靜電防護(hù)基礎(chǔ)知識(shí)

靜電防護(hù)基礎(chǔ)知識(shí)制作：蔡汾良審核：尹紀(jì)兵時(shí)間：2008年２月２０日第一頁，共二十頁。培訓(xùn)內(nèi)容１●

靜電防護(hù)的重要性２●靜電及其防護(hù)基本概念３●靜電危害４●靜電防護(hù)第二頁，共二十頁。１●

靜電防護(hù)的重要性1.隨著科技進(jìn)步，超大規(guī)模集成電路廣泛應(yīng)用。2.由于元器件尺寸的變小和芯片內(nèi)部的氧化膜變薄，使器件承受靜電放電的能力下降。３.元器件的儲(chǔ)存，貼裝，焊接，測試直到包裝等工序可能發(fā)生因靜電放電造成對(duì)器件的損害。第三頁，共二十頁。２●１

靜電定義1靜電(Electrostatic)靜電就是對(duì)于觀測者相對(duì)靜止的電荷。2靜電釋放(ESD：ElectrostaticDischarge)兩個(gè)具有不同靜電電位的物體,由于直接接觸或受靜電場感應(yīng)而引起靜電電荷的轉(zhuǎn)移,使帶電體上的電荷部分或全部消失的現(xiàn)象。3靜電釋放敏感產(chǎn)品(ESDS：ElectrostaticDischargeSensitiveDevices)對(duì)靜電釋放產(chǎn)生的損害敏感的零部件或組件。第四頁，共二十頁。4防靜電保護(hù)區(qū)(EPA：ElectrostaticProtectionArea)由防靜電器材建造和裝配起來，能防止靜電釋放產(chǎn)生的損害并作出明顯標(biāo)記的供經(jīng)過培訓(xùn)的人員操作ESDS產(chǎn)品的區(qū)域。

5接地(Grounding)電氣連接到能供給或接受大量電荷的物體(常指大地)。6接地點(diǎn)(EBP:EarthBoundingPoint)

接地連接點(diǎn)第五頁，共二十頁。２●２靜電的產(chǎn)生1摩擦起電(由物體的接觸摩擦產(chǎn)生靜電)2剝離起電（相互密切結(jié)合的物體剝離）3斷裂帶電（材料因機(jī)械破裂使帶電粒子分開）4高速運(yùn)動(dòng)中的物體（高速運(yùn)動(dòng)的物體表面與空氣摩擦帶電）第六頁，共二十頁。３●１靜電危害A：靜電吸附元器件制造過程中由于二氧化硅等材料易吸附空氣中的帶電微粒導(dǎo)致半導(dǎo)體擊穿失效；B：靜電擊穿和軟擊穿靜電放電對(duì)靜電敏感器件損害的主要表現(xiàn)，一是硬擊穿，造成整個(gè)器件的失效和損壞；二是軟擊穿，造成器件的局部損傷，降低了器件的技術(shù)性能，而留下不易被人們發(fā)現(xiàn)的隱患，以致設(shè)備不能正常工作。第七頁，共二十頁。３●２靜電防護(hù)標(biāo)志標(biāo)志(a)用于表明一電氣或電子設(shè)備、電子元器件容易被靜電損害或

某區(qū)域是靜電敏感區(qū)域。

標(biāo)志(b)用于表明材料或設(shè)備具有防靜電功能。

標(biāo)志(c)用于表明設(shè)備不能處于靜電、電磁場或純磁場的影響之下。

標(biāo)志(d)用于表明某區(qū)域或某設(shè)備容易受到高壓電場的損壞。

第八頁，共二十頁。４●１典型ESD控制工作系統(tǒng)1.防ESD地面2.防ESD臺(tái)面3.防ESD設(shè)備周轉(zhuǎn)、包裝、運(yùn)輸材料4.防ESD腕帶插孔5.個(gè)人ESD防護(hù)用品(腕帶、腳環(huán)、工服、手套等)6.可靠的接地系統(tǒng)EOS防護(hù)料盤.料盒EOS防護(hù)臺(tái)面EOS防護(hù)地墊建筑地面手腕地共地點(diǎn)４●靜電防護(hù)第九頁，共二十頁。４●２防靜電手腕帶1所有與靜電釋放敏感產(chǎn)品和設(shè)施有直接接觸的人員在ＳＭＴ生產(chǎn)中必須佩戴腕帶；2作業(yè)員在每班開始前必須用腕帶測試儀檢查其連續(xù)使用性,并在ESD日檢表上作記錄。發(fā)現(xiàn)有不合格的須立即進(jìn)行更換，直到檢測合格為止。第十頁，共二十頁。佩戴防靜電手腕帶注意事項(xiàng)1手腕帶必須貼緊皮膚，不要戴在衣服或手套上；2皮膚干燥的員工，如果測試失敗，可在再次測試前，在戴手腕帶處抹一些專用皮膚霜，以增加皮膚的導(dǎo)電性；

3有手腕帶接地點(diǎn)的工位，在不影響操作的前提下，必須使用手腕帶。對(duì)轉(zhuǎn)件員及上料員因無法使用手腕帶，這些員工要使用防靜電工作手套；4員工在防靜電保護(hù)區(qū)內(nèi)工作時(shí)，提倡盡可能使用手腕帶。第十一頁，共二十頁。接觸機(jī)板時(shí)如何預(yù)防靜電正確的拿板方法如圖所示：在拿取PCB,PCBA,半成品，靜電釋放敏感產(chǎn)品和設(shè)施時(shí)，必須戴防靜電工作手套/指套。第十二頁，共二十頁。４●３防靜電工作鞋1.除電工外，所有進(jìn)入生產(chǎn)作業(yè)區(qū)的人員，必須穿工作鞋。電工因工作需進(jìn)入生產(chǎn)作業(yè)區(qū)時(shí)，應(yīng)盡量在距離防靜電保護(hù)區(qū)1.5米的區(qū)域內(nèi)活動(dòng)，工作完成后不得在生產(chǎn)作業(yè)區(qū)內(nèi)逗留；2.除電工外，所有工作人員每日在進(jìn)入生產(chǎn)作業(yè)區(qū)前，必須用靜電鞋測試儀檢查其連續(xù)使用性，并在ESD日檢表上作記錄。第十三頁，共二十頁。４●４防靜電工作服1.除電工外，所有進(jìn)入生產(chǎn)作業(yè)區(qū)的人員，必須穿工作服。發(fā)長過衣領(lǐng)的員工在進(jìn)入生產(chǎn)作業(yè)區(qū)前，應(yīng)盤或扎起頭發(fā)，使發(fā)梢高于衣領(lǐng)，必要時(shí)，必須戴防靜電工作帽；

2.電工因工作需進(jìn)入生產(chǎn)作業(yè)區(qū)時(shí),應(yīng)盡量在距離防靜電保護(hù)區(qū)1.5米的區(qū)域內(nèi)活動(dòng),工作完成后不得在生產(chǎn)作業(yè)區(qū)內(nèi)逗留。第十四頁，共二十頁。４●５防靜電地板1.指定的地板清潔工必須使用防靜電拖把來清除污跡，并使用防靜電清潔劑；2.防靜電地板的傳導(dǎo)是通過打蠟來維護(hù)的。ESD測試人員每周測一次生產(chǎn)作業(yè)區(qū)地板的電阻值。對(duì)于測試超標(biāo)的區(qū)域，廠務(wù)應(yīng)盡快安排人員進(jìn)行打蠟，對(duì)打蠟后的效果，ESD測試人員兩天內(nèi)應(yīng)安排時(shí)間再次進(jìn)行測量。第十五頁，共二十頁。４●６

防靜電接地1.接地裝置可靠并聯(lián)接地，工作臺(tái)不可串聯(lián)接地；主接地線無接頭，線徑不小于25mm；接地電阻小于4ohm；防靜電地線不得與電源零線相接，不得與防雷地線共用。2.接地系統(tǒng)可靠包括限流電阻和連接端子連接可靠，并具有一定載流能力。限流電阻阻值的選擇應(yīng)保證泄漏電流不超過5mA，下限值取1Mohm10%第十六頁，共二十頁。3.人身安全工作臺(tái)面、坐椅等導(dǎo)靜電的ESD保護(hù)措施均應(yīng)通過限流電阻接到地線。保證減少電擊事故。即使有事故，必須使通過人體的電流低于5mA。4.部門合作當(dāng)移動(dòng)固定貨架、工作臺(tái)等物品時(shí)，及時(shí)通知廠房設(shè)備部門連接接地線。第十七頁，共二十頁。４●７

ESDS（靜電釋放敏感產(chǎn)品）產(chǎn)品的運(yùn)輸

存放和操作器具1.在運(yùn)輸和存放ESDS產(chǎn)品時(shí)應(yīng)使用防靜電貨架、防靜電推車和防靜電周轉(zhuǎn)容器；2.防靜電貨架的表面必須覆蓋上防靜電墊，并接地；

3.運(yùn)輸用的防靜手推車和轉(zhuǎn)運(yùn)車的表面必須覆蓋上防靜電墊，并且輪子必須是傳導(dǎo)輪；第十八頁，共二十頁。４●

８腕帶檢測方法：1.

把檢測儀面板上選擇開關(guān)換至腕帶檢測檔；2.

按正確方法佩帶腕帶；3.

把腕帶插頭插入檢測儀面板上的腕帶插孔處；4.

按檢測儀面板上的檢測按鈕，持續(xù)2-3秒，當(dāng)綠燈持續(xù)點(diǎn)亮，表示腕帶合格。5.

如紅燈或黃燈亮，而且聽見警告提示聲，則表示檢測不合格；6.

如腕帶檢測不合格，請(qǐng)找當(dāng)班物料管理員更換。

第十九頁，共二十頁。內(nèi)容梗概靜電防護(hù)基礎(chǔ)知識(shí)。時(shí)間：2008年２月２０日。2.由于元器件尺寸的變小和芯片內(nèi)部的氧化膜變薄，使器件承受靜電放電的能力下降。使帶電體上的電荷部分或全部消失的現(xiàn)象。對(duì)靜電釋放產(chǎn)生的損害敏感的零部件或組件。釋放產(chǎn)生的損害并作出明顯標(biāo)記的供經(jīng)過培。２●２靜電的產(chǎn)生。1摩擦起電(由物體的接觸摩擦產(chǎn)生靜電)。4高速運(yùn)動(dòng)中的物體（高速運(yùn)動(dòng)的物體表面與空氣摩擦帶電）。元器件制造過程中由于二氧化硅等材料易吸附空氣中的帶電微粒導(dǎo)致半導(dǎo)體。B：靜電擊穿和軟擊穿。標(biāo)志(d)用于表明某區(qū)域或某設(shè)備容易受到高壓電場的損壞。2作業(yè)員在每班開始前必須用腕帶測試儀檢查其連續(xù)使用性,并在ESD日檢表上作記錄。發(fā)現(xiàn)有不合格的須立即進(jìn)行更換，直到檢測合格為止。對(duì)轉(zhuǎn)件員及上料員因無法使用手腕帶，這些員工要