淺析電子廠房二次配制程排氣系統(tǒng)施工要點

1、淺析電子廠房二次配制程排氣系統(tǒng)施工要點 * 項目技術(shù)總結(jié)* 公司 *本項目是為*市*光電第 6 代 LTPS（OXIDE LCD/AMOLE 顯示面板生產(chǎn)線項 目提供符合相關(guān)要求的二次工藝制程排氣系統(tǒng)，即從機臺端至主系統(tǒng)Take off 點之間 Hook up 排氣配管施工。本專業(yè)（通風(fēng)專業(yè)）所負責(zé)的是 1 號建筑一、二層的 二次配排風(fēng)系統(tǒng)，主要系統(tǒng)有：工藝一般排風(fēng)系統(tǒng)（GEX、酸廢氣排風(fēng)系統(tǒng)（SEX、堿廢氣排風(fēng)系統(tǒng)（AEX）、有機廢氣排風(fēng)系統(tǒng)（VEX/SOX）、Stripper 排風(fēng)系統(tǒng)（STX）、CVD粉塵排風(fēng)系統(tǒng)（CVD）、工藝補風(fēng)系統(tǒng)（OA）。由于二次配施工是直接與各種設(shè)備打 交道，施

2、工質(zhì)量是與后續(xù)廠房生產(chǎn)產(chǎn)品的效率和質(zhì)量直接相關(guān)，所以施工過程中質(zhì) 量和節(jié)點的把控為二次配施工重中之重。（一）、材料規(guī)劃二次配施工中沒有具體提前設(shè)計好的施工圖紙，只有設(shè)備 Layout 平面圖以及 設(shè)備 UM 需求表，前期提量基本都是按點位提量，存在一定的經(jīng)驗值。由于特氟龍 風(fēng)管、不銹鋼風(fēng)管均不允許現(xiàn)場開口，鍍鋅風(fēng)管不允許現(xiàn)場制作三通，二次配排風(fēng) 所有的主材，比如直管、彎頭、三通、測試口短管、特氣偵測口短管等部件均是由 生產(chǎn)廠家制作好后發(fā)至現(xiàn)場，這樣，前期材料的統(tǒng)計提量就是個很大的挑戰(zhàn)。既然是經(jīng)驗提量，思路往往就會受到以往項目的干擾，比如重慶京東方 L10 層 上方空間較大，二次配主管基本已緊貼

3、 L10 層頂棚，到對應(yīng)機臺點位處加三通便可 走支管與設(shè)備端相連，這樣考慮每個點位 4 個彎頭已經(jīng)足夠，而 * 項目 L10 層空 間很有限， 很多時候系統(tǒng)包主管上有母線， 母線上有蓋板， 蓋板上偶爾會有消防管， 二次配主管從上面過不去只能向下翻彎，由此便會至少增加兩個彎頭，同時還會增 加排液點，且 * 項目還有更令人頭疼就是 * 孔，不像京東方的井格梁布局使得配管 更加方便， 有時候會出現(xiàn)這樣的情況： 設(shè)備接口沒有正對高架地板，高架地板開口 沒有正對 * 孔，這樣配管基本都是一路彎曲到設(shè)備接口的，所以每個點彎頭的數(shù)量 會至少增加 3 至 5 個。針對不同項目而言，還需要具體問題具體分析，務(wù)必

4、需要仔細勘察現(xiàn)場，項目 前期的整體規(guī)劃和布局很重要，尤其對于本項目這種情況，一開始就進入項目高峰 期，材料的供應(yīng)直接影響節(jié)點保證，所以材料是二次配成敗的重點把控對象，也是 保證機臺 Turn on 節(jié)點的關(guān)鍵所在。（二）負載規(guī)劃在二次配施工之前，負載規(guī)劃是非常重要的一步，雖然主系統(tǒng)圖紙已經(jīng)設(shè)計 出每個機臺所使用 Take off 點，但是還是會出現(xiàn)以下幾種情況：1、實際會勘 UM 和原設(shè)計 UM 需求量不符合，由于 UM 表的變更，可能會導(dǎo)致后 續(xù)機臺運行流量不夠。2、原設(shè)計的機臺 Take off 點被擋住，無法使用。3、 實際 Movein 機臺數(shù)量多于原計劃，即原設(shè)計中沒有設(shè)計新機臺的U

5、M 需求， 需重新為該機臺規(guī)劃 Take off 點位。以上三種情況均可能會導(dǎo)致 Submain 主管的負載不足，在這條主管的Take off點的使用率越來越高的情況下，后續(xù)所接機臺可能會因為流量不夠而Down 機0舉例 1: 1 號酸排氣主系統(tǒng)所接設(shè)備為 TCISC100/TCISC200/TCISC300,每臺用量 60cmm 如下表：由上表便可清晰看出該 Submain 主管共 23 個 Take off 點，接三臺設(shè)備。Submain設(shè)計量為 300cmm 機臺需求量 180cmm 使用負載比為 60%由上表還可知，此 Submain 還有 120cmmB勺富余量，假如此區(qū)域后續(xù)還有設(shè)

6、備Move in ，在滿足富余量的前提下，此主管上依然可以繼續(xù)接設(shè)備。舉例 2：18 號酸排氣主系統(tǒng)所接設(shè)備為 TCCVD320/TCCDO300/TCCVD420/TCCDO，400合計用量 245.6cmm,如下表：由上表可清晰看出該 Submain 主管共 12 個 Take off 點，接四臺設(shè)備。Submain設(shè)計量為 234cmm 機臺需求量 245.5cmm,使用負載比為 105%由上表還可知，此 Submain 已經(jīng)超出原設(shè)計負載，那么先查看其相鄰Submain負載用量是否有富余。17 號 Submain 酸排氣負載如下：由此可知，17 號用量為 76%仍有富余 54cmm 且

7、該系統(tǒng) Take off 點也有富余， 所以原 18號系統(tǒng)上可以把其中一個機臺（比如TCCD0300 的 Take off 點改至 17 號主系統(tǒng)上，如此， 17 號和 18 號主系統(tǒng)均不會超負載，也滿足了機臺負載需求。同時，為更加直觀勺清楚每條 Submain 主系統(tǒng)所連接哪些設(shè)備，繪制主系統(tǒng)軸 測 PID 圖也是貫穿二次配施工勺主要工作，這樣對后期設(shè)備調(diào)試也很有幫助。主系 統(tǒng)軸測 PID 圖可以非常清晰勺知道每條主系統(tǒng)所連勺具體設(shè)備，在主系統(tǒng)屋面風(fēng)機 和設(shè)備運行出現(xiàn)問題時候，可以清楚知道可能會受到影響的涉及該Subma in 的其他設(shè)備。如下圖：一般排氣系統(tǒng)軸測 PID 圖 所以，二次配前

8、期對機臺負載進行整體規(guī)劃非常有必要，機臺 Move in 分期進行，同一條主系統(tǒng)會同時有 Light on、Phase1、Phase2、Phase3 的設(shè)備，如若不 提前做整體規(guī)劃， Light on 和 Phase1 的設(shè)備應(yīng)該會很容易滿足負載，但是隨著Submain 所接的設(shè)備越來越多，Phase2 尤其是 Phase3 的設(shè)備很可能會超出原設(shè)計負載，在本項目雖然 Phase3 的設(shè)備不在包內(nèi)，但是設(shè)計人員早期是有把Phase3 的設(shè)備規(guī)劃至主系統(tǒng)內(nèi)的，所以甲方也要求我們考慮Phase3 的設(shè)備需求。（三）、圖紙以及成本規(guī)劃由于二次配沒有設(shè)計給出的具體施工平面圖紙，且二次配涉及的專業(yè)系統(tǒng)不

9、 少， PCW/PV/Exhaust/Chemical/CDA/Drain/ 特氣管道等，雖說管路尺寸都不大，但 是個別機臺管路復(fù)雜，如 CVD DRY 等大機臺，也會常遇到管道被擋的情況，此時 圖紙整體空間管理規(guī)劃則尤為重要， 施工前出圖紙， 每種管道在自己該在的位置上， 不但美觀且不影響其他管路走向，同時，如若管路過長和彎頭過多會使得壓力損失 過大，對后期設(shè)備運行不利。從成本上分析，二次配不像潔凈包，二次配按點位按實結(jié)算，每個點有規(guī)定的 標準長度，點的計算以實際點數(shù)計算，結(jié)合實際米數(shù)除以標準米數(shù)。點的實際長度 L1 除以報價標準米數(shù) L,即 L1/L二N。N 小于 2,計算為 1 個點；N

10、 大于 2,且小于 3 計為 2 個點；以此類推。比如規(guī)定每20 米一個點位，即這個點做到了 OvLV40 則 結(jié)算為一個點，做到 40 Lv60 結(jié)算成兩個點，所以按照這種計算方法即使做到 39 米還是會結(jié)算為一個點，如此便會虧損 19 米。標準長度規(guī)定如下： 如上述包定義內(nèi)點位計算方法實在是比較令人頭疼的，這種計算方式說明了并 不是所有的點位做的越長越好，這個長度是有限度的。 Take off 點管徑均為 300， 設(shè)備接口管徑一般小于 Take off 點管徑，那么對于一拖多（即一個 Take off 點帶 多個設(shè)備接點）的情況，怎么去合理分配Take off 點到 Tee 的長度和 T

11、ee 到 POU的長度很重要。需要考慮的是，對于 Take off 點距離設(shè)備比較近和 Take off 點數(shù)量有富余的 情況下，多做這種點位原則上是有利的， 但是考慮到底選擇一拖幾的問題值得推敲， 此外二次配主管和支管的長度怎么分配也值得考慮，才能夠?qū)崿F(xiàn)最終利益最大化。 對于 Take off 點距離設(shè)備比較遠的情況下，這種點位如若不提前規(guī)劃好，虧損可 能性非常大，需考慮問題同上，若真的虧損要實現(xiàn)虧損最小。由此可見，圖紙的深化設(shè)計和成本控制不可分割，合理的管路規(guī)劃會降低施工 成本以及施工難度，所有的技術(shù)和設(shè)計最終都應(yīng)該回歸到成本和利潤上。(四) 質(zhì)量管控二次配施工作為電子廠房施工的最后一道工

12、序，是直接與機臺設(shè)備對接，其 施工質(zhì)量將直接影響廠房后續(xù)顯示面板生產(chǎn)良品率，如若由于二次配施工質(zhì)量導(dǎo)致 設(shè)備正常運行而 Down 機，其損失將不可預(yù)估。二次配施工質(zhì)量的管控主要從以下幾個方面把握：1、材料進場檢驗 所有材料進場前均需先和質(zhì)量相關(guān)人員進行自檢，而后經(jīng)業(yè)主以及第三方質(zhì) 量人員進行檢驗，合格后方可進場，不符合潔凈室規(guī)范以及損壞嚴重材料均不得使 用，并立即退場。2、施工前指導(dǎo)每個班組施工機臺前，需向該班組長指明 Take off 點使用情況，并找到該機 臺所有需要施工的點位和點位具體接續(xù)名稱(SEX/GES/VEX/AEX/CVD/OA/STX，) 對于需要區(qū)分干濕排的點位必須標示并告

13、知清楚，如有特殊要求的機臺也需要提前告 知，以免后續(xù)的二次施工。3、施工中檢查本項目每個點包含 Duct 、彎頭、三通、風(fēng)閥、風(fēng)壓表、特氣偵測口、支架以及末端盲板的安裝，需要考慮的類項比較多，由于機臺調(diào)試期間不允許停機，更換 其中任何一項都比較困難，為避免二次施工，施工過程中的檢查很重要，做到亡羊 補牢。4、 Turn on 前檢查二次配每個機臺的 Turn on 都是很重要的節(jié)點，所以做 Turn on 前的最后檢 查很有必要，檢查管路連接的完整性，負壓表安裝的正確性，螺栓的緊固性，支架 的安裝以及加固情況等，這些都是影響機臺 Turn on 的因素， Turn on 前是必須一 項項排查的。5、調(diào)試中檢查每個機臺 Turn on 后設(shè)備方都有為期不短的調(diào)試時間， 調(diào)試時候機臺的運行 是極不穩(wěn)定的，較容易出現(xiàn)的問題有： 清洗機的漏水問題， 水經(jīng)常倒灌入排氣管內(nèi)； 壓力表超量程問題，前期由于 Submain 所掛的設(shè)備少，負壓比較大，導(dǎo)致管內(nèi)負壓 已超出負壓表量程，由此可能會造成負壓表的損壞；軟管破損問題，由于機臺接口 形式的限制， 一些機臺必須使用軟管連接， 軟管硬度是遠不如硬管的， 有破損風(fēng)險。 以上問題多出現(xiàn)在機臺試運行調(diào)試階段和正式運行階段，所以在試運行階段若發(fā)現(xiàn) 并及時解決相關(guān)問題，不斷優(yōu)化方案，則在后續(xù)正式生產(chǎn)階段風(fēng)險