后出站報告后研究工作報告

合作導師 飛教ResearchonNovelSemiconductorLaserArraysandTheirApplicationsBasedontheReconstructionEquivalentChirpTechnology ProfessorXiangfeiCollegeofEngineeringandAppliedNationalLaboratoryofSolidStateMicrostructureNanjingUniversitySeptember成本，是未來綠色高效的通信架構模式。分布式技術需要利用光信號直接傳制高線性度的低失真的模擬調制激光器是分布式技術需要攻克的難題。本面向未來光通信的發(fā)展方向，分別針對光子集成技術、相干光通信技術和分布式技術對激光器的要求，對多波長激光器陣列、可調諧窄DFB激光器陣列、可調諧窄線寬DFB激光器、單片集成注入鎖定激光器以及雙平衡調制激光器。本從理論、設的實驗成果。本的具體組織結構如下：DFB激光器陣列進行了理論和實驗研究。第四章闡述了可調諧窄線寬DFB激光 的設計原理和制造方法 第七章 的總結和展望：重構-等效啁啾技術、DFB大學博士后研 要首頁用THESIS:ResearchonNovelSemiconductorLaserArraysandTheirApplicationsBasedontheReconstructionEquivalentChirpTechnologySPECIALIZATION:MaterialScienceandEngineeringMENTOR:XiangfeiChenDuetotheincreaseofthenumberofthenetworkusersandthedevelopmentofWebofThings,thenetworktraffichaveincreaseddramaticly,andthebottleneckofthebandwidthinfibercommunicationsystem emoreandmoreserious.Inordertoimprovetheinternetspeed,moreopticalcables,communicationequipmentsandbasestationshavebeenbuilt,whichconsumemuoreelectricpowerandresultinhigheroperatingcost.Moreimportantly,thebottleneckofthebandwithcannotberesovedthoroughlyonlybyincreasingthenunmberofthebasestations.Tomeettherequirementsofthedevelopmentofthefibercommunication,manynewtechnologieshavebeeninvestigated,forexamplephotonicintegratedcircuits(PICs),Coherentopticalcommunication(COC)anddistributedbasestation(DBS).ThePICstechniquecanintegratemanyseperateddevicesononechip.Asaconsequence,thesizeandpowerconsumptioncanbereducedsignificantlywithdramanticincreaseintransmissionspeedofonechip.PICsisthedevelopmenttendencyoftheopticalcommunication,whichisconsideredasoneofthemostidealmethodstosolvetheproblemsinthetranditionalopticalcommunicationsystems.Unfortunay,therearestillsomeissuesneedtoberesolved,forexample,themultiwavelengthlaserarray.Thetranditionalfibercommunicationsystemsarebasedonthewavelengthdivisionmultiplex(WDM)technology.Inconsequence,itisverynecessarythatwavelengthsofthedifferentchannelsinlaserarraysalignwellwiththewavelengthsdefinedbytheITU(International municationUnion)standardsfortheWDMtechnique,andeachlaserinthemultiwavelengthlaserarrayshouldhaveaperfectsingle-longitudinal-modeoperation,whichisalargeproblemtofabricatesuchamultiwavelengthlaserarray.Comparedwiththetranditionaldirectlydetectedopticalcommunicationtechnology,theCOCtechnologyhashigherreceivingsensitivityandspectralefficiency.speedsignificantly.However,thebandwidthoftheCOCsystemisdirectlyinfluncedbythelasersourceintheCOCsystem.Thetransmissionbandwithincreaseswiththereductionofthelinewidthofthelasersource.HowtodesignthetunabelnarrowlinewidthlasersourcewithhighstabilityisthetroubletoCOCtechnique.Utlizingtheradio-over-fiber(ROF)technolog,theDBStechniquecantransferthesignalsfromallthebasestationstoasinglebasebandunitforsignalprocessing,whichcansimplifythestructureofthebasestationandreducethecostofconstructionandmaintenance.Duetoitssimplestructureandhighefficiency,theDBSisconsideredasthenextgenerationbasestationarchitecture.IntheDBSsystem,the ogsignalsaretransmittedbytheROFlink,whichrequirethetransmittershavehighlinearityandlowmodulationdistortion. ogmodulatedlaserswithhighlinearityaregreatlyrequired.AccordingtotherequirementsofthePICs,COCandDBStechnologies,multiwavelengthDFBlaserarrays,tunablenarrowlinewidthDFBlasersanddirectly ogDFBlasersbasedonthereconstruction-equivalentchirp(REC)technologyaredemonstratedinthisthesis.Thetheories,designs,fabricationprocessandapplicationsofthementionedlasershavebeen yzedandresearchedindetailandmanyresultshavebeenachieved.Thewholethesisconsistsofsevenchapterstheyarelistedas chaptergivesawholeintroductionofthepaper.Thebackgrounds,requirementanddevelopmentoftheresearchedlasersarepresentedinthissection.ThesecondchapterdiscribethetheoryoftheRECInthethirdchapter,thetwo-sectionDFB(TS-DFB)laserarraysarebytheoryysisandInthefourthchapter,thedesignandfabricationprocessoftunablenarrowlinewidthDFBlaserarrarysaredemonstrated.Thefifthpartmainlydiscussthemonolithicintegratedinjection-lockedDFBlasers.Theenhancementofthebandwidthutlizinginjection-lockedtechniqueisstudiedThedual-modulatedlasersaredescribedinchaptersix.Thesuppressionofthird-orderinter-modulationdistortionusingdual-modulatedmethodisproofedbysimulationsandexperiments.Theseventhchaptergivesthe ndprospectofthe:Reconstrution-EquivalentChirp(REC),DFBlaserarrays,photonicintegratedcircuits(PICs)，waveguidegratings 表 第1章緒 研究背景與研究意 DFB激光器陣列技術的發(fā)展現(xiàn) 第2章重構-等效啁啾技術理論研 第3章兩段式分布反射DFB激光器陣列及其應 兩段式分布反射DFB激光器理論分析與設 TS-DFB激光器陣列靜態(tài)特性研 TS-DFB激光器動態(tài)特性研 激光器小信號頻率響 激光器相對強度噪 激光器無雜散動態(tài)范圍測 TS-DFB激光器在ROF系統(tǒng)應用研 小 第4章可調諧窄線寬DFB激光器陣 窄線寬DFB激光器發(fā)展現(xiàn) 窄線寬DFB激光器理論研 可調諧窄線寬DFB激光器光柵設計與分 可調諧窄線寬DFB激光器陣列實驗研 可調諧特性研 窄線寬特性研 小 第5章單片集成注入鎖定DFB激光 注入鎖定激光器技術的基本理 注入鎖定技術的發(fā)展歷史與現(xiàn) 單片集成注入鎖定激光器的設 單片集成注入鎖定激光器實驗研 單片集成注入鎖定激光器在微波光子學領域的應用研 單片集成注入鎖定激光器的其他應 小 第6章雙平衡調制技術在ROF鏈路中的應 雙平衡調制原 雙平衡調制數(shù)值仿真研 雙平衡調制實驗研 小 第7章總結與展 致 博士后期間取得的科研成果及承擔科研項 申請專 承擔項 參考文 圖1-1全球互聯(lián)網(wǎng)數(shù)據(jù)流量增長趨勢圖 圖1-2光子集 示意圖 圖1-3光子集 數(shù)據(jù)流量隨時間變化規(guī)律 圖1-4REC技術的發(fā)展歷 2-11630nm0級波長左右兩邊出現(xiàn)級透射 圖2-2等效π相移采樣光柵及其無源透射譜示意圖，等效相移出現(xiàn)在±1級之 圖2-3不同采樣周期光柵透射譜（a）減小采樣周期，±1級向遠離0級的（b）間距縮短 圖3-1（a）兩段式DFB激光器及（b）其光柵結 圖3-2Section1的透射光譜（紅線）與Section2的反射光譜（藍線 圖3-3閾值增益差隨Section2長度的變化關 圖3-4TS-DFB與OS-DFB激光器在相同泵浦電流下的腔內光場分 圖3-5TS-DFB激光器與OS-DFB激光器的L-I特性曲 圖3-6DFB激光器材料結構 圖3-7（a）4通道TS-DFB激光器陣列光譜與（b）OS-DFB激光器光 3-8TS-DFB163-9（a）No.1I2的影響曲線，插I2NO.1號激光器光譜（I24TS-DFB激光器陣列的波長及其線性擬合和誤 3-10（a）4TS-DFB激光器陣列（I2=0mA）OS-DFBL-（b）No.1TS- 圖3-11TS-DFB激光器的封裝示意 圖3-12 PO口管腳分布 3-13（a）TS-DFBI1（I2=0mA）時的小信號頻率響應曲線以及泵浦電流為90mA時OS-DFBI1=90mA，I2從0mA變化到15mA時TS-DFB激光器的小信號頻率響應曲 3-14系統(tǒng)RIN噪聲與激光器RIN 圖3-15RIN噪聲測量原理 圖3-16實驗測得TS-DFB激光器與OS-DFB激光器RIN噪聲 圖3-17三階交調信號產生原理 圖3-18無雜散動態(tài)范圍測量系統(tǒng) 圖3-19（a）TS-DFB與（b）OS-DFB激光器的SFDR測試曲 圖3-20ROF鏈路原理 3-2140km64-QAM信號星座圖，273-22不同注入電流條件下I1=80mA，I2=0mA（d）I1=90mA，I2=0mA接收到64-QAM信號的星座圖及EVM 圖4-1可調諧窄線寬激光器的種 4-2InGaAsP1550波段的（a）增益曲線和（b）圖4-3（a）傳統(tǒng)切趾光柵結構與（b）等效切趾光柵結構對比 圖4-4+1 光柵耦合強度隨占空比變化曲 圖4-5不同切趾比條件下DFB激光器腔內光子分 圖4-6不同切趾比條件下激光器腔內光子密度分布平坦系 圖4-7歸一化激光器閾值增益及閾值增益差隨切趾比的變化曲 圖4-84通道窄線寬DFB激光器在室溫下L-I特性曲 圖4-9（a）不同溫度下4通道激光器的光譜 圖4-10激光器波長隨溫度調諧曲 圖4-11自外差法測量激光器線寬原理 圖4-12延遲自外差發(fā)測得DFB激光器線寬 圖為光譜儀讀出數(shù)據(jù).圖4-13激光器線寬隨泵浦電流變化曲 圖4-14激光器線寬隨溫度變 圖5-1注入鎖定原理 圖5-2頻率失諧量與注入比關系 圖5-3單片集成注入鎖定激光器示意 圖5-4單片集成注入鎖定激光器圖 圖5-5主從激光器L-I曲 5-6從激光器波長隨(a)從激光器注入電流和(b) 圖5-7注入鎖定 光譜變 圖5-8注入鎖定過程出現(xiàn)的非線性現(xiàn)象（a）四波混頻（b）頻率鎖定混沌效 圖5-9單片集成注入鎖定激光器封裝后實物 圖5-10 圖5-11基于單片集成注入鎖定激光器的微波光子濾波器原理 圖5-12微波光子濾波器響應曲 圖5-13OEO原理 圖5-14OEO輸出微波信號頻 圖5-15注入鎖定產生微波信號示意 圖5-16注入鎖定產生微波信號原理 圖5-17單邊帶調制原 圖6-1雙平衡調制原理 圖6-2雙平衡調制抑制三階交調原理 圖6-3雙平衡調制程序仿真 圖6-4單通道調制時信號頻譜DC1=3.05Ith和雙平衡調制時DC1=3.05Ith，DC2=3.16Ith信號頻 圖6-5雙平衡調制實驗原理 圖6-68通道DFB激光器陣列實物 圖6-78通道激光器陣列光譜 圖6-88通道DFB激光器陣列小信號頻率響應曲 6-9（aLD1@48mA（bLD2@43mA 圖6-10雙平衡調制三階交調信號頻 6-11SFDR（aLD1@48mA（bLD2@43mA 圖6-12雙平衡調制下SFDR測試曲 表表5-1一次外延片材料參 表5-2二次外延材料參 表5-3單片集成注入鎖定激光 參 第1章緒研究背景與研究意、半導體激光器（semiconductorlaser）技術、波分復用(wavelength-division絡已經成為人們工作和生活中一個不可或缺的重要組成部分[1,2]。、 點擊量的增長以及物網(wǎng)技術的普及等因素的推動，互聯(lián)網(wǎng)數(shù)據(jù)量呈式增長。根據(jù)思科視覺網(wǎng)絡指2014-2019年度全球預測報告提供的數(shù)據(jù)(1-1)52.02Zettabytes（1Zettabyte=1012Gigabytes，平均每月數(shù)據(jù)流量168Exabytes[3]。迅猛增長的數(shù)據(jù)量給光纖通信系統(tǒng)的帶寬帶來了巨大的挑等方面的需求。光學器件也因此正在逐漸開始PIC1-1全球互聯(lián)網(wǎng)數(shù)據(jù)流量增長趨勢圖1-2 圖1-2光子集 40多年前這一概念被提出以來[6]，一直沒有得到很好的發(fā)展，一個非常主要的原因就是有源光子器件（activephotonic 的支持下投資6.1 建立集成光子制造平臺項目——光子集成創(chuàng)新院（AIM-Photonics）[7]。國際知名大公司，如IBM，In LucentNECNor UniesityCornell 成度以及數(shù)據(jù)量每2.2年增加一倍，類似于電子集成中的摩爾定律（如圖1-3所圖1-3光子集 半導體激光器陣列是光子集成器件的部件，也是目前制約光子集成技術發(fā)展的主要因一。激光器陣列不解決好，光子集成技術就很難有飛成器件的理想光源。本課題針對光子集成技術和光通信技術的需求，基于重構-DFB激光器及其陣列。DFB激光器陣列技術的發(fā)展現(xiàn)1987年東芝公司首次利用全息光刻發(fā)實現(xiàn)了51.3μmDFB激光器21DFB激光器陣列與無源合波器和放大器的單片集成問世[10]DFB激光器陣列的主要是保證每個激光器的輸出波長及波長間隔滿整個則無法使用，因此DFB1996年的 技術制作16波長的DFB激光器陣列的成品柵決定為了提高波長控制精度人們提出了多種DFB激光器陣列的制作方法：Lithography（Nanoprint。GrowthFPlaser）等[12-19] 技術因其制造精度高的優(yōu)點被廣泛應用于DFB陣列的制造中，但是技術的不足之處在于，制造速度慢，成本高。， 隨著陣列中激光器數(shù)目的增加而增大，目前波長控制精度在±1nm左右。Slot-FP ，重構-等效啁啾技術簡，在普通的DFB光柵結構中，采樣結構（也稱為取樣）常被用以制作多信道濾波器，可調諧激光器等[21-23]。2004年 通過設計和制作特殊的采樣結構，使采樣光柵所形成的多信道透射譜中，±1級信道中形成等效相移（Equivalentphaseshift,EPS）代替真實相移，得到和真實相移基本相同的功能和效果。在過去幾年中，REC技術已經被成功用于光纖布拉格光柵光纖激光器帶有多個等效π相移的OCDMA編 27]。如圖1-4所示，2006年 飛等人首次提出將REC技術應用到DFB半導體激光器的制造當中[28]，2008年獲得了第一個基于REC技術的DFB激光器 之后多種具有復雜結構和功能的REC-DFB激光器及陣列 2009年利用REC技術研制成功第一個DFB激光器陣列 精度為±0.2nm，完全高于現(xiàn)有產品的控制精度[35-37]。2013年基于REC技術和混合封裝工藝完成了國內第一個可測試的8×10GHz激光器模塊。2014年針對下一代WDM-PON的需要，設計出串并聯(lián)可調諧激光器[38-40]。同年 工學院將REC技術用于無源光濾波器陣列制作當中，采用CMOS工藝制作出的無源波導光柵陣列的波長精度為10pm，接近了REC技術在波長控制上的理論值，1-4RECDFB激光器和陣列。本面向現(xiàn)代光通信系統(tǒng)的需求基于RECDFB激光器及其陣列。本的具體結構如下：REC技術基礎理論知識；RECDFBROF系統(tǒng)中的應RECDFB激光器陣列技術；DFB激光器技術；ROF鏈路中的應用；第2章重構-等效啁啾技術理論研DFB激光器制作生產中存在的諸多問題，本文所論述的器（Sampling量級（sub-micrometer）全息技術等效實現(xiàn)納米級的效果，我們將其稱為重構等效啁啾技術（REC技術REC技術REC技術的器件需要對均勻光柵進行經過特殊設計的采樣，將設計好的特殊采樣光柵制作到器件中去。均勻光柵由全息對于采樣光柵而言，其折射率調制可以表示為 nzszexpj

展開，可以得到 s(z)Fmexp

其中P是采樣周期（samplingperiodFm為 第m級信道。2-11630nm0級波長左右兩邊出現(xiàn)±1在上述的均勻采樣光柵中把在z0處的采樣周期擴大ΔP，也就是說z>z0的時候，采樣函數(shù)變?yōu)閟(z-ΔP)。這時，對于第m級信道，其折射率調制將在z>z0 Fexpj2zj2mz

z nmz

expj2zj2mzj

z

m 其中，我們得到了相移θm，其大小為m2m

ΔPΔP在某一段區(qū)域內連續(xù)變化，則得到等效啁啾（EquivalentChirpπ等效相移存在于±1級信道中。由此，通過等效相移的引入，可2-2等效π相移采樣光柵及其無源透射譜示意圖，等效相移出現(xiàn)在±1由公式（2.1）ΛλB±1P

2NeffP

P P

P分別調整的時候，其±1級信道的波長也隨之變化。換言之，采樣周期P可以由確定的光柵周期和期望得到的波長反推。圖2-3 2-3（a）減小采樣周期，±10級的方向移動，兩者間（b）擴大采樣周期，±10級移動，兩者間距縮短；第3章兩段式分布反DFB激光器陣列及其應（AR/ARDFB激光器結Laser兩段式分布反射DFB激光器理論分析與設Section1Section2。Section1DFB激光器，Section2是分布反射光柵部分。Section1是整個器件的，決定了整個器件的發(fā)光特性，AR/AR膜，Section1L1=450μm，Section2L2=500μm，中間是電區(qū)。為了提高兩部分的電鍍，利用濕法腐蝕技術將兩部分之間I1I2表示。3-1（a）DFB激光器及（b）REC周期PSection1的光柵中心有等效π（Equivalentπphase-shiftSection2陣法（TMM：TransferMatrixMethod）[43]Section1光柵的透射譜Section23-2Section1中的光柵具有等效π相Section1Section2的光柵長度，Section1光柵透射峰（激光器主模Section2Section2Section1DFB激光器的主模提供更高的反射率，3-2Section1的透射光譜（紅線）Section2的反射光譜（藍線DFB激光器的邊模抑制比與閾值增益差關，閾值增益差越大，DFB激DFBSection1的閾值增益差（g

）Section2

DFB激光器的邊3-3Section2模擬了具有相同材料和光柵結構的單段式DFB激光（OS-DFBOne-SectionDFB3-4是計算得出的在相同泵浦電流（50mA）TS-DFBOS-DFBTS-DFB的輸出功率。另外，TS-DFB激光器的Section2反射光柵部分的量子阱存在吸收損耗因此隨著Section2部分的0mA15mA時，TS-DFB激光器的輸出功率逐步提高。為了防止Section2部分有激光起振影響整個器件的性能，Section2部分的泵浦電流控制在15mA之下。3-4TS-DFBOS-DFB3-5TS-DFBOS-DFB激光器的輸入輸出特性曲線，3-5TS-DFBOS-DFBL-ITS-DFB3-6NInP基片上利用MOCVD法順次生長出1μm厚的NInP緩沖層、N1.24Q-InAlGaAs下限制HeterostructureWell畢。之后利用全息和光刻技術在P1.42QInAlGaAsREC取樣Iladding層，腐蝕層、脊SiO23-6DFBTS-DFB激光器陣列靜態(tài)特性研3.14TS-DFB激光器，作為比較利用同一waferTS-DFBSection1OS-DFB激光器3-7分別是4TS-DFB激光器陣列與OS-DFB激光器在泵浦電流為90mATS-DFBSection215mA。在相同DFB激光器的邊模抑制比。3-7（a）4TS-DFB激光器陣列光譜與（b）OS-DFB3-83-7（a）4TS-DFB激光器陣列中各個激光器陣列的波長間隔為3.398nm，與設計值3.2nm的平均誤差為0.198nm，其中最大0.178nm。Section2TS-DFB激光器的波長會向長Section2的注入電流大小可以對激光器的波長進行微調，從而進一步精確控制波長。圖3-9（a）4No.1Section2I2I2變化關系曲線。TS-DFB激光器受自身I2和相鄰激光器I2變化引起波長調諧斜效率分別為0.01nm/mA0.0045nm/mAI24TS-DFB激光3-9（b）4TS-DFBI2分別?。?0mA，15mA，10mA0mA4通TS-DFB3.309nn0.109nm0.096nm，45%。3-8TS-DFB3-9（a）No.1I2I2（b）10L-I可以看出，TS-DFB21mA-23mA之間，光器的斜效率由0.165mW/mA提高到了0.23mW/mA，增加了39%。由于TS-DFBI2TS-DFB3-10（b）4TS-DFB激光器中No.1TS-DFB激光器在不同I2L-I曲線I20mA逐漸增大到15mA時，激光器閾值由22mA降低到20mA，斜效率由0.23mW/mA0.265mW/mAI2的值超過閾值之后，Section2會產生震蕩影響器件性能，因I2的值通常設置在閾值之下。3-10（a）4通道TS-DFB激光器陣列（I2=0mA）OS-DFBL-I（b）No.1TS-DFBI2L-I激光器小信號頻率響為了測試TS-DFB激光器的動態(tài)特性 TS-DFB激光器 如圖3-11所示封裝方式采用工業(yè)化蝶形封裝工藝標準管殼采用7 PO口的形式利用光纖耦合輸出封裝后TS-DFB激光器各個管腳分布示意圖如圖3-12所示，1、2管腳連接熱敏電阻，3管腳連接Section1正極，管腳4空，管腳5連接Section2正極，6管腳連接TEC正極，7管腳連接TEC負極，8是GPO射頻口，激光器負極接管殼為了便于比較我們同時利用相同的工藝封裝了一個OS-DFB3-11TS-DFB圖3-12 PO口管腳分布3-13所示。保持TS-DFB激光器Section2的泵浦電流I20mA，將其Section1部分的泵浦電流I150mA增大到90mA時，TS-DFB激光器小信號頻率響應的3dB帶寬有6.4GHz增大到10.2GHz，而OS-DFB激光器在90mA泵浦電流時3dB帶寬8.3GHz7GHzTS-DFB激光器的小信號圖3mA20mA1mAB激光器的小2B3dB調制帶寬略1GHz3（2能夠在B2變化不明顯的原因之一。3-13（a）TS-DFBI1（I2=0mA）時的小信號頻率響應曲線以及泵浦90mAOS-DFB（b）I1=90mA，I20mA變化到15mATS-DFB激光器的小信號頻率響應曲線激光器相對強度噪RIN噪聲可以表示為RIN

(dB/

其中P21HzPRIN

RINNelecdB/Hz是特定頻點處光電流的頻譜強度，PAVG是光電流的平均功率在實際測量 ，頻譜儀上測得的是整個測量系統(tǒng)的噪聲NTf

NTfNLfNqNthf WHz

NLf1HzNq1HzNthf是1Hz帶寬內熱噪聲。這些噪聲中只有NLf是我們所需要的，因此了精確測量激光器的RIN噪聲首先需要去掉噪聲中的NqNthfNqNq2qIdc

q是電荷電量（1.6×10-19 ，Idc是探測器輸出電流，RL是負載電阻。由公（3.3

NTNL

RINRIN噪聲。

Nq

I2R 2 dc AVG IdcrPAVG

rPAVG

L AVG(opt)

2RIN5dB以上RINRIN3-14RIN噪RIN2RINRIN3-14RINRIN噪聲的相互關系隨入射光功率變化情況通常情況下激光器的RIN噪聲可以由專門的儀器進 Agilent4371A等根據(jù)RIN噪聲的測量原理和 搭建了一個測量RIN噪聲的實驗裝置測量RIN噪聲的實驗裝置如圖3-15所示，經探測器探測后進入30dB低噪聲放大器，之后經過隔直器件后進入頻譜分析儀SPon和SPoff量探測器輸出信號平均功率PAVG，既將探測器的輸出信號直接接入示波器，測信號電壓值 利用

2

IdcUAVGRL，進而計算出系統(tǒng)散彈噪聲，將測試的各個參數(shù)代入公式（3.8）RIN噪聲。3-15RIN3-16TS-DFBRINOS-90mARIN10dB。激光器的小信號頻響也可以根據(jù)RIN噪聲譜線推導出來，有圖中橙色譜線看出，OS-DFBRIN7GHz處有一諧振峰，這與圖3-13（a）中的是一致的。3-16TS-DFBOS-DFB激光器RIN激光器無雜散動態(tài)范圍測DFB激光器的調制非線性包括二次諧波、三次諧波、三階交調等，其中三階Spurious-freeDynamicRange）是衡量激光器三階交調失真的主要參數(shù)。所謂無雜f1f2

（3.943aV

43123 2Vcos224

1aV3cos2343 2f1

和2f2

2f1f2和2f2f1信號被稱為三階交調信號，由此產生的失真為三階交調失真。三階交調信號產生過程如圖3-17所示，受系統(tǒng)噪聲的影響，調制到激光器上的Pmin，即經探測器后接收到的基頻信號功率恰好與系統(tǒng)SFDR10logP3maxdBHz2/3

Pmin3-173-18SFDR

和f2的射頻源BiasTeeDFB3-183-19是測試得到的TS-DFB激光器和OS-DFB激光器在泵浦電流為90mA，射頻頻率分別為10GHz10.02GHz時的SFDR測試曲線。在相同泵浦電流下TS-DFB激光器的無雜散動態(tài)范圍為92dBHz2/3，而OS-DFB激光器的SFDR為87dBHz2/35dB左右。根據(jù)文獻，DFB激光器調制非線性失真受空間燒孔效應、馳豫振蕩等因通過實驗比較，在相同的泵浦電流下，TS-DFB激光器的腔內光子密度明顯高于OS-DFBTS-DFB也可以看出TS-DFB激光器的馳豫振蕩峰為10GHz，而OS-DFB激光器的馳豫振蕩峰為7GHz，因此0-10GHz頻率范圍內，TS-DFB激光器的頻率響應更加平坦，3-19（a）TS-DFB與（b）OS-DFBSFDRTS-DFB激光器ROF系統(tǒng)應用為了測試TS-DFB激光器的模擬調制特性，利用封裝的TS-DFB激光器還設計的一個載波頻率10GHz、信號帶寬50Msymbol/s、射頻功率0dBm的64-QAM信TS-DFB40km傳輸后，由探測器探測轉化為電（AgilentPXASignalyzer3-20ROF3-2164-QAM的星座圖及相關參數(shù)分析，由測試結TS-DFB40km之后，信號星座圖清晰，誤差向量幅度（EVM：ErrorVectorMagnitude）2.97%。3-2140km64-QAMTS-DFB3-2264-QAMEVM值，注入電流從60mA增加到90mA之后，信號星座圖逐漸清晰，EVM由5.67%2.97%。3-22不同注入電流條件下I1=80mA，I2=0mA（d）I1=90mA，I2=0mA64-QAMEVM小TS-DFBRIN噪聲比OS-DFB激光器RIN噪聲降低了10dB，SFDROS-DFB激光器增大了5dB。通過搭建簡單的ROF鏈路，檢測了TS-DFB激光器的模擬調制特性，速率為晰，EVM2.97%，誤碼率低。第4章可調諧窄線DFB激光器陣DFB激光器陣列在相干光通信、光纖傳感等領域具有廣RECDFB激光器陣列的理論和實窄線寬DFB激光器發(fā)展現(xiàn)國內外的眾多科研機構對可調諧窄線寬激光器進行了大量的研究如圖4-1Reflector，等。DBR型可調諧激光器主要由三部分組成：有源區(qū)、相位區(qū)和光柵區(qū)，通過改變相位區(qū)和光柵區(qū)的電流實現(xiàn)波長調諧。1993年加州大學圣 分校的L.A.Coldren教授首次提出取樣光柵布拉格反射型可調諧激光器，該激光器利用游標卡尺效應實現(xiàn)了40nm的波長調諧[50,51]但是由于利用電流注入方式實現(xiàn)波長調諧，電流噪聲會引起光子相位的波動從而展寬激光器線寬，因此DBR型可調諧激光器的線寬一般較寬（MHz量級）[52]，且該類型激光器的制造工藝復雜，點是線寬窄，調諧范圍大，輸出功率高，如Ionon、Emcore、NEC等公司利用外腔技術均實現(xiàn)了線寬小于100kHz，輸出功率大于10mW的可調諧窄線寬激光器難以集成的缺點。DFB激光器具有穩(wěn)定性高、單模特性好、成本低、工藝成熟等DFB激光器很難實現(xiàn)大范圍的波長調諧因此需要將多個DFB激光器以并聯(lián)的方式集成在一起以獲得大的調諧范圍。DFB型可調諧激光器結構簡單，性能穩(wěn)定，究基于DFB陣列的可調諧窄線寬激光器。2009年 斯坦福大學與Santur公司合作開發(fā)出線寬在90-200kHz，波長范圍覆蓋C波段的可調諧DFB激光器陣列 NTT公司將12個窄線寬DFB激光器并聯(lián)集成在一起，實現(xiàn)了40nm的波長調諧，激光器的線寬小于580kHz[57]，2010年該公司又將激光器的線寬降低到了160kHz[58].2013年Furukawa公司針對PDM-16QAM相干光通信系統(tǒng)設計了可調諧窄線寬DFB激光器陣列 ，激光器線寬小于218kHz，波長調諧范圍覆蓋C波段[59]。2014年Furukawa公司利用分布反射DFB激光器陣列實現(xiàn)了調諧范圍40nm，最大線寬小于185kHz的可調諧窄線寬激光器利用這種 的可調諧窄線寬DFB激光器 來說，腔長均在1mm以上，波導光柵 4-11987年周炳琨課題組就已經在研究利用外腔技術實現(xiàn)窄線寬激光器[61]。另外，半導體、、大學也對外腔型窄線寬激光器進行了和研究[62-64]2001年半導體所周凱明50kHz窄線寬激光輸出。2010年DBR半導體激光器，該激光器波長調諧范圍為38nm[65]。2013V40nm的可調諧激光器[66]DFB激光器陣列技術的可調諧窄線寬激光器國內還未見。窄線寬DFB激光器理論研半導體激光器線寬v可以表示為[67- 2hvn vw m1

式中

常量

i

是輸出光功率，線性展寬因子是半導體激光器的特有參數(shù)，減小

dndNdg

dgdN4-2InGaAsP1550波段的（a）增益曲線和（b）（4.1和諧振腔損耗

進工藝和優(yōu)化材料參數(shù)進行改善。對于DFB激光器來說，諧振腔損耗m主要跟光柵耦合強度 和腔長L有關。根據(jù)文獻[58,71,72]，DFB激光器的線寬L2

L但是L實際中需要對DFB激光器的光柵結構和腔長進行統(tǒng)一優(yōu)化，在不加劇空間燒孔效應的前提下盡量增加激光器腔長和光柵耦合強度對實現(xiàn)窄線寬DFB激光器是可調諧窄線寬DFB激光器光柵設計與分因為光子密度而加劇空間燒孔效應。為了有效降低空間燒孔效應，我們提出REC技術實現(xiàn)的等效切趾結構只需要改變光柵占空比4-3（a）傳統(tǒng)切趾光柵結構與（b）根據(jù)文獻[7374]mm

sinm

如果取m

光柵耦合強度，m是子光柵等級，是取樣光柵占空比，則公式（4.3）1sin

圖4-4是計算得出取樣光柵中+1 光柵耦合強度隨取樣占空比的變曲線，由計算結果可以看出當

圖4-4+1 設計 激光器腔長L

未切趾位置處光柵耦合系數(shù)00.5z

zz 0 0

apodz

光柵中，開始和結束位置占空比最大都為0，約靠近中間占空比越小，當z

時占空比最小 0，也就是說中心處光柵強度最弱 切趾光柵長度dapodDFBdapodratio子分布平坦系數(shù)（Flatness）4-6DFB激光器腔4-5DFB4-6 圖4-7DFB激光器在不同切趾比下激光器的閾值增益和閾值增益差的變化曲線。隨著切趾比增加激光器閾值增益（Mainmodethresholdgain）4-7DFB 進行優(yōu)化設計，取最優(yōu)值。根據(jù)模擬計算結果最終我們設計切趾比為30%?？烧{諧窄線寬DFB激光器陣列實驗研可調諧特性研利用第3 1000μm波長間隔3.2nm，4通道窄線寬DFB激光器陣列 調諧的目的。下面對4通道窄線寬DFB激光器陣列 4-84DFBL-I4-84DFB激光器陣列的L-I特性曲線，由可以得出室溫下430mA-35mA之間，100mA泵浦10mA0.147mW/mA。4-9（a）10421538.58nn1550.92nm，波長調諧12.34nm3250GHz4-9（b）可以42dB以上，單模特性4-10是測得不同溫度下激光器波長變化曲線，隨著溫度升高激光器波長0.099nm/℃。4-9（a）44-10窄線寬特性研），，差法測量激光器的線寬[75,76]。延遲自外差發(fā)工作原理圖如圖4-11所示，DFB激光器輸出光經3dB分束器后進入馬赫-增（M-Z 儀儀的一個分支采用10km光纖延遲后經偏振控制器調整激光器的偏振態(tài)儀的另一分支經過80MHz的聲光移頻器移頻后進入可變衰減器，最后M-Z儀的分支經3dB耦合器后合成一路并在探測器處進行拍頻探測器測得的拍頻信號由頻譜儀進量和分析，頻譜儀測得信號3dB帶寬的二分之一即為激光器的線寬），，4-114-1220100mA時的201kHz。圖4-12延遲自外差發(fā)測得DFB激光器線寬 20DFB4-1360mA100mA過當泵浦電流超過100mA之后激光器線寬開始展寬，這主要是由于激光器邊模開 4-13系數(shù)、輸出功率等都不相同，這些因素會直接影響激光器的線寬。圖14B10kHz37kHz。4-14小DFB激光器陣列技術，利用對稱內切趾結構研制出可調諧窄線寬DFB32通道間隔50GHz201kHz，調諧過最大線寬307kHz，42dB。第5章單片集成注入鎖DFB為了提高通信系統(tǒng)的帶寬，運營商不斷增加數(shù)量，隨著移動通信中通信數(shù)目驟增，所占的功耗通常高達70%以上，這將導致蜂窩移動通信難以解決的能耗。尋求新型的無線接入方式，簡化設備，降低功耗，提信領域研究的熱點。基于光載無線技術（ROFRadio-Over-Fiber）的分布式系數(shù)能夠簡化結構、降低能耗、提高傳輸帶寬，是解決移動通信帶寬和能高性能的模擬調制激光器發(fā)射模塊是ROF系統(tǒng)的 素的限制，ROF技術并沒有得到十分廣泛的應用。如何實現(xiàn)低成本、高線性度、大帶寬的模擬調制激光器是ROF技術亟需解決的的難題。注入鎖定技術是實現(xiàn)高線性度、大帶寬、單邊帶調制激光器的有效技術之一。本章節(jié)針對ROF系統(tǒng)的需要，從理論和實踐兩個方面研究基于REC技術的單片集成注入鎖定DFB激光注入鎖定激光器技術的基本理注入鎖定原理如圖5-1所示分離器件組成的注入鎖定系統(tǒng)包含主激光器、 5-1 12kAinj

kAinj

A0

A0式中，Ainj、A0A

Rinj

injA

，

是頻率失諧量，k L

0

in_圖5-2是模擬得出注入鎖定激光器頻率失諧量與注入比的關系，注入比越Rinj

時，能夠實現(xiàn)注入鎖定的頻率失諧量范圍為50GHz，約為 5-2注入鎖定技術的發(fā)展歷史與現(xiàn)，80年代，國外就開展了大帶寬、高線性度模擬直調激光器的研制帶寬的有效[8182]1999年加州大學DFB，成本高，很難實用。近年，開始轉向單片集成的注入鎖定技術。2003年 大學洛杉磯分校的Hyuk-KeeSung等人 注入鎖定后調制帶寬達到23GHz，非線性失真降低了15dB[84]。隨后，2008年他們實現(xiàn)了調制帶寬高達80GHz[85]。在主、從激光器為分離器件情況下，為了避 器是很難實現(xiàn)單片集成的為此單片集成注入鎖定激光器必須在沒 的情況下實現(xiàn)注入鎖定。2009年 器情況下實現(xiàn)注入鎖定的可行性[86]，2011年該 入鎖定DBR激光器，該 器的情況下，通過制作DBR濾波器實現(xiàn)注入鎖定注入鎖定后激光器3dB調制帶寬由3GHz提高到30GHz[87]2011 城市大學的C.Browning等人將單片集成的注入鎖定半導體激光器成功應用于正交頻分復用（OFDM:OrthogonalFrequencyDivisionMultiplexing）系統(tǒng)，相同條件下，系統(tǒng)的誤碼率降低了3個數(shù)量級[88]。另外，注入鎖定技術 ，2013年， 對于ROF技術是十分重要的[89]。在國內也有許多科研單位在從事模擬直調激光器的研究，2012年 ，他們實現(xiàn)了24GHz的調制帶寬[90]，是目前國內公開，、的最大帶寬值。在注入鎖定激光器方面的課題組的于晉龍課題組以及，、大學主要是利用單片集成注入鎖定激光器獲得低相噪的毫米波信號[91,92]，天津大學則通過分離器件的注入鎖定實現(xiàn)信號的光學上變頻[93,94]，半導單片集成注入鎖定激光器的設REC技術的單片集成注入鎖定激光器的設計方案。單片集成注入鎖定激光器示意圖如圖5-3所示，整個激光器分為兩部激光器的電場相互串擾，兩個激光器電極中間加入電區(qū)，保證主從激光器能主激光器注入端的光功率以提高注入比并利用REC技術精確設計主從激光器 5-3（頻率失諧量0.4nm點主要是通過設計光柵實現(xiàn)，根據(jù)文獻[81]，主從激光器的光柵強度滿足L3

5-15-25-35-1摻雜濃度cm-0InP2-1N-InPBuffer23----4----5----6----789#LatticeMismatch5-2摻雜濃度cm-1P-InP23(1-4---5---6---#LatticeMismatch表5-3單片集成注入鎖定激光 Ridgeππ電區(qū)長單片集成注入鎖定激光器實驗研5-4是利用5.3單片集成注入鎖定激光器的設計節(jié)中論述的材料和結構參數(shù)設計的單片集成注入鎖定激光器圖，靠近“”部分為從激光器，靠近“”650μmAR/AR膜。5-45-5L-I23mA，5-5主從激光器L-I5-6（a）是0.022nm/mA。同時主從激光0.011nm/mA。由看，熱串擾的調諧速度低于其自身調諧速率，因5-6從激光器波長隨(a)從激光器注入電流和(b)圖5-7是利用光譜儀觀察到注入鎖定過 0.2nm逐步增加主激光器的注入電流當主激光器電流為40mA時能同時看到兩個激光 變小，靠近鎖定區(qū)域。主激光器電流增加到75mA時，兩個獨立的激光器光譜合mAmA75mA96mA過激光器處于注入鎖定狀態(tài)，圖5-7注入鎖定 5-8注入鎖定過程出現(xiàn)的非線性現(xiàn)象（a）四波混頻（b）頻率鎖定（c）形封裝結構，即7 PPO的格式，封裝后實物如圖5-9所示。5-95-10所示。測試過保持從激光器注入電流35mA不變，主激化而變化，整個過程可分成3個階段。第一階段主激光器電流由0mA增加到70mA過（5-10（a，由于在此過主從激光器獨立運轉，在頻率響μm100mA后，主從激光器再次處于失鎖狀態(tài)，再次出現(xiàn)四波混頻等非線性5-10單片集成注入鎖定激光器在微波光子學領域的應用研 微波光子濾波器如圖5-11所示，多頻段射頻信號加載在從激光器上，調節(jié)主從（DC，5-12是測得基于單片集成注入鎖定激光器的可調諧 通過電流調諧，可調諧濾波器的工作帶寬可覆蓋從15GHz-35GHz的范圍。5-115-12（ctcoscillator圖5-14OEO11GHz22GHz11GHzOEO5-13OEO5-14OEO單片集成注入鎖定激光器的其他應5-155-16

-mk121和從激光器2的輸出光進行拍頻即可獲得頻率為mk

5-155-16激光器頻率兩次產生多個邊帶，從而造成在傳輸過出現(xiàn)色散信號失真。利用5-17所示。單邊帶調制是4.11（a）所示。如果注入光被-15-17小 利用REC技術設計主從激光器的光柵并精確控制激光器的波長通過調節(jié)主從第6章雙平衡調制技術ROF鏈路中的應平衡調制技術實現(xiàn)三階交調雙平衡調制原調制的同時會伴隨產生一定程度的頻率調制[96，即通常所說的頻率啁啾（FrequencyChirp，其產生原因是調制電流的變化導致折射率變化進而引起頻RF信號（包括基頻信號和非線性失真信號）的振幅和相RF信號的相位。6-1DC2 RF調制信號的頻率分別為1和2（12且實驗中兩者取值接近，則由于非線性效應產生的距離兩基頻信號最近的IMD3信號頻率為212和221，以212IMD3分量可分別用以下形式表示[96,99]:Eout'1a1cos[1(212

a2a22aacos(

out 1

a1sin1a2

acosa 可知（6.3）式在相位差12122m1)（其中m01

時有最大值，而在RF調制信號，即理論上二者的調制信號功率相同；同時考慮到DC1和DC2雖不一定相同但較為接近兩激光器在相應偏置位置的出光功率也相差無幾因此理論上有a1a2IMD3分量的相位差為π21Eout'1Eout'2(a1a2)cos[out'(212)t]

因此當耦合輸出光經PD解調時，IMD3對應的光功率幾乎為0，因而PD輸出信號中212失真頻率分量就被抑制掉了。與此同時 基頻信號由于 號之間的功率差異明顯增大，相應示意圖如圖6-2所示。6-2IMD3號中，IMD3信號強度明顯降低甚至淹沒于噪底中，即實現(xiàn)了對模擬直調系統(tǒng)非對于直接調制的激光器來說相位差12的大小，雙平衡調制數(shù)值仿真研利用的VPI6-325MHz雙音信號同時對兩個結構相同2×23dBPIN圖6-4是仿真獲得單通道調制和雙平衡調制時雙音信號的頻譜圖由仿真結單通道時基帶信號與三階交調功率差為15.66dB。利 信號和高階交調信號被明顯抑制此時基帶信號與三階交調信號差值為19.81dB，6-36-4DC1=3.05IthDC1=3.05Ith，DC2=3.16Ith雙平衡調制實驗研RC8B（圖51LPCAGHz。6-56-68DFB圖6-7875通（11546.30nm（21547.61nm）6-88DFB80mA時的小信號頻10GHz。6-786-88DFB傳輸下的非線性失真情況進行觀察和記錄。RF便觀察不到IMD3信號。由于在后續(xù)的實驗步驟中，需要不斷改變激光器的直流偏置大小以尋找抑制IMD3的最佳位置，為了防止上述現(xiàn)象導致的IMD3衰減與 ，故應確保激光器始終工作在IMD3信號可和通道2（LD2）模擬直調性能相近，確定的直流偏置有效調節(jié)范圍是37mA至置條件 激光器輸出的三階交調失真分量的相位差為π實際操作中需要設計的Dual-LD直調ROF系統(tǒng)下，先將LD1的偏置電流值固定，緩慢調節(jié)LD2的IMD3的幅度變化，IMD3信號出現(xiàn)明顯衰減步驟，需要多次反復測試以找到最佳偏置電流組合DC1與DC2。找到最佳的偏置電流DC1DC2后，測量整個系統(tǒng)的SFDR并與單個激光器的SFDR進行對比，以6-9單個激光器調制是三階交調信號頻譜（a）LD1@48mA（b）LD2@43mA6-10圖6-9-2.56dBm27.2dB28.2dB。圖6-10是在雙平衡調制情況下測得三階交調信號頻譜，在相同的射頻輸入功率條34.58dB6-11SFDR（a）LD1@48mA（b）LD2@43mA6-12SFDR時系統(tǒng)無雜散動態(tài)范圍為89.16dBHz2/3LD2的無雜散動態(tài)范圍為88.49dBHz2/3。圖6-12是雙平衡調制下系統(tǒng)SFDR測試曲線，兩個激光器泵浦電流分別為3dB。小VPIREC8DFB激光器陣ROF3dB以上，能夠有效抑制系統(tǒng)非線性失真。第7章總結與展本針對光子集成技術、相干光通信技術和分布式技術對激光器光源的應用需求，基于重構等效啁啾技術對多波長激光器陣列、可調諧窄線寬DFB激光器、單片集成注入鎖定激光器以及雙平衡調制技術進行了深入的研究。本獲得的成果主要有以下幾點：DFB激光器結構，利用DFB激光器的調制帶寬和線性度。114mB激光器。利用REC技術初步實現(xiàn)了單片集成注入鎖定激光器 (4)利用混合集成的多通道DFB激光器模塊實現(xiàn)了雙平衡調制技術，通過實驗研未來需要進行的工作主要有以下幾點 致心情從原單位辭職來到大學微波光子學進行博士后研究工作?；叵脒@兩年的博士后生活，有煩惱，有困惑，有挫折，但是的是收獲。雖然失去了一份穩(wěn)定的國企工作，但是我收獲了滿足內心追求理想后的釋然和，更重要老師、朋友和同學，是我一生的。。 神，給我留下了深刻的印象。再次感謝老師這兩年來給予 。、，； 期DFB激光器理論研究方面給予我很大支持、，；在光柵理論和激光器系統(tǒng)應用方面經驗豐富，在DFB激光器應用系統(tǒng)設 在他那里也學了很多跟幾位年輕的博士志同道合共同致力于DFB激光器 ，認 是我最大的收獲， 后座位已滿主動把座位讓與搬到去看文獻，讓我非常感， ，、 師以及中電44所張靖博士在激光器工藝方面給予的幫助。感謝江蘇微寧公司欒 ，、我還要感 妻 去追求新的生活，我現(xiàn)在的成績有一半是你的。我還要特別感謝父母，這么多年二老為學業(yè)操碎了心，沒有的養(yǎng)育和支持就沒有兒子的今天，希望父母能夠健康。博士后期間取得的科研成果及承擔科研項YunshanZhang,YuechunShi,YajuanQian,JunshouZheng,FangzhengZhang,PengWang,BocangQiuJunLu,WenxuanWangandXiangfeiChen,"StudyonTwo-sectionDFBLasersandLaserArraysBasedontheReconstructionEquivalentChirpTechniqueandTheirApplicationinRadio-Over-FiberSystems"IEEEjournalofselectedtopicsinquantumelectronics,2015.(SCI二區(qū))YunshanZhang,FangzhengZhang,YuechunShi,JunshouZheng,JunShengLiu,BocangQiu,andXiangfeiChen"StudyonDFBsemiconductorlaserarrayintegratedwithgratingreflectorbasedonreconstruction-equivalent-chirptechnique"OpticsExpress,vol.23,pp.2889-2894,2015.(SCI二區(qū))YunshanZhang,JilinZheng,YuechunShi,ShengLiu,WentingWang,Lu,etal.,"HighEfficiencyandSMSRDistributedFeedbackLaserArrayIntegratedwithPassiveGratingReflectorBasedonReconstruction-Equivalent-ChirpTechnique,"JunshouZheng,DuotianXia,SongTang,YuechunShi,JilinZheng,JunLu,XiangfeiChenandYunshanZhang*（通信作者）,"DFBSemiconductorLaserwithDiscreteCouplingCoefficientrealizedbydiscretizingtheDutycycleofSampledBragggrating,"IEEEPhotonicsJournal,vol.7,p.150408,2015.(SCI二區(qū))RenjiaGuo,JunshouZheng,YunshanZhang*（通信作者）YuechunShi,Li,BocangQiuetal.,"SuppressinglongitudinalspatialholeburningwithdualassistedphaseshiftsinpitodulatedDFBlasers,"ScienceBulletin,vol.60,pp.1-7,2015.(SCI三區(qū))YuechunShi,LianyanLi,JilinZheng,YunshanZhang*（通信作者）,Qiu,XiangfeiChen,"16-WavelengthDFBLaserArrayWithHighChannel-SpacingUniformityBasedonEquivalentPhase-ShiftTechnique,"IEEEPhotonicsJournal,vol.6,pp.1-9,2014.(SCI二區(qū))JunshouZheng,YunshanZhangLianyanLi,SongTang,YuechunShi,XiangfeiChen,"Anequivalent-stepped-index-coupledDFBsemiconductorlaserandlaserarrayrealizedbystepthedutycycleoftheSampledBragggrating,"Optics&LaserTechnology,vol.67,pp.38-43,2015.(SCI三區(qū))JilinZheng,YunshanZhang,YuechunShi,WeichunLi,BocangQiu,JunLu,al.,"ExperimentalDemonstrationofaMulti-Corrugation-Pitodulated(MCPM)DFBSemiconductorLaserBasedonReconstruction-Equivalent-ChirpTechnology,"IEEEPhotonicsJournal,vol.7,p.1508709,2015.(SCI二區(qū))YuechunShi,XiangfeiChen,LianyanLi,JingsiLi,TingtingZhang,JilinYunshanZhang,SongTang,Lian HouJohnMarshBocangQiu"Highchannelcountandhighprecisionchannelspacingmulti-wavelengthlaserarrayforfuturePICs,"Scientificreports,vol.4,pp.1-6,2014.(SCI一區(qū))申請專張云山，，林，，，鄭俊守，玉桃，2015.01張云山，飛，林，鄭俊守，，，-等效2014.05鄭俊守，飛，，張云山，，-等效啁啾的2014.05鄭俊守，飛，，，張云山-等效啁啾的非對稱等2013.11，林，，張云山，，2013.09承擔項江蘇省自然科學基金-ROF激光器技術研究，BK20140414，20萬，2014.07/2017.06，在研，項 公司創(chuàng)新項目，面向xxxx的直接調制激光器的研究，202014.07/2015.06，在研，項 航空航天大學教育部開放課題，基于重構-等效啁啾技術的模擬直調激光器的研究，RIMP-2013003，5萬，2013.08/2016.07，在研，主要國家“863”計劃項目，寬帶高線性激光器和光探測器陣列技術研究，SS2015AA012302，66萬，2015.01/2017.12江蘇省科技成果轉化專項項目、BA2014053、基于自主激光器的高速光接入設備研發(fā)和，900參考文LowellL.ScheinerDjafarK.Mynbaev,Fiber-OpticCommunicationTechnology:PrenticeHall,2000.R.J.Mears,L.Reekie,I.M.Jauncey,andD.N.Payne,"Low-noiseerbium-dopedfibreamplifieroperatingat1.54μm,"ElectronicsLetters,vol.23,pp.1026-1028,1987.Cisco.CiscoVisualNetworkingIndex:ForecastandMethodology,2014–2019[Online].Available:ht Cisco.(2015).TheZettabyteEra:Trendsandysis.Available:http://HY