多晶射線衍射儀技術(shù)

1、關(guān)于多晶射線衍射儀技術(shù)第一張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月什么是“X射線”第二張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月第三張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月X射線和物質(zhì)的相互作用第四張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月X射線分析儀器兩大類： X射線熒光分析儀 X射線衍射儀第五張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月X射線熒光分析儀 X射線波段的原子發(fā)射光譜儀器基本原理： 應(yīng)用原子內(nèi)層電子受激發(fā)產(chǎn)生的發(fā)射光譜來完成元素分析。特點(diǎn)： 譜線數(shù)少，無化學(xué)位移； 適用分析的元素范圍廣（一般NaU）; 多元素同時(shí)分析，檢出限12g；1ng。第六張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于202

2、2年6月X射線熒光分析儀兩大類型(按測定X射線波長的方法的不同)：能譜型：X射線能譜儀全反射X射線能譜儀。一種新型的高靈敏度X射線能譜儀，檢出限可達(dá)1ng。波譜型：掃描型X射線熒光分析儀 多通道X射線熒光分析儀應(yīng)用范圍覆蓋了AES、AAS和AFS，現(xiàn)在已成為實(shí)驗(yàn)室的常規(guī)分析儀器。第七張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月X射線衍射儀單晶X射線衍射儀 專用于晶體的結(jié)構(gòu)分析，樣品必須是一顆完善的單晶粒。多晶X射線衍射儀(粉末X射線衍射儀） 應(yīng)用面最廣，是完成物相分析的基本分析工具。第八張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月X射線衍射儀的應(yīng)用 “X射線衍射儀是一種結(jié)構(gòu)分析儀器”一般講“X射線

3、衍射儀”指是粉末衍射儀。首先了解一個(gè)重要概念： 物質(zhì)的性質(zhì)性能都是由它的組成和結(jié)構(gòu)決定的。 表達(dá)這種結(jié)構(gòu)的參量都可以用X射線衍射分析方法得到。 第九張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月晶體結(jié)構(gòu)的特征 大多數(shù)物質(zhì)材料是固態(tài)。 絕大多數(shù)的固態(tài)物質(zhì)都是晶體或準(zhǔn)晶體。 晶體：其組成基元在三維空間中的排布具有周期性的特征長程有序排列，周期性排布的幾何抽象就是點(diǎn)陣。晶胞：重復(fù)排列的最小單元稱晶胞。晶胞參數(shù)：三個(gè)軸長 a , b , c 三個(gè)軸的夾角 , , 第十張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月晶體的結(jié)構(gòu)特征 晶體的結(jié)構(gòu)被稱為點(diǎn)陣結(jié)構(gòu)或晶格。 晶體有不同的晶面，不同的晶面有不同的晶面間距，如

4、左圖的 d1，d2，d3。 不同的點(diǎn)陣排列表現(xiàn)出不同的對(duì)稱規(guī)律。各種可能的點(diǎn)陣排列按其對(duì)稱性特征可分為7種晶系、14種點(diǎn)陣型式、230種空間群。d2d3d1第十一張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月何謂晶體衍射？入射X射線，波長衍射X射線衍射角晶體點(diǎn)陣晶面間距 = d hkl h k l晶面 原子的三維長程有序排列對(duì)于X射線而言，晶體相當(dāng)于三維光柵。當(dāng)X射線照射到晶體上時(shí)，每個(gè)原子都散射X 射線。 各個(gè)原子散射的X射線相互干涉，當(dāng)符合一定條件時(shí)（各散射線相位相同），產(chǎn)生衍射，即在此方向上有衍射線產(chǎn)生。 如左圖：產(chǎn)生衍射的條件是兩層的光程差是波長的整數(shù)倍 2d hkl sin n 布拉格公

5、式 n：衍射的級(jí)(正整數(shù)） 不同的晶面d不同，因而各自的衍射角不同，各自的衍射強(qiáng)度也不同。 不同的晶體：原子排列不同，組成不同，衍射也不同。實(shí)際晶體是三維的陣點(diǎn)排列，衍射在三維空間產(chǎn)生。 第十二張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月多晶樣品的衍射，衍射錐 一個(gè)晶粒的某(hkl)晶面所處方位正好符合布拉格公式時(shí)，產(chǎn)生衍射。 多晶體是極多個(gè)小晶粒的聚集體。如果其各個(gè)晶粒的取向隨機(jī)分布，則相當(dāng)于上圖的晶面繞入射X射線束轉(zhuǎn)動(dòng)任意的情況都存在，則X射線照射到此多晶體上時(shí)，如中圖的一個(gè)圓錐面上都有衍射線產(chǎn)生。第十三張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月多晶樣品的衍射，衍射錐第十四張，PPT共五十七

6、頁，創(chuàng)作于2022年6月多晶衍射數(shù)據(jù)信息衍射線位置（方向）：衍射峰位置（衍射角）, 角度的細(xì)微變化 晶體結(jié)構(gòu)，樣品的物相組成，結(jié)構(gòu)和成分的細(xì)微變化，宏觀應(yīng)力。衍射線的強(qiáng)度 ：強(qiáng)度數(shù)據(jù)，相對(duì)強(qiáng)度的變化 含量，晶體完整性，結(jié)晶度，晶粒的取向及其分布。石英粉末的X射線衍射圖第十五張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月多晶衍射數(shù)據(jù)信息衍射線的形狀 ：線形，寬度 晶粒大小，晶體完整性，缺陷，微觀應(yīng)力。背景強(qiáng)度與特征：反映樣品中非晶質(zhì)的含量和種類。某巖芯樣品的X射線衍射圖第十六張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月X射線衍射儀的應(yīng)用 粉末X射線衍射儀已經(jīng)成為固態(tài)物質(zhì)分析鑒定工作不可缺少的基本分析儀

7、器。 粉末X射線衍射儀在自然科學(xué)和技術(shù)科學(xué)中的作用日益重要，其應(yīng)用范圍遍及廣泛的部門和領(lǐng)域。在材料科學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)、化工、地質(zhì)、礦物、冶金、塑料、陶瓷、建材、電子、土壤、環(huán)保、藥物、醫(yī)學(xué)以至考古、刑偵、商檢等眾多學(xué)科、相關(guān)的工業(yè)、行業(yè)中都有重要的應(yīng)用，是理工科院校和涉及材料研究、生產(chǎn)的研究部門、廠礦實(shí)驗(yàn)室的重要的、不可缺少的大型分析設(shè)備。第十七張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月X射線衍射儀的應(yīng)用粉末衍射儀的重要應(yīng)用：1. 物相分析（物相鑒定和定量分析，結(jié)晶度分析） 2. 晶體結(jié)構(gòu)分析或精修 （Reitverd分析）3. 晶體結(jié)構(gòu)參數(shù)的測定( 相界的測定、固溶體的測定、分子篩SiO2/

8、Al2O3比的測定、地質(zhì)溫度計(jì)、宏觀應(yīng)力、熱膨脹系數(shù)的測定.等等。)4. 晶粒尺寸、微觀應(yīng)力的測定5. 織構(gòu)分析（晶粒取向分析）6. 薄膜分析（薄膜物相組成,薄膜反射率測定.）7. 小角散射分析（原子徑向分布函數(shù)測定、長周期、粒度分析等）。第十八張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月X射線衍射儀的應(yīng)用 例1：鈦白粉分析金紅石銳鈦礦24 29第十九張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月X射線衍射儀的應(yīng)用 例2a：物相鑒定Co3O4鑒定Co3O4CoOCoOCoOCoOCoO第二十張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月X射線衍射儀的應(yīng)用例2b：物相鑒定某碳酸鹽巖石樣品的鑒定第二十一張，

9、PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月X射線衍射儀的應(yīng)用例3：物相定量分析（K值外標(biāo)法）第二十二張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月X射線衍射儀的應(yīng)用例4:高聚物的衍射圖第二十三張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月X射線衍射儀的應(yīng)用 例5：結(jié)晶度的測定已結(jié)晶部分占整體的質(zhì)量（Wc）或體積（c）百分?jǐn)?shù) Ic Ic： 結(jié)晶部分的衍射積分強(qiáng)度 Wc,x = Ic + KxIa Ia： 非晶體部分的散射強(qiáng)度 Kx：校正系數(shù)測量譜分解為結(jié)晶部分和非晶態(tài)部分第二十四張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月X射線衍射儀的應(yīng)用 例6： 可以測定晶粒大小和微觀應(yīng)力。 晶粒細(xì)化、微觀應(yīng)力和晶格缺陷導(dǎo)

10、至衍射峰寬化。微觀應(yīng)力逐步消除，再結(jié)晶，晶粒逐步長大第二十五張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月X射線衍射儀的應(yīng)用 例7： 一些高技術(shù)薄膜（薄膜器件）的性能與其多層膜的微觀結(jié)構(gòu)（界面粗糙度，層結(jié)構(gòu)，厚度）有關(guān)。需要分析研究。 由動(dòng)力學(xué)理論可以計(jì)算反射率譜：單層膜，厚度不同單層膜，密度不同單層膜，表面界面粗糙度不同單層膜，表面界面粗糙度不同第二十六張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月 X射線多晶衍射儀 (又稱X射線粉末衍射儀) 由X射線發(fā)生器、測角儀、X射線強(qiáng)度測量系統(tǒng)以及衍射儀控制與衍射數(shù)據(jù)采集、處理系統(tǒng)四大部分組成。下圖示出了X射線多晶衍射儀的構(gòu)成方塊圖。X射線衍射儀的構(gòu)成第二十

11、七張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月第二十八張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月X射線管第二十九張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月衍射儀的光路第三十張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月衍射儀的光路第三十一張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月X射線的檢測NaI(Tl)閃爍檢測器X射線強(qiáng)度單位：計(jì)數(shù)(counts) 計(jì)數(shù)率(cps，counts per secend)第三十二張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月衍射角的測量誤差X光管焦點(diǎn)樣品表面位移（離軸） 2 2 S cos /R樣品吸收偏差(透明度偏差)與此概念類似，即射線可穿透到一定深度，在各深度處都產(chǎn)

12、生衍射，則相當(dāng)于樣品向下移動(dòng)。但不同深度處的衍射線位移不同而且對(duì)衍射強(qiáng)度的貢獻(xiàn)不同需要求不同深度處的衍射的積分來求衍射線的重心。沒有好的求其峰值法線位的辦法。樣品表面位移誤差第三十三張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月多晶X射線衍射儀的性能指標(biāo)衍射線的強(qiáng)度的穩(wěn)定度，準(zhǔn)確度 X 射線發(fā)生器的穩(wěn)定度 一般： 0.03%-0.01% 探測記錄系統(tǒng)的穩(wěn)定度 實(shí)際主要是漂移?，F(xiàn)代電子學(xué)線路和器件一般都可以滿足實(shí)際要求。測角儀的角度準(zhǔn)確度、精度（角度復(fù)現(xiàn)性） 機(jī)械系統(tǒng)的制造誤差： 取決于：齒輪螺桿系統(tǒng)的分度準(zhǔn)確度和精度（涉及同心度、橢圓度、嚙合間隙等） 一般：累計(jì)測角誤差最大0.01(0.008)，

13、角度復(fù)現(xiàn)性0.002(0.0006)。 先進(jìn)的： 光學(xué)編碼校正 衍射線的分辯率 分辯衍射角非常接近的兩個(gè)衍射峰的能力。測角儀類型：立式（垂直掃描）或臥式（水平掃描）第三十四張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月X 射線的功率（入射強(qiáng)度） 測量效率，靈敏度 一般，大的中心實(shí)驗(yàn)室樣品量極大，用轉(zhuǎn)靶機(jī)有優(yōu)點(diǎn)。X 射線探測器的特性 效率，計(jì)數(shù)率最大線性范圍，噪聲、能量分辨率。 閃爍探測器使用最廣。國產(chǎn)已完全過關(guān)。多家都能生產(chǎn)。 衍射、散射線的探測角度范圍 最大最小有效2 測量角度范圍。一般： 3 160 即無問題（100 160 問題） 二維衍射圖象的測量可能性。 目前國內(nèi)二維探測器已有圖像板讀出

14、系統(tǒng)。單色器或高能量分辨率檢測器特殊的測量功能（硬件，軟件） 織構(gòu)、薄膜、外延單晶薄膜、應(yīng)力、纖維、微區(qū)、高溫、低溫、原位反應(yīng)、第三十五張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月基本控制測量功能： 接口和配置檢查 基準(zhǔn)： 和 2 回到標(biāo)準(zhǔn)位置。開機(jī)時(shí)必須首先進(jìn)行，以后也可以進(jìn)行。 定位： 、2 運(yùn)動(dòng)到指定位置。 定時(shí)計(jì)數(shù) / 定數(shù)計(jì)時(shí)：機(jī)構(gòu)不運(yùn)動(dòng)，在固定角度處記錄強(qiáng)度。 連續(xù)掃描：樣品（或/及）探測器連續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)，每隔一定角度（可指定，如0.02）記錄該角度處的強(qiáng)度。 步進(jìn)掃描：樣品（或/及）探測器一步一步轉(zhuǎn)動(dòng)，每轉(zhuǎn)一步（可指定，如0.02）停下來、記錄該角度處 的強(qiáng)度；再走下一步、再記錄. 控制

15、X光窗口的開關(guān)。組合控制測量功能： 積累步進(jìn)掃描 / 積累連續(xù)掃描：消除電子系統(tǒng)漂移影響 多區(qū)間掃描分別存儲(chǔ)：節(jié)省時(shí)間 多區(qū)間掃描單譜存儲(chǔ)：節(jié)省時(shí)間。 單晶基體上的薄膜樣品掃描：既得基體的強(qiáng)衍射譜，又得薄膜的衍射譜。 多入射角多區(qū)間自動(dòng)掃描：薄膜測試。節(jié)省時(shí)間。 宏觀殘余應(yīng)力測試掃描。各種附件控制測量 自動(dòng)樣品轉(zhuǎn)換臺(tái)、纖維附件、極圖附件第三十六張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月基本軟件：常規(guī)數(shù)據(jù)處理： 平滑、背景扣除、剝離K 2 ，尋峰（峰位自動(dòng)讀出）、求積分強(qiáng)度常規(guī)譜圖觀察及輸出多譜對(duì)比觀察及輸出重疊峰分離（即峰擬合，對(duì)稱 / 非對(duì)稱）數(shù)據(jù)格式轉(zhuǎn)換：至少要有ASC II 碼轉(zhuǎn)換2 /

16、 晶面間距轉(zhuǎn)換應(yīng)用軟件，商品軟件、共享軟件十分充分，專用的可以自編。物相定性分析，物相定量分析（K值法、工作曲線法、殘余奧氏體測定.）樣品物理線形及晶粒大小分析（非對(duì)稱法）晶粒大小及點(diǎn)陣畸變分析重疊峰分離法結(jié)晶度分析結(jié)晶度分析點(diǎn)陣參數(shù)精確測定。重心法衍射幾何誤差計(jì)算指標(biāo)化極圖。三維取向分布函數(shù)。反極圖第三十七張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月小角散射顆粒度分析纖維取向因子分析勞埃圖譜指標(biāo)化物相深度分布分析應(yīng)力深度分布分析結(jié)構(gòu)深度分布分析全譜擬合結(jié)構(gòu)分析 及其各種應(yīng)用粉末衍射數(shù)據(jù)庫 卡片號(hào)查詢、某物相詳細(xì)資料查詢、打印輸出 物相英文名稱卡片查詢 物相分子式卡片查詢 物相或多物相混合物標(biāo)準(zhǔn)

17、衍射譜計(jì)算繪制晶體結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)庫第三十八張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月X射線衍射儀技術(shù)發(fā)展動(dòng)態(tài)第三十九張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月立式測角儀應(yīng)用 過去大多數(shù)衍射儀都采用臥式測角儀，臥式測角儀存在樣品必須垂直放置，在使用上帶來諸多不便，所以近年來進(jìn)口衍射儀都采用立式測角儀結(jié)構(gòu)，國內(nèi)普析通用公司XD2及XD3型也是采用立式結(jié)構(gòu)，國內(nèi)其它廠家也在嘗試開發(fā)。 第四十張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月立式測角儀第四十一張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月-2立式測角儀第四十二張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月-掃描 模式的采用 傳統(tǒng)的 2 模式只能執(zhí)行3種掃描

18、方式，而模式可以執(zhí)行4種掃描方式，更有利于各種實(shí)驗(yàn)測量！目前進(jìn)口產(chǎn)品基本具備掃描模式，但國產(chǎn)衍射儀目前只有普析通用公司的產(chǎn)品具有這種掃描模式。第四十三張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月快速光閘連鎖機(jī)構(gòu)的應(yīng)用 X射線對(duì)人體有傷害，光閘就是在使用過程中起到封鎖X射線的功能，光閘關(guān)閉的速度是影響x射線泄漏的重要因素。過去國產(chǎn)衍射儀都是推拉式光閘結(jié)構(gòu)關(guān)閉速度較慢，對(duì)x射線的封鎖效果較差，現(xiàn)在采用快速光閘連鎖機(jī)構(gòu)對(duì)x射線的封鎖效果就較好，可以更好的保護(hù)操作者的安全。第四十四張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月一體式的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) 現(xiàn)在國內(nèi)大多數(shù)廠家都采用測角儀與x射線管分離的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，這種設(shè)計(jì)

19、影響設(shè)備使用的長期穩(wěn)定性。而一體式結(jié)構(gòu)就保證了儀器長期運(yùn)行的穩(wěn)定，有些進(jìn)口儀器已經(jīng)采用了這一技術(shù)，國內(nèi)目前只有普析通用采用。第四十五張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月電機(jī)微細(xì)分驅(qū)動(dòng)技術(shù)的應(yīng)用 近年來電機(jī)微細(xì)分驅(qū)動(dòng)技術(shù)的發(fā)展給衍射儀技術(shù)帶來促進(jìn)，電機(jī)微細(xì)分驅(qū)動(dòng)技術(shù)采用使衍射儀的掃描運(yùn)動(dòng)更加平穩(wěn)連續(xù)，使轉(zhuǎn)動(dòng)角度控制更加精確。由這一技術(shù)的應(yīng)用使得衍射儀角度測量的準(zhǔn)確度0.008度、重現(xiàn)性達(dá)到0.0006度。第四十六張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月多種可選的X射線檢測器 常規(guī)探測器：正比探測器，閃爍探測器（ 能量分辨率：30，50） Si(Li)探測器(半導(dǎo)體致冷）： 能量分辨率約2

20、00eV，優(yōu)于石墨晶體單色器?？扇サ羰珕紊鞫鴮?shí)際強(qiáng)度增加34倍，加快測量速度。同時(shí)噪聲減低.（缺點(diǎn)線性范圍?。?位置靈敏探測器（多絲正比探測器）： 多角度同時(shí)記錄，加快測量速度。能量分辨率：30 硅陣列探測器： 多角度同時(shí)記錄，加快測量速度。有 / 無能量分辨率 面積探測器： 如二維多絲正比探測器，圖象貯存板，CCD探測器等。 能夠接收整個(gè)衍射錐的信息，對(duì)擇優(yōu)取向，纖維等有效 ；對(duì)參加衍射的 晶粒過少（如晶粒粗大，微區(qū)分析）有效。能夠加快測量速度。第四十七張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月多種可選的X射線光學(xué)部件如：彎晶石墨單色器；多層膜單色器；多層膜準(zhǔn)直鏡；平行光毛細(xì)管束；平行光狹縫等等。第四十八張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月如何選擇X射線衍射儀第四十九張，PPT共五十七頁，創(chuàng)作于2022年6月不要被“高指標(biāo)”迷惑 有些國外廠商在推薦產(chǎn)品時(shí)宣傳其產(chǎn)品角度精度達(dá)到0.0001度，事實(shí)上這只是其角度顯示值的最小位數(shù)，而不是角度測量精度。從理論它也做不