新液洗槽內(nèi)打藥,去膜新液洗槽液位到達(dá)H(X073)時,MV10關(guān)閉,到達(dá)L(X074)時,MV10會再次啟動。新液洗槽與剝膜槽是通過管道(上有控制電磁閥MV11)單向連接的,即新液洗槽內(nèi)藥水會流向剝膜槽,剝膜槽藥水不會流向新液洗槽;當(dāng)剝膜槽液位到達(dá)H時,新液洗槽停止向剝膜槽添加藥水,MV11關(guān)閉;當(dāng)剝膜槽液位到達(dá)L時,MV11再次啟動。因藥水是不斷向新液洗槽添加的,故當(dāng)新液洗槽藥水液位高于H時,藥水會通過溢流管路流入剝膜槽5.自動添加自動添加生產(chǎn)過程中,入料感應(yīng)器X09E/X09F感應(yīng)到板子進(jìn)入,每進(jìn)入10片,添加槽剝膜補(bǔ)充移送電磁閥(MV10)就會啟動5秒,此時由添加槽向去膜槽體打藥(以上數(shù)值均可設(shè)定)混合槽混合槽添加槽添加槽新液洗槽新液洗槽剝膜槽剝膜槽濾渣槽濾渣槽自循環(huán)自循環(huán)自循環(huán)自循環(huán)自循環(huán)自循環(huán)M37M38M20M17M16振蕩機(jī)振蕩機(jī)自循環(huán)自循環(huán)中央供藥中央供藥 DI水水冰水進(jìn)冰水進(jìn)冰水出冰水出冰水進(jìn)冰水進(jìn)冰水出冰水出蒸汽進(jìn)蒸汽進(jìn)蒸汽出蒸汽出蒸汽進(jìn)蒸汽進(jìn)蒸汽出蒸汽出噴淋泵噴淋泵浦浦M19去膜排去膜排廢廢去膜排去膜排廢廢去膜排去膜排廢廢排膜排膜渣渣去膜廢水去膜廢水去膜廢液去膜廢液常閉常閉常常
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