無塵室概念及管制說明_S03H0

1、1AUO Proprietary & ConfidentialAUO Proprietary & Confidential2AUO Proprietary & Confidential課課 程程 大大 綱綱一、潔凈室的定義一、潔凈室的定義二、潔凈室的功能二、潔凈室的功能三、潔凈度的定義三、潔凈度的定義四、潔凈室環(huán)境要求四、潔凈室環(huán)境要求五、潔凈室的管理五、潔凈室的管理3AUO Proprietary & Confidential 控制產(chǎn)品所接觸大氣的潔凈度及溫濕度：控制產(chǎn)品所接觸大氣的潔凈度及溫濕度： 不論室外空氣條件如何變化，室內(nèi)都還能維持原先設(shè)不論室外空氣條

2、件如何變化，室內(nèi)都還能維持原先設(shè) 定的空氣條件定的空氣條件.使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境中生產(chǎn)制造使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境中生產(chǎn)制造. . 如：如：TFT-LCD能在一個(gè)潔凈度良好、溫能在一個(gè)潔凈度良好、溫 濕度、壓力穩(wěn)定的環(huán)境中被生產(chǎn)制造濕度、壓力穩(wěn)定的環(huán)境中被生產(chǎn)制造.潔凈室的定義潔凈室的定義潔凈室就是所謂的無塵室潔凈室就是所謂的無塵室:4AUO Proprietary & Confidential 將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、壓力、氣流速度與照度、將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、壓力、氣流速度與照度、 噪音、振動(dòng)、靜電等條件控制在某一需求范圍內(nèi)噪音、振動(dòng)、靜電等條件控制在某一需求范圍內(nèi).潔凈室的

3、功能潔凈室的功能溫度溫度濕度濕度風(fēng)速風(fēng)速照度照度噪音噪音2426270.5 m/s250700 LUX65 dB潔凈室最主要功能潔凈室最主要功能: 將一定范圍內(nèi)空氣中的將一定范圍內(nèi)空氣中的微塵粒子微塵粒子( particle ) 、 有害空氣有害空氣、細(xì)菌細(xì)菌等等污染物污染物排除排除.潔凈室環(huán)境要求潔凈室環(huán)境要求:5AUO Proprietary & Confidential潔凈度的定義潔凈度的定義FED-209潔凈度等級(jí)潔凈度等級(jí) S03廠無塵室等級(jí)為廠無塵室等級(jí)為1000級(jí)級(jí)6AUO Proprietary & Confidential潔凈度的定義潔凈度的定義Particl

4、e來源來源:7AUO Proprietary & ConfidentialParticle 防制原則防制原則潔凈室環(huán)境要求潔凈室環(huán)境要求Particle測量儀測量儀不帶入不帶入排排 除除不堆積不堆積不產(chǎn)生不產(chǎn)生8AUO Proprietary & Confidential二、不可產(chǎn)生二、不可產(chǎn)生 particle . 無塵服穿著確實(shí)無塵服穿著確實(shí) . 規(guī)劃作業(yè)規(guī)劃作業(yè) . 避免內(nèi)裝會(huì)產(chǎn)生避免內(nèi)裝會(huì)產(chǎn)生particle 四、排除四、排除 particle . 維持排氣暢通維持排氣暢通 . 維持氣流穩(wěn)定維持氣流穩(wěn)定潔凈室環(huán)境要求潔凈室環(huán)境要求一、不可帶入一、不可帶入 particl

5、e . 穿著無塵服穿著無塵服 . 物品攜入前，先清潔物品攜入前，先清潔 . 環(huán)境壓差確認(rèn)環(huán)境壓差確認(rèn) 三、不可積累三、不可積累 particle . 選擇易清潔之材質(zhì)選擇易清潔之材質(zhì) . 定期清潔定期清潔 . 防靜電產(chǎn)生防靜電產(chǎn)生,避免浮游避免浮游 粒子吸附粒子吸附Particle 防制原則防制原則:9AUO Proprietary & Confidential潔凈室的管理潔凈室的管理目目的的一、維持潔凈室之等級(jí)一、維持潔凈室之等級(jí)二、符合生產(chǎn)環(huán)境要求二、符合生產(chǎn)環(huán)境要求三、避免產(chǎn)品受到污染三、避免產(chǎn)品受到污染范范圍圍一、人員進(jìn)出規(guī)定一、人員進(jìn)出規(guī)定二、無塵服穿著順序二、無塵服穿著順序

6、三、物品設(shè)備相關(guān)規(guī)定三、物品設(shè)備相關(guān)規(guī)定四、人員秩序相關(guān)規(guī)定四、人員秩序相關(guān)規(guī)定五、五、Gowning room 管理管理10AUO Proprietary & Confidential人員進(jìn)出規(guī)定：人員進(jìn)出規(guī)定：一、進(jìn)入潔凈室須穿戴無塵服、網(wǎng)帽、口罩、靜電手套一、進(jìn)入潔凈室須穿戴無塵服、網(wǎng)帽、口罩、靜電手套.二、進(jìn)入潔凈室時(shí)必須依規(guī)定通行二、進(jìn)入潔凈室時(shí)必須依規(guī)定通行“風(fēng)淋室風(fēng)淋室”. 三、進(jìn)入潔凈室后三、進(jìn)入潔凈室后,必須量測靜電手環(huán)是否必須量測靜電手環(huán)是否OK.四、離開無塵室時(shí)四、離開無塵室時(shí),必須依規(guī)定關(guān)閉必須依規(guī)定關(guān)閉“雙向?qū)﹂_門雙向?qū)﹂_門”.五、非緊急狀況五、非緊急狀況,不

7、得使用安全門不得使用安全門.六、設(shè)備商進(jìn)廠及來賓參訪六、設(shè)備商進(jìn)廠及來賓參訪,須提出申請須提出申請, 并了解潔凈室規(guī)并了解潔凈室規(guī)潔凈室的管理潔凈室的管理（一一）11AUO Proprietary & Confidential1.1.進(jìn)風(fēng)淋室時(shí)進(jìn)風(fēng)淋室時(shí), ,雙腳必須在粘塵墊上踩過雙腳必須在粘塵墊上踩過. .2.2.在風(fēng)淋室內(nèi)不可靠墻在風(fēng)淋室內(nèi)不可靠墻. .3.3.所有進(jìn)入無塵室的原材料或治具、工具、零配件等所有進(jìn)入無塵室的原材料或治具、工具、零配件等 均需擦拭干凈后經(jīng)風(fēng)淋室洗塵，方可進(jìn)入無塵室均需擦拭干凈后經(jīng)風(fēng)淋室洗塵，方可進(jìn)入無塵室. .4.4.出雙向?qū)﹂_門時(shí)出雙向?qū)﹂_門時(shí), ,兩

8、邊門不可同時(shí)打開兩邊門不可同時(shí)打開. .5.5.在雙向?qū)﹂_門內(nèi)不可脫手套、口罩等在雙向?qū)﹂_門內(nèi)不可脫手套、口罩等. .風(fēng)淋室風(fēng)淋室&雙向?qū)﹂_門注意事項(xiàng)雙向?qū)﹂_門注意事項(xiàng):潔凈室的管理潔凈室的管理（一一）12AUO Proprietary & Confidential1.進(jìn)入進(jìn)入3F-FI產(chǎn)線的人員統(tǒng)一從產(chǎn)線的人員統(tǒng)一從 通道進(jìn)入后按指定的路標(biāo)走通道進(jìn)入后按指定的路標(biāo)走. 三人以上必須排隊(duì)三人以上必須排隊(duì),且排整齊且排整齊 不可打鬧不可打鬧,嚴(yán)禁嘻戲嚴(yán)禁嘻戲.2.進(jìn)入進(jìn)入2F-FI產(chǎn)線的人員由產(chǎn)線的人員由2F Carton check 1線進(jìn)入線進(jìn)入.潔凈室的管理潔凈室的管理（一

9、一）13AUO Proprietary & Confidential1.將所有頭發(fā)整理塞進(jìn)工帽將所有頭發(fā)整理塞進(jìn)工帽.2.耳朵可外露耳朵可外露,頭發(fā)不可外露頭發(fā)不可外露.3.工帽戴正不可歪斜工帽戴正不可歪斜,有帶子有帶子 的戴到后方的戴到后方.4.后段為非無塵環(huán)境后段為非無塵環(huán)境,清洗由清洗由 同仁自行負(fù)責(zé)同仁自行負(fù)責(zé).潔凈室的管理潔凈室的管理（一一）FI段戴工帽注意事項(xiàng)段戴工帽注意事項(xiàng):14AUO Proprietary & Confidential潔凈室的管理潔凈室的管理（二二）穿無塵服規(guī)范穿無塵服規(guī)范1.扎好頭發(fā)扎好頭發(fā),帶好網(wǎng)帽帶好網(wǎng)帽,(如圖一如圖一). 穿無塵服穿無

10、塵服.MPG 注注:在戴網(wǎng)帽時(shí)要把頭發(fā)全部放到網(wǎng)帽里去在戴網(wǎng)帽時(shí)要把頭發(fā)全部放到網(wǎng)帽里去,不可漏出來不可漏出來.2.帶上無塵帽帶上無塵帽,檢查頭發(fā)是否露出檢查頭發(fā)是否露出(如圖二如圖二).3.帶上口罩帶上口罩.(如圖三如圖三).圖一圖一圖二圖二圖三圖三15AUO Proprietary & Confidential4.穿無塵服拉上拉鏈穿無塵服拉上拉鏈.(如圖四如圖四)5.穿上無塵鞋套穿上無塵鞋套,貼好魔鬼貼貼好魔鬼貼.6.穿上無塵鞋穿上無塵鞋, 穿無塵鞋時(shí)腳禁止搭在鞋柜上穿無塵鞋時(shí)腳禁止搭在鞋柜上.(如圖五如圖五).7.帶上靜電環(huán)及靜電手套帶上靜電環(huán)及靜電手套,在整裝鏡前整理在整裝鏡前

11、整理OK后進(jìn)入無塵室后進(jìn)入無塵室. 注注:手套和無塵衣接口處皮膚不可以露出手套和無塵衣接口處皮膚不可以露出(如圖六如圖六)潔凈室的管理（二）潔凈室的管理（二）16AUO Proprietary & Confidential脫無塵服規(guī)范脫無塵服規(guī)范:脫去無塵鞋套脫去無塵鞋套. 潔凈室的管理（二）潔凈室的管理（二）脫無塵服脫無塵服脫無塵帽脫無塵帽掛無塵服掛無塵服脫去無塵鞋脫去無塵鞋脫去靜電手套脫去靜電手套脫靜電環(huán)脫靜電環(huán)17AUO Proprietary & Confidential 將頭發(fā)扎好不可披發(fā)將頭發(fā)扎好不可披發(fā)(男生不可留長發(fā)男生不可留長發(fā)).戴上網(wǎng)帽將戴上網(wǎng)帽將所有頭發(fā)

12、包住所有頭發(fā)包住,頭發(fā)不可外漏頭發(fā)不可外漏.戴上口罩需戴上口罩需遮住口鼻遮住口鼻,口罩上的鐵絲要捏一下卡住鼻子口罩上的鐵絲要捏一下卡住鼻子, 防止口罩掉下來防止口罩掉下來.戴上無塵帽戴上無塵帽,網(wǎng)帽不可外漏網(wǎng)帽不可外漏.穿上無塵服穿上無塵服,無塵帽領(lǐng)需沒于無塵衣內(nèi)無塵帽領(lǐng)需沒于無塵衣內(nèi)(不可坐在地上穿不可坐在地上穿). 穿上無塵鞋穿上無塵鞋(不可以踩踏鞋柜、隔板不可以踩踏鞋柜、隔板 ),褲管需扎入鞋套里褲管需扎入鞋套里. 在戴上靜電環(huán)和靜電手套在戴上靜電環(huán)和靜電手套.潔凈室的管理（二）潔凈室的管理（二）18AUO Proprietary & Confidential潔凈室的管理（三）潔

13、凈室的管理（三）物品相關(guān)規(guī)定物品相關(guān)規(guī)定 1）進(jìn)入潔凈室之物品進(jìn)入潔凈室之物品,一律均須潔凈后方可攜入一律均須潔凈后方可攜入. 2）文件、紙張及手冊文件、紙張及手冊,必須使用潔凈室專用必須使用潔凈室專用之長纖維之長纖維. 3）潔凈室內(nèi)僅可使用潔凈室內(nèi)僅可使用圓珠筆圓珠筆、油性簽字筆油性簽字筆(投影筆投影筆). 4）搬入潔凈室之重物搬入潔凈室之重物,必須使用專用推車運(yùn)送必須使用專用推車運(yùn)送,以免刮傷地板以免刮傷地板. 5）過重設(shè)備之搬運(yùn)過重設(shè)備之搬運(yùn),需先鋪設(shè)鋼板后需先鋪設(shè)鋼板后,方可進(jìn)行搬運(yùn)方可進(jìn)行搬運(yùn). 6）揮發(fā)性化學(xué)品于搬入潔凈室揮發(fā)性化學(xué)品于搬入潔凈室,必須放置于化學(xué)防爆柜必須放置于化學(xué)

14、防爆柜(酒精酒精). 7）廠商所攜帶之物品須由相關(guān)人員檢查是否潔凈廠商所攜帶之物品須由相關(guān)人員檢查是否潔凈,方可攜入方可攜入 .19AUO Proprietary & Confidential潔凈室的管理（四）潔凈室的管理（四）人員秩序規(guī)定人員秩序規(guī)定:必須依規(guī)定必須依規(guī)定穿戴整齊穿戴整齊,不能穿不能穿絲襪、毛衣絲襪、毛衣.為控制發(fā)塵量為控制發(fā)塵量,禁止高聲呼喊禁止高聲呼喊,嚴(yán)禁嘻戲嚴(yán)禁嘻戲.無塵室內(nèi)無塵室內(nèi)嚴(yán)禁睡覺嚴(yán)禁睡覺,步行必須步行必須慢速緩行慢速緩行,不可奔跑不可奔跑,.須常洗手、須常洗手、剪指甲剪指甲保持個(gè)人整潔保持個(gè)人整潔,不可戴手飾不可戴手飾.禁止帶禁止帶飲料、食品飲料、

15、食品進(jìn)入無塵室進(jìn)入無塵室.嚴(yán)禁在無塵服上寫字及繪圖嚴(yán)禁在無塵服上寫字及繪圖,不可不可化妝、涂指甲油化妝、涂指甲油.無塵室內(nèi)所使用的工具器材無塵室內(nèi)所使用的工具器材,如桌椅、推車、吸塵器如桌椅、推車、吸塵器均需符合潔凈規(guī)定均需符合潔凈規(guī)定. 20AUO Proprietary & ConfidentialGowning room 相關(guān)管理相關(guān)管理:一、無塵服須依規(guī)定送洗一、無塵服須依規(guī)定送洗(1 次次/周周)鞋鞋(1次次/2周周)二、未經(jīng)許可二、未經(jīng)許可,嚴(yán)禁攝影、拍照及錄音嚴(yán)禁攝影、拍照及錄音.三、網(wǎng)帽及口罩用畢三、網(wǎng)帽及口罩用畢,須確實(shí)丟入垃圾桶須確實(shí)丟入垃圾桶.四、更換無塵服時(shí)嚴(yán)禁

16、嘻戲、大聲喧嘩，無塵服、無塵鞋用畢四、更換無塵服時(shí)嚴(yán)禁嘻戲、大聲喧嘩，無塵服、無塵鞋用畢 后按規(guī)定擺放好后按規(guī)定擺放好.五、靜電環(huán)掛于衣服架上；無塵服按同一方向五、靜電環(huán)掛于衣服架上；無塵服按同一方向(左袖統(tǒng)一外側(cè)左袖統(tǒng)一外側(cè)) 拉鏈拉好拉鏈拉好,魔鬼貼粘好魔鬼貼粘好.六、無塵鞋鞋跟朝外擺放整齊六、無塵鞋鞋跟朝外擺放整齊,鞋柜里不可以放任何垃圾鞋柜里不可以放任何垃圾.七、各部門之耗材需求均須登記后七、各部門之耗材需求均須登記后,方可領(lǐng)取使用方可領(lǐng)取使用.潔凈室的管理（五）潔凈室的管理（五）21AUO Proprietary & Confidential袖章辯識(shí)袖章辯識(shí): :潔凈室的管理（六）潔凈室的管理（六）線長線長領(lǐng)班領(lǐng)班帶線工程師帶線工程師訓(xùn)練員訓(xùn)練員物料員物料員IPQCIPQC22AUO Proprietary