真空鍍膜設(shè)備操作培訓(xùn)

1、一、名詞解釋一、名詞解釋二、開關(guān)機(jī)流程二、開關(guān)機(jī)流程三、鍍膜主控界面說明三、鍍膜主控界面說明真空真空鍍膜鍍膜設(shè)備操作培訓(xùn)設(shè)備操作培訓(xùn)一、名詞解釋一、名詞解釋1.1. 真空濺射：真空濺射：在真空中，惰性氣體離子從靶表面上轟擊出原子（分子）或原子團(tuán)的過程。2.2. 物理氣相沉積：物理氣相沉積：在真空狀態(tài)下，鍍膜材料經(jīng)蒸發(fā)或?yàn)R射等物理方法氣化，沉積到基片上的一種制取膜層的方法。3.3. 磁控濺射：磁控濺射：借助于靶表面上形成的正交電磁場(chǎng)，把二次電子束縛在靶表面特定區(qū)域，來(lái)增強(qiáng)電離效率，增加離子密度和能量，因而可在低電壓，大電流下取得很高濺射速率。4.4. 鍍膜室：鍍膜室：真空鍍膜設(shè)備中實(shí)施實(shí)際鍍膜過

2、程的部件。5.5. 濺射裝置：濺射裝置：包括靶和濺射所必要的輔助裝置(例如供電裝置,氣體導(dǎo)入裝置等)在內(nèi)的真空濺射設(shè)備的部件。6.6. 靶材：靶材：母材，用來(lái)制取膜層的原材料。7.7. 擋板：擋板：用來(lái)在時(shí)間上和(或)空間上限制鍍膜并借此能達(dá)到一定膜厚分布的裝置；擋板可以是固定的也可以是活動(dòng)的。8.8. 基片架：基片架：可直接夾持基片的裝置,別稱夾具或治具,基片安裝方式分平放、立放，立式放置一般通過彈片、夾扣固定基片。9.9. 基片：基片：膜層承受體。10.10.試驗(yàn)基片（工藝片）：試驗(yàn)基片（工藝片）：在鍍膜開始、鍍膜過程中或鍍膜結(jié)束后用作測(cè)量和（或）試驗(yàn)的基片。11.11.沉積速率：沉積速率

3、：在給定時(shí)間間隔內(nèi),沉積在基片上的材料量,除以該時(shí)間和基片表面積。一、名詞解釋一、名詞解釋12.12.加熱裝置：加熱裝置：在真空鍍膜設(shè)備中,通過加熱能使一個(gè)基片或幾個(gè)基片達(dá)到理想溫度的裝置。13.13.冷卻裝置：冷卻裝置：在真空鍍膜設(shè)備中,通過冷卻能使一個(gè)基片或幾個(gè)基片達(dá)到理想溫度的裝置。14.14.連續(xù)鍍膜設(shè)備：連續(xù)鍍膜設(shè)備：被鍍膜物件（單件或帶材）連續(xù)地從大氣壓經(jīng)過壓力梯段進(jìn)入到一個(gè)或數(shù)個(gè)鍍膜室，再經(jīng)過相應(yīng)的壓力梯段，繼續(xù)離開設(shè)備的連續(xù)式鍍膜設(shè)備。15.15.真空泵：真空泵：抽除氣體，能使腔體達(dá)到設(shè)計(jì)的真空度。16.16.陰極：陰極：靶材安裝位置，兼工藝布?xì)夤苋肟凇?7.17.陽(yáng)極：陽(yáng)極：

4、非陰極區(qū)域。18.18.工藝氣體：工藝氣體：鍍膜所需沖入氣體，常用的有氬氣、氮?dú)?、氧氣?9.19.真空度：真空度：低于一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓。二、開關(guān)機(jī)流程二、開關(guān)機(jī)流程確認(rèn)設(shè)備檢修完成、檢查箱門擦拭干凈，門關(guān)閉OK(門螺絲用工具使用5成力扭緊）開冷卻水、檢查主控面板有無(wú)異常報(bào)警生產(chǎn)參數(shù)確定：開門壓差15pa;分子泵啟動(dòng)10pa；羅茨泵啟動(dòng)500pa泵組電控柜分子泵開關(guān)打開，操作面板分子泵設(shè)定使能設(shè)定正常自檢（“取消自檢”顯示綠色）真空模式轉(zhuǎn)抽氣模式，需泵組模式切換使能設(shè)備自檢后自動(dòng)抽氣，如有問題處理不了，通知設(shè)備正常羅茨泵抽氣時(shí)間30分鐘，真空度到達(dá)10pa，分子泵啟動(dòng)；啟動(dòng)完成，提示轉(zhuǎn)生產(chǎn)模式泵

5、組切換使能，抽氣轉(zhuǎn)換成生產(chǎn)模式；門螺絲用工具使用5成力再次扭緊。檢漏升溫降溫工藝調(diào)試（本底真空5E-3；布?xì)猓?.5kw轟靶0.5H）試投生產(chǎn)開機(jī)開機(jī)流程流程百級(jí)間禁止上片鍍膜腔體夾具全部走完后開始停機(jī)，傳動(dòng)設(shè)為手動(dòng)模式生產(chǎn)模式轉(zhuǎn)保壓模式；關(guān)靶、關(guān)氣、加熱器設(shè)為0分子泵降速停機(jī)，約20min;期間可以松開箱體門螺絲，門把手位置留1顆螺絲扣住待所有泵組停止，確認(rèn)門螺絲松開，保壓模式轉(zhuǎn)放氣模式關(guān)閉冷卻水系統(tǒng)；關(guān)閉換靶位置陰極冷卻水閥關(guān)閉分子泵空氣開關(guān)；開始保養(yǎng)作業(yè)關(guān)機(jī)關(guān)機(jī)流程流程三、鍍膜主控界面說明三、鍍膜主控界面說明(總貌畫面）總貌畫面）三、鍍膜主控界面說明三、鍍膜主控界面說明(生產(chǎn)參數(shù)表）生產(chǎn)參數(shù)表）三、鍍膜主控界面說明三、鍍膜主控界面說明(加熱參數(shù)表）加熱參數(shù)表）三、鍍膜主控界面說明三、鍍膜主控界面說明(工藝參數(shù)表）工藝參數(shù)表）